[R26BK01750332] 건식기반 탠덤 태양전지용 중간층 저손상 증착장비

===== 1. 입찰공고문(일반경쟁)_건식기반 탠덤 태양전지용 중간층 저손상 증착장비.pdf =====
물 품 구 매 전 자 입 찰 공 고
건식기반 탠덤 태양전지용 중간층 저손상 증착장비
(참조번호 :
KIER-구입-20266066호)
구입
입찰마감일 : 2026년 10월 8일 10:00

2026년 9월 30일 한국에너지기술연구원

KIER-구입-20266066호
구입

물품구매 전자입찰 공고
< 이 계약은 청렴계약(서약)제가 적용됩니다 >

이 계약은 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」 제5조의2에 따른 청렴계약제가 적용됩
니다. 입찰자는 반드시 입찰서 제출 시 아래 청렴계약서에 관한 내용을 숙지·승낙하여야 하며,
동 내용을 위반한 경우 발주기관의 조치에 대해서 어떠한 이의도 제기할 수 없습니다.

「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」 제 조의
5조의2에 따라 이 입찰에 참여한 당사 대리인과
임직원은 입찰·낙찰, 계약 체결 및 이행, 감독, 검사 등의 과정(준공·납품 이후를 포함한다)에서
아래 각 호의 청렴계약 조건을 준수할 것이며, 이를 위반한 때에는 입찰·낙찰을 취소하거나 계
약을 해제·해지하는 등의 불이익을 감수하고, 이에 민·형사상 이의를 제기하지 않을 것임을 약
정합니다.
1. 금품·향응, 사례, 증여, 취업제공(친인척 등에 대한 부정한 취업 제공 포함) 및 알선 등을 직
접적·간접적으로 요구 또는 약속하거나 수수 授受
(授受)하지 않겠습니다.
2. 입찰가격의 사전 협의 또는 특정인의 낙찰을 위한 담합 등 공정한 경쟁을 방해하는 행위나
불공정한 행위를 하지 않겠습니다.
3. 공정한 직무수행을 방해하는 알선·청탁을 통하여 입찰 또는 계약과 관련된 특정 정보의 제
공을 요구하거나 받는 행위를 하지 않겠습니다.

이 입찰설명서는 입찰자와 낙찰자가 준수하여야 할 사항을 기재한 것으로써 모든 입찰희망자는
이를 열람하여야 합니다.
이 입찰과 관련하여 추가 문의사항이 있으면 아래 담당자에게 연락하시기 바랍니다.
① 계약담당자(입찰공고, 개찰, 계약방법 등) : 구매자산실 장형욱 ☎
(☎042-860-3213)
② 수요부서 연락처(물품의 사양 및 규격 등) : 태양광연구단 변준섭 ☎
(☎042-860-3199)
③ 입찰참가자격 등록, 나라장터 시스템 : 정부조달 콜센터(☎ 1588-0800, FAX 042-472-2297)

1. 입찰개요
○ 참

조 ○ 공

번
고

호

:
KIER-구입-20266066호
구입

명

: 건식기반 탠덤 태양전지용 중간층 저손상 증착장비

○ 계 약 입 찰 방 법

: 일반 총액
(총액)경쟁, 규격·가격동시입찰, 전자입찰

○ 공동계약 및 구성방식 : 불가 ○ 규 격 : 규격서에 의함 ○ 기 초 금 액 : 440,000,000원(부가가치세 포함) ○ 납 품 장 소 : 규격서 내 지정장소 ○ 납 품 기 한 : 계약체결일로부터 210일 이내 ○ 인 도 조 건 : 현장설치도 ○ 검 사 및 검 수 기 관 : 한국에너지기술연구원 ○ 분 품 : 불가 ○ 하자담보책임기간 : 1년 할 납

※ 사업예산, 기초금액 및 입찰금액은 부가가치세를 포함한 가격입니다.
※ 입찰자는 반드시 기초금액을 확인한 후 투찰하시고 기초금액이 공개되기 전 투찰할 경우 입
찰서 제출을 할 수 없습니다.
※ 입찰자가 면세사업자인 경우 입찰금액은 반드시 부가가치세를 포함한 가격으로 투찰해야 하며,
입찰결과 낙찰자가 면세사업자인 경우 계약금액은 낙찰금액에서 부가가치세 상당액을 차감한
금액으로 합니다.
※ 차세대 나라장터 이용시 매뉴얼 숙지 후 입찰 참여해주시기 바랍니다.

2. 입찰(개찰) 일시 및 장소
구분
○

전자입찰기간 ○

전자입찰서
제출마감

○ 개찰일시

일시
2026년 10월 6일 10:00(오전)
~ 2026년 10월 8일 10:00(오전)

장소
국가종합전자조달시스템(나라장터)

2026년 10월 8일
10:00까지(오전)
까지

국가종합전자조달시스템(나라장터)

2026년 10월 8일 11:00 이후(오전)

국가종합전자조달시스템(나라장터)

※ 본 입찰은 조달청 나라장터 시스템 전자입찰로만 집행되며 전자입찰서는 반드시 조달청 나라
장터 전자입찰시스템을 이용하여 제출하여야 합니다.
※ 이 입찰은 규격평가기간에 따라 개찰 일정이 변동 가능합니다.
※ 차세대 나라장터에서 입찰에 참가하실 경우에는, 규격 기술
(기술)입찰서 제출 완료 후 가격입찰서 제출이 가
능합니다.

3. 입찰참가자격
아래의 입찰참가자격을 모두 갖춘 자 이어야 합니다.
○ 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률시행령 제12조 및 동법 시행규칙 제14조의 규정에
의한 입찰자격 요건을 구비한 자

○

법정관리 등이나 국가, 지방자치단체, 정부출연 및 투자기관에 의하여 부정당업체로 제재를

받지 않은 자
○ 「국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정」에 따라 반드시 전자입찰서 제출 마감일
전일까지 나라장터(G2B)에 2399039801(진공증착기)로 제조 또는 공급물품으로 입찰 참가
자격으로 등록한 자
조달청 경쟁입찰참가자격 등록은 수시로 가능하며, 입찰참가를 위해서는 전자입찰서 제출

마감일 전일 18:00까지 등록을 하여야 합니다. 등록절차와 나라장터 이용안내는 정부조달
콜센터(☎ 1588-0800, FAX: 042-472-2297)로 문의하시기 바랍니다.
다음 중 어느 하나에 해당하는 자는 입찰참가자격이 없습니다.
○ 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」 제27조의5 및 같은 법 시행령 제 조제
12조제3항에
따라 ‘조세포탈 등을 한 자’로서 유죄판결이 확정된 날부터 2년이 지나지 아니한 자
○ 「중소기업제품 구매촉진 및 판로지원에 관한 법률」 제8조의2에 해당하는 자
○

입찰참가자격이 없는 자 또는 입찰조건에 위배한 자의 입찰은 무효로 합니다.

4. 제출서류
○ 제출마감일

: 2026년 10월 8일
10:00까지(오전)
까지

○ 제출방법 및 장소 : 국가종합전자조달시스템(나라장터)

○ 규격 기술
(기술)입찰서 및 입찰참가자격 확인을 위한 제출서류
○ 제출서류 리스트
1 규격입찰서(첨부양식) 1부
* 규격평가를 위한 서류로 첨부양식을 준수, 제출 이후 변경·보완할 수 없습니다.
2 규격증빙서류 1부
* 응찰제품의 카달로그, 브로셔 등으로 규격입찰서와 비교할 수 있도록 규격부분을 표기
(번호 및 색깔처리)하여 제출하여야 합니다.
3 나라장터에서 출력한 “경쟁입찰참가자격등록증” 1부
4 사업자등록증 및 법인등기부등본 각 1부
* 개인사업자일 경우 사업자등록증 1부
○ 유의사항(필독)
가격입찰서와 규격 기술
(기술)입찰서 중 어느 하나라도 미제출시에는 무효입찰 처리됩니다. 따라
1 서 입찰자는 가격입찰서와 규격 기술
(기술)입찰서가 이상 없이 제출되었음을 확인하시기 바랍니다.
규격 기술
(기술)입찰서 제출을 완료한 후 가격입찰서를 제출할 수 있으니 각별히 유의 바라며,
입찰서 정상제출 여부는 입찰 입찰진행
>입찰진행>“나의투찰내역”(가격입찰서)과 제안서
“제안서/공모안 제
출내역 규격
”(규격(기술)입찰서) 메뉴에서 확인하실 수 있습니다. 미확인으로 인하여 발생되는
모든 책임은 입찰참가자에게 있습니다.
규격 기술
(기술)입찰서 제출
2

: 국가종합전자조달시스템(나라장터) > 입찰 > 입찰진행/참가 화면의 투찰버튼 클릭 >
“입찰서류제출현황” 팝업 > “제안서제출바로가기” 링크버튼을 통해 파일 첨부 후 제출
※ 파일첨부 영역에서 파일추가 버튼을 통해 해당파일 선택 후 문서구분을 지정하여 처리
※ 제안서 필수 제출문서 중 1개라도 첨부되지 않을 경우 임시저장, 최종제출 불가
※ 해당 서류의 최종제출이 완료되어야 가격입찰서
“가격입찰서” 진입이 가능함
규격 기술
(기술)입찰서는 국가종합전자조달시스템(나라장터)을 통해 제출하여야 하며, 국가종합전자

- -

조달시스템(나라장터)을 통해 제출한 제안서는 임시저장 시점에서 해당 파일이 암호화되므로
다운로드 및 확인이 불가능합니다. 단, 최종제출 전(작성 중 또는 임시저장 상태)에서는 첨
부파일을 교체하여 재등록할 수 있습니다.
제안사는 제안서 파일 업로드(파일 추가) 전에 파일의 정상여부를 반드시 확인하여 주시기
바라며, 파일의 정상여부 미확인으로 발생되는 모든 책임은 입찰참가자에게 있습니다.
최종 제출 이후에는 규격 기술
(기술)입찰서 제출내역 수정 및 제안서 다운로드 불가능

규격 기술
(기술)입찰서 제출 마감일시에 임박하여 규격 기술
(기술)입찰서를 제출할 경우 시스템 부하
등으로 규격 기술
(기술)입찰서 제출이 원활하지 않을 수 있으니, 가급적 규격 기술
(기술)입찰서 제출
마감일 전일까지 제출하시기 바랍니다.

국가종합전자조달시스템(나라장터)를 통해 제출하는 규격 기술
(기술)입찰서류 일체는 PDF 파일

형식으로 제출하여야 하며, 총 용량은 300MB를 초과할 수 없습니다.
국가종합전자조달시스템(나라장터)을 통해 제출할 시 규격 기술
(기술)입찰서를 정성제안서로

나머지 서류들을 기타로 표기하셔서 제출하여 주십시오.
국가종합전자조달시스템(나라장터)를 통해 제출된 규격 기술
(기술)입찰서를 기준으로 제출 여부
를 판단함으로 규격 기술 입찰서
(기술)입찰서(전자파일)가 제출마감일시까지 국가종합전자조달시스템
(나라장터) 서버에 수신되지 않은 경우와 첨부 파일에 하자가 있어 내용을 확인할 수 없는
나라장터
경우에는 제출하지 아니한 것으로 간주하며, 규격 기술
(기술)입찰서 미제출 시 입찰 무효처리 됩

니다.
「전자조달의 이용 및 촉진에 관한 법률」 제11조제4항 및 같은 법 시행령 제 조제
5조제6항을

준용하여 처리합니다.
입찰자는 발주기관에서 규격평가 시 서류가 미흡하거나 보완 등이 필요하여 요청할 경우,
추가서류를 제출하여야 합니다.

5. 입찰보증금 납부 및 귀속
○

○

입찰자가 아래에 해당하는 경우에는 입찰금액의 100분의 이상
5이상(「국가계약법 시행령」제37조
제1항 단서조항에 따른 기획재정부장관이 기간을 정하여 고시한 경우에는 1천분의 25 이상)의
입찰보증금을 납부 하여야 합니다.
신용정보관리규약에 의한 채무불이행 또는 금융질서 문란자
입찰공고일 이전 1년 이내 「국가계약법 시행령」 제 조제
76조제2항제2호가목의 사유로 입찰참가자
격 제한을 받은 자(입찰참가자격 제한 기간 중인 경우를 포함한다)
(납부기한 및 장소) 입찰보증금은 반드시 입찰서 제출마감일 전일(공휴일인 경우 그 전일)

○

18:00까지 현금 또는 보증서 등으로 납부 하여야 합니다.
(납부면제) 위 사항을 제외하고는 이 입찰에서 입찰보증금의 납부는 면제하되, 입찰보증금
납부면제

○
○

지급각서를 제출하여야 합니다.
(입찰보증금 지급각서 제출방법) 전자입찰 시 정해진 서식에 따라 송신한 입찰서로 대신합니다.
(국고귀속 등) 낙찰자가 정해진 기일 내에 계약을 체결하지 아니한 경우, 입찰보증금은

「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」 제38조에 따라 국고에 귀속됩니다.
○ 계약보증금 및 하자보수보증금

계약보증금은 「국가를 당사자로하는 계약에 관한 법률 시행령」 제 조

50조(계약보증금), 하자
보증금은 「조달청 내자구매업무 처리규정」 제 조
59조(하자보수 보증금)의 적용을 받습니다.
◐ 계약보증금
제 조
50조(계약보증금) ① 계약담당공무원은 법 제12조에 따른 계약보증금을 계약금액의 100분의
10이상으로 납부하게 해야 한다. (단, 단서조항에 의하여 기재부장관이 기간을 정하여 고시한
경우에는 100분의 5이상)
◐ 하자보수보증금
제 조
59조(하자보수 보증금) ① 계약담당과장은 물품 및 용역의 특성상 하자보수보증이 필요하다고
인정되는 경우에는 물품(용역)별 하자담보 책임기간을 정하고 계약상대자로 하여금 물품의 경우
계약금액의 100분의 5, 용역의 경우 계약금액의
100분의2(「국가계약법 시행규칙」제72조제1
분의
항 및 「지방계약법시행규칙」제70조제1항에서 정한 경우에는 그 금액)에 해당하는 하자보수
보증금을 납부하게 할 수 있다. 다만, 「국가계약법 시행령」제62조제4항 또는「지방계약법 시행령」
제 조제
71조제4항에 따라 하자보수보증금 전부 또는 일부를 면제할 수 있다. 이 경우 하자보수보증금
지급각서를 제출하게 하여야 한다.

6. 낙찰자 결정방법
○

규격적격자 중 예정가격 이하 최저가 입찰자를 낙찰자로 선정합니다.

○ ○ ○

○
○

2인 이상 유효한 입찰이 성립한 경우 규격입찰서 심사결과 적격자가 1인인 경우에도 규격
적격자의 가격입찰서를 개찰하여 낙찰자를 선정합니다.
개찰결과 동일가격으로 입찰한 자가 2인 이상인 경우에는 규격 또는 기술우위자를 낙찰자로
결정하며, 규격 또는 기술평가 결과도 같은 때에는 「국가종합전자조달시스템 전자입찰특별유의서」
제15조에 따라 국가종합전자조달시스템 상에서 자동으로 추첨하는 방식을 적용합니다.
이 입찰이 2인 이상의 유효한 입찰자가 없거나 낙찰자가 없을 경우 재입찰 혹은 재공고입찰에
부칠 수 있으니 국가종합전자조달시스템(나라장터)에서 개찰 결과를 확인 후 공고된 일정에
따라 재입찰 혹은 투찰하시기 바랍니다.
계약담당자는 제출서류에 대한 적정성 여부를 개찰 이후에도 판정할 수 있습니다.
이 입찰의 예정가격은 기초금액의 ± 2% 범위 내에서 생성되는 15개의 복수예비가격 중
4개를 추첨하여 산술평균한 가격으로 결정되며, 예비가격 산출을 위한 기초금액은 전자입찰서
접수시작일 전일까지 국가종합전자조달시스템(http://www.g2b.go.kr)에 공개합니다.

7. 부당이득 환수에 관한 사항
1) 낙찰자는 “입찰, 계약체결, 계약이행 등의 과정(준공·납품 이후를 포함한다.)에서 「물품구매
(제조)계약 특수조건」 제12조 제1항 각 호의 어느 하나에 해당하는 부정한 행위를 하는 경
제조
우, 동 조건 별표
[별표1]의 기준에 따른 금액을 연구원에 지급한다”는 내용의 확약서(붙임서식
참조)를 계약 체결 시 제출하여야 합니다.
2) 계약상대자는 계약체결 이후 입찰, 계약체결, 계약이행 등의 과정(준공·납품 이후를 포함한
다.)에서 「물품구매(제조)계약 특수조건」 제12조 제1항 각 호의 어느 하나에 해당하는 부정
한 행위를 하는 경우 동 조건 제12조 및 상기 제출한 확약서에 따라 동 조건 의 기준에
따른 금액을 연구원에 지급하여야 합니다
[「물품구매(제조)계약 특수조건」 제12조 제1항 각 호의 부정한 행위]
「물품구매
1.허위 서류, 위조․변조 또는 기타 부정한 방법으로 서류를 제출하는 행위
2.계약 시 정한 직접생산기준을 위반하여 납품하는 행위
3.원산지를 거짓으로 표시하여 납품하는 행위
4.계약규격과 상이한 제품을 납품하는 행위
5.계약 시 정한 우대가격 유지의무를 위반하는 행위
6.제 조제
12조제1항제6호에 따른 직접이행의무를 위반하는 행위
7.제 조제
12조제1항제7호에 따른 브로커의 불공정행위에 개입하는 행위
8.기타 관련 법령, 계약규정 또는 계약조건 위반 등으로 인해 공정한 조달질서를 훼손한 행위

8. 입찰 참가자 유의사항
○

입찰에 참가하고자 하는 자는 국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정, 국가종합전자
조달시스템 전자입찰특별유의서, 조달청전자입찰시스템이용약관, 물품구매 제조
(제조)입찰유의서,
물품구매 제조
(제조)계약일반조건, 물품구매 제조
(제조)계약특수조건, 청렴계약입찰특별유의서, 물품규격 등
입찰에 필요한 모든 사항을 입찰 전에 숙지하여야 하며 숙지하지 못하여 발생되는 모든 책임은
입찰참가자에게 있습니다.

○

본 입찰에 참가하고자 하는 자는 청렴계약이행을 위한 입찰특별유의서 및 청렴 계약특수조건을 숙지하고
입찰에 응하여야 하며 입찰서를 제출한 자는 청렴계약 이행각서를 제출한 것으로 간주 합니다.

○

「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」 제39조제4항, 「같은 법 시행규칙」
제44조 및 「 계약예규 물품구매
(계약예규)물품구매(제조)입찰유의서」 제12조에 해당되는 입찰은 무효입니다.

○

입찰참가자격등록증상의 상호 및 대표자(대표자가 다수인 경우 대표자 전원의 성명을 모두 등
재, 각자 대표도 해당)가 법인등기부등본상(개인인 경우 사업자등록증)의 상호, 대표자와 다른
경우에는 입찰참가자격등록증을 변경등록하고 입찰에 참여하여야 하며, 변경 등록하지 않고 참
여한 입찰은 무효입찰임을 알려드리오니 주의하시기 바랍니다.(공동수급 구성원 전원 해당)

○

입찰참가자격의 판단기준일은 입찰참가자격등록 마감일(기준일이 정해져 있는 경우에는
해당일)이며 마감일(일시가 정해져 있는 경우에는 해당일시)까지 참가자격을 갖추지 않은
경우 무효입찰임을 알려드리오니 주의하시기 바랍니다.

○

「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행규칙」 제44조 및 「 계약예규
(계약예규)물품구매(제조) 입
찰유의서」 제12조에 정한 입찰무효 해당여부 확인을 위하여 등록정보 확인을 위한 서류(법
인등기부등본, 사업자등록증, 입찰대리인임을 확인할 수 있는 서류, 관련되는 면허 등을 증

○

명하는 서류 등)를 요청하는 경우, 낙찰대상자는 관계서류를 발주기관으로 제출하여야 합니다.
입찰자 또는 계약상대자는「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」 제5조의3 등 관계
법령에 위반되는 경우 해당 입찰·낙찰이 취소되거나 계약이 해지·해제될 수 있고, 입찰참
가자격 제한대상에 해당되는 경우 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」 제27조

○ ○

등 관계법령에 따라 부정당업자로 입찰참가자격 제한처분을 받을 수 있습니다.
제출한 서류가 허위 또는 부정한 방법으로 작성(제출)된 사실이 확인된 경우 혹은「국가를 당
사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」제 조제 항제 호
27조제1항제2호·제3호·제5호·제7호 및 동법 제76조제2
항 제1호 가목에 해당하는 경우에는 관련법규에 따라 계약해지, 부정당업자제재 등의 처
분을 받을 수 있습니다.
계약담당자는 위반행위를 확인하기 위하여 입찰자 또는 계약상대자에게 관련 자료제출을
요청할 수 있으며, 입찰자 또는 계약상대자는 특별한 사정이 없는 한 적극 협조하여야 합니다.
전자입찰참가자는 전산장애 등의 사유로 인하여 전자입찰등록 및 투찰이 곤란한 경우에는 투찰

○ ○ ○

시간 마감 24시간이전에 조달청 전자조달 콜센터 ☎
(☎1588-0800)에 문의하여 주시기바라며, 장애
발생에도 불구하고 문의를 하지 않아 발생하는 모든 책임은 입찰참가자에게 있습니다.
이 입찰은 국가종합전자조달시스템 전자입찰 특별유의서 제7조에 따른 신원확인 입찰이
적용되며, 국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정 제 조제
2조제1항제16호에 따른 개인
인증수단을 이용(공동인증서 제외)하여 신원을 확인받은 후 입찰에 참여하여야 합니다.
낙찰업체는 우리연구원 전자구매시스템(http://ebid.kier.re.kr)을 통하여 계약을 체결해야합
니다.「(계약예규) 물품구매 제조 입찰유의서」
(제조)입찰유의서」((기획재정부계약예규 제760호, 시2026.1.2.)
제17조에 따라 낙찰자는 낙찰일로부터 10일 이내에 계약을 체결해야 합니다.
낙찰자가 계약을 체결하지 아니하였을 때에는 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 제9조
및 동법 시행령 제38조에 의거 입찰보증금은 우리연구원에 귀속됩니다.

2026년 9월 30일

한국에너지기술연구원장
우리연구원은 불공정행위, 부당한요구 등 부패행위의 근절을 위하여 신고제도(부정비리
신고센터-연구원 홈페이지 하단참조)를 운영하고 있습니다. 관련 신고건에 대하여
는 제반법률에 의거 신분보호조치가 적용됨을(허위신고 제외) 알려드립니다.

청렴계약 특수조건
제 조
1조(목적) 이 청렴계약 특수조건은 한국에너지기술연구원과 계약상대자가 체결하는 공
사 용역
,용역,물품 구매계약에 있어 계약일반조건외에 청렴계약을 위한 내용을 특별히 규정함을
목적으로 한다.
제 조
2조(청렴계약이행 준수의무) ① 공사 물품
,물품,용역 등의 계약에서 계약 상대자는 계약체결
및 이행과 관련하여 어떠한 명분으로도 관계직원에게 직,간접적으로 금품,향응 등(친인척
등에 대한 부정한 취업 제공 포함)의 부당한 이익을 공하여서는 아니 된다.
제 조
3조(부정당업자의 입찰참가자격 제한) ① 입찰에 참가하는 자가 입찰가격이나 정인의
낙찰을 위하여 담합 등 불공정 행위를 하였을 때에는 다음 각 호의 1에서 정하는 바에 의
하여 한국에너지기술연구원에서 시행하는 입찰에 참가 제한을 받게 된다.
1. 경쟁 입찰에 있어서 특정인의 낙찰을 위하여 담합을 주도한 자는 입찰참가 자격 제
한 처분을 받은 날로부터 1년 이상 2년 이하의 기간 동안 입찰에 참가하지 못한다.
2. 경쟁입찰에 있어서 입찰가격을 서로 상의하여 미리 입찰가격협정을 하거나 정인의
낙찰을 위하여 담합한 경우에는 입찰참가자격 제한 처분을 받은 날로부터 6월 동안
입찰에 참가하지 못한다.
② 입찰,낙찰 및 계약체결 또는 계약이행 과정에서 관계직원에게 직,간접적으로 금품, 향
응 등(친인척 등에 대한 부정한 취업 제공 포함)의 부당한 이익을 제공하지 않으며, 이를
위반하였을 때에는 입찰참가자격제한 처분을 받은 날로부터 3월 이상 2년 이하의 기간 동
안입찰참가 제한을 받게 된다.
제 조
4조(계약해지등) ① 입찰,수의시담, 계약체결 및 계약이행과 관련하여 관계직원에게 금
품, 향응 등(친인척 등에 대한 부정한 취업 제공 포함)을 제공한 자는 다음 각의 1에서 정
하는 바에 의하여 당해 계약에 대한 조치를 받는다.
1. 계약체결 이후 착공전의 경우에는 당해 계약을 해제한다. 다만, 사업수행 상 부득이
한 경우에는 그러하지 아니할 수 있다.
2. 계약이행 이후에는 계약의 전부 또는 일부를 해제 또는 해지한다. 다만, 계약 대상물
의 성격, 진도, 규모, 이행기간 등을 감안하여 부득이한 경우에는 그러하지 아니할
수 있다.
3. 계약상대자는 제1호 내지 제2호의 규정에 의한 한국에너지기술연구원의 처리에 대하
여 민,형사상 일체 이의를 제기하지 않는다.
제 조
5조(기타사항) ①계약 상대 업체의 임 직원
.직원(하도급업체 포함)과 대리인이 관계직원에게
뇌물을 제공하거나 담합 등 불공정 행위를 하지 않도록 하는 업체윤리강령과 내부비리 제
보자에 대하여도 일체의 불이익 처분을 하지 않는 사규를 제정하도록 적극 노력한다.

확 약 서

본 입찰 및 계약에 참여한 당사 대리인과 임직원은 계약 체결ㆍ이행 등의 과정(준공ㆍ납품 이후를 포함한
다)에서 「물품 구매(제조)계약 특수조건」 제12조제1항 각 호의 어느 하나에 해당하는 부정한 행위를 한 경우
에는 동 조건 별표
[별표1]의 기준에 따른 금액을 연구원에 납부할 것을 확약합니다.

<「물품 구매(제조)계약 특수조건」 제12조에 따른 환수 내용 >
불공정행위 유형

산정 기준
다음의 금액 중 가장 높은 금액
가.계약금액에 평균 영업이익률*을 곱한 금액

1. 허위 서류, 위조ㆍ변조 또는

*평균 영업이익률: 납품을 개시한 년도부터 납품이 종료한 년도까지 연도별 손익계산서 영업

기타 부정한 방법으로 서류를 이익률의 평균 제출하는 행위

나.계약금액에 100분의 10을 곱한 금액
다.허위 가격자료 등을 제출하여 고가로 계약한 경우에는 납품금액과 실제거래금액과의 차액

계약 시 정한 직접생산기준을
위반하여 납품하는 행위

직접생산기준을 위반하여 납품금액의 15%
(단, 물품대금에서 비용(이윤 제외)을 공제한 금액이 더 적다는 증빙자료를 제출한 경우에는 그
금액으로 감액할 수 있음

원산지를 거짓으로 표시하여
납품하는 행위

원산지를 거짓으로 표시하여 납품금액의 15%
(단, 물품대금에서 비용(이윤 제외)을 공제한 금액이 더 적다는 증빙자료를 제출한 경우에는 그
금액으로 감액할 수 있음)

계약규격과 상이한 제품을 납
품하는 행위

계약규격과 상이한 제품에 대한 물품대금. 단, 계약의 목적달성에 영향이 없고, 계약상대자가 계
약을 위반하여 납품한 물품의 공급비용(이윤을 포함한다)을 입증한 경우에는 이를 공제한다.

5. 계약 시 정한 우대가격 유지의 계약단가*에서 시장공급 물품단가의 차액에 납품수량을 곱한 금액
무를 위반하는 행위
(단, 가격 유지의무를 위반하기 이전에 이행이 완료된 수량과 물품구매(제조)계약 추가특수조건
제23조의2 제3항에 따라 계약단가를 인하한 이후에 이행이 완료된 수량은 제외)
*할인행사를 실시하여 할인된 단가가 시장공급 물품단가를 초과한 경우, 해당 계약단가는 할인단
가를 적용

제 조제
12조제1항제6호에 따른 직
접이행의무를 위반하는 행위

계약금액의 100분의 10에 해당하는 금액 7.

제 조제
12조제1항제7호에 따른 브
로커의 불공정행위에 개입하
는 행위

계약금액의 100분의 10에 해당하는 금액 8.

기타 관련 법령, 계약규정 또
는 계약조건 위반 등으로 인
해 공정한 조달질서를 훼손한
행위

계약금액에 평균 영업이익률*을 곱한 금액 또는 계약금액의 10% 중 더 높은 금액
*평균 영업이익률: 납품을 개시한 년도부터 납품이 종료한 년도까지 연도별 손익계산서 영업이익
률의 평균

※ 상세 내용은 「물품 구매 제조
(제조)계약 특수조건」 제12조 참고
년
서약자 ○○○○○회사(사업자번호

월

일.
) 대표 ○○○ (인)

한국에너지기술연구원장 귀하

직접이행의무 확약서
◻ 계약번호 :
◻ 계약건명 :
◻ 계약금액 :
본 공급계약을 체결하는 당사는 아래 내용의 「물품구매(제조)계약 특수조건」 제7조의3에 따른 직접이행의무를 준수
하고, 위반 시 불이익처분에 동의함을 확약합니다.
제 조의
7조의3(직접이행의무) ① 공급계약을 체결한 계약상대자는 당사자의 책임 하에 제조자(업체) 또는 공급자(업체)
선정․관리 등 계약상의 모든 의무를 직접 이행하여야 한다.
선정관리
② 계약상대자의 다음 각 호의 어느 하나에 해당하는 행위는 제1항의 직접이행의무를 회피하는 행위로 간주한다.
다만, 연구원의 사전 승인을 받은 경우에는 그러하지 아니한다.
1. 브로커와 체결한 협약 등에 의해 입찰에 참여하거나, 계약 후 계약대금의 일부를 지급·보장받는 조건으로, 제
조업체 또는 공급업체 선정·관리 등 계약상대자로서의 직접이행의무 전부 또는 일부를 브로커 등 제3자에 전
가한 경우
2. 채권양도 승인규정(조달청 훈령)을 준수하지 않고, 계약이행이 완료되지 않은 채권을 연구원의 사전승인 없이
브로커가 지정한 계좌 등을 통해 제3자에게 양도하였거나 배분할 것을 사전 약정한 경우
3. 계약이행 완료 이전 또는 이후에 직접이행의무 위반행위를 확인하기 위해 연구원이 계약이행 관련 추가서류제
출, 현장조사 및 심의회 참석 등을 통보하였으나 계약상대자가 협조하지 아니한 경우
③ 계약상대자가 직접이행의무를 준수하지 아니한 경우 계약담당자는 아래의 불이익 처분을 실시할 수 있다.

1. 국가계약법 제 조
12조(지방계약법 제15조) 등에 따른 계약보증금 연구원 귀속조치
2. 국가계약법시행령 제 조
75조(지방계약법 제30조의2) 등에 따른 계약의 해제 또는 해지
3. 국가계약법 제 조
27조(지방계약법 제31조) 등에 따른 부정당업자의 입찰참가자격 제한
4. 계약이행 완료 이후 위반사실을 확인한 경우에는 동 특수조건 제 조
12조(환수) 및 별표
[별표1] 제6호에 따라 계약금
액의 100분의 10에 해당하는 금액 환수

년
서약자 ○○○○○회사(사업자번호

월 일 ) 대표 ○○○ (인) 한국에너지기술연구원장 귀하

브로커의 불공정행위에 대한 개입금지 의무 준수 확약서
◻ 계약번호 :
◻ 계약건명 :
◻ 계약금액 :

본 공급계약을 체결하는 당사는 아래 내용의「물품구매(제조)계약 특수조건」제26조의5에 따른 브로커의 불공정행위
에 대한 개입금지 의무를 준수하고, 위반 시 불이익처분에 동의함을 확약합니다.
제 조의
26조의5(브로커의 불공정행위에 대한 계약상대자의 개입 금지 의무) ① 계약상대자는 제26조의4에 따른 브로커
의
① 불공정행위에 개입하거나 협조하지 아니하여야 한다.
② 계약상대자는 계약담당자가 제1항의 준수여부를 확인하기 위하여 관련 자료제출, 현장조사 및 심의회 참석
등을 요청하는 경우 이에 협조하여야 한다.
③ 계약상대자가 제1항 또는 제2항을 위반한 것으로 확인될 경우 계약담당는 아래의 불이익 처분을 실시할 수
있다.
1. 국가계약법시행령 제 조
75조(지방계약법 제30조의2) 등에 따른 계약의 해제 또는 해지
2. 국가계약법 제 조
12조(지방계약법 제15조) 등에 따른 계약보증금 연구원 귀속조치
3. 국가계약법 제 조
27조(지방계약법 제31조) 등에 따른 부정당업자의 입찰참가자격 제한
4. 계약이행 완료 이후 위반사실을 확인한 경우에는 동 특수조건 제 조
12조(환수) 및 별표
[별표1] 제7호에 따라 계약금
액의 100분의 10에 해당하는 금액 환수

년
서약자 ○○○○○회사(사업자번호

월 일 ) 대표 ○○○ (인) 한국에너지기술연구원장 귀하

===== 2. 규격서.hwp =====
구매규격서

세부품명번호 품 명 Description 단위 Unit 수량 Q'ty 2399039801

건식기반 탠덤 태양전지용 중간층 저손상 증착장비

대 1 1. 개 요

가. 품
명 : 건식기반 탠덤 태양전지용 중간층 저손상 증착장비

나. 도입목적

１）본 장비는 건식기반 대면적(M10 크기 이상) 실리콘/페로브스카이트 탠덤 태양전지 제작 공정에 필수적인 핵심 설비로 도입됨.

２）실리콘 하부셀과 페로브스카이트 상부셀을 물리적·전기적으로 안정적으로 연결하는 TCO 중간층(Recombination layer) 및 최상부 TCO 전극(ITO, IZO)을 저손상，고품질로 증착하는 데 목적이 있음.

３）초고진공 상태에서 균일도 오차 범위 5% 미만의 정밀한 대면적 박막 증착을 수행함으로써, 탠덤 소자 내 원활한 에너지 레벨 정렬(Energy level alignment)을 유도，직렬 저항 최소화 및 광투과도 최대화를 통한 차세대 탠덤 고효율 태양전지 최적화 연구를 성공적으로 수행하고자 함.

다. 납품위치

한국에너지기술연구원 태양광기업공동활용연구센터 １층 실험실 102호

라. 납품기한 계약일로부터 210일 마. 기타 2. 장비개요 가. 장비특성 1) 대면적 공정 지원:

최대 Φ300mm 크기의 기판(Substrate) 공정 가능 및 경사 스퍼터링(Oblique Sputtering) 증착 방식.

2) 고품질 박막 증착:

기판 내 및 기판 간 두께 균일도(Thickness uniformity) <± 5% 유지 (9 Point, 측정 기준).

3) 초고진공 및 높은 기밀성:

로드락 챔버 도달 진공도: 5.0E-2 Torr 이하, 공정 챔버 도달 진공도(Ultimate Pressure): 2.0E-7 Torr 이하, 기본 진공도(Base Pressure): < 8.0E-8 Torr, 누설률(Leak rate) < 1.0x10E-8 std cc/sec를 유지하여 고순도 공정 환경 제공.

4) 정밀 제어 기구:

기판 냉각 페데스탈(Substrate cooling pedestal) 및 상하 구동 기구(Target to substrate distance 최대 300mm), 회전 구동(Rotation ass'y)을 통한 정밀한 기판 위치 제어 및 효율적인 냉각 테이블(Cool Table) 구성 (기판 가열 없음).

5) 스마트 통신 연동:

SECS/GEM 통신 지원으로 호스트(HOST) 시스템이 장비의 동작을 실시간으로 제어하고 모니터링 가능.

나. 구성품목

1) 단일 기판 로드락 모듈 (Single Substrate Loadlock Module):

－단일 기판 챔버, 이송 로봇, 건식 펌프, 게이트 밸브 등

2) 공정 모듈 (Process Module):

－공정 챔버 (ITO, IZO), 10인치 회전 마그네트론 스퍼터링 캐소드 2세트, 크라이오 펌프 (He 압축기 포함), 자동 압력 제어, 기판 냉각 페데스탈 등

3) 시스템 제어 및 전원부 (System Control & Power):

2.0 kW RF 전원 공급 장치 2세트(M/N 포함), 시스템 제어 소프트웨어, PC 및 19인치 모니터, 다중 진공 게이지 제어기 등 기타: 가스 라인 (Ar, O2, N2), 예비 부품 (챔버 쉴드, O-링 키트), 매뉴얼 등

다. 상세규격

1) 로드락 모듈 (Loadlock Module)

－ 단일 기판(Single Substrate) 챔버 어셈블리 및 도어 어셈블리

－ 자동 기판 이송을 위한 이송 로봇(Transfer robot) 탑재

－ 로드락 전용 건식 펌프(Dry pump) 및 진공 배기 라인(Pumping line) 구성

－ 게이트 밸브(Gate valve), 고진공 밸브(High vacuum valve) 및 벨로우즈 씰 알루미늄 블록 밸브 장착

－ 진공 게이지 및 내부 확인을 위한 뷰 포트(View port) 포함

－ 모듈 제어 박스(Module control box) 및 씰/하드웨어 키트 제공

2) 공정 모듈 (Process Module)

－ 대면적(최대 Φ300mm) 기판 공정이 가능한 공정 챔버 어셈블리

(ITO,IZO，NiOx 증착목적)

－기판 냉각 페데스탈 어셈블리(Substrate cooling pedestal ass'y) 및 상판 리프트 어셈블

정밀 기판 위치 제어를 위한 회전(Rotation) 및 상하 구동(Up/down) 어셈블리 (타겟-기판 간 거리 최대 300mm 조절 가능)

파티클 최소화를 위한 저파티클 쉴드(Low particle shield) 및 자성유체 진공 피드스루 장착

3) 스퍼터링 소스 (Sputtering Source)

10인치 회전 마그네트론 스퍼터링 캐소드(Rotation magnetron sputtering cathode) 2세트 탑재

타겟 규격: Φ10인치 x 1/4인치 두께 사이즈 지원

4) 진공 배기 및 압력 제어 시스템

고진공 배기용 헬륨 압축기(He compressor) 포함 크라이오 펌프(Cryo pump) 탑재

저진공 배기용 건식 펌프(Dry pump) 구성

스로틀 밸브를 통한 자동 압력 제어(Auto pressure control) 시스템 탑재 (최대 50mTorr)

다중 진공 게이지(Multi vacuum gauge) 및 절대 압력 변환기 포함

5) 전원 공급 장치 (Power Supply)

2.0 kW급 RF 전원 공급 장치(RF power supply) 2세트 탑재

자동 임피던스 매칭을 위한 매칭 네트워크(M/N) 포함

전력 분배 모듈(Power distribution module) 구성

6) 가스 공급 시스템

Ar, O2, N2 가스 정밀 제어를 위한 질량 유량 제어기(Mass flow controller) 3개 탑재

가스 라인 어셈블리 및 에어, 냉각수, N2 퍼지를 위한 유틸리티 라인 포함

7) 시스템 제어 및 인터페이스

메인 프레임 어셈블리 및 전자 장비 랙(Electronics rack) 구성

PC 및 19인치 모니터, 전용 시스템 제어 소프트웨어 탑재

펌프 컨트롤러 및 스로틀 밸브 컨트롤러 통합 구성

호스트 시스템과의 실시간 연동을 위한 SECS/GEM 통신 인터페이스 지원

8) 기타 구성 및 서비스

예비 부품(Spare parts): 챔버 쉴드, O-ring 키트, 피라니 게이지 제공

매뉴얼: 장비 작동, 유지보수, OEM 매뉴얼 2세트 제공

교육: 제조사 교육 시설에서 2인 대상 1주일 유지보수 전문 교육 제공

- 장비 설치 및 시운전 지원

장비 납품 후 1년 무상 보증(Warranty) 제공 (소모품 제외)

9) 상세요건

본 장비는 M10 크기 이상의 탠덤 태양전지 제작을 위한 TCO(ITO, IZO) 중간층 및 탠덤 TCO 상부 박막 공정 효율을 극대화할 수 있어야 하며, 다음의 조건을 만족해야 한다.

가) 공정 유연성 및 정밀 제어: 최대 Φ300mm 크기의 대면적 기판을 지원해야 하며, 타겟과 기판 사이의 거리를 최대 300mm까지 가변할 수 있는 상하 구동(Up/down) 및 회전(Rotation) 기능을 통해 균일한 박막 증착이 가능해야 한다.

나) 고진공 및 안정적 압력 유지: 크라이오 펌프(He compressor 포함) 및 건식 펌프 기반의 배기 시스템을 구축하여 고순도 진공 환경을 조성해야 하며, 스로틀 밸브를 이용한 자동 압력 제어(최대 50mTorr) 및 3채널 MFC(Ar, O2, N2)를 통해 정밀한 공정 가스 분위기를 유지해야 한다.

다) 시스템 제어 및 자동화: PC 기반의 전용 시스템 제어 소프트웨어를 통해 장비의 전반적인 구동 및 모니터링이 직관적으로 이루어져야 하며, 스마트 통신 연동을 위한 SECS/GEM 통신 인터페이스를 완벽하게 지원해야 한다.

라) 부대 조건: 증착 공정에 필요한 스퍼터링 타겟(Target) 물질과 2차 유틸리티(전력, 냉각수, 압축공기 등)는 장비 도입 시 자체적으로 제공하여 구성에 차질이 없어야 한다

3. 계약이행 조건 가. 계약이행

1) 본 장비는 기능수행에 이상이 없도록 납품 및 설치되어야 한다.

2) 계약상대자는 연구원의 지시에 따라 규격서 등을 사전에 충분히 검토 후 성실히 수행하여야 하며 관련 법령을 준수해야 한다.

3) 계약상대자는 설계변경 등 시방서에 기재된 제작 내용의 조정이 필요한 사항에 대해서는 연구원의 승인 및 국가계약법, 계약예규 등 관련 법령에 의거하여 처리한다.

4) 계약상대자는 그 외 경미한 사항의 수정에 대해 연구원이 요청하는 경우 이에 성실히 응하여야 한다.

5) 계약기간 및 계약금액 등 계약사항의 조정 및 기타 명시되지 않은 사항에 대해서는 상호협의 후 발주자의 서면승인을 받아 진행하여야 하며 관련 법령에 따라 처리한다.

나. 납품(검수 및 검사)

1) 계약상대자는 납품기한 내 연구원의 검수절차를 완료하여야 한다.

2) 계약상대자는 검수 완료 후 납품장소에 장비를 납품(설치)하고 검사자(발주자)의 입회하에 제반 성능조건을 테스트하여야 한다.

3) 납품과 관련하여 발생하는 비용은 계약상대자가 부담한다.

4) 연구원은 검수·검사에 있어서 계약상대자의 계약이행내용의 전부 또는 일부가 계약에 위반되거나 부당함을 발견한 때에는 필요한 시정조치를 할 수 있다.

5) 검수/검사 및 시정조치 등에 관련된 비용은 계약상대자가 부담한다.

다. 하자보증

1) 하자이행과 관련된 사항은 국가계약법 및 관련 법규에 따른다.

라. 안전/보안 법령 준수

1) 계약상대자는 「공공기관의 안전관리에 관한 지침」제3조제4항에 의거하여 계약을 체결하여 이행함에 있어 「산업안전보건법」,「시설물의 안전 및 유지관리에 관한 특별법」,「재난 및 안전관리 기본법」 등 안전 관련 법령을 준수하고 안전사고 예방을 위하여 노력하여야 한다.

2) 계약상대자는 연구원의 보안업무규정을 준수하여야 하며, 연구원으로부터 보안과 관련되는 요구사항이 있을 시 이에 따라야 한다.

3) 계약상대자는 과업을 수행함에 있어 제3자의 권리로 되어 있는 지식재산권을 사용할 시 그 권리의 사용에 관한 일체를 책임져야 한다.

마. 기타

===== 3. 규격입찰서.hwp =====
규 격 입 찰 서

※ 규격사항 기재 시 유의사항

① 본 규격입찰서에 기재된 규격사항을 바탕으로 심사가 진행되므로 모든 항목에 대해 상세하게 작성해주시기 바랍니다.

② 미표시 규격이 있을 경우 규격심사 부적격 처리될 수 있습니다.

③ 구매규격서(좌측)와 응찰제품 규격(우측)은 동일한 표기방식으로 작성해주시기 바라며, 단순히 ‘적합/유사’로만 표기한 경우, 서류 미비로 처리될 수 있습니다.

ex) 온도 : 90~100℃ → 적합( x )
온도 : 90~100℃ → 90~100℃ ( o )

④ 응찰제품 규격은 증빙자료에서 확인할 수 있어야 합니다.

⑤ 본 규격입찰서의 서식(글씨체, 글씨크기 등) 변경은 허용되지 않으므로, 본 서식을 그대로 활용하시기 바랍니다.

입찰건명

건식기반 탠덤 태양전지용 중간층 저손상 증착장비

응찰제품 제조사명 모델명 구매규격서 규격사항 응찰제품 규격사항 1. 개요

1) 품
명 : 건식기반 탠덤 태양전지용 중간층 저손상 증착장비

2) 납품위치 : 한국에너지기술연구원 태양광기업공동활용연구센터 １층 실험실 102호

3) 납품기한 : 계약일로부터 210일

4) 기타 : 세부사항은 규격서 및 『국가를당사자로하는계약에관

한법률』 등 관련 법령을 따른다. 2. 도입목적

１）본 장비는 건식기반 대면적(M10 크기 이상) 실리콘/페로브스카이트 탠덤 태양전지 제작 공정에 필수적인 핵심 설비로 도입됨.

3. 장비개요 가. 장비특성 1) 대면적 공정 지원:

최대 Φ300mm 크기의 기판(Substrate) 공정 가능 및 경사 스퍼터링(Oblique Sputtering) 증착 방식.

2) 고품질 박막 증착:

기판 내 및 기판 간 두께 균일도(Thickness uniformity) <± 5% 유지 (9 Point, 측정 기준).

3) 초고진공 및 높은 기밀성:

로드락 챔버 도달 진공도: 5.0E-2 Torr 이하, 공정 챔버 도달 진공도(Ultimate Pressure) 2.0E-7 Torr 이하, 기본 진공도(Base Pressure) < 8.0E-8 Torr, 누설률(Leak rate) < 1.0x10E-8 std cc/sec를 유지하여 고순도 공정 환경 제공.

4) 정밀 제어 기구:

기판 냉각 페데스탈(Substrate cooling pedestal) 및 상하 구동 기구(Target to substrate distance 최대 300mm), 회전 구동(Rotation ass'y)을 통한 정밀한 기판 위치 제어 및 효율적인 냉각 테이블(Cool Table) 구성 (기판 가열 없음).

5) 스마트 통신 연동:

SECS/GEM 통신 지원으로 호스트(HOST) 시스템이 장비의 동작을 실시간으로 제어하고 모니터링 가능.

나. 구성품목

1) 단일 기판 로드락 모듈 (Single Substrate Loadlock Module):

－단일 기판 챔버, 이송 로봇, 건식 펌프, 게이트 밸브 등

2) 공정 모듈 (Process Module):

－공정 챔버 (ITO, IZO), 10인치 회전 마그네트론 스퍼터링 캐소드 2세트, 크라이오 펌프 (He 압축기 포함), 자동 압력 제어, 기판 냉각 페데스탈 등

3) 시스템 제어 및 전원부 (System Control & Power):

2.0 kW RF 전원 공급 장치 2세트 (M/N 포함), 시스템 제어 소프트웨어, PC 및 19인치 모니터, 다중 진공 게이지 제어기 등 기타: 가스 라인 (Ar, O2, N2), 예비 부품 (챔버 쉴드, O-링 키트), 매뉴얼 등

4. 상세규격

1) 로드락 모듈 (Loadlock Module)

－ 단일 기판(Single Substrate) 챔버 어셈블리 및 도어 어셈블리

－ 자동 기판 이송을 위한 이송 로봇(Transfer robot) 탑재

－ 로드락 전용 건식 펌프(Dry pump) 및 진공 배기 라인(Pumping line) 구성

－ 게이트 밸브(Gate valve), 고진공 밸브(High vacuum valve) 및 벨로우즈 씰 알루미늄 블록 밸브 장착

－ 진공 게이지 및 내부 확인을 위한 뷰 포트(View port) 포함

－ 모듈 제어 박스(Module control box) 및 씰/하드웨어 키트 제공

2) 공정 모듈 (Process Module)

－ 대면적(최대 Φ300mm) 기판 공정이 가능한 공정 챔버 어셈블리 (ITO,IZO,NiOx 증착목적)

－기판 냉각 페데스탈 어셈블리(Substrate cooling pedestal ass'y) 및 상판 리프트 어셈블

정밀 기판 위치 제어를 위한 회전(Rotation) 및 상하 구동(Up/down) 어셈블리 (타겟-기판 간 거리 최대 300mm 조절 가능)

파티클 최소화를 위한 저파티클 쉴드(Low particle shield) 및 자성유체 진공 피드스루 장착

3) 스퍼터링 소스 (Sputtering Source)

10인치 회전 마그네트론 스퍼터링 캐소드(Rotation magnetron sputtering cathode) 2세트 탑재

타겟 규격: Φ10인치 x 1/4인치 두께 사이즈 지원

4) 진공 배기 및 압력 제어 시스템

고진공 배기용 헬륨 압축기(He compressor) 포함 크라이오 펌프(Cryo pump) 탑재

저진공 배기용 건식 펌프(Dry pump) 구성

스로틀 밸브를 통한 자동 압력 제어(Auto pressure control) 시스템 탑재 (최대 50mTorr)

다중 진공 게이지(Multi vacuum gauge) 및 절대 압력 변환기 포함

5) 전원 공급 장치 (Power Supply)

2.0 kW급 RF 전원 공급 장치(RF power supply) 2세트 탑재

자동 임피던스 매칭을 위한 매칭 네트워크(M/N) 포함

전력 분배 모듈(Power distribution module) 구성

6) 가스 공급 시스템

Ar, O2, N2 가스 정밀 제어를 위한 질량 유량 제어기(Mass flow controller) 3개 탑재

가스 라인 어셈블리 및 에어, 냉각수, N2 퍼지를 위한 유틸리티 라인 포함

7) 시스템 제어 및 인터페이스

메인 프레임 어셈블리 및 전자 장비 랙(Electronics rack) 구성

PC 및 19인치 모니터, 전용 시스템 제어 소프트웨어 탑재

펌프 컨트롤러 및 스로틀 밸브 컨트롤러 통합 구성

호스트 시스템과의 실시간 연동을 위한 SECS/GEM 통신 인터페이스 지원

8) 기타 구성 및 서비스

예비 부품(Spare parts): 챔버 쉴드, O-ring 키트, 피라니 게이지 제공

매뉴얼: 장비 작동, 유지보수, OEM 매뉴얼 2세트 제공

교육: 제조사 교육 시설에서 2인 대상 1주일 유지보수 전문 교육 제공

- 장비 설치 및 시운전 지원

장비 납품 후 1년 무상 보증(Warranty) 제공 (소모품 제외)

5. 상세요건

6. 하자보증

1) 하자이행과 관련된 사항은 국가계약법 및 관련 법규에 따른다.

본 업체는 구매규격서의 ‘3. 계약이행 조건’의 모든 사항을 확인하였고, 해당 조건에 대해 동의합니다.

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[R26BK01750332] 건식기반 탠덤 태양전지용 중간층 저손상 증착장비

상세 정보

📄 공고문 전문 첨부 「1. 입찰공고문(일반경쟁)_건식기반 탠덤 태양전지용 중간층 저손상 증착장비.pdf」에서 추출 · 원문 파일이 우선합니다

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