===== 1. 재공고문.pdf =====
공고명 : 동국대학교 전자빔 박막 증착 장비 구매
일정 계약절차 내용
수 요 기 관 : 동국대학교 반도체 인재양성 부트캠프사업단
26.09.20.(일) 18:00까지 입찰참가자격등록 및
① 입찰공고
26.09.08.(화) 입찰보증서 제출마감 ~26.09.21.(월) 11:00
26.09.21.(월) 11:00까지 입찰제출서류 및 제안서
제출마감
입찰 공고 26.09.21.(월) ② 제안서 평가 ~26.09.23.(수) ▪ 제안서 평가 및 가격평가
다음과 같이 입찰에 부치고자 공고합니다.
③ 계약체결
1. 입찰에 부치는 사항 26.09.28.(월) 이후 ▪ 선정 업체 개별 통보 3. 입찰참가자격
※ 규격 관련 문의는 반도체 인재양성 부트캠프사업단으로 문의 (02-2290-1541)
가. 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제12조 및 동법 시행규
칙 제14조에 의한 경쟁입찰 참가 자격을 갖추어야 하며, 조달청입찰참
공 고 명 동국대학교 전자빔 박막 증착 장비 구매 납품기간 계약 후 2026.12.31.까지 구매품목
전자빔 박막 증착 장비
(제안요청서 참조)
입찰방법 규격· 가격 동시 기초금액
99,990,000원
(부가세 포함)
입찰방식(가격) 전자입찰
전자입찰서(가격)
접수 개시일시
2026.09.16.(수) 10:00
전자입찰서
(가격)마감일시
2026.09.21.(월) 11:00
참가자격등록 및
입찰보증서 제출
마감일시
2026.09.20.(일) 18:00
입찰제출서류 및
제안서 제출 마감
2026.09.21.(월) 11:00
나라장터 업로드
개찰장소
국가종합전자조달시스템
(나라장터)
개찰일시 제안서 평가 후 개찰
가자격등록증을 소지한 업체 및 동법 시행령 제76조에 따라 입찰 참
가 자격을 제한받지 아니한 업체
나. 입찰참가자격등록 마감일시까지 나라장터(G2B)에 진공증착기 (물품분
류번호 2399039801)를 제조 또는 공급 물품으로 입찰참가 등록한 자
라. 중소기업기본법 제2조 2항에 따른 소기업자 및 소상공인 보호 및 지원에
2. 입찰 및 계약방식
가. 제한경쟁입찰, 총액입찰, 전자입찰방식
나. 규격/ 가격 동시
다. 제안서 제출방식은 온라인 제출입니다. 입찰에 참여하는 자는 나라장터로 제안
서를 제출하여야 합니다. (마감일 전 제출 및 등록 권장)
관한 법률 제2조에 따른 소상공인으로서 중소기업 범위 및 확인에 관한 규
정 에 따라 발급된 <소기업·소상공인 확인서>를 소지한 자
마. 본 사업의 공동수급은 불허함
4. 입찰서 제출방법
가.
본 입찰은 전자입찰에 의하여 집행하므로 국가종합전자조달시스템
(http://www.g2b.go.kr) 이용자 등록을 한 업체이어야 하며, 미등록업체는 국
가종합전자조달시스템에 이용자등록을 하여야 합니다.
나. 본 입찰은 전자입찰 입찰자 신원확인제도가 적용됨에 따라 개인인증서를 보유
한 대표자(또는 사전에 등록된 입찰대리인)만이 입찰서 제출이 가능합니다.
다. 본 입찰은 지문인식 신원확인 입찰이 적용됩니다. 다만, 지문인식 신원확인
입찰이 곤란한 자는 국가종합전자조달시스템전자입찰특별유의서 제7조 제1
항 제6호 및 제7호의 절차에 따라 예외적으로 개인인증서에 의한 전자입찰
서 제출이 가능합니다.
정보의 사전 등록(신규, 추가, 변경 등록 모두포함)을 하지 않아도 횟수나 기
한의 제한 없이 예외적으로 개인인증서에 의한 전자 입찰서 제출이 가능(본
공고 유의사항 참고)
라. 입찰참가를 위해서는 전자입찰서 제출마감일 전일 18:00까지 등록을 하여야
합니다. 등록절차와 나라장터 이용안내는 정부조달콜센터(☎1588-0800,
FAX: 042-472-2297)로 문의하시기 바랍니다.
5. 제안서 제출
가. 기
간 : 가격입찰서 제출기간과 동일 나. 방 법 : 온라인 (나라장터) 제출 1
위하여 가급적 마감일 전일까지 제안서를 제출하시기 바라며, 가격입찰서와 제안
서가 모두 제출되어야 유효한 입찰입니다.
다. 제출서류 (각종 증명서는 유효기간 확인 후 제출 바람)
① 사업자등록증 부
② 법인인감증명서 개인사업자인 경우 대표자 인감증명서 부
③ 사용인감계 사용시 제출
④ 법인 등기부등본 개인사업자인 경우 주민등록등본 부
⑤ 국세 지방세 완납증명서 최근 개월 이내 발행된 국세 국세청 및 지
1
( ) 1 ) ( ) 1 , ( 1 ( ) 방세(관할구청) 완납증명서) 1부
⑥ 서약서 보안각서 확인서 청렴계약이행 서약서 각 부 본교 지정양식
⑦ 개인정보 수집·이용 동의서 부 본교 지정양식
⑧ 입찰이행보증증권 부
,
PD F 1 (e- 발주시스템 전자제출)
※ 입찰관련서류(①~⑩) : 제안서 파일과 구분하여 스캔 후 하나의 전자파일로 작성하고,
나라장터 "제안서 제출"에서 파일구분을 ‘기타’로 선택하여 온라인으로 제출하시기 바
랍니다.
※ 입찰관련서류①~⑩파일 1식 / ⑪제안서 pdf파일 1식 구분하여 총 2개의 파
일 업로드
※ 입찰관련 서류와 제안서(200MB 이내)는 입찰마감시까지 사전에 제출하여 주시기
바랍니다.
※ 제안서 제출에 대한 최종입찰 여부 확인은 발주기관에 있으며, 제안서 제출 관련하여 시
스템 기능은 매뉴얼을 참조하시기 바랍니다.
※ 모든 서류에 주민(법인) 등록번로 뒷자리는 식별할 수 없도록 “*” 표기하여 제출하시
기 바랍니다.
를 통해 온라인으로 제출하여 주시기 바랍니다.
※ 제안서 제출은 가격 입찰서 제출 여부에 관계없이 제출이 가능하나 원활한 제출을
( :
라. 제안서 및 입찰참가신청 서류 등은 “제안서 제출 매뉴얼”을 참고하여 나라장터
(아래 제출서류와 제안서가 모두 업로드 되어야 함)
, 1 1 ( ( ) 1
제안서 제출 마감일 전일까지 입찰서 제출과 함께 전자제출)
(
제안 금액의 10% (보증금액 10%미만시 입찰참가 무효 / 보증기간 : 30일 이상)
피보험자 : 201-82-04468 동국대학교 산학협력단
- , 1
* 다만, 2024년 1월 1일부터 "지문인식 신원확인 예외적용 신청서 제출 시 지문
,
⑨ 소기업 소상공인 확인서 부
⑩ 기업신용등급평가서 부
⑪ 제안서 전자파일
파일 식
< 제안서 제출 관련 유의 사항>
* 해당 공고가 온라인으로 제안서를 제출받는 경우, 입찰참가자는 반드시 제안서
제출여부를 시스템을 통해 최종 확인하여야 하며, 미확인으로 인하여 발생되는
모든 책임은 입찰참가자에게 있습니다.
* 제안서(전자파일)가 마감일시까지 나라장터 서버에 수신되지 않을 경우(상기 제출경
로를 통하지 않은 건도 포함)와 첨부파일의 하자인 경우 제출하지 아니한 것으로
간주하며, 제안서 미제출시 입찰 무효처리 됩니다.
*「전자조달의 이용 및 촉진에 관한 법률 시행령」제5조(전자적 형태의 입찰서
제출) 제6항을 준용하여 처리합니다.
)
6. 기타사항
가. 입찰 참가 자격이 없는 자가 입찰에 참가한 경우 해당 업체의 입찰 결과
는 무효로 함.
나. 본교에 제출한 입찰서류 중 허위사실이 발견된 경우와 부당입찰이 인정될
때 해당업체의 입찰결과는 무효로 함.
다. 동국대학교로부터 낙찰자 자격을 통보 받고, 발주처의 세부협상 또는 계약
요청에 3일 이상 응하지 않은 경우 해당 업체는 낙찰자 자격을 상실함.
라. 상기 입찰 무효 또는 자격 상실의 사유로 입찰이 무효가 되는 경우 입찰
보증금(또는 이행증권)은 동국대학교 산학협력단으로 귀속됨.
마. 입찰에 참여하고자 하는 자는 본 공고와 제안요청서, 시방서 및 기타 입찰에
관한 법령 등 입찰에 필요한 모든 사항에 대하여 입찰 전에 완전히 숙지하고
입찰에 참여하여야 하며, 숙지하지 못하여 발생한 책임은 입찰참가자에게 있
음.
바. 낙찰자(계약상대자)는 낙찰자 결정 후 10일 이내에 계약을 체결하여야 하며,
계약 후 입찰공고, 계약서에 명시한 사항을 이행하지 않았을 때에는 그 책임
이 계약상대자에게 있으며, 우리 대학은 즉시 계약을 파기할 수 있고 이로 인
하여 우리 대학에 손해가 발생한 경우 계약상대자는 손해배상 등 일체의 법
률적 책임을 진다.
사. 본 입찰 공고문, 추가 협의된 사항 등은 계약 내용에 포함한다.
아. 입찰공고 및 계약서상에 명시되지 아니한 사항과 내용 해석에 상호 이견이
있는 경우에는 계약상대자 쌍방 간의 합의에 의하여 해결하는 것을 원칙으로
하되, 합의가 되지 않을 경우에는 우리 대학의 해석(결정)에 따른다.
자. 제출된 서류는 일절 반환되지 않으며, 본 제안과 관련된 일체의 소요비용은
사업자가 부담함
7. 문의사항
가. 입찰 및 계약 : 구매관재팀 (02-2260-3092/ [email protected])
나. 규격 문의 : 반도체 인재양성 부트캠프사업단 (02-2290-1541)
===== 2. 제안요청서.hwp ===== 제안요청서 동국대학교 전자빔 박막 증착 장비 구매 2026. 8. 동국대학교 반도체 인재양성 부트캠프사업단 목 차 Ⅰ. 과업개요 및 내용 Ⅱ. 구매 규격 Ⅲ. 제안서 작성 및 제출 안내 Ⅳ. 제안서 평가 Ⅴ. 제안서 작성 및 제출 안내 제출서식 Ⅰ. 과업개요 및 내용 1. 과업개요
가. 과 업 명 : 동국대학교 전자빔 박막 증착 장비 구매
나. 납품기간 : 계약 후 2026. 12. 31.까지
다. 입찰방식 : 제한경쟁 총액(VAT포함)
라. 예산금액 : 금99,990,000원(금구천구백구십구만원)
마. 남품장소 : 서울시 중구 필동로 1길 30 동국대학교 신공학관 2158호
바. 납품조건 : 현장설치도
사. 대금지급조건 : 납품 및 검수 후 일괄지급
아. 추진일정 1) 공고기간 : 나라장터 공고에 따름
2) 제안요청서 교부 및 열람 : 나라장터 공고에 따름
2. 구축 장비 내역 (※ 세부 구매사양은 장비 규격서 참고)
- 전자빔 박막 증착 장비(E-Beam Evaporator)
3. 업체 선정 방법
가. 입찰방식 : 제한(규격·가격 동시 입찰) 총액
나. 입찰 참가자격
1)「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」 제12조 및 동법 시행규칙 제14조에 의한 경쟁입찰 참가 자격을 갖추어야 하며, 조달청입찰참가자격등록증을 소지한 업체 및 동법 시행령 제76조에 따라 입찰 참가 자격을 제한받지 아니한 업체
2) 입찰참가자격등록 마감일시까지 나라장터(G2B)에 진공증착기 (물품분류번호 23990398)를 제조 또는 공급 물품으로 입찰참가 등록한 자
3) 「중소기업기본법」 제2조 2항에 따른 소기업자 및 「소상공인 보호 및 지원에 관한 법률」 제2조에 따른 소상공인으로서 「중소기업 범위 및 확인에 관한 규정」에 따라 발급된 <소기업·소상공인 확인서>를 소지한 자
4) 공동수급 불가
다. 선정방법 : 입찰자는 입찰시 규격 입찰서와 가격입찰서를 동시에 작 성하고, 일반사양에 규정한 입찰시 자료제출 내용과 물품구매 규격서에서 규정한 모든 항목의 규격기준에 따라 제안하고자 하는 내용이 명확하고 상세하게 기술된 기술제안서를 작성 제출하여야 한다. 기술 제안서 평가는 설계, 제작, 시험 및 검사, 운반, 설치 등 장비의 성능 을 포함한 입찰자의 제반능력에 관하여 이루어지며, 상기 심사에 의하여 적격입찰자(총점 85점이상)를 선정한다.
Ⅱ. 구매 규격 (※ 상세 내용은 규격서 참조)
1. 주요 용도
- 전자빔 박막 증착 장비(E-Beam Evaporator)는 전자빔으로 증착 재료를 가열, 증발시켜 기판에 고순도 박막을 형성하는 PVD 장비이다. 금속, 유전체 박막 증착, 미세 전극 및 나노 패턴 제작, 공정 조건 최적화에 활용된다. 또한 반도체 교육에서 장비 운용과 공정 변수 제어 실습에 사용되며, 차세대 반도체, MEMS, 광소자, 2D 소재 기반 소자 제작과 박막 품질 및 신뢰성 평가에 활용된다.
2. 주요 사양 및 규격
- E-BEAM EVAPORATOR SYSTEM, KVE-E1000 1 SYS
- 챔버 크기: 350(W) × 350(D) × 500(H) mm
ㅇ 챔버 재질: SUS 304
- 터보펌프 배기속도: 450 L/s(N₂ 기준)
ㅇ 터보펌프 장착 플랜지: 내경 6인치
- 오일 로터리펌프 배기속도: 600 L/min
ㅇ 오일 로터리펌프 방식: 직결 구동식 ㅇ 기판 회전속도: 0–30 rpm ㅇ 기판 홀더 외경: 4.5인치 ㅇ 전자빔 소스: 4포켓 × 4 cc
- 입력 전원: 208/240 VAC, 3상, 60 Hz
ㅇ 출력전압: −6~−8 kV ㅇ 최대 방출전류: 750 mA
- QCM 센서: 6 MHz 금 코팅 크리스털 센서
- 도달 진공도: 1.99 × 10⁻⁶ Torr 미만
- 박막 균일도: 4인치 웨이퍼 내 ±4.99% 이내
- 사용자 설치 전원: 220 V, 50 A, 3상
- 압축공기: 6–7 kgf/cm², 1/4인치 Swagelok 피팅
- 냉각수 압력: 1–2 kgf/cm², 1/2인치 Swagelok 피팅
Ⅲ. 제안서 작성 및 제출 안내 1. 제안서 작성
가. 제안서는 구매규격서를 우선시하며 평가 세부기준을 참조하여 본문에 제시된 서식에 따라 작성한다.
나. “~할 수 있다, ~를 고려한다 등” 애매모호한 표현은 불가한 것으로 간주하여 평가한다.
2. 제안서 작성 시 유의사항
가. 제안서 작성은 한국어 작성을 원칙으로 하며, 제안 관련 제출 자료는 일체 반환하지 않으며, 본 제안과 관련된 소요 비용은 제안자가 전액 부담한다.
나. 계약자 선정 후 제안서 제출 내용 중에서 허위사실이 발견될 경우에는 수요기관 임의로 계약을 파기할 수 있으며, 이 경우 업무 차질에 대한 손해배상을 청구하며 계약자는 수요기관의 결정에 어떠한 이의나 손해배상을 청구할 수 없다.
다. 필요시, 제안내용에 관한 확인 자료를 요청 또는 현지 실사를 할 수 있으며 제안업체는 이에 응하여야 한다.
라. 제안서는 본 사업과 관련하여 취득한 업무 내용, 수요기관에서 제공한 제반 정보 자료 등에 대해 제3자에게 누설하여서는 아니 되며, 수요기관이 요구하는 보안 사항을 철저히 준수하여야 한다.
마. 최종 계약체결 또는 공식적인 착수 통보 이전에 수행된 모든 행위에 대하여 수요기관이 책임지지 아니한다.
바. 제출된 제안서의 내용은 수요기관이 요청하지 않는 한 변경할 수 없으며, 제출된 제안서의 내용은 계약체결 시 계약조건의 일부로 간주하며 세부 계획수립 추진과정에서 수요기관과 협의 후 변경할 수 있다.
사. 제안서에 제시된 내용은 계약서에 명시하지 않더라도 계약서와 동일한 효력을 가진다.
아. 수요기관은 필요시 입찰참가자에 대하여 추가 자료를 요청할 수 있으며 이에 따라 제출된 자료는 제안서와 동일한 효력을 가진다.
자. 제안자는 장비의 품질향상을 위해서 제시된 물품규격과 동등 이상의 제품 으로 변경 제안은 가능하나 수요기관의 승인이 반드시 선행되어야 하며, 승인되지 않으면 공고 규격서의 사양에 따라야 한다.
3. 제안서 제출 안내 가. 제출기한 및 장소 : 공고문에 따름
나. 제출방법 : 국가종합전자조달시스템 나라장터
다. 제출서류 : 입찰공고서 참조 라. 제안서 작성요령
※ 본문에 첨부된 서식을 활용하되, 서식에 없는 항목은 자유 양식으로 기재
항 목 작성 방법 Ⅰ. 제안사 현황 1. 일반현황
제안사의 일반현황 및 주요연혁 및 최근 3년간의 자본금 및 부문별 매출액 기술 (신용평가등급확인서 첨부 필수)
2. 수행조직 및 업무분장 해당 과업 수행인력 및 업무분장 제시 Ⅱ. 수행 기술 제안 1. 규격
규격서에 따른 표준사양 기재 및 규격대비표 작성 (Catalogue 첨부)
2. 설치 및 철거 계획
명시된 설치 및 철거에 관한 구체적인 계획 명시
3. 설치 이후 계획
명시된 시운전, 마감공사 계획에 관한 사항을 기술
Ⅲ. 사업 관리부문 1. 추진일정 계획
사업 단계별 추진일정과 보고 및 검토 계획 제시(착수보고, 중간보고, 완료보고, 월간보고 등)
2. 구축 결과물 계획 사업 수행과정의 구축 결과물 관리방안 제시 3. 품질보증방안
사업 추진상의 품질보증을 위한 방법, 절차, 내용 등 제시
Ⅳ. 사업 지원부문 1. 하자보수관리 계획
장애처리절차, 현황관리, 유지이력관리 등 운영 및 관리를 위한 종합적인 관리 방안을 제시
2. 안전관리 대책
해당 설치물에 관한 안전관리 및 비상대책에 관한 사항을 기축
3. 기타 지원사항
본 사업과 관련하여 지원 가능한 사항에 대한 기타 사항을 기술
Ⅴ. 기타 상기항목에서 제시되지 않은 기타 내용을 기술
1) 제안서는 공고에 게시된 규격서를 기반으로 작성한다.
2) 본 문서에 첨부된 서식을 활용하되 서식에 없는 항목은 자유양식으로 기재한다.
3) 총괄 목차를 작성하고 페이지별로 번호를 부여하며, 세부사항 등 추가 설명이 필요한 경우에는 연계번호를 달아 별첨에 기술하는 것을 원칙으로 한다.
4) 제안서는 대표자 인감증명서상의 인감 또는 입찰참가신청서 제출 시 신고한 사용인감을 날인하여 제출한다.
4. 제안서 평가 결과 공개
제안서 평가기관(수요기관)의 장은 제안서 평가종료 후 동국대 구매관재팀 홈페이지를 통해서 3일간 공개하며, 평가결과 공개 시 평가위원명은 비공개한다.
Ⅳ. 제안서 평가 1. 제안서 설명 및 평가
가. 제안서 평가 : 제안서는 입찰업체에서 제출한 제안서를 근거로 본교 평가위원회를 구성하여 적격/부적격 여부를 평가한다.
나. 평가항목 및 배점 기준 평가항목 세부평가 평가기준 배점 한도 경영상태 (5점) 신용평가등급 ※ 신용평가등급확인서 제출 신용평가등급 배점 회사채 기업어음 기업신용 평가등급 AAA, AA+, AA0, AA- A+, A0, A-, BBB+, BBB0 A1, A2+, A20, A2-, A3+, A30 AAA, AA+, AA0, AA-, A+, A0, A-, BBB+, BBB0 5 BBB-, BB+, BB0, BB- A3-, B+, B0 BBB-, BB+, BB0, BB- 4.75 B+, B0, B- B- B+, B0, B- 4.5 CCC+ 이하 C 이하 CCC+ 이하 3 5 기술지식능력 (40점) 기술적 내용에 대한 이해도 평가요소 : 위원별 적정성 판단
- 해당 기술에 관한 전문성 및 기술구현의 구체성 등
매우우수 우수 보통 미흡 매우미흡 15점 14점 12점 6점 5점 15 공고 기술/규격과의 적합성 평가요소 : 위원별 적정성 판단 - 전 분야 규격 일치 및 수행 여부 매우우수 우수 보통 미흡 매우미흡 15점 14점 12점 6점 5점 15 기술검증자료 - 규격서 내의 기술 검증자료 제출 여부
- 제출 자료의 구체성, 정확도 및 규격일치 정도
매우우수 우수 보통 미흡 매우미흡 10점 9점 7점 5점 3점 10 사업수행 계획 (40점) 제작 추진 계획의 적정성
제시된 공고 규격(세부사양 및 규격)의 적합성
- 카달로그 및 세부사양 제시 필요 - 제작 추진 계획의 효율성 및 체계성 매우우수 우수 보통 미흡 매우미흡 20점 18점 15점 10점 5점 20 납품 및 설치 일정 계획의 적정성 구축물 구성의 적정성과 안정성, 효율성 매우우수 우수 보통 미흡 매우미흡 20점 18점 15점 10점 5점 20 지원 및 사후관리 (15점) 교육훈련 방법, 내용, 충실도 평가요소 : 위원별 적정성 판단 - 교육훈련 방법(강사 이력 포함) - 교육훈련 내용 및 충실도 매우우수 우수 보통 미흡 매우미흡 5점 4.5점 4점 3점 2점 5 품질보증계획의 적정성 사후관리 전략, 조직 등의 적정성 장애 또는 사고 대응책 평가요소 : 위원별 적정성 판단
- A/S 인력(수도권/지방) 및 사후관리 대응력(접수 및 처리절차, 처리시한)
매우우수 우수 보통 미흡 매우미흡 10점 9점 7점 5점 3점 10 기술평가 합계 100 다. 적격업체 선정기준
1) 종합평점 100점 만점에 85점 이상을 득한 업체를 규격(기술)적격업체로 선정 (배점기준표 참고)
2) 규격(기술) 제안서를 평가하여 적격으로 선정된 업체를 대상으로 가격입찰서를 개찰하여 예정가격 이하 최저가격 입찰자를 낙찰자로 선정
라. 보안 사항 및 권리 의무
1) 계약자는 계약과 관련하여 취득한 사업내용에 대해 외부에 공개하여서는 아니 되며, 보안 사항을 철저히 준수하여야 하고 받은 모든 자료는 본 사업 이외의 목적으로 사용할 수 없음.
2) 낙찰자로 결정된 후에는 새롭게 컨소시엄을 구성하거나 하청 또는 재하청을 할 수 없으며, 본 계약에 따른 권리 의무를 타인에게 양도할 수 없음
마. 기타사항
1) 계약자는 계약서 내용에 기술되는 기기 및 자재 등 일체를 공급하여 야 하며, 본 사양서에 기술되어 있지 않은 사항 또는 불명확하다고 생각 되는 사항은 수요기관과 반드시 협의 후 진행한다.
2) 계약자는 본 기술사양서에 명기되지 않았더라도 기능적, 효율적인 운용에 필요한 기기, 예비품, 공구 등은 계약사항에 포함된 것으로 간주하고 납품하여야 한다.
3) 사양에 언급되지 않았으나 시스템 구성에 필요한 사항은 본 계약에 포함된 것으로 간주한다.
Ⅴ. 제안서 작성 및 제출 안내 1. 제안서 작성
가. 제안서는 구매규격서를 우선시하며 평가 세부기준을 참조하여 본문에 제시된 서식에 따라 작성한다.
나. 제안 주요 내용 기술제안서 - 과업 개요 - 현황 분석 및 장비 제작 방향 - 주요 장비 설계 개념 - 주요 장비 제작 세부 내용
- 사업수행계획(인력투입/자재투입/제작/시운전 등)
- As 및 장비 작동법 교육 계획
다. “~할 수 있다, ~를 고려한다 등” 애매모호한 표현은 불가한 것으로 간주하여 평가한다.
2. 제안서 작성 시 유의사항
가. 제안서 작성은 한국어 작성을 원칙으로 하며, 제안 관련 제출 자료는 일체 반환하지 않으며, 본 제안과 관련된 소요 비용은 제안자가 전액 부담한다.
나. 계약자 선정 후 제안서 제출 내용 중에서 허위사실이 발견될 경우에는 수요기관 임의로 계약을 파기할 수 있으며, 이 경우 업무 차질에 대한 손해배상을 청구하며 계약자는 수요기관의 결정에 어떠한 이의나 손해배상을 청구할 수 없다.
다. 필요시, 제안내용에 관한 확인 자료를 요청 또는 현지 실사를 할 수 있으며 제안업체는 이에 응하여야 한다.
라. 제안서는 본 사업과 관련하여 취득한 업무 내용, 수요기관에서 제공한 제반 정보 자료 등에 대해 제3자에게 누설하여서는 아니 되며, 수요기관이 요구하는 보안 사항을 철저히 준수하여야 한다.
마. 최종 계약체결 또는 공식적인 착수 통보 이전에 수행된 모든 행위에 대하여 수요기관이 책임지지 아니한다.
바. 제출된 제안서의 내용은 수요기관이 요청하지 않는 한 변경할 수 없으며, 제출된 제안서의 내용은 계약체결 시 계약조건의 일부로 간주하며 세부계획수립 추진과정에서 수요기관과 협의 후 변경할 수 있다.
사. 제안서에 제시된 내용은 계약서에 명시하지 않더라도 계약서와 동일한 효력을 가진다.
아. 수요기관은 필요시 입찰참가자에 대하여 추가 자료를 요청할 수 있으며 이에 따라 제출된 자료는 제안서와 동일한 효력을 가진다.
자. 제안자는 장비의 품질향상을 위해서 제시된 물품규격과 동등 이상의 제품으로 변경 제안은 가능하나 수요기관의 승인이 반드시 선행되어야 하며, 승인되지 않으면 공고 규격서의 사양에 따라야 한다.
【서식 1】 제안업체 일반 현황 1. 일반현황
회
사
명
대 표 자 사 업 분 야
주
소
연
락
처
전화 :
FAX :
회사설립년도
년
월
해당부문 사업기간
년
월
～
년
월(
년
개월)
주 요 연 혁 ※ 작성란 부족시 별지 작성 가능 【서식 2】 사용자 요구 규격 대비 제안 규격 대조표 품명 (장비명) 규격서 쪽수 사용자 요구 규격 제안 규격 (회사명) 동등 여부 비고 ※ 참고사항
1. 주요규격에 대해서 반드시 작성할 것(수치적 표현이 가능한 내용은 필수 작성할 것)
2. 동등여부는 동등, 동등이상, 부적합으로 판정한다. 동등 및 동등 이상일 경우, 제안 물품 또는 부품 등에 대해 영문 또는 한글 제작사 카탈로그, 제작사(또는 국내 대리점(제작사-국내대리점 계약서 첨부)) 확인공문, 도면 등 증빙서류를 1부 첨부한다.
【서식 3】 신용평가 등급 확인서
- 입찰공고일 기준 최근년도에 평가한 유효기간 내의 회사채(또는 기업어음), 기업신용에 대한 신용평가등급확인서 본 페이지에 첨부)
※ 참고사항
신용보호정보의이용및보호에관한법률 제4조 제4항 제1호 또는 제4호의 업무를 영위하는
신용정보업자가 발행하는 ‘신용평가등급확인서’를 제출하거나 ‘조달청 신용평가등급조회
시스템’또는 ‘중소기업제품공공구매정보망’에 의하여 신용평가등급 조회가 가능한 경우
에는 출력하고, 대표자 직인 날인하여 첨부 【서식 4】 사업수행 조직표 사업총괄책임자 부문 부문 부문 부문 주) 1. 부문별 책임자를 명시 2. 부문별 기술자는 기술등급 순위별로 기재 【서식 5】
서
약
서
○ 기 관 명 :
○ 주
소 :
당사는 「동국대학교 전자빔 전자빔 박막 증착 장비 구매」의
목적과 그 제안 요청서에 제시된 모든 사항을 충분히 검토, 숙지 인정한 후
본 제안서를 제출합니다.
또한, 당사는 제안서에 기재내용이 허위로 판명될 경우 적격 대상업체에서
제외 및 최종 선정 후에도 무효가 되어도 이의를 제기하지 않을 것이며
사업자로 선정될 경우 본 제안서가 계약서의 일부가 될 것임을 확약합니다.
2026년
월
일
사업자등록(법인)번호 :
대 표 자 성 명 :
(인)
전
화
번
호 :
동국대학교 총장 귀하
===== 3. 규격서.hwp =====
구 매 규 격 서
COMMODITY DESCRIPTION 물품분류번호 품 명 Description 단위 Unit 수량 Q'ty 2399039801 전자빔 박막 증착 장비 (E-Beam Evaporator) 대 1 Ⅰ. 용도(End-user's Use)
고순도 박막 증착
- 금속 및 유전체 재료를 기판 위에 균일하게 증착
미세 패턴 및 전극 제작
- 포토리소그래피·전자빔 리소그래피와 연계하여 나노 스케일 패턴 형성
공정 조건 최적화
- 전자빔 파워, 증착률, 기판 온도, 진공도 등을 조절하여 박막 품질 개선
반도체 교육 및 실습
- PVD 공정 원리, 장비 운용 및 공정 변수 제어 실습에 활용
첨단 소자 제작 및 품질 평가
- 반도체, MEMS/NEMS, 광소자, 2D 소재 기반 소자 제작과 박막 특성·신뢰성 분석에 활용
Ⅱ. 장비의 구성(Configurations of Goods)
진공 공정 챔버 터보펌프 및 오일 로터리펌프 기판 냉각·회전 장치 전자빔 소스 및 전원 공급 장치
QCM 증착 제어 및 PLC·PC 기반 제어 시스템
Ⅲ. 특정규격(특정모델 등)일 경우 사유 기재
해당없음
Ⅳ. 성능 및 규격(Performance and Specification)
장비명: 전자빔 박막 증착 장비(E-Beam Evaporator System)
모델명: KVE-E1000
챔버 크기: 350(W) × 350(D) × 500(H) mm
챔버 재질: SUS 304
터보펌프 배기속도: 450 L/s(N₂ 기준)
터보펌프 장착 플랜지: 내경 6인치 오일 로터리펌프 배기속도: 600 L/min 오일 로터리펌프 방식: 직결 구동식 기판 회전속도: 0–30 rpm 기판 홀더 외경: 4.5인치 전자빔 소스: 4포켓 × 4 cc
입력 전원: 208/240 VAC, 3상, 60 Hz
출력전압: −6~−8 kV 최대 방출전류: 750 mA
QCM 센서: 6 MHz 금 코팅 크리스털 센서
도달 진공도: 1.99 × 10⁻⁶ Torr 미만
박막 균일도: 4인치 웨이퍼 내 ±4.99% 이내
사용자 설치 전원: 220 V, 50 A, 3상
압축공기: 6–7 kgf/cm², 1/4인치 Swagelok 피팅
냉각수 압력: 1–2 kgf/cm², 1/2인치 Swagelok 피팅
Ⅴ. 기타 조건(Remarks) WARRANTY : 1 YEAR
===== 4. 입찰관련양식.hwp =====
[붙임 1 서식]
서
약
서
본 업체는 “동국대학교 전자빔 박막 증착 장비 구매” 입찰공고에 따라 입찰서를 제출하면서 사업의 취지와 목적을 충분히 이해하고, 귀 기관의 사업자 평가 및 선정방식 등 업체선정 및 계약절차에 동의하므로 입찰에 성실히 임하고 결과에 어떠한 이의도 제기하지 아니할 것을 서약합니다.
2026년
월
일
(업체명)
(대표자)
(인)
동국대학교 총장 귀하 [붙임 2 서식] 보 안 각 서 제 출 자 상호 법인등록번호 주소 전화번호 대표자 비 고
본 업체는 귀 기관에서 시행하는 “동국대학교 전자빔 박막 증착 장비 구매” 입찰에 대한 가격입찰서를 제출함에 있어 제반 보안사항을 반드시 준수함은 물론 본 입찰과 관련하여 지득하게 된 귀 기관과 관련된 정보는 외부로 유출되지 않도록 최선을 다할 것이며, 만일 이를 소홀히 하여 발생되는 손해배상 등 민.형사상뿐만 아니라 일체의 법적 책임은 본 업체에 있으며 귀 대학의 어떠한 조치에도 이의를 제기하지 않을 것임을 서약합니다.
2026.
.
.
서약자(위 대표자) :
(인)
동국대학교 총장 귀하 [붙임 3 서식]
확
인
서
(입찰참가자격제한 및 징계사항)
□ 입찰건명 : 동국대학교 전자빔 박막 증착 장비 구매
귀 대학의 위 입찰에 대한 입찰서를 제출(참가)함에 있어 본 업체는 최근 3년간 관계법령에 의거 관계 기관으로부터 입찰참가제한 등의 징계를 받은 사실이 없음을 확약하며, 계약체결 후라도 만약 위 사실에 대한 위배사항이 확인될 시 계약해지 및 이에 따른 모든 불이익과 손해배상 등 민.형사상 일체의 법적 책임은 본 업체에 있음을 확인합니다.
2026년
월
일
상
호 :
주
소 :
법인등록번호 :
대
표
자 :
(인)
동국대학교 총장 귀하 [붙임 4 서식] 청렴계약이행 서약서
본 사는 「부패 없는 투명한 기업경영과 공정한 행정」이 사회발전과 국가 경쟁력에 중요한 관건이 됨을 깊이 인식하며, 청렴계약 취지에 적극 호응하여 동국대학교에서 시행하는 입찰에 참여함에 있어 당사 및 하도급 업체의 임직원과 대리인은
1. 입찰가격의 유지나 특정인의 낙찰을 위한 담합을 하거나 다른 업체와 협정, 결의, 합의하여 입찰의 자유경쟁을 부당하게 저해하는 일체의 불공정한 행위를 않겠습니다.
이를 위반하여 경쟁 입찰에 있어서 특정인의 낙찰을 위하여 담합을 주도한 것이 사실로 드러날 경우, 동국대학교에서 발주하는 입찰에 입찰참가자격제한 처분을 받은 날로부터 2년 동안 참가하지 않겠으며, 경쟁 입찰에 있어서 입찰자간에 서로 상의하여 미리 입찰가격을 협정하거나 특정인의 낙찰을 위하여 담합을 한 사실이 드러날 경우, 동국대학교에서 발주하는 입찰에 입찰참가자격제한 처분을 받은 날로부터 1년 동안 참여하지 않고, 위와 같이 담합 등 불공정행위를 한 사실이 드러날 경우, 독점규제 및 공정거래에 관한 법률에 따라 공정거래위원회에 발주관서가 고발하여 과징금 등을 부과토록 하는데 이의를 제기하지 않겠습니다.
2. 입찰, 계약체결 및 계약이행 과정에서 관계담당자에게 직․간접적으로 금품․향응 등(친인척 등에 대한 부정한 취업 제공 포함)의 부당한 이익을 제공하지 않겠습니다.
이를 위반하여 입찰, 계약의 체결 또는 계약이행과 관련하여 관계담당자에게 금품, 향응 등을 제공함으로써 입찰에 유리하게 되어 계약이 체결되었거나 시공 중 편의를 받아 부실하게 시공한 사실이 드러날 경우, 동국대학교에서 발주하는 입찰에 입찰참가자격제한처분을 받은 날로부터 2년 동안 참가하지 않겠으며 입찰 및 계약조건이 입찰자 및 낙찰자에게 유리하게 되도록 하거나, 계약목적물의 이행을 부실하게 할 목적으로 관계담당자에게 금품, 향을 등을 제공한 사실이 드러날 경우, 동국대학교에서 발주하는 입찰에 입찰참가자격제한 처분을 받는 날로부터 1년 동안 참가하지 않고 입찰, 계약체결 및 계약이행과 관련하여 관계담당자에게 금품, 향응 등을 제공한 사실이 드러날 경우에는 동국대학교에서 시행하는 입찰에 입찰참가제한 처분을 받은 날로부터 6개월 동안 참가하지 않겠습니다.
3. 입찰, 계약체결 및 계약이행과 관련하여 관계담당자에게 금품, 향응 등(친인척에 대한 부정한 취업 제공 포함)을 제공한 사실이 드러날 경우, 계약체결 이전의 경우에는 낙찰자결정 취소, 용역 착공 전에는 계약취소, 용역착공 이후에는 발주처에서 전체 또는 일부계약을 해지하여도 감수하고 민․형사상 이의를 제기하지 않겠습니다.
4. 회사 임직원이 관계담당자에게 뇌물을 제공하거나 담합 등 불공정 행위를 하지 않도록 하는 회사 윤리강령과 내부비리 제보자에 대해서도 일체의 불이익처분을 하지 않는 사규를 제정토록 노력하겠습니다.
5. 본건 관련 하도급계약체결 및 이행에 있어서 하도급자로부터 금품을 수수하거나 부당 또는 불공정한 행위를 하지 않겠습니다.
위 청렴계약이행서약은 상호신뢰를 바탕으로 한 약속으로서 반드시 지킬 것이며, 낙찰자로 결정될 시, 본 서약내용을 그대로 계약특수조건으로 계약하여 이행하고, 입찰참가자격제한, 계약해지 등 동국대학교의 조치와 관련하여 당사가 동국대학교를 상대로 손해배상을 청구하거나 당사를 배제하는 입찰에 관하여 민․형사상 이의를 제기하지 않을 것을 서약합니다.
서 약 자 상호 또는 법인명칭 법인등록번호
주
소
전화번호
대
표
자
(인)
비
고
2026.
.
.
동국대학교 총장 귀하 [붙임 5 서식] 개인정보 수집·이용 동의서
동국대학교에서는 정보주체와 입찰, 계약 체결·이행을 위해 입찰참가자(대표 또는 대리인)의 개인정보를 아래와 같이 수집·이용하고자 합니다. 다음의 사항에 대해 충분히 읽어보신 후 동의 여부를 체크하고 서명하여 주시기 바랍니다.
수집·이용하려는 개인정보의 항목 개인정보의 수집·이용 목적 개인정보 이용기간 및 보유기간 대표자의 생년월일
대표자의 입찰참가자격 및 계약체결 시 참가자격에 관한 확인 절차
목적 달성 후 즉시 폐기 (계약 체결 또는 대금 지급) 입찰 등록 대리인의 생년월일
대리인을 통한 입찰등록 또는 계약 체결의 경우 정당한 대리권을 부여 확인 절차
목적 달성 후 즉시 폐기 (계약 체결 또는 대금 지급) 연락처, 이메일 주소 입찰 또는 계약에 관한 사항 통보 (이메일, 휴대전화 문자세메지 통보) 입찰 및 계약 체결 후 즉시 폐기 동의 여부 확인
○ 대표자의 입찰참가자격에 관한 확인을 위한 개인정보 수집 및 이용 동의(대표자 입찰 참가)
□ 동의함
□ 동의하지 않음
□ 해당사항 없음
* 입찰 대리인을 지정한 경우, 해당사항 없음으로 처리
○ 입찰 대리인을 지정한 경우 대리권 확인을 위한 개인정보 수집 및 이용 동의(대리인 입찰 참가)
□ 동의함
□ 동의하지 않음
□ 해당사항 없음
* 대표자가 입찰 등록을 하는 경우, 해당사항 없음으로 처리
○ 대표자의 개인정보 일부가 제출서류에 포함되어 있는 경우 개인정보 수집 및 이용 동의
□ 동의함
□ 동의하지 않음
□ 해당사항 없음
* 동의하지 않거나 해당사항 없음으로 처리시, 입찰 참가 불가
* 본인은 본 『개인정보의 수집·이용 동의서』 내용을 읽고 명확히 이해하였으며, 이에 동의합니다.
2026 년
월
일
대표자 :
(인)
/
입찰등록자 :
(서명)
동국대학교 총장 귀하