Stand-alone 고출력 EUV 검사기 장비 기술 및 EUV 검사기 인프라 구축 사업 기술지원기업 모집 공고

공고 요약 원문 확인 2026-11-08

전국 EUV 소재·부품·장비 관련 중소·중견기업을 대상으로 소재 합성공정 개발과 시제품제작·기술지도·물성평가를 지원합니다. 3개社에 1기업당 최대 15,000천원 이내로 지원하며, 11.20.(금) 18:00 마감 전이라도 3개사 선정 이후 종료합니다.

지원 대상

전국 EUV 소재·부품·장비 관련 중소·중견기업입니다. 대전 소재 기업으로 한정하지 않으며, 지원과제는 EUV 소재 제조공정 고도화 및 상용화 기술지원입니다.12

지원 내용

시제품 제조용 합성공정 개발과 원료·재료 지원, EUV PR 소재 물성평가 후 결과분석·공정 최적화, 고해상도 유/무기 PR 개발품의 순도·정성·정량 분석을 제공합니다. 기술지원은 일괄 지원하며 개별 선택은 불가합니다.2

신청 기간

2026.7.20.(월)~11.20.(금),18:00 상시모집입니다. 3개사 선정 이후 종료하며, 사업 지원기간 역시 협약일부터 2026. 11. 20.(금)까지로 안내되어 있습니다.2

신청 방법

대전기업정보포털에서 기업회원 가입·로그인 후 해당 사업을 온라인 신청합니다. 신청내용을 입력하고 제출서류를 안내 순서대로 압축파일 1개로 첨부·등록한 뒤 접수증을 출력해 확인합니다.23

제출 서류

지원신청서, 신청자격 요건 검토서, 개인(기업)정보 동의서, 청렴서약서, 확약서와 사업자등록증·표준재무제표증명·국세 및 지방세 납세증명서가 필요합니다. 국민연금가입자명부와 4대 사회보험 사업장 가입자명부도 제출합니다.2

평가 기준

서면 또는 발표평가로 목표·결과물의 구체성, 실현 가능성, 기술수준·경쟁력, 지원필요성, 활용도·파급효과 등을 평가합니다. 70점 이상 기업 중 예산 범위 내 고득점 순으로 선정하며 NTIS 중복성 검토를 거칩니다.2

제외 대상

필수서류 누락·허위기재, 다른 지역·기관의 유사사업 수혜, 국가연구개발사업 참여제한, 의무사항 불이행은 제외 사유입니다. 부도·세금 체납·채무불이행 및 재무상태 관련 제외 요건과 예외도 공고문에서 확인해야 합니다.2

문의처

사업 문의는 대전테크노파크 042-930-4922, 장비 문의는 042-930-4915, 온라인 시스템 문의는 042-251-2872입니다.12

활용 장비와 지원 종료 일정

대전창업온라인의 같은 사업 안내도 11. 20. 18:00을 접수 마감으로 제시합니다. 첨부는 과업 수행 후 수행결과보고서와 결과물을 제출하고 최종평가를 받도록 규정하며, 최종평가 70점 이상을 사업 수행 성공 기준으로 정합니다.32

시제품제작·기술지도에는 회분식 반응기, 미세유체 반응시스템, 연속흐름 반응시스템을 활용합니다. 물성평가 장비는 HPLC, 나노입도분석기, 분산안정도측정기 등이며, 필요하면 공정 데이터 비밀유지 협약서를 작성합니다.2

자주 묻는 질문

1. 원문 공고 기업마당 EUV 기술지원기업 모집
2. 첨부 공고문 대전기업정보포털 EUV 기술지원기업 모집 PDF
3. 관련 포털 대전창업온라인 동일 사업 안내