[R26BK01758487] 산학협력단 연구개발사업 수행을 위한 시설공사(설비)

===== (붙임1)입찰공고문.pdf =====
공고 제 2026300129 호

입 찰 공 고

1. 입찰에 부치는 사항
가. 입찰건명 : 산학협력단 연구개발사업 수행을 위한 시설공사(설비)
나. 공사현장 : 경기도 성남시 수정구 성남대로 1342
다. 공사기간 : 계약일로부터 45일 이내
라. 사 업 비 : 금92,412,409원(부가세 포함)
2. 경쟁형식 : 제한경쟁입찰
3. 입찰참가자격(다음의 사항을 모두 충족하여야 함)
가. 본 건을 수행하기 위해서 허가·인가·면허·등록·신고 등을 요하거나 자격요건을 갖추어야 할 경우에는
당해허가·인가·면허·등록·신고 등을 받았거나 당해 자격요건에 적합하고, 입찰참가(조달청 나라장터 가
입 포함) 등록을 정해진 기한 내에 완료한 자
나. 공고일 현재 당해 사업에 대한 사업자등록증을 교부받은 자로서 건설산업기본법에 의한 「기계설비·가
스공사업」(주력분야: 기계설비공사) 면허를 보유한 업체
다. 공고일 기준 최근 3년 이내 단일건 9,000만원 이상 “클린룸 설비공사”(※협회 등 실적증명서가 가능하
나 계약명에 명시되지 않은 경우, 반드시 본교 [양식3]실적증명서에 클린룸 설비 공사 금액을 기재하
고 발주처의 날인을 받아 제출하여야 함.) 실적(하도급 및 공동수급 제외)을 보유한 업체 ※실적증명
서 제출(세금계산서 증빙 제출)
라. 현장설명에 참석하고, 입찰에 필요한 구비서류를 제출하여 정해진 기일 내 입찰등록을 필한 업체
마. 입찰공고일 현재 청산, 합병, 매각 등 정리절차 중이거나 계획 중인 업체, 법원에 화의 또는 법정관리
(신청 중)중인 업체, Work-out 대상기업 및 영업정지 업체는 입찰에 참가 할 수 없음
바. 국가를 당사자로 하는 계약에 관한법률 시행령 제76조에 의한 부정당업자는 입찰참가자격을 제한함
4. 입찰일정 및 장소(가천대학교[경기도 성남시 수정구 성남대로 1342])
※ 각각의 모든 절차에 지각시 참여불가. 현장설명 장소(가천관)는 주차장 협소 및 승강기가 복잡하므로 여유있게 도착바람.

구분 현장설명회 입찰등록 마감

입찰
2026.10.22.(목) 10:00

일시 2026.10.13.(화) 10:00

현장설명회 이후 부터
2026.10.20.(화) 10:00까지

*내역서 포함
조달청 나라장터
‘입찰서류 제출 및 현황’에
행추가하여 파일 등록

장소 가천관 1009호 구매팀 가천관 1009호 구매팀 조달청 나라장터 비고 5. 현장설명 참조

6. 입찰등록시
제출서류 참조

전자입찰
개찰: 2026.10.22.(목) 11:00

5. 현장설명 준비서류(미지참시 현장설명 참석 불가)
가. 사업자등록증 사본 1부
나. 건설업등록증 사본 1부
다. 건설업 등록수첩 사본 1부.
라. (사용)인감도장 지참
마. 대표자 인감증명서 원본 제출(법인일 경우 법인인감증명서 원본)

사용인감 사용시 : 대표자 인감증명서(법인일 경우 법인인감증명서), 사용인감계

바. 입찰공고문 및 기타자료는 개별 지참 요망
6. 입찰등록 시 제출서류 : 직접 제출(우편접수 불가)
가. 입찰참가신청서(본 대학 소정[양식1]) 1부.
나. 인감증명서 1부(사용인감 사용시 사용인감계 1부).
다. 법인등기부등본(최근 15일 이내 발행본)(법인에 한함) 1부.
라. 이행(입찰)보증보험증권 5%이상 1부[입찰일(2026.10.22.)포함].

가천대학교 사업자등록번호 129-82-06320

마. 지방세, 국세 납세증명서 각 1부(유효기간이 [입찰일(2026.10.22.)]을 포함).
바. 청렴계약 이행서약서 1부.([양식2]참조)
사. 실적증명서 1부.([양식3]참조)

7. 낙찰자 결정방법
가. 총액입찰(부가세포함)로서 우리 대학이 정한 예정가격 이하 최저가격으로 입찰한 자를 낙찰자로 결정 함.
나. 낙찰 가능한 동일가격으로 입찰한 자가 2인 이상일 경우에는 추첨으로 결정함.
다. 예정가격 이하 입찰자가 없을 시에는 입찰사이트에서 총 3차까지 재입찰을 실시함.
라. 하자보수보증금율은 5/100이며, 하자담보책임기간은 2년 임.
마. 낙찰자는 계약시 인지세법에 의거 계약서 2부에 대한 인지세를 납부하여야 함.
8. 입찰 및 계약 보증금
가. 입찰보증금은 입찰금액의 5/100이상의 이행(입찰)보증보험증권 등(국가를 당사자로 하는 계약에 관한
법률 시행령 제37조 제2항에 따른 보증서)으로 납부하여야 함. 나. 입찰보증금을 초과하여 투찰 시
무효로 처리되며, 응찰자격을 박탈 함.
나. 입찰보증금을 초과하여 투찰 시 무효로 처리되며, 응찰자격을 박탈 함.
다. 낙찰자는 낙찰일로부터 7일 이내에 계약을 체결하여야 함. (낙찰자가 소정 기일(7일) 내에 계약을 체결
하지 아니할 경우 낙찰을 무효로 하며, 입찰보증금은 우리 대학교에 귀속 됨.
라. 계약보증금은 계약금액의 10/100으로 하며, 이행(계약)보증보험증권등(국가를 당사자로 하는 계약에 관
한 법률 시행령 제50조 제7항 및 제37조 제2항에 따른 보증서)으로 납부하여야 함.
9. 입찰의 무효
가. 계약을 이행함에 있어서 부실, 조잡 또는 부당하게 하거나 부정한 행위를 한 자
나. 정당한 이유 없이 계약을 이행 또는 이행하지 아니한 자
다. 경쟁입찰에 있어서 입찰자간에 서로 상의하여 미리 입찰가격을 협정하였거나 특정인의 낙찰을 위하
여 담합한 자
라. 입찰 또는 계약에 관한 서류를 위조, 변조하거나 부정하게 행사한 자 또는 허위서류를 제출한 자
마. 고의로 무효의 입찰을 한 자 또는 입찰참가를 방해한 자
바. 입찰에 필요한 서류의 전부 또는 일부를 제출하지 아니한 자
10. 기타사항
가. 입찰참가자는 현장설명, 서류등록, 입찰의 제반사항(공고문, 시방서, 내역서 등)을 숙지하여야 하며, 이를
숙지하지 못한 책임은 입찰자에게 있음.(각 단계의 일시 및 장소를 반드시 준수하여야 함)
나. 명시된 입찰등록 제출서류 및 현장설명시에 요청한 서류는 반드시 입찰참가등록일 마감시간 전까
지 제출하여야 하며, 내용이 명확하지 않거나 미비한 경우 접수하지 않음. 제출하는 모든 서류는
반환하지 않으며, 원본으로 제출하여야 함(단, 사본이라고 명기한 서류에 한하여 원본대조필 후 사
본으로 제출가능 함).
다. 계약체결 이후라도 제출서류를 위조, 변조, 허위 등 부정한 방법으로 작성한 사실이 있는 경우 당
해계약을 해제 또는 해지할 수 있다.
라. 참여업체는 반드시 현장 확인 후, 과업사항 및 내역서를 참고하여 입찰가격을 산정해야하며, 공사 진행
중 자재 수량 증가 등 내역서의 오류(항목 미포함 등)를 이유로 낙찰금액의 변경을 요구할 수 없다.
마. 입찰금액은 공사/설치/배송/운반/인건비/보험료(고용,산재 등)/석면분담금/임금채권부담금/부가가치
세/환경보전비/산업안전보건관리비 등 제반 법정비용을 모두 적용하여 작성하여야 함.
바. 고용, 산재, 국민연금, 노인장기요양 퇴직공제부금 등의 증빙서류는 당 공사현장명이 기재된 것만
인정하며, 산업안전보건관리비 및 환경보전비 등의 증빙자료는 세금계산서, 거래명세서, 사진(검수
확인서) 등을 첨부하여 정산함.
사. 상기 이외의 사항에 대하여는 본 대학교의 규정 및 관련 법령과 일반 상관례에 의함.
아. 본 입찰에 대하여 공동도급 및 하도급은 허용하지 않음.
자. 중대재해처벌법 및 산업안전보건법 강화 등에 따른 안전에 대한 모든 법적사항을 준수하여 공사를
진행해야 함.
차. 자세한 사항은 현장설명회에서 별도 설명함.
* 문의 : 공사관련 시설운영팀(안중탁 031-750-5295), 입찰관련 구매팀(이현기 031-750-5302)
카. 본 공고는 조달청 나라장터에 공고되며, 모든 입찰진행은 조달청 나라장터에서 진행함.

2026년 10월 06일 가 천 대 학 교 총 무 처 장

===== (붙임2)양식.hwp =====
[양식1]

입찰 참가신청서

＊ 아래사항 중 해당되는 경우에만 기재하시기 바랍니다.

처리기간 즉 시 신 청 인

상
호

사업자등록번호

주
소

전화번호 대 표 자 생년월일 개 요 공고번호 공고 제 2026300129 호 입찰일자 2026년 10월 22일(목) 10:00 입찰건명

산학협력단 연구개발사업 수행을 위한 시설공사(설비)

입 찰 보 증 금

납
부

* 보증금율: 5%

* 보 증 액: 금
원정 (
원 )

* 보증보험증권으로 확인 낙찰 후 계약 미체결 시

본인은 가천대학교 총무처에 낙찰금액에 해당하는 소정의 입찰보증금을 현금으로 납부할 것을 확약합니다.

대 리 인

본 입찰에 관한 일체의 권한을 다음의 자에게 위임합니다.

성
명:

생년월일: 사

용
인

감 본 입찰에 사용할 인감을 다음과 같이 신고 합니다.

대리인 인감:
( 印 )

본인은 위의 번호로 공고한 가천대학교의 제한경쟁입찰에 참가하고자 가천대학교에서 정한 입찰지침서 및 입찰공고사항을 모두 승낙하고 붙임서류를 첨부하여 입찰참가 신청을 합니다.

붙임

가. 입찰참가신청서(본 대학 소정[양식1]) 1부.

나. 인감증명서 1부(사용인감 사용시 사용인감계 1부).

다. 법인등기부등본(최근 15일 이내 발행본)(법인에 한함) 1부.

라. 이행(입찰)보증보험증권 5%이상 1부[입찰일(2026.10.22.)포함].

가천대학교 사업자등록번호 129-82-06320

마. 지방세, 국세 납세증명서 각 1부(유효기간이 [입찰일(2026.10.22.)]을 포함).

바. 청렴계약 이행서약서 1부.([양식2]참조)

사. 실적증명서 1부.([양식3]참조).

202 년
월
일

신청인(대표자) :
(인)

가천대학교 귀중 [양식2] 청렴계약 이행서약서 ▮입찰건명

산학협력단 연구개발사업 수행을 위한 시설공사(설비)

당사는「부패 없는 투명한 기업경영과 공정한 행정」이 사회발전과 국가 경쟁력에 중요한 관건이 됨을 깊이 인식하며, 국제적으로도 OECD뇌물방지 협약이 발효되었고 부패기업 및 국가에 대한 제재가 강화되는 추세에 맞추어 청렴계약 취지에 적극 호응하여 가천대학교에서 발주하는 모든 공사, 물품, 용역 등의 입찰에 참여함에 있어 당사 임직원과 대리인은 아래와 같이 서약합니다.

1.
입찰가격의 유지나 특정인의 낙찰을 위한 담합을 하거나 다른 업체와 협정, 결의, 합의하여 입찰의 자유경쟁을 부당하게 저해하는 일체의 불공정한 행위를 않겠습니다.

▪ 경쟁입찰에 있어서 입찰자간에 서로 상의하여 미리 입찰가격을 협정하거나 특정인의 낙찰을 위하여 담합을 한 사실이 드러날 경우 가천대학교에서 발주하는 입찰에 입찰참가자격제한 처분을 받은 날로부터 1년 이상 2년 이하의 기간 동안 참가하지 않겠으며

▪ 위와 같이 담합 등 불공정행위를 한 사실이 드러날 경우 독점규제 및 공정거래에관한법률에 따라 공정거래위원회에 고발하여 과징금 등을 부과토록 하는데 일체의 이의를 제기하지 않겠으며, 이로 인해 발생되는 가천대학교의 손해액에 대하여 배상할 것을 서약합니다.

2.
입찰, 낙찰, 계약체결 및 계약이행 과정에서 관계 교직원에게 직․간접적으로 금품․향응 등(친인척 등에 대한 부정한 취업 제공 포함)의 부당한 이익을 제공하지 않겠으며, 이를 위반한 사실이 드러날 경우에는 계약체결 이전의 경우에는 낙찰자 결정 취소, 계약이행 전에는 계약취소, 계약이행 이후에는 당해 계약의 전부 또는 일부계약을 해제 또는 해지하여도 감수하겠으며, 민․형사상 이의를 제기하지 않겠습니다.
또한, 가천대학교 및 관련 건의 수요기관이 시행하는 입찰에 입찰참가자격제한 처분을 받은 날로부터 1년 이상 2년 이하의 기간 동안 입찰에 참가하지 않겠으며, 이로 인해 발생되는 가천대학교의 손해액에 대하여 배상할 것을 서약합니다.

3.
회사 임·직원이 관계 교직원에게 금품, 향응 등(친인척 등에 대한 부정한 취업 제공 포함)을 제공하거나 담합 등 불공정 행위를 하지 않도록 하는 회사윤리강령과 내부비리 제보자에 대해서도 일체의 불이익처분을 하지 않는 사규를 제정토록 노력하고 공정한 입찰진행을 방해하는 알선, 청탁, 특정 정보의 요구 등의 부적절한 행위를 하지 않겠습니다.

위 청렴계약 서약은 상호신뢰를 바탕으로 한 약속으로서 반드시 지킬 것이며, 낙찰자로 결정될 시 본 서약내용을 그대로 계약특수조건으로 계약하여 이행하고, 입찰참가자격 제한, 계약해지, 손해배상 청구 등 가천대학교의 조치와 관련하여 당사가 가천대학교를 상대로 손해배상을 청구하거나 당사를 배제하는 입찰에 관하여 민․형사상 어떠한 이의도 제기하지 않을 것을 서약합니다.

202 년
월
일

상
호 :

대 표 자 : (인) 가천대학교 귀중 [양식3] 실 적 증 명 서 신 청 인 업체명(상호) 대 표 자 사업자등록번호 전화번호 영업소재지 증명서용도 입찰참가 제출용 제 출 처 가천대학교 사업의 종류 최근3년 클린룸 설비 공사 실적 계 약 명 계약일자 (년/월/일) 계약기간 공사장소 계약금액 (원) (주계약명) 클린룸 공사 ※계약명에 클린룸 공사가 명시되지 않은 경우 클린룸 설비 공사금액 별도 표기 (별도명기) 증 명 서 발급기관 위 사실을 증명함.

년
월
일

기 관 명 :
(인) (전화번호 :
)

주
소 :
(FAX번호 :
)

※ 계약금액에 대한 세금계산서 제출

※ 주계약에 관한 사항 및 내역서 상 클린룸 설비 공사 금액을 모두 작성하여 제출

※ 클린룸 설비 증빙자료(내역서 등) 제출 [양식4] 사 용 인 감 계 (증명서인감) (사용인감)

위 사용인감은 본인의 사용인감으로서 귀 대학과의 입찰, 계약 등 제반거래와 일체의 행위에 사용하고자 인감증명서를 첨부하여 본 사용인감계를 제출하며, 본 사용인감계를 고의 또는 과실로 위법부당하게 사용함으로서 야기되는 민사 및 형사상 일체의 책임은 본인에게 있음을 서약합니다.

202 년
월
일

주 소 : 상 호 :

대표자 :
(증명서인감 날인)

가천대학교 귀하 사용인감 사용시 사용인감 날인 법인인감 날인 법인인감 날인 ===== (붙임3)내역서.xls =====

[시트: 세부견적(철거재설치)]
A: 세부견적내역 : 가천대학교 첨단 반도체연구소 3층 Fab 설비 이설 및 재 설치 건
A: NO B: 품
명 C: 규
격 D: 단 위 E: 수 량 F: MATERIAL COST H: LABOR COST J: TOTAL K: REMARK
B: (DESCRIPTION) C: (SPECIFICATION) D: (UNIT) E: (QTY) F: 단
가 G: 금
액 H: 단
가 I: 금
액 J: 금
액
A: A B: 설비 철거 및 이동 C:
A: 1) B: 설비 Engineer
A: 2) B: 일반 작업자
A: B B: 설비 재 설치
A: 1) B: 설비 Engineer
A: 2) B: 일반 작업자
A: C B: 폐기물 처리비용
A: D B: 일반 관리비 및 이윤 C: 공구류 일제,식대 및 각종 경비 포함
B: <이설 및 재 설치 대상 장비>
B: 1) SCRUBBER
B: 2) COMPRESSOR
B: 3) 시약장
B: 4) GAS CABINET
B: 5) 신발장
B: 6) CHEMICAL BENCH
B: 7) DRY ETCHER
B: 8) SPUTTER C:
B: 9) GLOVE BOX C:
B: 10) OVEN C:
B: 11) MASK ALIGNER
B: 12) ETC
G:
I:
J:
K:

B: TOTAL G:
I:
J:

[시트: 원가계산서]
A: 공 사 원 가 계 산 서
A: 공사명 : 산학협력단 연구개발사업 수행을 위한 시설공사(설비)
A: 비
목 D: 금
액 E: 구
성
비 F: 비
고
A: 순
공
사
원
가 B: 재
료
비 C: 직 접 재 료 비 D: - E: F:
C: 간 접 재 료 비 D: - E: 직접재료비 * 1.10% F:
C: 작업설, 부산물(△) E: F:
C: [ 소
계 ] D: - E: F:
B: 노
무
비 C: 직 접 노 무 비 D: - E: F:
C: 간 접 노 무 비 D: - E: 직접노무비 *1.10% F:
C: [ 소
계 ] D: - E: F:
B: 경
비 C: 산 재 보 험 료 D: - E: 노무비 * 3.56% F:
C: 고 용 보 험 료 D: - E: 노무비 * 1.01% F:
C: 국민 건강 보험료 D: - E: 직접노무비 * 3.595% F:
C: 국민 연금 보험료 D: - E: 직접노무비 * 4.75% F:
C: 노인장기요양보험료 D: - E: 건강보험료 * 13.14% F:
C: 산업안전보건관리비 D: - E: (재료비+직노)*3.11% * 1.2 F:
C: 석면피해구제분담금 D: - E: 노무비 * 0.006% F:
C: 임금채권부담금 D: - E: 노무비 * 0.09% F:
C: [ 소
계 ] D: - E: F:
A:
계 D: - E: F:
A: 일반관리비 D: - E: 재료비+노무비+경비 *4% F:
A: 이
윤 D: - E: 노무비+경비+일반관리비*12% F:
A: 공 급 가 액 D: - E:
F:
A: 부가가치세 D: - E: 공급가액의*10%
A: 총 공 사 비 D: - E:

[시트: 내역서]
A: 공사명 : 산학협력단 연구개발사업 수행을 위한 시설공사(설비)
A: NO B: 품
명 C: 규
격 D: 단 위 E: 수 량 F: MATERIAL COST H: LABOR COST J: TOTAL K: REMARK
B: (DESCRIPTION) C: (SPECIFICATION) D: (UNIT) E: (QTY) F: 단
가 G: 금
액 H: 단
가 I: 금
액 J: 금
액
A: * B: Clean Room 보수공사 C:
D:
E:
I:
J:
K:
R: 문터스 S: 이지
A: A B: 바닥 타일공사 D: L/S E: 1 G:
I:
J:

A: 1) B: 전도성 타일 제거 C: 600x600x3t D: ㎡ E: 180 G:
I:
J:
R: 0 S: 12,000
A: 2) B: 전도성 타일 C: 600x600x3t D: ㎡ E: 180 G:
I:
J:
R: 0 S: 38,000
A: B B: 자동문 및 판넬도어 설치공사 D: L/S E: 1 G:
I:
J:

A: 1) B: 자동문 3층 복도 출입문 C: 1800x2100H D: SET E: 1 G:
I:
J:
R: 0 S: 2,400,000
A: 2) B: 자동문 3층 계측실룸(화이트1) 출입문 C: 1800x2100H D: SET E: 1 G:
I:
J:

A: 3) B: 판넬도어(양개) 화이트2 출입문 C: 1800x2100H D: SET E: 1 G:
I:
J:
R: 0 S: 1,550,000
A: 4) B: 판넬도어(편개) 수막룸 C: 900x2100H D: SET E: 1 G:
I:
J:
R: 0 S: 780,000
A: C B: 항온항습기 Repair C:
3F->1F 이설이동 D: L/S E: 1 G:
I:
J:

A: 1) B: 실외기 이설(1F) C: 5HP D: 대 E: 6 I:
J:
S: 1,700,000
A: 2) B: 판넬타공 및 원복 C: 1500x2000H D: 개소 E: 1 I:
J:
S: 700,000
A: 3) B: Copper Tube C: 7/8" D: M E: 300 G:
I:
J:
S: 48,000
A: 4) B:
Copper Tube C: 1/2" D: M E: 300 G:
I:
J:
S: 30,000
A: 5) B: Refrigerant C: R-22 D: KG E: 60 G:
I:
J:
S: 55,000
A: 6) B: 용접부자재 C: 은납봉 외 D: LOT E: 1 G:
I:
J:
S: 20,000
A: 7) B: Structure 제작 C: 9000Lx1000Dx1500H D: LOT E: 1 G:
I:
J:
S: 4,000,000
A: 8) B: 작업노무비 C: 설치 및 시운전 D: M/D E: 8 G:
I:
J:
S: 1,200,000
A: 9) B: 칠러 Repair 정검 D: LOT E: 1 G:
I:
J:

A: D B: Air Compressor 설치공사 C:
D: L/S E: 1 G:
I:
J:
M: 15,000,000
A: 1) B: Oil free Compressor C: Reciver Tank 내장형 (5HP) D: 대 E: 1 G:
I:
J:
M: 6,500,000 S: 6,500,000
A: 2) B: 일체형 Dryer C: Filter 3EA 내장 D: 대 E: 1 G:
I:
J:
M: 7,500,000 S: 850,000
A: 3) B: 1차 Piping 작업 C: 탱크 가격 상승포함 D: M/D E: 3 G:
I:
J:
M: 3,000,000 S: 1,100,000
A: E B: 스막룸 크린기기 납품 D: L/S E: 1 G:
I:
J:
M: 600,000
A: 1) B: 신발장( 가천대 3F 재고품 사용) 1대 재사용, 신규1대설치 C: 전실용 (1) 계측기실용(1) 25인~30인용 D: EA E: 1 G:
I:
J:
M: 3,400,000 R:
S: 1,500,000
A: 2) B: Mask Table(가천대 3F 재고품 사용)
C: 전실용
D: EA E: 0 G:
J:
M: 36,000,000 S: 1,200,000
A: 3) B: Clean Locker C: 전실용 D: EA E: 1 G:
J:
S: 2,300,000
A: 4) B: Wark Table(SUS)
C: 1500x800x800H D: EA E: 18 G:
J:
S: 1,600,000
A: 5) B: 실험실일반의자 C: 실험실일반의자 D: EA E: 18 G:
J:
S: 450,000
A: 6) B: Hanger C: 방진복 및 일반복 가운 또는 외투(30인용) D: EA E: 2 G:
J:
S: 500,000
A: 7) B: 진공청소기 C: 크린룸용도 D: EA E: 1 G:
J:
S: 750,000
A: F B: Filtter 교체 D: L/S E: 1 G:
I:
J:

A: 1) B: Hepa Filter C: 610x610x150t D: EA E: 6 G:
J:
S: 140,000
A: 2) B: Ulpa Filter C: 1200x1200x75t D: EA E: 15 G:
J:
S: 260,000
A: G B: 기타 장비철거 및 배기구 End Cap C:
D: L/S E: 1 G:
J:

A: 1) B: Scrubber 철거 및 End Cap or 직연결작업
A: 2) B: 천정부 배기라인 철거 및 마감작업
C:
A: H B: 기존가스라인 정리 및 정검
C:
D: L/S E: 1 G:
J:

A: 1) B: 가스라인 정검후 정리정돈
A: I B:
DI Water 라인 연결 C:
D: L/S E: 1 G:
J:

A: 1) B: DI Water 라인 정검후 연결
A: J B: 장비이설
C:
D: L/S E: 1 J:

A: 1) B: 철거 및 이동 C: Chemical Bench, Sputter, Glove Box,
Oven Mask Aligner Etc D: LOT E: 1 G:
J: -
A: 2) B: 재설치 C: 웻벤치 2대 화이트-2 이설 D: LOT E: 1 J: -
A: K B: 준공청소 C: 벽체 및 벽체 천정 알코올 D: L/S E: 1 J:

A: L B: 장비사용료 및 운반비 D: L/S E: 1 G:
I: 0 J:

A: N B: 일반관리비 및 기타경비 (T.A.B 포함) D: L/S E: 1 G:
I: 0 J:

C:
B:
B:
G:
I:
J:
K:

B: 합 계 G:
I: 0 J:

[시트: 단가]
A: 클린룸 공사 단가표
A: (운반비 별도 / 설치 노무비 포함 / 부가세 별도)
A: 전도성 타일 철거(600×600×3T) : 12,000원/㎡
A: 전도성 타일 설치(600×600×3T) : 38,000원/㎡
A: 자동문(1500×2100) : 2,400,000원/SET
A: 판넬도어(1800×2100) : 1,550,000원/SET
A: 판넬도어(900×2100) : 780,000원/SET
A: 실외기 이전설치(5HP) : 1,700,000원
A: 판넬 타공 및 원복 : 700,000원
A: Copper Tube 7/8" : 48,000원/m
A: Copper Tube 1/2" : 30,000원/m
A: CV 6SQ×4C : 15,000원/m
A: VCT 1.5SQ×8C : 7,000원/m
A: 냉매 R-22 : 55,000원/kg
A: 응축수 배관 : 20,000원/m
A: 구조물 제작 : 4,000,000원
A: 장비 설치 : 1,200,000원
A: LED 등기구 교체 : 75,000원/EA
A: Cable 정리 : 400,000원
A: Inverter 점검 : 250,000원/EA
A: FFU 전원점검 : 100,000원/EA
A: Oil Free Compressor(5HP, Tank 포함) : 6,500,000원/SET
A: Air Dryer : 850,000원/SET
A: 1차 Piping : 1,100,000원
A: 신발장(10인용, SUS) : 1,500,000원/EA
A: Mask Table(SUS) : 1,200,000원/EA
A: Clean Locker(SUS) : 2,300,000원/EA
A: Work Table(SUS 1500×800×800) : 1,600,000원/EA
A: Clean Chair : 450,000원/EA
A: Hanger : 500,000원/EA
A: 산업용 진공청소기 : 750,000원/EA
A: HEPA Filter(610×610×150T) : 140,000원/EA
A: ULPA Filter(1200×1200×75T) : 260,000원/EA

[시트: 세부견적 (배관설치공사)]
A: 세부견적내역 : 가천대학교 첨단 반도체 3층 Fab 크린룸 개선(보수)공사 설치
A: NO B: 품
명 C: 규
격 D: 단 위 E: 수 량 F: MATERIAL COST H: LABOR COST J: TOTAL K: REMARK
B: (DESCRIPTION) C: (SPECIFICATION) D: (UNIT) E: (QTY) F: 단
가 G: 금
액 H: 단
가 I: 금
액 J: 금
액
A: A B: 1, CDA LINE (LOK) C: 1POINT I: J: K:
B: TUBE (BA) C: SUS316 BA 1/2" D: M E: 20
B: UNION (LOK-TYPE) C: SUS316 BA 1/2" D: EA E: 5
B: MALE CONNECTOR C: SUS316 1/2"*1/2"PT D: EA E: 3
B: AIR REGULATOR C: 1/2" D: EA E: 1
B: BALL VALVE (LOK) C: 1/2" D: EA E: 1
B: 가압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 D: L/S E: 1
A: B B: N2 LINE(LOK)
B: TUBE (BA) C: SUS316 BA 1/2" D: M E: 20
B: UNION (LOK-TYPE) C: SUS316 BA 1/2" D: EA E: 5
B: MALE CONNECTOR C: SUS316 1/2"*1/2"PT D: EA E: 3
B: AIR REGULATOR C: 1/2" D: EA E: 1
B: BALL VALVE (LOK) C: 1/2" D: EA E: 1
B: 가압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 D: L/S E: 1
A: C B: AR LINE(LOK)
B: TUBE (BA) C: SUS316 BA 1/2" D: M E: 20
B: UNION (LOK-TYPE) C: SUS316 BA 1/2" D: EA E: 5
B: MALE CONNECTOR C: SUS316 1/2"*1/2"PT D: EA E: 3
B: AIR REGULATOR C: 1/2" D: EA E: 1
B: BALL VALVE (LOK) C: 1/2" D: EA E: 1
B: 가압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 D: L/S E: 1
A: D B: O2 LINE(LOK)
B: TUBE (BA) C: SUS316 BA 1/2" D: M E: 20
B: UNION (LOK-TYPE) C: SUS316 BA 1/2" D: EA E: 5
B: MALE CONNECTOR C: SUS316 1/2"*1/2"PT D: EA E: 3
B: AIR REGULATOR C: 1/2" D: EA E: 1
B: BALL VALVE (LOK) C: 1/2" D: EA E: 1
B: 가압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 D: L/S E: 1
A: E B: H2 LINE(VCR)
B: TUBE (EP) C: SUS316 EP 1/4" D: M E: 20
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 5
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/4"*1/2" D: EA E: 1
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/4" D: EA E: 5
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/2" D: EA E: 1
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/4" D: EA E: 6
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/2" D: EA E: 2
B: DIAPHRAGM V/V(VCR) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 1
B: REGULATOR(VCR) GAUGE포함 C: 1/4" 0~200PSI(3P) D: EA E: 1
B: 가압 감압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 ,-1*10-9TORR L/SEC D: L/S E: 1
A: F B: PCW LINE (LOK) C: 2POINT
B: TUBE (AP) C: SUS316 AP 1/2" D: M E: 80
B: UNION (LOK-TYPE) C: SUS316 BA 1/2" D: EA E: 20
B: FLOW METER C: 1/2" D: EA E: 2
B: MALE CONNECTOR C: SUS316 1/2"*1/2"PT D: EA E: 8
B: BALL VALVE (LOK) C: 1/2" D: EA E: 4
B: 가압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 D: L/S E: 2
A: G B: CHILLER LINE(LOK) C: 2POINT
B: TUBE (AP) C: SUS316 AP 1/2" D: M E: 80
B: UNION (LOK-TYPE) C: SUS316 BA 1/2" D: EA E: 20
B: FLOW METER C: 1/2" D: EA E: 2
B: MALE CONNECTOR C: SUS316 1/2"*1/2"PT D: EA E: 8
B: BALL VALVE (LOK) C: 1/2" D: EA E: 4
B: 가압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 D: L/S E: 2
A: H B: DI LINE (PVC BOND)
B: PFA TUBE C: 1/2" D: M E: 40
B: PFA FITTING C: 1/2" D: EA E: 2
A:
B: 투명 PVC PIPE C: 25A D: M E: 40
B: 투명 PVC SOCKET C: 25A D: EA E: 10
B: 투명 PVC ELBOW C: 25A D: EA E: 10
B: PVC BOND D: EA E: 1
A: I B: EXHAUST LINE
B: 1. ACID EXHAUST LINE C: 1POINT
B: PVC PIPE C: 150A, VG2 D: M E: 20
B: PVC ELBOW C: 150A, VG2 D: EA E: 4
B: PVC FLANGE C: 150A D: EA E: 1
B: PVC SOCKET C: 150A, VG2 D: EA E: 2
B: PVC DAMPER C: 150A D: EA E: 1
B: GASKET C: TEFLON, 150A D: EA E: 1
B: PVC BOND D: EA E: 1
B: PVC PIPE C: 100A, VG2 D: M E: 40
B: PVC ELBOW C: 100A, VG2 D: EA E: 8
B: PVC FLANGE C: 100A D: EA E: 2
B: PVC SOCKET C: 100A, VG2 D: EA E: 4
B: PVC DAMPER C: 100A D: EA E: 2
B: GASKET C: TEFLON, 100A D: EA E: 2
B: PVC BOND D: EA E: 2
B: PVC PIPE C: 65A, VG2 D: M E: 20
B: PVC ELBOW C: 65A, VG2 D: EA E: 4
B: PVC FLANGE C: 65A D: EA E: 1
B: PVC SOCKET C: 65A, VG2 D: EA E: 2
B: PVC DAMPER C: 65A D: EA E: 1
B: GASKET C: TEFLON, 65A D: EA E: 1
B: PVC BOND D: EA E: 1
A: J B: PUMP LINE IN
B: SANITARY PIPE C: 4S D: M E: 8
B: SANITARY ELBOW C: 4S D: EA E: 2
B: SANITARY ELBOW(45°) C: 4S D: EA E: 2
B: SANITARY REDUCER C: 4S*1S D: EA E: 1
B: DC-FLANGE C: 4S D: EA E: 7
B: CENTER RING C: 4S D: EA E: 4
B: DC-CLAMP C: 63이상 D: EA E: 16
B: SANITARY PIPE C: 1S D: M E: 4
B: SANITARY ELBOW C: 1S D: EA E: 3
B: SANITARY ELBOW(45°) C: 1S D: EA E: 2
B: NW-FLANGE C: 1S D: EA E: 6
B: CENTER RING C: 1S D: EA E: 4
B: NW-CLAMP C: 1S D: EA E: 4
A:
B: BELLOWS VALVE (LOK) C: SUS316 BA 3/8" D: EA E: 1
B: BELLOWS C: 100A*100mm D: EA E: 3
A: K B: DRAIN LINE
B: 1. ACID DRAIN LINE(Chamber) C: 1POINT
B: PVC PIPE C: 25A, VG1 D: M E: 20
B: PVC ELBOW C: 25A, VG1 D: EA E: 6
B: PVC SOCKET C: 25A, VG1 D: EA E: 2
B: PVC REDUCER C: 50A*25A, VG1 D: EA E: 1
B: PVC BOND D: EA E: 1
A: L B: SUPPORT외 잡자재
B: AR GAS (고순도) C: 47LITER D: BT E: 10
B: CHANNEL C: 100*50*5T D: M E: 20
B: SUS304 ANGLE C: 50*50*5T D: M E: 20
B: UNISTRUT C: 40*20*1.2T D: M E: 30
B: TUBE CLIP C: 1/4" D: EA E: 200
B: NAME PLATE & STICKER C: 1/4" D: EA E: 100
B: 절연 U-BOLT C: 6" D: EA E: 6
B: 절연 U-BOLT C: 4" D: EA E: 20
B: 절연 U-BOLT C: 2.5" D: EA E: 10
B: 절연 U-BOLT C: 2" D: EA E: 40
B: 앙카볼트 C: 3/8" D: EA E: 20
B: BEAM CLAMP C: AL타입 D: EA E: 10
B: AL-BAR C: 1/4", 1/2" D: M E: 20
B: 전산BOLT C: 3/8" * 3m D: EA E: 10
B: SUS PANEL C: 2t SUS(600*600) D: EA E: 2
G:
I:
J:
K:

B: TOTAL G:
I:
J:

[시트: 견적서 (실행)]
A: 고 객 명 : B: 가천대학교산학협력단 J: 등록번호 K: 134-81-58046
A: 일금 사천칠백팔십오만 원정 J: 상호 K: 주식회사 아 론 P: 권순창(인)
B: ₩47,850,000 J: 사업장 K: 경기도 화성시 남양읍 현대기아로 466-32
A: 문서번호 : B: ARENC26 J: 업태 K: 제조,건설,서비스 N: 종목 P: 반도체장비,크린룸설비공사외
A: 작성일자 : B: 2026-07- H:
J: 전화번호 K: (031) 352-8118 O: FAX Q: (031) 352-1881
A: 작 성 자 : B: 정우철 이사 (010-4357-1750)
A: 품
명 E: 규 격 I: 단 위 J: 수 량 K: 단 가 N: 금 액 R: 비 고
A: *가천대학교 첨단 반도체연구소 크린룸 & 배관공사 용역 견적서
A: 1. MATERIAL COST E: 세부견적참조 I: SET J: 1 K:
O:
A: 2. LABOR COST E: 세부견적참조 I: SET J: 1 K:
O: 42,000,000
A: 직접비 합계 O: 42,000,000
A: 3. 일반관리비 E: 견적가의 5% I: LOT J: 1 O: 4,350,000
A: 4. 기타비용 E: 직접비의 5% I: LOT J: 1 O: 1,500,000
A: 간접비 합계 O: 5,850,000
A: 견적금액 O: #REF!
A: TOTAL N: #REF! O: ₩47,850,000 R: 만단위절사
K: 이윤 O: #REF!
A:
☞특이사항 N: #REF! O: #REF!
A:
1.V.A.T 별도. F: 5. 항목 외 사항 견적 제외.
A:
2.납기 : 발주 후 4 Week
A:
3.결재조건 : 귀사 결재조건
A:
4.통화표기 : 원화 표시(원)

[시트: 세부내역 설비이동&재설치 (실행)]
A: 세부견적내역 : 가천대학교 첨단 반도체연구소 3층 Fab 설비 이설 및 재 설치 건
A: NO B: 품
명 C: 규
격 D: 단 위 E: 수 량 F: MATERIAL COST H: LABOR COST J: TOTAL K: REMARK
B: (DESCRIPTION) C: (SPECIFICATION) D: (UNIT) E: (QTY) F: 단
가 G: 금
액 H: 단
가 I: 금
액 J: 금
액
A: A B: 설비 철거 및 이동 C:
D: 식 E: 1 I: J: K:
A: 1) B: 설비 Engineer D: M/D E: 10 H: 700,000 I: 7,000,000 K: 2명*5일
A: 2) B: 일반 작업자 D: M/D E: 20 H: 350,000 I: 7,000,000 K: 4명*5일
A: B B: 설비 재 설치 D: 식 E: 1 I:

A: 1) B: 설비 Engineer D: M/D E: 20 H: 700,000 I: 14,000,000 K: 2명*10일
A: 2) B: 일반 작업자 D: M/D E: 40 H: 350,000 I: 14,000,000 K: 4명*10일
A: C B: 폐기물 처리비용 D: 식 E: 1 H: 1,500,000 I: 1,500,000
A: D B: 일반 관리비 및 이윤 C: 공구류 일제,식대 및 각종 경비 포함 D: % E: 10 I: 4,350,000 K:

B: <이설 및 재 설치 대상 장비>
B: 1) SCRUBBER
B: 2) COMPRESSOR
B: 3) 시약장
B: 4) GAS CABINET
B: 5) 신발장
B: 6) CHEMICAL BENCH
B: 7) DRY ETCHER
B: 8) SPUTTER C:
B: 9) GLOVE BOX C:
B: 10) OVEN C:
B: 11) MASK ALIGNER
B: 12) ETC
G:
I:
J:
K:

B: TOTAL G:
I: 47,850,000 J:

[시트: 세부내역 크린룸개선(보수공사)(실행)]
A: NO. B: 품 명 C: 규 격 D: 수량 E: 단위 F: 단 가 G: 합계금액 H: 비 고
A: ※ B: Clean Room 보수공사
B:

가천대학교 첨단반도체연구소 크린룸 개선(보수)공사

A: 1. B: 바닥 타일공사 D: 1 E: L/S F: 18,000,000 G: 18,000,000
A: 1) B: 내산 타일 C: 600x600x3t D: 80 E: ㎡
A: 2) B: 전도성 타일 C: 600x600x3t D: 260 E: ㎡
A: 3) B: 시공노무비 D: 1 E: LOT
A: 2. B: 자동문 및 판넬도어 설치공사 D: 1 E: L/S F: 7,800,000 G: 7,800,000
A: 1) B: 판넬도어(양개) C: 1800x2100H D: 2 E: SET
A: 2) B: 자동문
C: 1800x2100H D: 1 E: SET
A: 3) B: 자동문 C: 900x2100H D: 1 E: SET
A: 4) B: 시공노무비 D: 1 E: LOT
A: 3. B: 항온항습기 Repair D: 1 E: L/S F: 23,000,000 G: 23,000,000
A: 1) B: 실외기 이설(1F) C: 5HP D: 6 E: 대
A: 2) B: Copper Tube C: 7/8" D: 300 E: M
A: 3) B: Copper Tube C: 1/2" D: 300 E: M
A: 4) B: Cable C: CV 6 SQx4C D: 1 E: LOT
A: 5) B: Cable C: VCT1.5SQx8C D: 1 E: LOT
A: 6) B: Ciller 점검 D: 1 E: LOT
A: 7) B: Refrigerant C: R-22 D: 60 E: KG
A: 8) B: 용접부자재 C: 은납봉 외 D: 1 E: LOT
A: 9) B: Structure 제작 C: 9000Lx1000Dx1500H D: 1 E: LOT
A: 10) B: 작업노무비 C: 설치 및 시운전 D: 1 E: LOT
A: 4. B: 전등 전열공사 외 D: 1 E: L/S F: 25,000,000 G: 25,000,000
A: 1) B: 전등 전열점검 C: 220V/50W D: 50 E: EA
A: 2) B: LED 평판 등기구 C: 25W Yellow D: 40 E: EA
A: 3) B: T.D Lighting
A: 4) B: 전등회로 수정
A: 5) B: 장비 전원 Cable 정리
A: 6) B: Inverter 점검
A: 7) B: F.F.U 전원점검
A: 8) B: 시공노무비
A: 5. B: Air Compressor 설치공사 C: 6KWx2Step D: 1 E: 대 F: 12,000,000 G: 12,000,000 H: 2차 배관제외
A: 1) B: Reciver Tank
A: 2) B: 일체형 Dryer
A: 3) B: Oil free Compressor
A: 6. B: 스막룸 크린기기 납품 D: 1 E: L/S F: 9,000,000 G: 9,000,000
A: 1) B: 신발장
A: 2) B: Mask Table
A: 3) B: Clean Locker
A: 7. B: Scrubber 철거 D: 1 E: L/S F: 4,000,000 G: 4,000,000
A: 1) B: Scrubber 철거
A: 2) B: PVC 배관 철거
A: 8. B: 기타 장비철거 및 배기구 End Cap D: 1 E: L/S F: 6,500,000 G: 6,500,000
A: 9. B: Filter 교체 D: 1 E: L/S F: 5,000,000 G: 5,000,000
A: 1) B: Hepa Filter C: 610x610x150t D: 6 E: EA
A: 2) B: Ulpa Filter C: 1200x1200x75t D: 15 E: EA
A: 3) B: 작업노무비 D: 1 E: LOT
A: 10. B: 장비사용료 운반 기타경비 D: 1 E: LOT G: 4,300,000
B: [
합
계
] G: 114,600,000

[시트: 세부내역 배관공사(보수) (실행)]
A:
C:
ESTIMATION SHEET
C: 가천대학교 첨단반도체연구소 3F FAB Utility 연결공사
B: DESCRIPTION
C: SPEC D: UNIT E: Q'TY F: MATERIAL COST H: LABOR COST J: EXPENSE COST O: REMARK
F: 단 가 G: 금 액 H: 단 가 I: 금 액 J: UNIT N: AMOUNT
B: 장비 HOOK-UP
A: A. B: GAS LINE 공사
B: 1, CDA LINE (LOK) C: 1POINT
B: TUBE (BA) C: SUS316 BA 1/2" D: M E: 20 G: - I: -
B: UNION (LOK-TYPE) C: SUS316 BA 1/2" D: EA E: 5 G: - I: -
B: MALE CONNECTOR C: SUS316 1/2"*1/2"PT D: EA E: 3 G: - I: -
B: AIR REGULATOR C: 1/2" D: EA E: 1 G: - I: -
B: BALL VALVE (LOK) C: 1/2" D: EA E: 1 G: - I: -
B: 가압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 D: L/S E: 1 G: - I: -
B: 2, PN2 LINE (VCR) C: 2POINT
B: TUBE (EP) C: SUS316 EP 1/2" D: M E: 40 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/2" D: EA E: 12 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/2" D: EA E: 12 G: - I: -
B: DIAPHRAGM V/V(VCR) C: SUS316 EP 1/2" D: EA E: 2 G: - I: -
B: REGULATOR(VCR) GAUGE포함 C: 1/2" 0~200PSI(3P) D: EA E: 2 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/2" D: EA E: 20 G: - I: -
B: 가압 감압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 ,-1*10-9TORR L/SEC D: L/S E: 2 G: - I: -
B: 3, PHe LINE (VCR) C: 1POINT
B: TUBE (EP) C: SUS316 EP 1/4" D: M E: 20 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 5 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/4"*1/2" D: EA E: 1 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/4" D: EA E: 5 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/2" D: EA E: 1 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/4" D: EA E: 6 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/2" D: EA E: 2 G: - I: -
B: DIAPHRAGM V/V(VCR) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 1 G: - I: -
B: REGULATOR(VCR) GAUGE포함 C: 1/4" 0~200PSI(3P) D: EA E: 1 G: - I: -
B: 가압 감압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 ,-1*10-9TORR L/SEC D: L/S E: 1 G: - I: -
B: 4, PAr LINE (VCR) C: 1POINT
B: TUBE (EP) C: SUS316 EP 1/4" D: M E: 20 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 5 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/4"*1/2" D: EA E: 1 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/4" D: EA E: 5 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/2" D: EA E: 1 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/4" D: EA E: 6 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/2" D: EA E: 2 G: - I: -
B: DIAPHRAGM V/V(VCR) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 1 G: - I: -
B: REGULATOR(VCR) GAUGE포함 C: 1/4" 0~200PSI(3P) D: EA E: 1 G: - I: -
B: 가압 감압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 ,-1*10-9TORR L/SEC D: L/S E: 1 G: - I: -
B: 5, PO2 LINE (VCR) C: 1POINT
B: TUBE (EP) C: SUS316 EP 1/4" D: M E: 20 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 5 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/4"*1/2" D: EA E: 1 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/4" D: EA E: 5 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/2" D: EA E: 1 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/4" D: EA E: 6 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/2" D: EA E: 2 G: - I: -
B: DIAPHRAGM V/V(VCR) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 1 G: - I: -
B: REGULATOR(VCR) GAUGE포함 C: 1/4" 0~200PSI(3P) D: EA E: 1 G: - I: -
B: 가압 감압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 ,-1*10-9TORR L/SEC D: L/S E: 1 G: - I: -
B: 6, P.VACUUM LINE (LOK) C: 1POINT
B: TUBE (BA) C: SUS316 BA 1/2" D: M E: 28 G: - I: -
B: UNION (LOK-TYPE) C: SUS316 BA 1/2" D: EA E: 5 G: - I: -
B: MALE CONNECTOR C: SUS316 1/2"*1/2"PT D: EA E: 1 G: - I: -
B: REGULATOR(LOK) GAUGE포함 C: 0~200PSI 1/2"(3P) D: EA E: 1 G: - I: -
B: DIAPHRAGM V/V(LOK) C: SUS316 BA 1/2" D: EA E: 1 G: - I: -
B: 가압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 D: L/S E: 1 G: - I: -
A: B. B: PCW LINE (LOK) C: 2POINT
B: TUBE (AP) C: SUS316 AP 1/2" D: M E: 80 G: - I: -
B: UNION (LOK-TYPE) C: SUS316 BA 1/2" D: EA E: 20 G: - I: -
B: FLOW METER C: 1/2" D: EA E: 2 G: - I: -
B: MALE CONNECTOR C: SUS316 1/2"*1/2"PT D: EA E: 8 G: - I: -
B: BALL VALVE (LOK) C: 1/2" D: EA E: 4 G: - I: -
B: 가압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 D: L/S E: 2 G: - I: -
A: C. B: CHEMICAL LINE 공사
B: 1. HF LINE C: 1POINT
B: PFA TUBE C: 1/2" D: M E: 40 G: - I: -
B: PFA FITTING C: 1/2" D: EA E: 2 G: - I: -
B: 투명 PVC PIPE C: 25A D: M E: 40 G: - I: -
B: 투명 PVC SOCKET C: 25A D: EA E: 10 G: - I: -
B: 투명 PVC ELBOW C: 25A D: EA E: 10 G: - I: -
B: PVC BOND D: EA E: 1 G: - I: -
B: 2. H2O2 LINE C: 1POINT
B: PFA TUBE C: 1/2" D: M E: 40 G: - I: -
B: PFA FITTING C: 1/2" D: EA E: 2 G: - I: -
B: 투명 PVC PIPE C: 25A D: M E: 40 G: - I: -
B: 투명 PVC SOCKET C: 25A D: EA E: 10 G: - I: -
B: 투명 PVC ELBOW C: 25A D: EA E: 10 G: - I: -
B: PVC BOND D: EA E: 1 G: - I: -
A: D. B: UPW LINE 공사 C: 1POINT
B: TUBE (EP) C: SUS316 EP 1/2" D: M E: 40 G: - I: -
B: UNION (LOK-TYPE) C: SUS316 BA 1/2" D: EA E: 10 G: - I: -
B: UNION TEE(LOK-TYPE) C: SUS316 1/2" D: EA E: 1 G: - I: -
B: PFA TUBE C: 1/2" D: M E: 4 G: - I: -
B: PFA FITTING C: 1/2" D: EA E: 2 G: - I: -
B: BALL VALVE (LOK) C: 1/2" D: EA E: 3 G: - I: -
A: E. B: EXHAUST LINE
B: 1. ACID EXHAUST LINE C: 1POINT
B: PVC PIPE C: 150A, VG2 D: M E: 20 G: - I: -
B: PVC ELBOW C: 150A, VG2 D: EA E: 4 G: - I: -
B: PVC FLANGE C: 150A D: EA E: 1 G: - I: -
B: PVC SOCKET C: 150A, VG2 D: EA E: 2 G: - I: -
B: PVC DAMPER C: 150A D: EA E: 1 G: - I: -
B: GASKET C: TEFLON, 150A D: EA E: 1 G: - I: -
B: PVC BOND D: EA E: 1 G: - I: -
B: FRP 라이닝 C: 150A D: L/S E: 1 G: - I: -
B: 2. ACID EXHAUST LINE C: 2POINT
B: PVC PIPE C: 100A, VG2 D: M E: 40 G: - I: -
B: PVC ELBOW C: 100A, VG2 D: EA E: 8 G: - I: -
B: PVC FLANGE C: 100A D: EA E: 2 G: - I: -
B: PVC SOCKET C: 100A, VG2 D: EA E: 4 G: - I: -
B: PVC DAMPER C: 100A D: EA E: 2 G: - I: -
B: GASKET C: TEFLON, 100A D: EA E: 2 G: - I: -
B: PVC BOND D: EA E: 2 G: - I: -
B: FRP 라이닝 C: 100A D: 개소 E: 2 G: - I: -
B: 3. ACID EXHAUST LINE C: 1POINT
B: PVC PIPE C: 65A, VG2 D: M E: 20 G: - I: -
B: PVC ELBOW C: 65A, VG2 D: EA E: 4 G: - I: -
B: PVC FLANGE C: 65A D: EA E: 1 G: - I: -
B: PVC SOCKET C: 65A, VG2 D: EA E: 2 G: - I: -
B: PVC DAMPER C: 65A D: EA E: 1 G: - I: -
B: GASKET C: TEFLON, 65A D: EA E: 1 G: - I: -
B: PVC BOND D: EA E: 1 G: - I: -
B: FRP 라이닝 C: 65A D: 개소 E: 1 G: - I: -
B: 4, PUMP LINE IN C: 1POINT
B: SANITARY PIPE C: 4S D: M E: 8 G: - I: -
B: SANITARY ELBOW C: 4S D: EA E: 2 G: - I: -
B: SANITARY ELBOW(45°) C: 4S D: EA E: 2 G: - I: -
B: SANITARY REDUCER C: 4S*1S D: EA E: 1 G: - I: -
B: DC-FLANGE C: 4S D: EA E: 7 G: - I: -
B: CENTER RING C: 4S D: EA E: 4 G: - I: -
B: DC-CLAMP C: 63이상 D: EA E: 16 G: - I: -
B: SANITARY PIPE C: 1S D: M E: 4 G: - I: -
B: SANITARY ELBOW C: 1S D: EA E: 3 G: - I: -
B: SANITARY ELBOW(45°) C: 1S D: EA E: 2 G: - I: -
B: NW-FLANGE C: 1S D: EA E: 6 G: - I: -
B: CENTER RING C: 1S D: EA E: 4 G: - I: -
B: NW-CLAMP C: 1S D: EA E: 4 G: - I: -
B: BELLOWS VALVE (LOK) C: SUS316 BA 3/8" D: EA E: 1 G: - I: -
B: BELLOWS C: 100A*100mm D: EA E: 3 G: - I: -
B: 5, PUMP OUT LINE C: 1POINT
B: SANITARY PIPE C: 2S D: M E: 4 G: - I: -
B: SANITARY REDUCER C: 1.5S*2S D: EA E: 1 G: - I: -
B: SANITARY ELBOW C: 2S D: EA E: 6 G: - I: -
B: NW-FLANGE C: 2S D: EA E: 4 G: - I: -
B: NW-FLANGE C: 1.5S D: EA E: 1 G: - I: -
B: NW-CLAMP C: 2S D: EA E: 3 G: - I: -
B: NW-CLAMP C: 1.5S D: EA E: 1 G: - I: -
B: CENTER RING C: 2S D: EA E: 3 G: - I: -
B: CENTER RING C: 1.5S D: EA E: 1 G: - I: -
B: BELLOWS C: 40A*200mm D: EA E: 1 G: - I: -
B: FRP 라이닝 C: 50A D: L/S E: 2 G: - I: -
A: F. B: DRAIN LINE
B: 1. ACID DRAIN LINE(Chamber) C: 1POINT
B: PVC PIPE C: 25A, VG1 D: M E: 20 G: - I: -
B: PVC ELBOW C: 25A, VG1 D: EA E: 6 G: - I: -
B: PVC SOCKET C: 25A, VG1 D: EA E: 2 G: - I: -
B: PVC REDUCER C: 50A*25A, VG1 D: EA E: 1 G: - I: -
B: PVC BOND D: EA E: 1 G: - I: -
B: 2. ACID DRAIN LINE(Main) C: 5POINT
B: PVC PIPE C: 25A, VG1 D: M E: 20 G: - I: -
B: PVC ELBOW C: 25A, VG1 D: EA E: 6 G: - I: -
B: PVC SOCKET C: 25A, VG1 D: EA E: 2 G: - I: -
B: PVC TEE C: 25A*20A, VG1 D: EA E: 2 G: - I: -
B: PVC TEE C: 25A*16A, VG1 D: EA E: 3 G: - I: -
B: PVC END CAP C: 25A, VG1 D: EA E: 1 G: - I: -
B: PVC PIPE C: 16A, VG1 D: M E: 4 G: - I: -
B: PVC ELBOW C: 16A, VG1 D: EA E: 6 G: - I: -
B: PVC SOCKET C: 16A, VG1 D: EA E: 3 G: - I: -
B: PVC PIPE C: 20A, VG1 D: M E: 4 G: - I: -
B: PVC ELBOW C: 20A, VG1 D: EA E: 4 G: - I: -
B: PVC SOCKET C: 20A, VG1 D: EA E: 2 G: - I: -
B: PVC REDUCER C: 50A*25A, VG1 D: EA E: 1 G: - I: -
B: PVC BOND D: EA E: 2 G: - I: -
A: G. B: SUPPORT외 잡자재
B: AR GAS (고순도) C: 47LITER D: BT E: 10 G: - I: -
B: CHANNEL C: 100*50*5T D: M E: 20 G: - I: -
B: SUS304 ANGLE C: 50*50*5T D: M E: 20 G: - I: -
B: UNISTRUT C: 40*20*1.2T D: M E: 30 G: - I: -
B: TUBE CLIP C: 1/4" D: EA E: 200 G: - I: -
B: NAME PLATE & STICKER C: 1/4" D: EA E: 100 G: - I: -
B: 절연 U-BOLT C: 6" D: EA E: 6 G: - I: -
B: 절연 U-BOLT C: 4" D: EA E: 20 G: - I: -
B: 절연 U-BOLT C: 2.5" D: EA E: 10 G: - I: -
B: 절연 U-BOLT C: 2" D: EA E: 40 G: - I: -
B: 앙카볼트 C: 3/8" D: EA E: 20 G: - I: -
B: BEAM CLAMP C: AL타입 D: EA E: 10 G: - I: -
B: AL-BAR C: 1/4", 1/2" D: M E: 20 G: - I: -
B: 전산BOLT C: 3/8" * 3m D: EA E: 10 G: - I: -
B: SUS PANEL C: 2t SUS(600*600) D: EA E: 2 G: - I: -
B: 투명아크릴 악세스플로어 D: EA E: 2 G: - I: -
B: 소 계 G: - I: -
B: W-CVD 장비 HOOK-UP
A: A. B: GAS LINE 공사
B: 1, SiH4 LINE (VCR) C: 2POINT
B: TUBE (BA) C: SUS316 BA 1/2" D: M E: 24 G: - I: -
B: TUBE (EP) C: SUS316 EP 1/4" D: M E: 24 G: - I: -
B: TEE(W/D) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 1 G: - I: -
B: DOUBLE ELBOW (W/D) C: SUS316L EP 1/2"x1/4" D: EA E: 10 G: - I: -
B: DOUBLE TEE (W/D) C: SUS316L EP 1/2"x1/4" D: EA E: 1 G: - I: -
B: REDUCER (W/D) C: SUS316L EP 1/2"x1/4" D: EA E: 6 G: - I: -
B: SLEEVE C: SUS316L EP 1/2"x1/4" D: EA E: 6 G: - I: -
B: SPRING C: SUS316L EP 1/2"x1/4" D: EA E: 10 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 10 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/4" D: EA E: 10 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/4" D: EA E: 16 G: - I: -
B: DIAPHRAGM V/V(VCR) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 2 G: - I: -
B: REGULATOR(VCR) GAUGE포함 C: 1/4" 0~200PSI(3P) D: EA E: 2 G: - I: -
B: PRESSURE GAUGE C: 1/4" 0~200PSI(3P) D: EA E: 2 G: - I: -
B: 가압 감압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 ,-1*10-9TORR L/SEC D: L/S E: 2 G: - I: -
B: 2, H2 LINE (WELD) C: 2POINT
B: TUBE (EP) C: SUS316 EP 1/4" D: M E: 30 G: - I: -
B: TEE(W/D) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 1 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 6 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/4"*1/2" D: EA E: 2 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/4" D: EA E: 6 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/2" D: EA E: 2 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/4" D: EA E: 8 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/2" D: EA E: 3 G: - I: -
B: DIAPHRAGM V/V(WED) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 2 G: - I: -
B: REGULATOR(VCR) GAUGE포함 C: 1/4" 0~200PSI(3P) D: EA E: 2 G: - I: -
B: 비파괴 검사 C: 약 14개소 D: 식 E: 1 G: - I: -
B: 도면 수정비 D: 식 E: 1 G: - I: -
B: 가압 감압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 ,-1*10-9TORR L/SEC D: L/S E: 2 G: - I: -
B: 3, PAr LINE (VCR) C: 7POINT
B: TUBE (EP) C: SUS316 EP 1/4" D: M E: 96 G: - I: -
B: TEE(W/D) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 4 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 35 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/4"*1/2" D: EA E: 4 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/4" D: EA E: 35 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/2" D: EA E: 4 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/4" D: EA E: 40 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/2" D: EA E: 5 G: - I: -
B: DIAPHRAGM V/V(VCR) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 7 G: - I: -
B: REGULATOR(VCR) GAUGE포함 C: 1/4" 0~200PSI(3P) D: EA E: 7 G: - I: -
B: 가압 감압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 ,-1*10-9TORR L/SEC D: L/S E: 7 G: - I: -
B: 4, C2F6 LINE (VCR) C: 2POINT
B: TUBE (EP) C: SUS316 EP 1/4" D: M E: 40 G: - I: -
B: TEE(W/D) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 1 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 11 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/4" D: EA E: 11 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/4" D: EA E: 13 G: - I: -
B: DIAPHRAGM V/V(VCR) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 2 G: - I: -
B: REGULATOR(VCR) GAUGE포함 C: 1/4" 0~200PSI(3P) D: EA E: 2 G: - I: -
B: 가압 감압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 ,-1*10-9TORR L/SEC D: L/S E: 2 G: - I: -
B: 5, WF6 LINE (VCR) C: 2POINT
B: TUBE (EP) C: SUS316 EP 1/4" D: M E: 24 G: - I: -
B: TEE(W/D) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 1 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 12 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/4" D: EA E: 12 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/4" D: EA E: 15 G: - I: -
B: DIAPHRAGM V/V(VCR) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 2 G: - I: -
B: REGULATOR(VCR) GAUGE포함 C: 1/4" 0~200PSI(3P) D: EA E: 2 G: - I: -
B: TEMP CONTROLLER C: 1CH, RS485통신 D: EA E: 1 G: - I: -
B: HEATING CABLE C: 30W D: M E: 30 G: - I: -
B: TEFLON TAPE D: EA E: 5 G: - I: -
B: TEMP SENSOR C: K TYPE D: EA E: 1 G: - I: -
B: 가압 감압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 ,-1*10-9TORR L/SEC D: L/S E: 2 G: - I: -
B: 6, CDA LINE C: 3POINT
B: TUBE (BA) C: SUS316 BA 1/2" D: M E: 24 G: - I: -
B: TUBE (BA) C: SUS316 BA 1/4" D: M E: 24 G: - I: -
B: BALL VALVE (LOK) C: 1/4" D: EA E: 3 G: - I: -
B: AIR REGULATOR C: 1/4" D: EA E: 3 G: - I: -
B: R.UNION C: SUS316 1/2"*1/4" D: EA E: 4 G: - I: -
B: UNION (LOK-TYPE) C: SUS316 BA 1/2" D: EA E: 6 G: - I: -
B: UNION TEE(LOK-TYPE) C: SUS316 1/2"*1/4" D: EA E: 2 G: - I: -
B: UNION (LOK-TYPE) C: SUS316 BA 1/4" D: EA E: 8 G: - I: -
B: MALE CONNECTOR C: SUS316 1/4" D: EA E: 6 G: - I: -
B: 가압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 D: L/S E: 3 G: - I: -
B: 7, 5%B2H6/N2 LINE (VCR) C: 2POINT
B: TUBE (BA) C: SUS316 BA 1/2" D: M E: 120 G: - I: -
B: TUBE (EP) C: SUS316 EP 1/4" D: M E: 120 G: - I: -
B: TEE(W/D) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 1 G: - I: -
B: DOUBLE ELBOW (W/D) C: SUS316L EP 1/2"x1/4" D: EA E: 30 G: - I: -
B: DOUBLE TEE (W/D) C: SUS316L EP 1/2"x1/4" D: EA E: 1 G: - I: -
B: REDUCER (W/D) C: SUS316L EP 1/2"x1/4" D: EA E: 6 G: - I: -
B: SLEEVE C: SUS316L EP 1/2"x1/4" D: EA E: 34 G: - I: -
B: SPRING C: SUS316L EP 1/2"x1/4" D: EA E: 34 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 11 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/4" D: EA E: 11 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/4" D: EA E: 13 G: - I: -
B: DIAPHRAGM V/V(VCR) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 2 G: - I: -
B: REGULATOR(VCR) GAUGE포함 C: 1/4" 0~200PSI(3P) D: EA E: 2 G: - I: -
B: PRESSURE GAUGE C: 1/4" 0~200PSI(3P) D: EA E: 2 G: - I: -
B: 가압 감압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 ,-1*10-9TORR L/SEC D: L/S E: 2 G: - I: -
B: 8, PO2 LINE (VCR) C: 2POINT
B: TUBE (EP) C: SUS316 EP 1/4" D: M E: 24 G: - I: -
B: TEE(W/D) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 1 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 10 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/4"*1/2" D: EA E: 2 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/4" D: EA E: 10 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/2" D: EA E: 2 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/4" D: EA E: 12 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/2" D: EA E: 4 G: - I: -
B: DIAPHRAGM V/V(VCR) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 2 G: - I: -
B: REGULATOR(VCR) GAUGE포함 C: 1/4" 0~200PSI(3P) D: EA E: 2 G: - I: -
B: 가압 감압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 ,-1*10-9TORR L/SEC D: L/S E: 2 G: - I: -
B: 9, PN2 LINE (VCR) C: 3POINT
B: TUBE (EP) C: SUS316 EP 1/4" D: M E: 48 G: - I: -
B: TEE(W/D) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 1 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 15 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/4"*1/2" D: EA E: 2 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/4" D: EA E: 15 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/2" D: EA E: 2 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/4" D: EA E: 18 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/2" D: EA E: 3 G: - I: -
B: DIAPHRAGM V/V(VCR) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 3 G: - I: -
B: REGULATOR(VCR) GAUGE포함 C: 1/4" 0~200PSI(3P) D: EA E: 3 G: - I: -
B: 가압 감압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 ,-1*10-9TORR L/SEC D: L/S E: 3 G: - I: -
B: 10, GN2 LINE (LOK) C: 6POINT
B: TUBE (BA) C: SUS316 BA 1/2" D: M E: 24 G: - I: -
B: TUBE (BA) C: SUS316 BA 1/4" D: M E: 36 G: - I: -
B: UNION TEE(LOK-TYPE) C: SUS316 1/2"*1/4" D: EA E: 5 G: - I: -
B: R.UNION C: SUS316 1/2"*1/4" D: EA E: 1 G: - I: -
B: UNION (LOK-TYPE) C: SUS316 BA 1/2" D: EA E: 6 G: - I: -
B: UNION (LOK-TYPE) C: SUS316 BA 1/4" D: EA E: 9 G: - I: -
B: DIAPHRAGM V/V(LOK) C: SUS316 BA 1/4" D: EA E: 6 G: - I: -
B: REGULATOR(LOK) GAUGE포함 C: 0~200PSI 1/4"(3P) D: EA E: 6 G: - I: -
B: 가압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 D: L/S E: 6 G: - I: -
B: 11, PN2 LINE (VCR) SUB MAIN 증설
B: TUBE (EP) C: SUS316 EP 3/4" D: M E: 4 G: - I: -
B: TEE(W/D) C: SUS316 EP 3/4"*1/2" D: EA E: 8 G: - I: -
B: DIAPHRAGM V/V(VCR) C: SUS316 EP 3/4" D: EA E: 2 G: - I: -
B: DIAPHRAGM V/V(VCR) C: SUS316 EP 1/2" D: EA E: 8 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 3/4" D: EA E: 4 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/2" D: EA E: 8 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 3/4" D: EA E: 4 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/2" D: EA E: 12 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 3/4" D: EA E: 6 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/2" D: EA E: 10 G: - I: -
B: END CAP(VCR) C: SUS316L BA 3/4" D: EA E: 2 G: - I: -
B: END CAP(VCR) C: SUS316L BA 1/2" D: EA E: 8 G: - I: -
B: 12, GN2 LINE (VCR) SUB MAIN 증설
B: TUBE (EP) C: SUS316 EP 3/4" D: M E: 4 G: - I: -
B: TEE(W/D) C: SUS316 EP 3/4"*1/2" D: EA E: 8 G: - I: -
B: DIAPHRAGM V/V(VCR) C: SUS316 EP 3/4" D: EA E: 2 G: - I: -
B: DIAPHRAGM V/V(VCR) C: SUS316 EP 1/2" D: EA E: 8 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 3/4" D: EA E: 4 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/2" D: EA E: 8 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 3/4" D: EA E: 4 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/2" D: EA E: 12 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 3/4" D: EA E: 6 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/2" D: EA E: 10 G: - I: -
B: END CAP(VCR) C: SUS316L BA 3/4" D: EA E: 2 G: - I: -
B: END CAP(VCR) C: SUS316L BA 1/2" D: EA E: 8 G: - I: -
B: 13, CDA LINE (VCR) SUB MAIN 증설
B: TUBE (BA) C: SUS316 BA 3/4" D: M E: 4 G: - I: -
B: TEE(W/D) C: SUS316 BA 3/4"*1/2" D: EA E: 8 G: - I: -
B: DIAPHRAGM V/V(VCR) C: SUS316 BA 3/4" D: EA E: 2 G: - I: -
B: DIAPHRAGM V/V(VCR) C: SUS316 EP 1/2" D: EA E: 8 G: - I: -
B: END CAP(LOK) C: SUS316L BA 3/4" D: EA E: 2 G: - I: -
B: END CAP(LOK) C: SUS316L BA 1/2" D: EA E: 8 G: - I: -
B: 14, PAr LINE (VCR) SUB MAIN 증설
B: TUBE (EP) C: SUS316 EP 1/2" D: M E: 2 G: - I: -
B: TEE(W/D) C: SUS316 EP 1/2" D: EA E: 4 G: - I: -
B: DIAPHRAGM V/V(VCR) C: SUS316 EP 1/2" D: EA E: 5 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/2" D: EA E: 6 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/2" D: EA E: 6 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/2" D: EA E: 8 G: - I: -
B: END CAP(VCR) C: SUS316L BA 1/2" D: EA E: 5 G: - I: -
B: 15, PHe LINE (VCR) SUB MAIN 증설
B: TUBE (EP) C: SUS316 EP 1/2" D: M E: 2 G: - I: -
B: TEE(W/D) C: SUS316 EP 1/2" D: EA E: 4 G: - I: -
B: DIAPHRAGM V/V(VCR) C: SUS316 EP 1/2" D: EA E: 5 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/2" D: EA E: 6 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/2" D: EA E: 6 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/2" D: EA E: 8 G: - I: -
B: END CAP(VCR) C: SUS316L BA 1/2" D: EA E: 5 G: - I: -
B: 16, PO2 LINE (VCR) SUB MAIN 증설
B: TUBE (EP) C: SUS316 EP 1/2" D: M E: 2 G: - I: -
B: TEE(W/D) C: SUS316 EP 1/2" D: EA E: 4 G: - I: -
B: DIAPHRAGM V/V(VCR) C: SUS316 EP 1/2" D: EA E: 5 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/2" D: EA E: 6 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/2" D: EA E: 6 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/2" D: EA E: 8 G: - I: -
B: END CAP(VCR) C: SUS316L BA 1/2" D: EA E: 5 G: - I: -
A: B. B: PCW LINE 공사
B: 1, DLCM PCW LINE
B: TUBE (AP) C: SUS316 AP 1/2" D: M E: 32 G: - I: -
B: UNION (LOK-TYPE) C: SUS316 BA 1/2" D: EA E: 8 G: - I: -
B: UNION TEE(LOK-TYPE) C: SUS316 1/2"*1/4" D: EA E: 4 G: - I: -
B: UNION TEE(LOK-TYPE) C: SUS316 1/2"*3/8" D: EA E: 2 G: - I: -
B: R.UNION C: SUS316 1/2"*1/4" D: EA E: 2 G: - I: -
B: R.UNION C: SUS316 1/2"*3/8" D: EA E: 2 G: - I: -
B: TUBE (AP) C: SUS316 AP 3/8" D: M E: 16 G: - I: -
B: UNION (LOK-TYPE) C: SUS316 BA 3/8" D: EA E: 4 G: - I: -
B: MALE CONNECTOR C: SUS316 3/8"x1/2"PT D: EA E: 4 G: - I: -
B: FLOW METER C: 3/8" D: EA E: 1 G: - I: -
B: BALL VALVE (LOK) C: 3/8" D: EA E: 2 G: - I: -
B: PFA TUBE C: 3/8" D: M E: 6 G: - I: -
B: PFA FITTING C: 3/8" D: EA E: 2 G: - I: -
B: 가압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 D: L/S E: 1 G: - I: -
B: 2, PROCESS CHAMBER #1,2 PCW LINE
B: TUBE (AP) C: SUS316 AP 1/4" D: M E: 32 G: - I: -
B: UNION (LOK-TYPE) C: SUS316 BA 1/4" D: EA E: 8 G: - I: -
B: MALE CONNECTOR C: SUS316 1/4"x1/2"PT D: EA E: 8 G: - I: -
B: FLOW METER C: 1/4" D: EA E: 2 G: - I: -
B: BALL VALVE (LOK) C: 1/4" D: EA E: 4 G: - I: -
B: PFA TUBE C: 1/4" D: M E: 12 G: - I: -
B: PFA FITTING C: 1/4" D: EA E: 4 G: - I: -
B: 가압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 D: L/S E: 2 G: - I: -
B: 3, L/L, T/M PUMP PCW LINE
B: TUBE (AP) C: SUS316 AP 1/2" D: M E: 32 G: - I: -
B: UNION (LOK-TYPE) C: SUS316 BA 1/2" D: EA E: 10 G: - I: -
B: UNION TEE(LOK-TYPE) C: SUS316 1/2"*3/8" D: EA E: 2 G: - I: -
B: R.UNION C: SUS316 1/2"*3/8" D: EA E: 2 G: - I: -
B: TUBE (AP) C: SUS316 AP 3/8" D: M E: 24 G: - I: -
B: UNION (LOK-TYPE) C: SUS316 BA 3/8" D: EA E: 12 G: - I: -
B: MALE CONNECTOR C: SUS316 1/2"*1/2"PT D: EA E: 2 G: - I: -
B: MALE CONNECTOR C: SUS316 3/8"x1/2"PT D: EA E: 6 G: - I: -
B: FLOW METER C: 3/8" D: EA E: 2 G: - I: -
B: BALL VALVE (LOK) C: 3/8" D: EA E: 4 G: - I: -
B: PFA TUBE C: 3/8" D: M E: 12 G: - I: -
B: PFA FITTING C: 3/8" D: EA E: 4 G: - I: -
B: 가압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 D: L/S E: 2 G: - I: -
B: 4, PUMP RACK PCW LINE C: 4Point
B: TUBE (AP) C: SUS316 AP 1/2" D: M E: 64 G: - I: -
B: UNION (LOK-TYPE) C: SUS316 BA 1/2" D: EA E: 16 G: - I: -
B: UNION TEE(LOK-TYPE) C: SUS316 1/2"*3/8" D: EA E: 4 G: - I: -
B: R.UNION C: SUS316 1/2"*3/8" D: EA E: 4 G: - I: -
B: TUBE (AP) C: SUS316 AP 3/8" D: M E: 48 G: - I: -
B: UNION (LOK-TYPE) C: SUS316 BA 3/8" D: EA E: 24 G: - I: -
B: MALE CONNECTOR C: SUS316 1/2"*1/2"PT D: EA E: 4 G: - I: -
B: MALE CONNECTOR C: SUS316 3/8"x1/2"PT D: EA E: 12 G: - I: -
B: FLOW METER C: 3/8" D: EA E: 4 G: - I: -
B: BALL VALVE (LOK) C: 3/8" D: EA E: 8 G: - I: -
B: PFA TUBE C: 3/8" D: M E: 24 G: - I: -
B: PFA FITTING C: 3/8" D: EA E: 8 G: - I: -
B: 가압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 D: L/S E: 4 G: - I: -
B: 5, CHAMBER #1,2 GENERATOR PCW LINE
B: TUBE (AP) C: SUS316 AP 3/8" D: M E: 40 G: - I: -
B: UNION (LOK-TYPE) C: SUS316 BA 3/8" D: EA E: 10 G: - I: -
B: TUBE (AP) C: SUS316 AP 1/4" D: M E: 32 G: - I: -
B: UNION (LOK-TYPE) C: SUS316 BA 1/4" D: EA E: 8 G: - I: -
B: UNION TEE(LOK-TYPE) C: SUS316 3/8"*1/4" D: EA E: 2 G: - I: -
B: R.UNION C: SUS316 3/8"*1/4" D: EA E: 2 G: - I: -
B: MALE CONNECTOR C: SUS316 3/8"x1/2"PT D: EA E: 2 G: - I: -
B: MALE CONNECTOR C: SUS316 1/4"x3/8"PT D: EA E: 4 G: - I: -
B: FLOW METER C: 1/4" D: EA E: 2 G: - I: -
B: PFA TUBE C: 1/4" D: M E: 12 G: - I: -
B: PFA FITTING C: 1/4" D: EA E: 4 G: - I: -
B: 가압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 D: L/S E: 2 G: - I: -
B: 6, PCW SUB MAIN 증설
B: SUS304 PIPE C: 50A, SCH10 D: M E: 40 G: - I: -
B: SUS304 ELBOW(90) C: 50A, SCH10 D: EA E: 12 G: - I: -
B: SUS304 ELBOW(45) C: 50A, SCH10 D: EA E: 4 G: - I: -
B: SUS304 ELBOW(90) C: 15A, SCH10 D: EA E: 2 G: - I: -
B: SUS304 TEE C: 50A*32A, SCH10 D: EA E: 4 G: - I: -
B: SUS304 TEE C: 50A*25A, SCH10 D: EA E: 4 G: - I: -
B: SUS304 TEE C: 50A*20A, SCH10 D: EA E: 10 G: - I: -
B: SUS304 TEE C: 50A*15A, SCH10 D: EA E: 10 G: - I: -
B: SUS304 REDUCER C: 50A*15A, SCH10 D: EA E: 2 G: - I: -
B: SUS304 BALL VALVE(SCREW) C: 50A D: EA E: 2 G: - I: -
B: SUS304 BALL VALVE(SCREW) C: 32A D: EA E: 4 G: - I: -
B: SUS304 BALL VALVE(SCREW) C: 25A D: EA E: 4 G: - I: -
B: SUS304 BALL VALVE(SCREW) C: 20A D: EA E: 10 G: - I: -
B: SUS304 BALL VALVE(SCREW) C: 15A D: EA E: 11 G: - I: -
B: SUS304 FLANGE C: 50A, 10K D: EA E: 8 G: - I: -
B: BOLT & NUT(SUS304) C: M16 X 110L D: EA E: 16 G: - I: -
B: EPDM GASKET C: 50A D: EA E: 8 G: - I: -
B: PCW 무단수 작업 C: 50A D: LOT E: 2 G: - I: -
B: PIPE & FITTING 산세정 D: LOT E: 1 G: - I: -
A: C. B: EXHAUST LINE 공사
B: 1, CHAMBER EXHAUST LINE C: 2POINT
B: SANITARY PIPE C: 3S D: M E: 32 G: - I: -
B: SANITARY ELBOW C: 3S D: EA E: 8 G: - I: -
B: SANITARY DAMPER(FLANGE타입) C: 3S D: EA E: 1 G: - I: -
B: DC-FLANGE C: 3S D: EA E: 14 G: - I: -
B: CENTER RING C: 3S D: EA E: 8 G: - I: -
B: DC-CLAMP C: 63이상 D: EA E: 32 G: - I: -
B: FRP 라이닝 C: 75A D: 개소 E: 2 G: - I: -
B: 2, GAS BOX EXHAUST LINE C: 2POINT
B: SANITARY PIPE C: 4S D: M E: 32 G: - I: -
B: SANITARY ELBOW C: 4S D: EA E: 8 G: - I: -
B: SANITARY DAMPER(FLANGE타입) C: 4S D: EA E: 1 G: - I: -
B: DC-FLANGE C: 4S D: EA E: 14 G: - I: -
B: CENTER RING C: 4S D: EA E: 8 G: - I: -
B: DC-CLAMP C: 63이상 D: EA E: 32 G: - I: -
B: FRP 라이닝 C: 100A D: 개소 E: 2 G: - I: -
B: 3, L/L, TM PUMP IN C: 2POINT
B: SANITARY PIPE C: 2S D: M E: 24 G: - I: -
B: SANITARY ELBOW C: 2S D: EA E: 12 G: - I: -
B: SANITARY ELBOW(45°) C: 2S D: EA E: 8 G: - I: -
B: NW-FLANGE C: 2S D: EA E: 16 G: - I: -
B: CENTER RING C: 2S D: EA E: 9 G: - I: -
B: NW-CLAMP C: 2S D: EA E: 9 G: - I: -
B: BELLOWS VALVE (LOK) C: SUS316 BA 3/8" D: EA E: 2 G: - I: -
B: BELLOWS C: 50A*150mm D: EA E: 2 G: - I: -
B: SANITARY REDUCER C: 1.5S*2S D: EA E: 2 G: - I: -
B: NW-FLANGE C: 1.5S D: EA E: 2 G: - I: -
B: CENTER RING C: 1.5S D: EA E: 2 G: - I: -
B: NW-CLAMP C: 1.5S D: EA E: 2 G: - I: -
B: 4, L/L, TM PUMP OUT C: 2POINT
B: SANITARY PIPE C: 2S D: M E: 32 G: - I: -
B: SANITARY REDUCER C: 1.5S*2S D: EA E: 4 G: - I: -
B: SANITARY ELBOW C: 2S D: EA E: 24 G: - I: -
B: NW-FLANGE C: 2S D: EA E: 16 G: - I: -
B: NW-FLANGE C: 1.5S D: EA E: 4 G: - I: -
B: NW-CLAMP C: 2S D: EA E: 12 G: - I: -
B: NW-CLAMP C: 1.5S D: EA E: 4 G: - I: -
B: CENTER RING C: 2S D: EA E: 12 G: - I: -
B: CENTER RING C: 1.5S D: EA E: 4 G: - I: -
B: BELLOWS C: 40A*200mm D: EA E: 2 G: - I: -
B: FRP 라이닝 C: 50A D: 개소 E: 2 G: - I: -
B: 5, PROCESS PUMP #1,2 IN LINE C: 4POINT
B: SANITARY PIPE C: 4S D: M E: 32 G: - I: -
B: SANITARY ELBOW C: 4S D: EA E: 8 G: - I: -
B: SANITARY ELBOW(45°) C: 4S D: EA E: 8 G: - I: -
B: SANITARY REDUCER C: 4S*2S D: EA E: 4 G: - I: -
B: DC-FLANGE C: 4S D: EA E: 28 G: - I: -
B: CENTER RING C: 4S D: EA E: 16 G: - I: -
B: DC-CLAMP C: 63이상 D: EA E: 64 G: - I: -
B: SANITARY PIPE C: 2S D: M E: 16 G: - I: -
B: SANITARY ELBOW C: 2S D: EA E: 12 G: - I: -
B: SANITARY ELBOW(45°) C: 2S D: EA E: 8 G: - I: -
B: NW-FLANGE C: 2S D: EA E: 24 G: - I: -
B: CENTER RING C: 2S D: EA E: 16 G: - I: -
B: NW-CLAMP C: 2S D: EA E: 16 G: - I: -
B: BELLOWS VALVE (LOK) C: SUS316 BA 3/8" D: EA E: 4 G: - I: -
B: BELLOWS C: 100A*100mm D: EA E: 4 G: - I: -
B: 6, PROCESS PUMP #1,2 OUT LINE C: 4POINT
B: SANITARY PIPE C: 2S D: M E: 32 G: - I: -
B: SANITARY REDUCER C: 1.5S*2S D: EA E: 4 G: - I: -
B: SANITARY ELBOW C: 2S D: EA E: 24 G: - I: -
B: NW-FLANGE C: 2S D: EA E: 16 G: - I: -
B: NW-FLANGE C: 1.5S D: EA E: 4 G: - I: -
B: NW-CLAMP C: 2S D: EA E: 12 G: - I: -
B: NW-CLAMP C: 1.5S D: EA E: 4 G: - I: -
B: CENTER RING C: 2S D: EA E: 12 G: - I: -
B: CENTER RING C: 1.5S D: EA E: 4 G: - I: -
B: BELLOWS C: 40A*200mm D: EA E: 4 G: - I: -
A: D. B: SUPPORT외 잡자재
B: AR GAS (고순도) C: 47LITER D: BT E: 16 G: - I: -
B: CHANNEL C: 100*50*5T D: M E: 20 G: - I: -
B: SUS304 ANGLE C: 50*50*5T D: M E: 20 G: - I: -
B: UNISTRUT C: 40*20*1.2T D: M E: 30 G: - I: -
B: TUBE CLIP C: 1/4" D: EA E: 200 G: - I: -
B: NAME PLATE & STICKER C: 1/4" D: EA E: 100 G: - I: -
B: 절연 U-BOLT C: 6" D: EA E: 6 G: - I: -
B: 절연 U-BOLT C: 4" D: EA E: 20 G: - I: -
B: 절연 U-BOLT C: 2.5" D: EA E: 10 G: - I: -
B: 절연 U-BOLT C: 2" D: EA E: 40 G: - I: -
B: 앙카볼트 C: 3/8" D: EA E: 20 G: - I: -
B: BEAM CLAMP C: AL타입 D: EA E: 10 G: - I: -
B: AL-BAR C: 1/4", 1/2" D: M E: 20 G: - I: -
B: 전산BOLT C: 3/8" * 3m D: EA E: 10 G: - I: -
B: SUS PANEL C: 2t SUS(600*600) D: EA E: 3 G: - I: -
B: 투명아크릴 악세스플로어 D: EA E: 3 G: - I: -
B: 소 계 G: - I: -
B: PRODUCER 200MM 3TWIN(PECVD) 장비 HOOK-UP
A: A. B: PROCESS GAS LINE 공사
B: 1, PO2 LINE (VCR) C: 2POINT
B: TUBE (EP) C: SUS316 EP 1/4" D: M E: 20 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 10 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/4"*1/2" D: EA E: 1 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/4" D: EA E: 10 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/2" D: EA E: 1 G: - I: -
B: TEE(W/D) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 1 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/4" D: EA E: 12 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/2" D: EA E: 2 G: - I: -
B: DIAPHRAGM V/V(VCR) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 2 G: - I: -
B: REGULATOR(VCR) GAUGE포함 C: 1/4" 0~200PSI(3P) D: EA E: 2 G: - I: -
B: 가압 감압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 ,-1*10-9TORR L/SEC D: L/S E: 2 G: - I: -
B: 2, PO3 LINE (VCR) C: 2POINT
B: TUBE (EP) C: SUS316 EP 1/4" D: M E: 16 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 6 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/4" D: EA E: 6 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/4" D: EA E: 8 G: - I: -
B: DIAPHRAGM V/V(VCR) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 1 G: - I: -
B: REGULATOR(VCR) GAUGE포함 C: 1/4" 0~200PSI(3P) D: EA E: 1 G: - I: -
B: 가압 감압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 ,-1*10-9TORR L/SEC D: L/S E: 1 G: - I: -
B: 3, PN2 LINE (VCR) C: 9POINT
B: TUBE (EP) C: SUS316 EP 1/2" D: M E: 28 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/2" D: EA E: 2 G: - I: -
B: TEE(W/D) C: SUS316 EP 1/2"*1/4" D: EA E: 6 G: - I: -
B: REDUCER(W/D) C: SUS316 EP 1/2"*1/4" D: EA E: 2 G: - I: -
B: TUBE (EP) C: SUS316 EP 1/4" D: M E: 140 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 45 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/4"*1/2" D: EA E: 1 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/4" D: EA E: 45 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/2" D: EA E: 3 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/4" D: EA E: 50 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/2" D: EA E: 4 G: - I: -
B: DIAPHRAGM V/V(VCR) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 9 G: - I: -
B: REGULATOR(VCR) GAUGE포함 C: 1/4" 0~200PSI(3P) D: EA E: 9 G: - I: -
B: 가압 감압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 ,-1*10-9TORR L/SEC D: L/S E: 9 G: - I: -
B: 3, NF3 LINE (VCR) C: 3POINT
B: TUBE (EP) C: SUS316 EP 1/4" D: M E: 56 G: - I: -
B: TEE(W/D) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 2 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 16 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/4"*1/2" D: EA E: 1 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/2" D: EA E: 1 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/4" D: EA E: 16 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/4" D: EA E: 20 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/2" D: EA E: 2 G: - I: -
B: DIAPHRAGM V/V(VCR) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 3 G: - I: -
B: REGULATOR(VCR) GAUGE포함 C: 1/4" 0~200PSI(3P) D: EA E: 3 G: - I: -
B: 가압 감압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 ,-1*10-9TORR L/SEC D: L/S E: 3 G: - I: -
B: 4, PAr LINE (VCR) C: 3POINT
B: TUBE (EP) C: SUS316 EP 1/4" D: M E: 36 G: - I: -
B: TEE(W/D) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 2 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 16 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/4"*1/2" D: EA E: 1 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/2" D: EA E: 1 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/4" D: EA E: 16 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/4" D: EA E: 20 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/2" D: EA E: 2 G: - I: -
B: DIAPHRAGM V/V(VCR) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 3 G: - I: -
B: REGULATOR(VCR) GAUGE포함 C: 1/4" 0~200PSI(3P) D: EA E: 3 G: - I: -
B: 가압 감압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 ,-1*10-9TORR L/SEC D: L/S E: 3 G: - I: -
B: 5, PHe LINE (VCR) C: 3POINT
B: TUBE (EP) C: SUS316 EP 1/4" D: M E: 36 G: - I: -
B: TEE(W/D) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 2 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 16 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/4"*1/2" D: EA E: 1 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/2" D: EA E: 1 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/4" D: EA E: 16 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/4" D: EA E: 20 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/2" D: EA E: 2 G: - I: -
B: DIAPHRAGM V/V(VCR) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 3 G: - I: -
B: REGULATOR(VCR) GAUGE포함 C: 1/4" 0~200PSI(3P) D: EA E: 3 G: - I: -
B: 가압 감압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 ,-1*10-9TORR L/SEC D: L/S E: 3 G: - I: -
B: 6, TEPO LINE (VCR) C: 1POINT
B: TUBE (EP) C: SUS316 EP 1/4" D: M E: 12 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 2 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/4" D: EA E: 2 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/4" D: EA E: 3 G: - I: -
B: 가압 감압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 ,-1*10-9TORR L/SEC D: L/S E: 1 G: - I: -
B: 7, TEOS LINE (VCR) C: 2POINT
B: TUBE (EP) C: SUS316 EP 1/4" D: M E: 16 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 3 G: - I: -
B: TEE(W/D) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 1 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/4" D: EA E: 3 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/4" D: EA E: 4 G: - I: -
B: 가압 감압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 ,-1*10-9TORR L/SEC D: L/S E: 1 G: - I: -
B: 8, TEB LINE (VCR) C: 1POINT
B: TUBE (EP) C: SUS316 EP 1/4" D: M E: 12 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 2 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/4" D: EA E: 2 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/4" D: EA E: 3 G: - I: -
B: 가압 감압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 ,-1*10-9TORR L/SEC D: L/S E: 1 G: - I: -
B: 9, H2 LINE (WELD) C: 1POINT
B: TUBE (EP) C: SUS316 EP 1/4" D: M E: 28 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 3 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/4"*1/2" D: EA E: 1 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/4" D: EA E: 3 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/2" D: EA E: 1 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/4" D: EA E: 4 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/2" D: EA E: 2 G: - I: -
B: DIAPHRAGM V/V(WED) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 1 G: - I: -
B: REGULATOR(VCR) GAUGE포함 C: 1/4" 0~200PSI(3P) D: EA E: 1 G: - I: -
B: 비파괴 검사 C: 약 10개소 D: 식 E: 1 G: - I: -
B: 도면 수정 및 출력비 D: 식 E: 1 G: - I: -
B: 가압 감압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 ,-1*10-9TORR L/SEC D: L/S E: 1 G: - I: -
B: 10, C3H6 LINE (VCR) C: 1POINT
B: TUBE (EP) C: SUS316 EP 1/4" D: M E: 120 G: - I: -
B: TEE(W/D) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 1 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 5 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/4" D: EA E: 5 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/4" D: EA E: 6 G: - I: -
B: DIAPHRAGM V/V(VCR) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 1 G: - I: -
B: REGULATOR(VCR) GAUGE포함 C: 1/4" 0~200PSI(3P) D: EA E: 1 G: - I: -
B: 가압 감압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 ,-1*10-9TORR L/SEC D: L/S E: 1 G: - I: -
A: B. B: GENERAL GAS LINE 공사
B: 1, MAINFARME GN2 LINE (LOK) C: 2POINT
B: TUBE (BA) C: SUS316 BA 1/2" D: M E: 12 G: - I: -
B: UNION (LOK-TYPE) C: SUS316 BA 1/2" D: EA E: 5 G: - I: -
B: MALE CONNECTOR C: SUS316 1/2"*1/2"PT D: EA E: 1 G: - I: -
B: REGULATOR(LOK) GAUGE포함 C: 0~200PSI 1/2"(3P) D: EA E: 1 G: - I: -
B: DIAPHRAGM V/V(LOK) C: SUS316 BA 1/2" D: EA E: 1 G: - I: -
B: TUBE (BA) C: SUS316 BA 1/4" D: M E: 20 G: - I: -
B: UNION (LOK-TYPE) C: SUS316 BA 1/4" D: EA E: 5 G: - I: -
B: DIAPHRAGM V/V(LOK) C: SUS316 BA 1/4" D: EA E: 1 G: - I: -
B: REGULATOR(LOK) GAUGE포함 C: 0~200PSI 1/4"(3P) D: EA E: 1 G: - I: -
B: 가압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 D: L/S E: 2 G: - I: -
B: 2, MAINFRAME CDA LINE (LOK) C: 1POINT
B: TUBE (BA) C: SUS316 BA 3/8" D: M E: 12 G: - I: -
B: UNION (LOK-TYPE) C: SUS316 BA 3/8" D: EA E: 5 G: - I: -
B: R.UNION C: SUS316 1/2"*3/8" D: EA E: 1 G: - I: -
B: MALE CONNECTOR C: SUS316 3/8"*3/8"PT D: EA E: 2 G: - I: -
B: AIR REGULATOR C: 3/8" D: EA E: 1 G: - I: -
B: BALL VALVE (LOK) C: 3/8" D: EA E: 1 G: - I: -
B: 가압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 D: L/S E: 1 G: - I: -
B: 3, PROCESS PUMP GN2 LINE (LOK) C: 3POINT
B: TUBE (BA) C: SUS316 BA 1/2" D: M E: 16 G: - I: -
B: UNION (LOK-TYPE) C: SUS316 BA 1/2" D: EA E: 5 G: - I: -
B: TUBE (BA) C: SUS316 BA 1/4" D: M E: 12 G: - I: -
B: UNION TEE(LOK-TYPE) C: SUS316 1/2"*1/4" D: EA E: 2 G: - I: -
B: R.UNION C: SUS316 1/2"*1/4" D: EA E: 1 G: - I: -
B: DIAPHRAGM V/V(LOK) C: SUS316 BA 1/4" D: EA E: 3 G: - I: -
B: REGULATOR(LOK) GAUGE포함 C: 0~200PSI 1/4"(3P) D: EA E: 3 G: - I: -
B: PFA TUBE C: 1/4" D: M E: 9 G: - I: -
B: PFA FITTING C: 1/4" D: EA E: 3 G: - I: -
B: 가압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 D: L/S E: 1 G: - I: -
B: 4, DTLR GAS CABINET CDA LINE C: 3POINT
B: TUBE (BA) C: SUS316 BA 1/4" D: M E: 16 G: - I: -
B: BALL VALVE (LOK) C: 1/4" D: EA E: 1 G: - I: -
B: AIR REGULATOR C: 1/4" D: EA E: 1 G: - I: -
B: UNION TEE(LOK-TYPE) C: SUS316 1/4" D: EA E: 2 G: - I: -
B: MALE CONNECTOR C: SUS316 1/4" D: EA E: 6 G: - I: -
B: 가압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 D: L/S E: 3 G: - I: -
B: 5, DTLR GAS CABINET PHe LINE (VCR) C: 3POINT
B: TUBE (EP) C: SUS316 EP 1/4" D: M E: 16 G: - I: -
B: TEE(W/D) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 2 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/4"*1/2" D: EA E: 1 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 9 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/2" D: EA E: 1 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/4" D: EA E: 9 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/2" D: EA E: 2 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/4" D: EA E: 10 G: - I: -
B: DIAPHRAGM V/V(VCR) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 1 G: - I: -
B: 가압 감압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 ,-1*10-9TORR L/SEC D: L/S E: 3 G: - I: -
B: 6, DTLR GAS CABINET PN2 LINE C: 3POINT
B: TUBE (EP) C: SUS316 EP 1/4" D: M E: 24 G: - I: -
B: TEE(W/D) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 2 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/4"*1/2" D: EA E: 1 G: - I: -
B: GLAND (LONG) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 9 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/2" D: EA E: 1 G: - I: -
B: FEMALE NUT C: SUS316 1/4" D: EA E: 9 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/2" D: EA E: 2 G: - I: -
B: GASKET(VCR) C: RETAINER TYPE 1/4" D: EA E: 10 G: - I: -
B: DIAPHRAGM V/V(VCR) C: SUS316 EP 1/4" D: EA E: 1 G: - I: -
B: 가압 감압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 ,-1*10-9TORR L/SEC D: L/S E: 3 G: - I: -
B: 7, DEGAS PUMP GN2 LINE (LOK) C: 1POINT
B: TUBE (BA) C: SUS316 BA 1/4" D: M E: 16 G: - I: -
B: UNION (LOK-TYPE) C: SUS316 BA 1/4" D: EA E: 5 G: - I: -
B: R.UNION C: SUS316 1/2"*1/4" D: EA E: 1 G: - I: -
B: DIAPHRAGM V/V(LOK) C: SUS316 BA 1/4" D: EA E: 1 G: - I: -
B: REGULATOR(LOK) GAUGE포함 C: 0~200PSI 1/4"(3P) D: EA E: 1 G: - I: -
B: PFA TUBE C: 1/4" D: M E: 3 G: - I: -
B: PFA FITTING C: 1/4" D: EA E: 1 G: - I: -
B: 가압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 D: L/S E: 1 G: - I: -
B: 8, OZONE RACK CDA LINE C: 1POINT
B: TUBE (BA) C: SUS316 BA 1/4" D: M E: 16 G: - I: -
B: BALL VALVE (LOK) C: 1/4" D: EA E: 5 G: - I: -
B: AIR REGULATOR C: 1/4" D: EA E: 1 G: - I: -
B: R.UNION C: SUS316 1/2"*1/4" D: EA E: 1 G: - I: -
B: MALE CONNECTOR C: SUS316 1/4" D: EA E: 2 G: - I: -
B: 가압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 D: L/S E: 1 G: - I: -
A: C. B: PCW LINE 공사
B: 1, MAINFRAME PCW LINE C: 1POINT
B: TUBE (AP) C: SUS316 AP 1-1/2" D: M E: 40 G: - I: -
B: UNION (LOK-TYPE) C: SUS316 BA 1-1/2" D: EA E: 6 G: - I: -
B: UNION ELBOW (LOK-TYPE) C: SUS316 BA 1-1/2" D: EA E: 8 G: - I: -
B: FLOW METER C: 1-1/2" D: EA E: 1 G: - I: -
B: MALE CONNECTOR C: SUS316 1-1/2" D: EA E: 4 G: - I: -
B: BALL VALVE (LOK) C: 1-1/2" D: EA E: 2 G: - I: -
B: 가압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 D: L/S E: 1 G: - I: -
B: 2, PROCESS,DEGAS PUMP PCW LINE C: 4POINT
B: TUBE (AP) C: SUS316 AP 1/2" D: M E: 64 G: - I: -
B: UNION (LOK-TYPE) C: SUS316 BA 1/2" D: EA E: 16 G: - I: -
B: UNION TEE(LOK-TYPE) C: SUS316 1/2"*3/8" D: EA E: 4 G: - I: -
B: R.UNION C: SUS316 1/2"*3/8" D: EA E: 4 G: - I: -
B: TUBE (AP) C: SUS316 AP 3/8" D: M E: 40 G: - I: -
B: UNION (LOK-TYPE) C: SUS316 BA 3/8" D: EA E: 10 G: - I: -
B: MALE CONNECTOR C: SUS316 3/8"x1/2"PT D: EA E: 16 G: - I: -
B: FLOW METER C: 3/8" D: EA E: 4 G: - I: -
B: BALL VALVE (LOK) C: 3/8" D: EA E: 8 G: - I: -
B: PFA TUBE C: 3/8" D: M E: 24 G: - I: -
B: PFA FITTING C: 3/8" D: EA E: 8 G: - I: -
B: 가압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 D: L/S E: 1 G: - I: -
B: 3, SMC PCW LINE C: 1POINT
B: TUBE (AP) C: SUS316 AP 1/2" D: M E: 40 G: - I: -
B: UNION (LOK-TYPE) C: SUS316 BA 1/2" D: EA E: 10 G: - I: -
B: MALE CONNECTOR C: SUS316 1/2"*1/2"PT D: EA E: 4 G: - I: -
B: FLOW METER C: 1/2" D: EA E: 1 G: - I: -
B: BALL VALVE (LOK) C: 3/8" D: EA E: 2 G: - I: -
B: 가압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 D: L/S E: 1 G: - I: -
B: 4, OZON RACK PCW LINE C: 1POINT
B: TUBE (AP) C: SUS316 AP 1" D: M E: 40 G: - I: -
B: UNION (LOK-TYPE) C: SUS316 BA 1" D: EA E: 8 G: - I: -
B: UNION ELBOW (LOK-TYPE) C: SUS316 BA 1" D: EA E: 8 G: - I: -
B: FLOW METER C: 1" D: EA E: 1 G: - I: -
B: MALE CONNECTOR C: SUS316 1"*1"PT D: EA E: 4 G: - I: -
B: BALL VALVE (LOK) C: 1" D: EA E: 2 G: - I: -
B: PFA TUBE C: 1" D: M E: 24 G: - I: -
B: PFA FITTING C: 1" D: EA E: 8 G: - I: -
B: 가압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 D: L/S E: 1 G: - I: -
A: D. B: EXHAUST LINE 공사
B: 1, MAINFRAME GAS PANEL EXHAUST LINE C: 1POINT
B: 구조관 PIPE C: SUS304, 200A D: M E: 12 G: - I: -
B: 구조관 ELBOW C: SUS304, 200A D: EA E: 8 G: - I: -
B: 구조관 DAMPER(FLANGE타입) C: SUS304, 200A D: EA E: 1 G: - I: -
B: DC-FLANGE C: 8S D: EA E: 5 G: - I: -
B: CENTER RING C: 8S D: EA E: 3 G: - I: -
B: DC-CLAMP C: 63이상 D: EA E: 12 G: - I: -
B: FRP 라이닝 C: 200A D: L/S E: 2 G: - I: -
B: 2, DTLR CABINET EXHAUST LINE C: 3POINT
B: 구조관 PIPE C: SUS304, 150A D: M E: 20 G: - I: -
B: 구조관 ELBOW C: SUS304, 150A D: EA E: 10 G: - I: -
B: 구조관 TEE C: SUS304, 150A D: EA E: 2 G: - I: -
B: 구조관 DAMPER(FLANGE타입) C: SUS304, 150A D: EA E: 3 G: - I: -
B: 구조관 REDUCER C: SUS304, 150A*100A D: EA E: 1 G: - I: -
B: DC-FLANGE C: 6S D: EA E: 13 G: - I: -
B: CENTER RING C: 6S D: EA E: 7 G: - I: -
B: DC-CLAMP C: 63이상 D: EA E: 28 G: - I: -
B: FRP 라이닝 C: 150A D: L/S E: 1 G: - I: -
B: 3, OZON RACK EXHAUST LINE C: 1POINT
B: 구조관 PIPE C: SUS304, 125A D: M E: 12 G: - I: -
B: 구조관 ELBOW C: SUS304, 125A D: EA E: 6 G: - I: -
B: 구조관 DAMPER(FLANGE타입) C: SUS304, 125A D: EA E: 1 G: - I: -
B: DC-FLANGE C: 5S D: EA E: 5 G: - I: -
B: CENTER RING C: 5S D: EA E: 3 G: - I: -
B: DC-CLAMP C: 63이상 D: EA E: 12 G: - I: -
B: FRP 라이닝 C: 125A D: L/S E: 1 G: - I: -
B: 4, TWIN CHAMBER EXHAUST LINE C: 3POINT
B: SANITARY PIPE C: 2S D: M E: 36 G: - I: -
B: SANITARY DAMPER(FLANGE타입) C: 2S D: EA E: 3 G: - I: -
B: SANITARY ELBOW C: 2S D: EA E: 15 G: - I: -
B: NW-FLANGE C: 2S D: EA E: 22 G: - I: -
B: NW-CLAMP C: 2S D: EA E: 12 G: - I: -
B: CENTER RING C: 2S D: EA E: 12 G: - I: -
B: FRP 라이닝 C: 50A D: 개소 E: 3 G: - I: -
B: 5, LOADLOCK PUMP IN LINE C: 1POINT
B: SANITARY PIPE C: 4S D: M E: 8 G: - I: -
B: SANITARY ELBOW C: 4S D: EA E: 2 G: - I: -
B: SANITARY ELBOW(45°) C: 4S D: EA E: 2 G: - I: -
B: SANITARY REDUCER C: 4S*1S D: EA E: 1 G: - I: -
B: DC-FLANGE C: 4S D: EA E: 7 G: - I: -
B: CENTER RING C: 4S D: EA E: 4 G: - I: -
B: DC-CLAMP C: 63이상 D: EA E: 16 G: - I: -
B: SANITARY PIPE C: 1S D: M E: 4 G: - I: -
B: SANITARY ELBOW C: 1S D: EA E: 3 G: - I: -
B: SANITARY ELBOW(45°) C: 1S D: EA E: 2 G: - I: -
B: NW-FLANGE C: 1S D: EA E: 6 G: - I: -
B: CENTER RING C: 1S D: EA E: 4 G: - I: -
B: NW-CLAMP C: 1S D: EA E: 4 G: - I: -
B: BELLOWS VALVE (LOK) C: SUS316 BA 3/8" D: EA E: 1 G: - I: -
B: BELLOWS C: 100A*100mm D: EA E: 3 G: - I: -
B: 6, LOADLOCK PUMP OUT LINE C: 1POINT
B: SANITARY PIPE C: 2S D: M E: 4 G: - I: -
B: SANITARY REDUCER C: 1.5S*2S D: EA E: 1 G: - I: -
B: SANITARY ELBOW C: 2S D: EA E: 6 G: - I: -
B: NW-FLANGE C: 2S D: EA E: 4 G: - I: -
B: NW-FLANGE C: 1.5S D: EA E: 1 G: - I: -
B: NW-CLAMP C: 2S D: EA E: 3 G: - I: -
B: NW-CLAMP C: 1.5S D: EA E: 1 G: - I: -
B: CENTER RING C: 2S D: EA E: 3 G: - I: -
B: CENTER RING C: 1.5S D: EA E: 1 G: - I: -
B: BELLOWS C: 40A*200mm D: EA E: 1 G: - I: -
B: FRP 라이닝 C: 50A D: L/S E: 2 G: - I: -
B: 7, DEGAS PUMP IN LINE C: 1POINT
B: SANITARY PIPE C: 4S D: M E: 8 G: - I: -
B: SANITARY ELBOW C: 4S D: EA E: 2 G: - I: -
B: SANITARY ELBOW(45°) C: 4S D: EA E: 2 G: - I: -
B: SANITARY REDUCER C: 4S*1S D: EA E: 1 G: - I: -
B: DC-FLANGE C: 4S D: EA E: 7 G: - I: -
B: CENTER RING C: 4S D: EA E: 4 G: - I: -
B: DC-CLAMP C: 63이상 D: EA E: 16 G: - I: -
B: SANITARY PIPE C: 1S D: M E: 4 G: - I: -
B: SANITARY ELBOW C: 1S D: EA E: 3 G: - I: -
B: SANITARY ELBOW(45°) C: 1S D: EA E: 2 G: - I: -
B: NW-FLANGE C: 1S D: EA E: 6 G: - I: -
B: CENTER RING C: 1S D: EA E: 4 G: - I: -
B: NW-CLAMP C: 1S D: EA E: 4 G: - I: -
B: BELLOWS VALVE (LOK) C: SUS316 BA 3/8" D: EA E: 1 G: - I: -
B: BELLOWS C: 100A*100mm D: EA E: 3 G: - I: -
B: 8, DEGAS PUMP OUT LINE C: 1POINT
B: SANITARY PIPE C: 2S D: M E: 4 G: - I: -
B: SANITARY REDUCER C: 1.5S*2S D: EA E: 1 G: - I: -
B: SANITARY ELBOW C: 2S D: EA E: 6 G: - I: -
B: NW-FLANGE C: 2S D: EA E: 4 G: - I: -
B: NW-FLANGE C: 1.5S D: EA E: 1 G: - I: -
B: NW-CLAMP C: 2S D: EA E: 3 G: - I: -
B: NW-CLAMP C: 1.5S D: EA E: 1 G: - I: -
B: CENTER RING C: 2S D: EA E: 3 G: - I: -
B: CENTER RING C: 1.5S D: EA E: 1 G: - I: -
B: BELLOWS C: 40A*200mm D: EA E: 1 G: - I: -
B: FRP 라이닝 C: 50A D: L/S E: 2 G: - I: -
B: 9, DTLR VENTURI EXHAUST LINE C: 3POINT
B: TUBE (AP) C: SUS316 AP 3/8" D: M E: 36 G: - I: -
B: UNION (LOK-TYPE) C: SUS316 BA 3/8" D: EA E: 9 G: - I: -
B: BALL VALVE (LOK) C: 3/8" D: EA E: 3 G: - I: -
B: FRP 라이닝 C: 3/8" D: L/S E: 2 G: - I: -
B: 10, OZON DUMP EXHAUST LINE C: 1POINT
B: TUBE (AP) C: SUS316 AP 3/8" D: M E: 12 G: - I: -
B: UNION (LOK-TYPE) C: SUS316 BA 3/8" D: EA E: 3 G: - I: -
B: BALL VALVE (LOK) C: 3/8" D: EA E: 1 G: - I: -
B: FRP 라이닝 C: 3/8" D: L/S E: 2 G: - I: -
B: 11, PM#1,2,3 PUMP IN LINE C: 3POINT
B: SANITARY PIPE C: 4S D: M E: 24 G: - I: -
B: SANITARY ELBOW C: 4S D: EA E: 6 G: - I: -
B: SANITARY ELBOW(45°) C: 4S D: EA E: 6 G: - I: -
B: SANITARY REDUCER C: 4S*2S D: EA E: 3 G: - I: -
B: DC-FLANGE C: 4S D: EA E: 21 G: - I: -
B: CENTER RING C: 4S D: EA E: 12 G: - I: -
B: DC-CLAMP C: 63이상 D: EA E: 48 G: - I: -
B: SANITARY PIPE C: 2S D: M E: 12 G: - I: -
B: SANITARY ELBOW C: 2S D: EA E: 9 G: - I: -
B: SANITARY ELBOW(45°) C: 2S D: EA E: 6 G: - I: -
B: NW-FLANGE C: 2S D: EA E: 18 G: - I: -
B: CENTER RING C: 2S D: EA E: 12 G: - I: -
B: NW-CLAMP C: 2S D: EA E: 12 G: - I: -
B: BELLOWS VALVE (LOK) C: SUS316 BA 3/8" D: EA E: 3 G: - I: -
B: BELLOWS C: 100A*100mm D: EA E: 3 G: - I: -
B: 12, PM#1,2,3 PUMP OUT LINE C: 3POINT
B: SANITARY PIPE C: 2S D: M E: 20 G: - I: - M: - N: -
B: SANITARY REDUCER C: 1.5S*2S D: EA E: 3 G: - I: - M: - N: -
B: SANITARY ELBOW C: 2S D: EA E: 18 G: - I: - M: - N: -
B: NW-FLANGE C: 2S D: EA E: 12 G: - I: - M: - N: -
B: NW-FLANGE C: 1.5S D: EA E: 3 G: - I: -
B: NW-CLAMP C: 2S D: EA E: 9 G: - I: -
B: NW-CLAMP C: 1.5S D: EA E: 6 G: - I: - M: - N: -
B: CENTER RING C: 2S D: EA E: 9 G: - I: - M: - N: -
B: CENTER RING C: 1.5S D: EA E: 6 G: - I: - M: - N: -
B: BELLOWS C: 40A*200mm D: EA E: 3 G: - I: -
B: 13, RPI ROBOT VACUUM LINE C: 1POINT
B: TUBE (BA) C: SUS316 BA 1/4" D: M E: 12 G: - I: - M: - N: -
B: R.UNION C: SUS316 1/2"*1/4" D: EA E: 5 G: - I: -
B: R.UNION C: SUS316 1/2"*1/4" D: EA E: 1 G: - I: -
B: BALL VALVE (LOK) C: 1/4" D: EA E: 3 G: - I: - M: - N: -
B: FEMALE CONNECTOR C: SUS316 1/4" D: EA E: 1 G: - I: - M: - N: -
B: ONE TOUCH C: SUS316 1/4" D: EA E: 1 G: - I: - M: - N: -
B: 우레탄호스 C: 1/4" D: M E: 1 G: - I: - M: - N: -
B: 가압 LEAK CHECK C: 150PSI이상 D: L/S E: 3 G: - I: - M: - N: -
A: E. B: SUPPORT외 잡자재
B: AR GAS (고순도) C: 47LITER D: BT E: 21 G: - I: -
B: CHANNEL C: 100*50*5T D: M E: 40 G: - I: - M: - N: -
B: SUS304 ANGLE C: 50*50*5T D: M E: 20 G: - I: - M: - N: -
B: UNISTRUT C: 40*20*1.2T D: M E: 30 G: - I: - M: - N: -
B: TUBE CLIP C: 1/4" D: EA E: 200 G: - I: -
B: NAME PLATE & STICKER C: 1/4" D: EA E: 100 G: - I: -
B: 절연 U-BOLT C: 8" D: EA E: 20 G: - I: - M: - N: -
B: 절연 U-BOLT C: 6" D: EA E: 10 G: - I: - M: - N: -
B: 절연 U-BOLT C: 5" D: EA E: 10 G: - I: - M: - N: -
B: 절연 U-BOLT C: 4" D: EA E: 20 G: - I: - M: - N: -
B: 절연 U-BOLT C: 2" D: EA E: 60 G: - I: - M: - N: -
B: 앙카볼트 C: 3/8" D: EA E: 20 G: - I: - M: - N: -
B: BEAM CLAMP C: AL타입 D: EA E: 30 G: - I: - M: - N: -
B: AL-BAR C: 1/4", 1/2" D: M E: 20 G: - I: -
B: 전산BOLT C: 3/8" * 3m D: EA E: 10 G: - I: -
B: SUS PANEL C: 2t SUS(600*600) D: EA E: 2 G: - I: - M: - N: -
B: 비파괴 검사 C: H2 D: L/S E: 1 G: - I: - M: - N: -
B: 투명아크릴 악세스플로어 D: EA E: 2 G: - I: - M: - N: -
B: 소 계 G: - I: -
B: TOTAL G: - I: - N: -

===== (붙임4)시방서.hwp ===== 시 방 서 [반도체공동연구소 환경 구축] (클린룸 설비) 2026.09 Ⅰ. 기본사항 1. 개요

가. 입 찰 명 : 가천대학교 반도체공동연구소 환경구축 클린룸 설비

나. 설치기한 : 발주후 45일 이내 다. 설치용도 : 반도체공동연구소 환경구축

라. 설치규격 : ISO 5,6(US FED STD 209E 기준 Class 100/1,000)

시방서에 명시된 클린룸 환경 유지에 필요한 모든 시설과 물품을 포함한다.

마. 하자보증 : 설치 완료일로부터 24개월간 그 품질과 성능을 보장하며, 상기 기간 중에

발생한 하자 및 고장은 “시공사”에서 책임지고 수리 보수를 하도록 한다.

2. 설치장소

경기도 성남시 수정구 성남대로 1342(복정동) 가천대 글로벌캠퍼스 반도체대학

3. 업무범위

가. 현황파악 : 입찰 전 리모델링 구간에 대한 현황파악 및 현장실측 업무 포함.

나. 주요업무

(1) 장비설치 : 항온항습 실외기(6대) 3F->1F 이동 재설치

(2) 공조배관 : 냉매배관, 급수 및 배수배관 이동설치 구간 배관 일체 구성 및 정검

(3) 시스템씰링 : SYSTEM CEILING 일체 점검

(4) 유틸리티시스템 : 초순수(DI WATER) 재설치, 공정용 냉각수(PCW) 점검

CDA (Air) 5HP 및 일체 설비 신규설치

(5) 유틸리티 배관 : CDA, PCW, DI, CW, DRAIN, Etc. 철거 및 점검 & 정리정돈

GAS LINE (N2,Ar,O2,H2), Etc. 철거 및 점검 & 정리정돈

(6) 배기설비 : 유기(ORG)배기, 열(HEAT)배기, 철거 및 점검 정리정돈

(7) 자동제어 ; ACU 온습도 모니터링, FFU, BFU 자동제어, 기타 점검

(8) 바닥공사 : 전도성타일 청소(엘로우존 1,화이트존 1), 전도성타일 신규교체

(화이트존 2 계측기실)

(9) 기존설비 이동 및 재설치 공사 : 기존설비 복도쪽 이동 및 크린룸공사 완료후

재설치 공사

(10) 보증업무 : T.A.B 측정, 시운전

4. 특기사항

가. 공사중 현재 인접한 타실험실 및 강의실의 정상 운용에 지장을 주지 않도록 하여야
하며, 소음, 진동을 방지하기 위한 특단의 방안을 강구하여 시공하여야 한다.

입찰 참여업체는 입찰전에 반드시 현장방문하여 현장 여건을 충분히 파악하여 소음,
진동, 오염방지 계획을 반영하여, 시공과정에서 문제가 최소화 하도록 하여야 한다.

나. 향후 시공사로 채택 후 “낙찰자“가 현장 여건을 제데로 확인하지 못한 사유로 인해
공사 착공이 지연되거나 최종 승인되지 아니한 경우에는, 계약 파기 및 지연에 대한
일체의 손해배상을 부담하여야 한다.

Ⅱ. 청정실 규격 1. 기본사항

가. 설계자료(시방서, 도면, 내역서)에 명시된 클린룸 환경조건을 보증하여야 한다.

나. 청정실 공사 완료 후, T.A.B 보고서를 제출한다.

다. T.A.B 용역 비용은 공사내역에 포함되어야 하며, 모든 계측장비는 검정기관의 검정을
받은 장비로 실시하며, 측정전에 관련 자료를 제출하여 승인을 득하도록 한다.

파티클, 온도, 습도, 풍속, 소음, 진동, 차압, 조도, 접지 저항치 등을 측정한다.

라. 항온항습장치의 장비 이설 후, 성능 보증을 위해 성능평가서 작성후 감독관 승인을
득한다.

마. 입찰시 제공되는 설계도면은 입찰을 위한 기초자료의 기본도면이며, ”낙찰자“는 현장
여건을 반영한 시공도면을 작성하여 제출하여야 한다.

바. 상기 시방서에 제시된 설치기한에 맞춰서 세부공사일정표를 제출하여야 한다.

2. 청정실 장비 점검

가. 항온항습공조기 점검 (Yellow Room 1대, White Room(1,2) 2대

(1) 점검 내용 운전 상태(가동/정지) 및 이상 유무 확인

실내·외기 팬(Motor) 소음, 진동 및 베어링 상태 점검

냉동기 압축기 운전 상태 및 냉매 누설 여부 확인

증발기 및 응축기 오염 상태 점검 및 세척 냉매 압력 및 운전전류 측정

가습기(전극봉, 히터, 노즐) 작동 상태 점검

온·습도 센서 교정 및 제어값 확인 프리필터 및 미디엄필터 오염도 점검 및 교체 배수트랩 및 드레인 배관 막힘 여부 확인

전기배선, 차단기, 마그네트, 릴레이 체결 상태 점검

PLC 및 제어반 경보(Alarm) 이력 확인

시험운전을 통한 설정 온·습도 유지 여부 확인

나. 실외기(Condensing unit) 이동 설치 (3F->1F) 6대

(1) 점검 내용

기존 3층 난간 설치 실외기를 1층 지상으로 이전 설치

냉매배관 철거 및 신규 배관 시공 보온재 및 마감재 신규 시공 냉매 진공 및 충전 시운전 및 성능 확인

다. 에어샤워(AIR SHOWER) 정검 (기존사용시설 에어샤워 점검 1대)

(1) 점검 내용 외관 및 도어 손상 여부 확인 인터락(Interlock) 기능 점검 자동문 개폐 상태 확인 송풍기 운전 상태 확인 HEPA Filter 차압 및 오염도 점검 노즐 풍속 및 풍량 측정 프리필터 오염 여부 확인 내부 조명 및 표시등 작동 확인 비상정지 스위치 작동 확인 제어판 및 타이머 기능 점검 내부 청소 및 살균 상태 확인

라. 시스템씰링(SYSTEM CEILING) 점검

(1) 점검 내용 천장 패널 변형 및 오염 여부 확인 T-Bar 및 행거 체결 상태 확인

실링(Sealant) 균열 및 이탈 여부 확인

HEPA Filter 프레임 체결 상태 확인 천장 개구부 마감 상태 확인 누수 흔적 및 결로 발생 여부 확인 청정도 유지 상태 확인 유지보수 시 개폐 가능 여부 확인

3. 유틸리티(UTILITY) 배관 정리정돈 (Yellow Room, White Room 전체 배관)

가. 공통사항

(1) 모든 가스 및 유틸리티 배관 설치는 가천대학교 감독관의 승인을 득(得)한 후
시공한다.

(2) 기존장비 철거 후 유틸리티 배관 정리

기존 크린룸 등 장비 해체 이후 기존 유틸리티 배관 철거 및 마감 정리

유틸리티 배관 종류는 CDA, GN2, PCW, CW, DI, DRAIN, EXHAUST DUCT, 기타

철거 전 철거대상을 확인 후 진행하며, 철거로 인해 구조적 결함이 발생할 것으로

예상되는 경우에는 필요에 따라 보강공사를 선행 한 후 진행한다.

(3) 유틸리티 배관라인에 대한 도면 검토를 실시,, 크린룸 시공과 연계하여 간섭체크

및 루트에 대한 Shop Dwg.을 제공하도록 한다.

(4) 크린룸이 기존 실험실 내부에 구축되는 관계로, 진입 동선에 대한 보양작업을 철저히 하여 기존 건축물 및 시설물이 파손, 오염되지 않도록 하여야 한다. 바닥에는 공사중 전체 보양작업을 실시하며, 보양재의 사양은 감독관과 협의하여 시공하여야 한다. 또한, 이동 동선의 벽체, 엘리베이터, 기타 계단등의 보양을 사전에 실시하며, 보양작업이 충분히 완료 되었다고 판단되면 감독관의 승인을 득한 후에 작업을 실시할 수 있다.

(5) 시공 완료 후, PURGE 및 LEAK TEST를 실시하며 보고서 제출을 하도록 한다.

나. UTILITY SYSTEM 및 PIPING

청정실내의 유틸리티 및 가스가 필요한 장비에 안전하고 효율적으로 공급할 수 있도록, Valve 등의 배관자재를 사용하여 아래의 기준에 준하여 구성한다.

(1) PCW PIPING PIPING SIZE MATERIAL REMARK Main Piping 25A SUS304 User Point 15A SUS304 Valve 마감 Valve는 Ball Valve를 사용한다.

System 배관 구성 및 청정실 공급배관을 구성한다.

(2) CDA SYSTEM 및 PIPING PIPING SIZE MATERIAL REMARK Main Piping 25A SUS304 User Point 15A SUS304 Valve 마감 Valve는 Ball Valve를 사용한다.

System 배관 구성 및 청정실 공급배관을 구성한다.

Tubing, Welding시 배관 내에 남아 있을 수 있는 Particle 등의 오염물질을 Ar

또는 N2 Gas로 플러싱(Flushing)하여 제거함으로써, 배관 내 청정을 유지 한다.

시공 된 배관 내부에 상용압력의 1.25배 이상으로 24시간 동안 가압한 후 배관내

압력의 변화율을 2시간 단위로 체크한다.

(3) H/G, ORG. EXHAUST SYSTEM 및 DUCT

PIPING UTILITY SIZE MATERIAL REMARK Main Duct ORG 300A SUS Spiral Duc ACID 300A PVC User Point ORG 도면 SUS Spiral Duc ACID 도면 PVC

ACID Exaust Damper는 PVC, ORG. Exhaust Damper는 SUS 재질

System Duct 구성 및 청정실 배기Duct를 구성한다.

(4) DRAIN SYSTEM 및 PIPING

Lv Gauge 및 LEAK Sensor 설치

Valve는 Ball Valve를 사용한다.

System 배관 구성 및 청정실 배수배관을 구성한다.

(5) 유틸리티 배관 재질 사용구분 명칭 및 재질 참조규격 순수(D.I) 내열성 경질염화 비닐관 (CLEAN PVC) KSM 3414 압축공기(CDA) 배관용 스테인레스 강관 (STS 304) KSD 3576 공정용 냉각수(PCW) 배관용 스테인레스 강관 (STS 304) KSD 3576 폐수(DRAIN) 경질염화비닐관 (PVC-VG1 or PP) KSM 3403 배기(EXHAUST) 갈바덕트(SPIRAL) 경질염화비닐 덕트(PVC) 스테인레스 턱트(SUS SPIRAL) KS D 3506 KS M 3501 KS D 3705 물 품 규 격 서

전도성타일 (Yellow Room, White Room-2(계측기실)) 교체

규격 및 수량 제품 이미지

■ 규
격

- 600x600x3T

■ 수
량 : 180㎡

■ 설치장소 : 지정장소

자동문 3F 출입문 1개소, White Room-2(계측기실) 1개소

규격 및 수량 제품 이미지

■ 규
격

- 1500x2100H

■ 수
량 : 2SET

■ 설치장소 : 지정장소 판넬양개도어 White Room-1 1개소 규격 및 수량 제품 이미지

■ 규
격

- 1800x2100H

■ 수
량 : 1SET

■ 설치장소 : 지정장소 판넬편개도어 (전실 출입문) 규격 및 수량 제품 이미지

■ 규
격

- 900x2100H

■ 수
량 : 1SET

■ 설치장소 : 지정장소

Air Compressor(Oil Free Type) 3F 기계실

규격 및 수량 제품 이미지

■ 규
격

- 545x665x1065H 토출압력 0.65~0.8MPa 전동기출력 3.7KW 탱크용량 35L

■ 수
량 : 1대

■ 설치장소 : 지정장소

Air Compressor(일체형 Dryer) 3F 기계실

규격 및 수량 제품 이미지 ■ 규격 및 SPEC - 420Lx705Wx810H Capacity 0.71(N㎥/min) In/Out 1/2“ Electricity 2.61A Filter 3개 내장

■ 수
량 : 1대

■ 설치장소 : 지정장소

신발장 (전실 1개소, White Room-2 1개소)

규격 및 수량 제품 이미지

■ 규
격

- 600Wx350Dx1130H SUS 도어형

■ 수
량 : 2SET

■ 설치장소 : 지정장소 실험실일반의자 (White Room-2) 규격 및 수량 제품 이미지

■ 규
격

일반의자용 검정색

■ 수
량 : 12 EA

■ 설치장소 : 지정장소 Mask Table (전실) 규격 및 수량 제품 이미지

■ 규
격

SUS 1320Wx450Dx980H 보관함3, 폐기1 or 보관 4

■ 수
량 : 1SET

■ 설치장소 : 지정장소 Clean Locker (전실) 규격 및 수량 제품 이미지

■ 규
격

1200Wx650Dx2490H 수직기류식 오픈형(도어 無)

■ 수
량 : 1SET

■ 설치장소 : 지정장소

Work Table (White Room-2 계측기실)

규격 및 수량 제품 이미지

■ 규
격

SUS 1500Wx800Dx800H 무타공, 수평조절좌 1단

■ 수
량 : 12EA

■ 설치장소 : 지정장소

Hanger (전실 1개소, White Room-2 계측기실 1개소)

규격 및 수량 제품 이미지

■ 규
격

SUS 1000Wx500Dx1900H 방진복 및 일반복용

■ 수
량 : 2SET

■ 설치장소 : 지정장소 진공청소기 규격 및 수량 제품 이미지

■ 규
격

20L 대용량 건식, 습식 진공청소기

■ 수
량 : 1SET

■ 설치장소 : 지정장소 Hepa Filter (크린룸 헤파필터) 규격 및 수량 제품 이미지

■ 규
격

610x610x150t

Efficiency (0.3㎛) 99.98%이상

■ 수
량 : 6SET

■ 설치장소 : 지정장소 Ulpa Filter (크린룸 울파필터) 규격 및 수량 제품 이미지

■ 규
격

610x610x75t Efficiency (0.1㎛) 99.98%

■ 수
량 : 16SET

■ 설치장소 : 지정장소 특 기 시 방 서 1. 바닥 타일공사 - Yellow Room - White Room 1, 2 * 공사범위 전도성 타일 제거 전도성 타일 시공

*전도성 타일 규격 (600 x 600 x 3t)

2. 자동문 및 판넬도어 설치공사

자동문3층 복도 출입문 1개소 (1800x2100H)

자동문3층 계측실룸(화이트2) 출입문 1개소 (1800x2100H)

판넬도어(양개) 화이트1 출입문 1개소 (1800x2100H)

판넬도어(편개) 수막룸 1개소 (900x2100H)

3. 항온항습기 Repair

실외기 이설(1F), 3F->1F 이설이동

- 판넬타공 및 원복 - Copper Tube - Refrigerant - 용접부자재 - Structure 제작 - 칠러 Repair 점검

4. Air Compressor 설치공사 : Yellow Room 뒤쪽 기존 콤퓨레샤실

Oil free Compressor (5hp)

- 일체형 Dryer - 1차 Piping 작업 5. 스막룸 크린기기 납품

신발장( 가천대 3F 재고품 사용) 1대 재사용, 신규1대설치:전실용 (1) 계측기실용(1) 25인~30인용

- Clean Locker: 전실용

Wark Table(SUS) : 1500x800x800H 18개, White Room 2

실험실일반의자 :18개, White Room 2

- Hanger - 진공청소기

6. Filtter 교체 : White Room 1,2

Hepa Filter : 610x610x150t : 6개

Ulpa Filter : 1200x1200x75t : 15개

7. Scrubber 철거 및 End Cap 마감처리: White Room 1,2 Scrubber 철거

-천정부 배기라인 철거 및 마감작업 : White Room 1,2

8. 기존가스라인 정리 및 정검

-가스라인 정검후 정리정돈 : Yellow Room, White Room 1,2

9.) DI Water 라인 연결

-DI Water 라인 정검후 연결 : Yellow Room

10) 장비이설 : Yellow Room - 철거 및 이동

(장비목록 : Chemical Bench, Sputter, Glove Box, Oven Mask Aligner Etc)

===== (붙임5)도면.pdf =====
가천대학교 반도체공동연구소 환경구축 설계도서

방화셧터 5500 13650 P/B CH: 2,400 CH: 2,400 방화도어 1000x500 CH: 2,400 Utility Room 폐기물저장소(3200x1600) CLEAN ROOM LAY-OUT CLEAN ROOM LAY-OUT 방화셧터 5500 13650 제습기

FUME HOOD FUME HOOD
2.Wet Bench

1.CHEMICAL FUME HOOD FUME HOOD

Shower
케미칼
보관함

P/B
4.ETCHER

CH: 2,400 CH: 2,400 CH: 2,400

FUME HOOD
FUME HOOD

캐비닛
ECO-PRO

진 공 증 착 기
Table

Table 6.Glove Box 방화도어 1000x500 5.SPUTTER 3.CHEMICAL FUME HOOD Utility Room 폐기물저장소(3200x1600) YELLOW ROOM 설비 항목

1800 (W) x 800(D)
2300(W) x 800(D)
1800(W) x 800(D)
1200(W) x 630(D)
2300(W) x 1600(D)
2400(W) x 1100(D)
1200(W) x 1000(D)
1500(W) x 1000(D)
1500(W) x 1000(D)
700(W) x 700(D)

LEGEND
SYMBOL

CLEAN ROOM LAY-OUT

SPECIFICATION
현재 보유장비
현재 보유장비
현재 보유장비
작업테이블 및 케비넷 현재 보유장비

CLEAN ROOM LAY-OUT

Remark
굿찌:250A

굿찌:300A 방화셧터 Gas Bombe Room(850x1150) 5500 CH: 2,400 13650 1000x500 1000x500

600x400
1000x500

1000x500
1000x400

1500x500
1000x400

500x600 A/S 장비반입구 Fix Window 떼기판넬(1800x2300H) P/B CH: 2,400 1200x500 CH: 2,400 방화도어 1000x500 1000x500 1500x460 Fix 1500x500 굿찌:200A Utility Room

점검도어 600x1000
폐기물저장소(3200x1600)

CEILING PANEL CEILING PANEL

Remark
항온항습기

FFU Hepa Box Diffuser Relief Damper 굿찌:200A 굿찌:250A 굿찌:300A 방화셧터 Gas Bombe Room(850x1150) 5500 13650 1,150 Fix Window 장비반입구 A/S 850 600x400 떼기판넬(1800x2300H) P/B CH: 2,400 CH: 2,400 Fix 방화도어

점검도어 600x1000
폐기물저장소(3200x1600)

F.F.U, HEPA BOX, DIFFUSER PLAN

FFU 외 PLAN

Remark
항온항습기

FFU Hepa Box Diffuser Relief Damper 굿찌:200A 굿찌:250A 굿찌:300A 방화셧터 Gas Bombe Room(850x1150) 5500 장비반입구 Fix Window 13650 A/S 떼기판넬(1800x2300H) P/B CH: 2,400 CH: 2,400 Fix 방화도어

점검도어 600x1000
폐기물저장소(3200x1600)

천장높이: 400Lx2,500H 1500Lx2,500H 950Lx2,500H 950Lx2,500H 1100Lx2,500H 1000Lx2,500H 1000Lx2,500H 1250Lx2,500H 1000Lx2,500H DUCT 배치 및 천장상부높이 DUCT 배치 및 천장상부높이

Remark
항온항습기

FFU Hepa Box Diffuser Relief Damper 굿찌:200A 굿찌:250A 굿찌:300A 방화셧터 Gas Bombe Room(850x1150) 5500 장비반입구 Fix Window 13650 A/S P/B CH: 2,400 CH: 2,400 Fix 방화도어

점검도어 600x1000
폐기물저장소(3200x1600)

천장높이: 400Lx2,500H 1500Lx2,500H 950Lx2,500H 950Lx2,500H 1100Lx2,500H 1000Lx2,500H 1000Lx2,500H 1250Lx2,500H 1000Lx2,500H 공조 SYSTEM DUCT 배치 및 천장상부높이 방화셧터 Gas Bombe Room(850x1150) 5500 장비반입구 Fix Window 13650 A/S 떼기판넬(1800x2300H) 500x350 500x350 300A 300A P/B 2,500H 2,500H 400A Fix 방화도어 Utility Room 2,500H 2,500H 폐기물저장소(3200x1600) PVC DUCT PVC DUCT 방화셧터 Gas Bombe Room(850x1150) 5500 장비반입구 Fix Window 13650 A/S 250A 250A

4000Lx2500H
400A
400A

250A 400A

Fix
2620H
(600x600)
방화도어

Utility Room

SIROCCO FAN
(배기)
HOOD CAP

Mesh

Filter Box
(M/545x495x75t
P/545x495x15t)

SIROCCO FAN
(급기)

폐기물저장소(3200x1600) 급기, 배기 DUCT 급기, 배기 DUCT 방화셧터 Gas Bombe Room(850x1150) 5500 Fix Window 장비반입구 A/S 13650 600x400 떼기판넬(1800x2300H)

Wet Station
Sink

P/B
15A
Clean PVC Pipe

SUS304(15A) 방화도어 (2) 수도계량기 SUS304(15A) DI 생산장치 Scrubber4 (1)

Scrubber3
SUS304 Pipe
(15A)

Scrubber
1,2

SUS304 Pipe
(15A)

급수 계통도 급수 계통도 방화셧터 Gas Bombe Room(850x1150) 5500 Fix Window 장비반입구 13650 600x400 A/S 떼기판넬(1800x2300H)

Wet Station
2F 여자화장실
(폐수 Drain)

P/B 50A PVC Pipe

Sink1
배수펌프
(양정16M)

배수펌프
(양정16M)

여자화장실 Sink2 방화도어

일반 Drain
(여자화장실)
50A PVC Pipe

DRAIN 계통도 DRAIN 계통도

Cabinet Rack
Ar
N2

Ar N2 Ar O2

혼합가스
(N2:97%, H2:3%)

WS LM3 (N2) (N2) 13650 600x400 A/S 장비반입구 (Ar,N2,CDA) (Ar,N2,CDA) FH1 떼기판넬(1800x2300H) LM2 N2

Ar
Ar
N₂
N₂

5500 Ar N2 FH2 (N2)

승화정제기
CH2

LM4 S/A1 (N2,CDA) (N2) (CDA) DE1 PS1 PS2 (N2,O2,Ar) (CDA) (CDA) (N2,CDA) (N2) P/B FH3 FH4 (Ar,N2,CDA) (Ar,N2,CDA)

GB2
(N2,CDA,혼합가스)

S/D
(N2,CDA)

Sputter
(N2,O2,Ar)

LH1
(N2)

CH5
(N2,CDA)

CH4 CH1 OF1 (Ar,N2,CDA) OF2 (Ar,N2,CDA) (N2,CDA) CH2 FH5 (Ar,N2,CDA) FH6 (Ar,N2,CDA) 여자화장실 (N2,CDA) (N2,CDA)

GB2
(N2,CDA,혼합가스)

CDA

방화도어
CDA

GAS TUBING PLAN GAS TUBING PLAN

Remark
굿찌:250A

굿찌:300A 방화셧터 Gas Bombe Room(850x1150) 5500 13650 1000x500 1000x500

600x400
1000x500

1000x500
1000x400

1500x500
1000x400

500x600 A/S 장비반입구 Fix Window 떼기판넬(1800x2300H) CH: 2,400 P/B CH: 2,400 1200x500 CH: 2,400 방화도어 1000x500 1000x500 1500x460 Fix 1500x500 굿찌:200A Utility Room

점검도어 600x1000
폐기물저장소(3200x1600)

-Yellow : 전도성타일 교체
-White 1 : 타일 청소후 사용 & 부분교체

-White 2 : 전도성타일 교체 바닥공사 CEILING PANEL

Remark
항온항습기

점검도어 600x1000
폐기물저장소(3200x1600)

F.F.U, HEPA BOX, DIFFUSER PLAN

FFU 외 PLAN

Remark
항온항습기

점검도어 600x1000
폐기물저장소(3200x1600)

천장높이: 400Lx2,500H 1500Lx2,500H 950Lx2,500H 950Lx2,500H 1100Lx2,500H 1000Lx2,500H 1000Lx2,500H 1250Lx2,500H 1000Lx2,500H DUCT 내부 철거 END CAP 마감 DUCT 배치 및 천장상부높이 DUCT 배치 및 천장상부높이

Remark
항온항습기

FFU Hepa Box Diffuser Relief Damper 굿찌:200A 굿찌:250A 굿찌:300A 방화셧터 Gas Bombe Room(850x1150) 5500 장비반입구 Fix Window 13650 A/S P/B CH: 2,400 CH: 2,400 Fix 방화도어

점검도어 600x1000
폐기물저장소(3200x1600)

천장높이: 400Lx2,500H 1500Lx2,500H 950Lx2,500H 950Lx2,500H 1100Lx2,500H 1000Lx2,500H 1000Lx2,500H 1250Lx2,500H 1000Lx2,500H 공조실외기 3F->1F이설 공조 SYSTEM DUCT 배치 및 천장상부높이 방화셧터 Gas Bombe Room(850x1150) 5500 장비반입구 Fix Window 13650 A/S 떼기판넬(1800x2300H) 500x350 500x350 300A 300A P/B 2,500H 2,500H 400A Fix 방화도어 Utility Room 2,500H 2,500H 폐기물저장소(3200x1600)

PVC DUCT 내부 철거 END CAP 마감

PVC DUCT PVC DUCT

Cabinet Rack
Ar
N2

Ar N2 Ar O2

혼합가스
(N2:97%, H2:3%)

WS LM3 (N2) (N2) 13650 600x400 A/S 장비반입구 (Ar,N2,CDA) (Ar,N2,CDA) FH1 떼기판넬(1800x2300H) LM2 N2

Ar
Ar
N₂
N₂

5500 Ar N2 FH2 (N2)

승화정제기
CH2

LM4 S/A1 (N2,CDA) (N2) (CDA) DE1 PS1 PS2 (N2,O2,Ar) (CDA) (CDA) (N2,CDA) (N2) P/B FH3 FH4 (Ar,N2,CDA) (Ar,N2,CDA)

GB2
(N2,CDA,혼합가스)

S/D
(N2,CDA)

Sputter
(N2,O2,Ar)

LH1
(N2)

CH5
(N2,CDA)

CH4 CH1 OF1 (Ar,N2,CDA) OF2 (Ar,N2,CDA) (N2,CDA) CH2 FH5 (Ar,N2,CDA) FH6 (Ar,N2,CDA) 여자화장실 (N2,CDA) (N2,CDA)

GB2
(N2,CDA,혼합가스)

CDA 기존UT 라인 재사용

방화도어
CDA

GAS TUBING PLAN GAS TUBING PLAN

Cabinet Rack
Ar
N2

Ar N2 Ar O2

혼합가스
(N2:97%, H2:3%)

5500 WS LM3 (N2) (N2) (가스캐비닛2)

Ar
Ar
N₂
N₂

600x400 A/S (Ar,N2,CDA) (Ar,N2,CDA) FH1 떼기판넬(1800x2300H) LM2 N2 13650 (가스캐비닛1) 장비반입구 Ar N2 FH2 (N2)

승화정제기
CH2

LM4 S/A1 (N2,CDA) (N2) (CDA) DE1 PS1 PS2 (N2,O2,Ar) (CDA) (CDA) (N2,CDA) (N2) P/B FH3 FH4 (Ar,N2,CDA) (Ar,N2,CDA)

GB2
(N2,CDA,혼합가스)

S/D
(N2,CDA)

Sputter
(N2,O2,Ar)

LH1
(N2)

CH5
(N2,CDA)

CH4 CH1 OF1 (Ar,N2,CDA) OF2 (Ar,N2,CDA) FH5 (Ar,N2,CDA) FH6 (Ar,N2,CDA) (N2,CDA) CH2 여자화장실 (N2,CDA) (N2,CDA)

GB2
(N2,CDA,혼합가스)

CDA 기존UT 라인 재사용

방화도어
CDA

GAS CABINET 1,2 PLAN GAS TUBING PLAN

Cabinet Rack
Ar
N2

Ar N2 Ar O2 5500 WS LM3 (N2) (N2) (가스캐비닛2)

Ar
Ar
N₂
N₂

600x400 A/S (Ar,N2,CDA) (Ar,N2,CDA) FH1 떼기판넬(1800x2300H) LM2 N2 13650 (가스캐비닛1) 장비반입구 Ar N2

혼합가스
(N2:97%, H2:3%)

FH2 (N2)

승화정제기
CH2

LM4 S/A1 (N2,CDA) (N2) (CDA) DE1 PS1 PS2 (N2,O2,Ar) (CDA) (CDA) (N2,CDA) (N2) P/B FH3 FH4 (Ar,N2,CDA) (Ar,N2,CDA)

GB2
(N2,CDA,혼합가스)

S/D
(N2,CDA)

Sputter
(N2,O2,Ar)

LH1
(N2)

CH5
(N2,CDA)

CH4 CH1 OF1 (Ar,N2,CDA) OF2 (Ar,N2,CDA) FH5 (Ar,N2,CDA) FH6 (Ar,N2,CDA) 여자화장실 (N2,CDA) CH2 (N2,CDA) (N2,CDA)

GB2
(N2,CDA,혼합가스)

방화도어 BY-PASS 구성 BY-PASS 구성

BY-PASS 구성
현장공급

필터 CDA 기존UT 라인 재사용 CDA F RONT F RONT TANK 냉동식 드라이어 흡착식 드라이어 F RONT COMP. #1 Air Compressor PLAN GAS TUBING PLAN BY-PASS 구성 BY-PASS 구성

BY-PASS 구성
현장공급

필터 FRONT FRONT TANK 냉동식 드라이어 흡착식 드라이어 FRONT COMP. #1 COMP. 배치도면

===== (붙임6)현장설명장소 건물 주차 엘리베이터 안내.hwp =====
● 가천대학교 內 가천관 위치도 및 주차안내

※ 가천관에는 주차를 할 수 없사오니 자가용을 이용하실 경우에는 반드시 가까운 주변 건물

(14번-교육대학원, 15번-바이오나노연구원)의 주차장을 이용하여 주시기 바랍니다.

자가용을 이용하실 경우에는 특별히 지각에 유의하시기 바랍니다.(지각 시 참여 불가)

● 가천관 엘리베이터 사용안내

가천관 엘리베이터 사용인원이 많은 관계로 반드시 아래 사항을 참조하시고, 시간을 엄수하여 주시기 바랍니다.

※ 현장설명 및 입찰 시 지정한 시간보다 늦으실 경우에는 입찰에 참여하실 수 없습니다.

[R26BK01758487] 산학협력단 연구개발사업 수행을 위한 시설공사(설비)

상세 정보

📄 공고문 전문 첨부 「(붙임1)입찰공고문.pdf」에서 추출 · 원문 파일이 우선합니다

📎 첨부파일