===== 1. 입찰세부공고_한양대학교ERICA 마스크 얼라이너 시스템 구매.pdf =====
한양대학교ERICA RISE지산학협력단 공고 제01-2026-0008호
한양대학교ERICA 마스크 얼라이너 시스템 구매 입찰 공고
1. 입찰에 부치는 사항
가. 입찰건명 : 한양대학교ERICA 마스크 얼라이너 시스템 구매
나. 구매내역 : 붙임1. 한양대학교ERICA 퍼니스 시스템 규격서 확인
다. 납품기한 : 2026년 12월 30일까지(검수, 납품, 설치, 세금계산서 발행 완료)
라. 납품장소 : 한양대학교 ERICA캠퍼스 4공학관 1층 머시닝기술센터
2. 입찰방법
가. 본 입찰은 일반경쟁입찰, 전자입찰, 총액계약, 제한적최저가입찰(낙찰하한율)임.
나. 본 입찰의 투찰금액은 1. 입찰에 부치는 사항 나. 구매내역에 명시한 구매물품에
대한 총액을 투찰한다.
※ 투찰금액 = (품목별 단가 × 수량) 의 합계액(부가가치세 포함)
입찰자가 면세사업자인 경우에도 입찰금액은 반드시 부가가치세를 포함한 가격으로 투찰해야 하며, 입찰
결과 낙찰자가 면세사업자인 경우 낙찰금액에서 부가가치세 상당액을 차감한 금액으로 계약을 체결함.
다. 본 입찰서 제출은 전자입찰방식으로 나라장터 시스템에서만 가능하며, 제출된
일체의 서류는 반환하지 않음.
3. 참가자격
가. 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제12조 및 시행규칙 제14조 규정에
의하여 당해 사업에 관한 자격요건을 갖춘 사업자로서 입찰 서류를 제출한 업체로
사용부서(End-user)의 사양 적합 확인을 받은 업체 - 서식 6. 사용부서확인서 제출
나. 입찰공고일 현재 청산, 합병, 매각 등 정리 절차 중이거나 계획 중인 사업자와 법
원에 화의 또는 법정관리 중이거나 신청 중인 사업자는 입찰에 참가할 수 없음.
다. 금융 불량 및 이상이 있는 사업자는 입찰에 참가할 수 없음.
4. 입찰 서류 제출, 입찰 일시 및 장소
가. 서류 제출 마감일시 : 2026. 10. 15. 10:00까지(방문 제출에 한함, 우편 접수 불가)
나. 서류 제출 장소 : 한양대학교ERICA RISE지산학협력단 RISE팀(학연산클러스터지원센
터 314호)
다. 입찰/개찰 일시 : 2026. 10. 15. 11:00
라. 입찰/개찰 장소 : 나라장터 시스템
마. 제출서류 목록
1) 입찰참가신청서(서식 1)
2) 사업자등록증 사본(원본대조필 후 인감날인)
3) 법인등기부등본(개인사업자의 경우 대표자 주민등록등본)
4) 법인인감증명서(개인사업자의 경우 대표이사 인감증명서)
5) 위임장(서식 2, 재직증명서 포함) - 대표이사 직접 참가 시 제외
6) 사용인감계(서식 3) - 대표인감 사용할 경우 사용인감계 제외
7) 국세 ․ 지방세 납세증명서(제출일 기준 1개월 이내 발급본)
8) 부가가치세과세표준증명(2025년~2026년)
9) 청렴계약이행서약서(서식 4)
10) 확약서(서식 5)
11) 견적서(지정된 양식 없음, 산출내역 포함, 입찰가와 무관) - 사용부서 확인(서명)
12) 사용부서확인서(서식 6) - 사용부서 확인(서명)
13) 이행(입찰)보증보험증권(입찰 예정가액의 5% 이상)
- 피보험자: 한양대학교에리카 산학협력단 134-82-10205
- 보증기간: 입찰일로부터 50일 이후까지
※ 최초공고 시 입찰서류를 제출한 업체는 해당 서류로 재공고 제출서류를 갈음함.
※ 주민등록번호가 포함된 서류 제출 시 뒷자리는 반드시 마스킹 처리 후 제출
5. 입찰보증금
가. 입찰금액의 5/100 이상의 이행(입찰)보증보험증권(원본)으로 입찰서류 제출 마감
일시까지 납부하여야 한다.
나. 낙찰자가 기일 내 계약을 체결하지 않을 때는 입찰보증금을 본 대학에 귀속한다.
다. 입찰보증금의 보증기간은 입찰일로부터 최소 50일까지로 하여야 한다.
6. 낙찰자 결정 및 계약
가. 낙찰자 결정은 예정가격 이하 및 낙찰하한율 이상을 충족하면서 최저가격을 투찰한
자를 계약상대자로 결정하며, 낙찰이 될 수 있는 동일가격 입찰서 제출자가 2인 이
상인 경우는 동일 가격 입찰자를 대상으로 나라장터 시스템을 통해 자동으로 추첨
하는 방식을 적용한다.
나. 낙찰자는 낙찰 통보일로부터 지체 없이 계약을 체결하여야 하며, 계약 시 대학이
제시하는 구매 예정액의 100분의 10을 계약보증금(현금 또는 보증보험증권)으로
납부하여야 한다.
다. 낙찰자는 실제 구매량(납품 지시량)이 증가되거나 감소되어도 본 계약단가에 의하
여 납품하여야 하며, 이에 이의를 제기할 수 없다.
라. 낙찰자는 계약 후 납품 시 계약금액의 100분의 3에 해당하는 하자(이행)증권을 납
부하여야 한다.
마. 납품하는 모든 제품은 정품이어야 하며, 낙찰 후 정품에 대한 관련 증명을 요구하
는 경우 낙찰자는 정품임을 증명하는 서류를 즉시 제출하여야 한다.
7. 양도 제한 및 공동도급 불가
본 계약 이행에 따르는 일체의 채권 및 채무를 제3자에게 양도하거나 위임, 하청,
공동 도급할 수 없다.
8. 계약해지 및 손해배상
규격 미달품을 납품하거나 비정품을 납품할 경우 계약의 일부 또는 전부를 해제 또는 해
지할 수 있으며, 이로 인하여 공급받는 자가 손해를 입었을 경우 공급자는 이를 배상할
책임을 진다.
9. 기타사항
가. 입찰에 참가하고자 하는 자는 입찰공고의 내용 및 규격서 등 필요한 모든 사항을
완전히 숙지하고 참가하시기 바라며, 이를 숙지하지 못한 책임은 입찰서 제출자에
게 있음.
나. 공고문에 언급되지 않은 사항은 입찰공고일 현재 적용되는 국가계약관련법령 등
관련 규정에 의함.
붙임 1) 구매규격서 서식 1) 입찰참가신청서 2) 위임장 3) 사용인감계 4) 청렴계약이행서약서 5) 확약서 6) 사용부서확인서
<문의사항 안내>
□ 입찰 및 계약에 관한 내용
ERICA RISE지산학협력단 RISE팀 서상진 대리, 031-400-4647, [email protected]
□ 규격 및 납기에 관한 내용
규격 : ERICA 마이크로LED디스플레이연구센터 반희정 연구원, 031-400-4680, [email protected]
납기 : ERICA RISE지산학협력단 RISE팀 서상진 대리, 031-400-4647, [email protected]
2026. 10. 07.
한양대학교ERICA RISE지산학협력단 RISE팀
[서식 1] 입 찰 참 가 신 청 서 ════════════════════
입 찰 공 고 번 호 제01-2026-0008호
입 찰 일 자 2026. 10. 15. 11:00
입 찰 건 명 한양대학교ERICA 마스크 얼라이너 시스템 구매
당 업체는 위의 번호로 공고한 귀교의 경쟁입찰에 참가하고자 귀교에서 정한 물품 구매의
입찰공고사항을 모두 승낙하고 별첨서류를 첨부하여 입찰참가신청을 합니다.
※ 첨부서류 : 입찰 세부 공고 및 제출서류 목록에서 요구하는 서류
20 년 입찰참가신청자
사업자등록번호 :
주
소 : 상 호 : 대 표 월 일 ― ― 자:
생 년 월 일 :
전 화 번 호:
한양대학교ERICA 산학협력단장 귀하 [서식 2]
위 임 장
입 찰 건 명 한양대학교ERICA 마스크 얼라이너 시스템 구매
대리인 성 명 : 주 소 :
생 년 월 일 :
*위임장 제출 시 대리인의 재직증명서를 첨부하여 제출
위 사람을 대리인으로 정하고 아래 사항의 권한을 위임한다.
■ 위임사항 : 본 입찰과 관련된 입찰 및 계약행위에 관한 일체의 권한과 의무
20 년 월 일
사업자등록번호 :
주
소 : 상 호 : 대 표 자 : 한양대학교ERICA 산학협력단장 귀하 (인) [서식 3]
사 용 인 감 계
본 입찰과 관련한 계약 및 이에 수반되는 모든 행위에 사용하기 위하여 다음과 같이
사용인감계를 제출합니다.
법 인 인 감 20 년 사 용 인 감 월 일
사업자등록번호 :
주
소 : 상 호 : 대 표 자 : 한양대학교ERICA 산학협력단장 귀하 (인) [서식 4]
청렴계약이행서약서
본 입찰에 참여함에 있어서 우리회사의 임․직원과 대리인은 부패없는 투명한 기업경
영과 공정한 행정이 사회발전과 국가 경쟁력에 중요한 관건이 됨을 깊이 인식하며,
1. 특정인의 낙찰을 위한 담합을 하거나 다른 업체와 협정‧결의‧합의하여 입찰의 자유경
쟁을 부당하게 저해하는 일체의 불공정한 행위를 않겠습니다.
2. 입찰, 계약체결 및 계약이행 과정에서 관계 직원에게 직‧간접적으로 금품․향응 등
의 뇌물이나 부당한 이익을 제공하지 않겠습니다.
3. 입찰, 계약체결 및 계약이행과 관련하여 관계 직원에게 뇌물을 제공한 사실이 드러
날 경우에는 계약체결 이전의 경우 낙찰자결정 취소, 용역착수 전에는 계약취소,
용역착수 이후에는 발주처에서 전체 또는 일부계약을 해지하여도 감수하고 민‧형
사상 이의를 제기하지 않겠습니다.
4. 관계직원에게 뇌물을 제공하거나 담합 등 불공정 행위를 하지 않도록 하는 회사
윤리강령과 내부비리 제보자에 대해서도 일체의 불이익처분을 하지 않도록 하겠
습니다.
위 청렴계약이행서약은 상호신뢰를 바탕으로 한 약속으로서 반드시 지킬 것이며, 낙찰
자로 결정될 시 본 서약내용을 그대로 계약하여 이행하고, 입찰참가자격제한, 계약해지
등 조치와 관련하여 당사는 손해배상을 청구하거나 당사를 배제하는 입찰에 관하여 민‧
형사상 이의를 제기하지 않을 것을 서약합니다.
20 년 월 일
사업자등록번호 :
주
소 : 상 호 : 대 표 자 : 한양대학교ERICA 산학협력단장 귀하 (인) [서식 5] 확 약 서
‘한양대학교ERICA 마스크 얼라이너 시스템 구매’ 입찰에 참여한 당 업체는
귀 대학의 공정한 심사와 객관적인 내부절차에 의한 입찰 진행상의 제반
결정에 이의를 제기하지 않고 응낙할 것과 계약체결에 따른 증빙 서류 제
출 등 제반 유의사항을 준수할 것을 확인합니다.
아울러 입찰 결과 낙찰될 경우, 모든 제품은 정품을 공급하며 만일 정품이
아닐 경우 낙찰 및 계약이 취소되고 이에 따르는 참가자격 제한과 법적 책
임을 감수할 것임을 확인합니다.
20 응찰자 : 참여기업 대표 년 월 일 직인 한양대학교ERICA 산학협력단장 (귀하)
[서식 6]
* 제출요령
- 입찰에 참여하려는 업체의 견적을 확인 후 반드시 사용부서가 직접 작성 및 서명
- 사용부서로부터 확인을 받은 견적(사양)서 여백 및 사용부서 확인서에 서명을 받아야 함.
사용부서 확인서
‘한양대학교ERICA 마스크 얼라이너 시스템 구매’ 입찰에 공지된 물품의 구
매 신청자는 참여하려는 (업체명 수기로 기입)의 상세 산출 내역이 포함된
견적서, 물품의 제품사양, A/S기간, 교육지원 사항, 설치 요건, 납품 조건 등
을 확인하였으며, (업체명 수기로 기입)이/가 현장실사를 필하였으며, 차후
본 입찰에 최저가 낙찰되어 계약을 체결하고 물품의 제조 및 납품 이행을
하게 되는 것에 이견이 없음을 확인합니다.
20 년 월 일
<확 인 자>
소 속 : 한양대학교ERICA 마이크로LED디스플레이연구센터
직 위 : 연구원 성 명 : 반희정 (인) 한양대학교ERICA 산학협력단장 (귀하)
===== 1. 입찰세부공고_한양대학교ERICA 마스크 얼라이너 시스템 구매.hwp =====
한양대학교ERICA RISE지산학협력단 공고 제01-2026-0008호
한양대학교ERICA 마스크 얼라이너 시스템 구매 입찰 공고
1. 입찰에 부치는 사항
가. 입찰건명 : 한양대학교ERICA 마스크 얼라이너 시스템 구매
나. 구매내역 : 붙임1. 한양대학교ERICA 퍼니스 시스템 규격서 확인
다. 납품기한 : 2026년 12월 30일까지(검수, 납품, 설치, 세금계산서 발행 완료)
라. 납품장소 : 한양대학교 ERICA캠퍼스 4공학관 1층 머시닝기술센터
2. 입찰방법
가. 본 입찰은 일반경쟁입찰, 전자입찰, 총액계약, 제한적최저가입찰(낙찰하한율)임.
나. 본 입찰의 투찰금액은 1. 입찰에 부치는 사항 나. 구매내역에 명시한 구매물품에 대한 총액을 투찰한다.
※ 투찰금액 = (품목별 단가 × 수량) 의 합계액(부가가치세 포함)
입찰자가 면세사업자인 경우에도 입찰금액은 반드시 부가가치세를 포함한 가격으로 투찰해야 하며, 입찰결과 낙찰자가 면세사업자인 경우 낙찰금액에서 부가가치세 상당액을 차감한 금액으로 계약을 체결함.
다. 본 입찰서 제출은 전자입찰방식으로 나라장터 시스템에서만 가능하며, 제출된
일체의 서류는 반환하지 않음. 3. 참가자격
가. 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제12조 및 시행규칙 제14조 규정에 의하여 당해 사업에 관한 자격요건을 갖춘 사업자로서 입찰 서류를 제출한 업체로 사용부서(End-user)의 사양 적합 확인을 받은 업체 - 서식 6. 사용부서확인서 제출
나. 입찰공고일 현재 청산, 합병, 매각 등 정리 절차 중이거나 계획 중인 사업자와 법원에 화의 또는 법정관리 중이거나 신청 중인 사업자는 입찰에 참가할 수 없음.
다. 금융 불량 및 이상이 있는 사업자는 입찰에 참가할 수 없음.
4. 입찰 서류 제출, 입찰 일시 및 장소
가. 서류 제출 마감일시 : 2026. 10. 15. 10:00까지(방문 제출에 한함, 우편 접수 불가)
나. 서류 제출 장소 : 한양대학교ERICA RISE지산학협력단 RISE팀(학연산클러스터지원센터 314호)
다. 입찰/개찰 일시 : 2026. 10. 15. 11:00
라. 입찰/개찰 장소 : 나라장터 시스템 마. 제출서류 목록 1) 입찰참가신청서(서식 1)
2) 사업자등록증 사본(원본대조필 후 인감날인)
3) 법인등기부등본(개인사업자의 경우 대표자 주민등록등본)
4) 법인인감증명서(개인사업자의 경우 대표이사 인감증명서)
5) 위임장(서식 2, 재직증명서 포함) - 대표이사 직접 참가 시 제외
6) 사용인감계(서식 3) - 대표인감 사용할 경우 사용인감계 제외
7) 국세 ․ 지방세 납세증명서(제출일 기준 1개월 이내 발급본)
8) 부가가치세과세표준증명(2025년~2026년)
9) 청렴계약이행서약서(서식 4) 10) 확약서(서식 5)
11) 견적서(지정된 양식 없음, 산출내역 포함, 입찰가와 무관) - 사용부서 확인(서명)
12) 사용부서확인서(서식 6) - 사용부서 확인(서명)
13) 이행(입찰)보증보험증권(입찰 예정가액의 5% 이상)
- 피보험자: 한양대학교에리카 산학협력단 134-82-10205
- 보증기간: 입찰일로부터 50일 이후까지
※ 최초공고 시 입찰서류를 제출한 업체는 해당 서류로 재공고 제출서류를 갈음함.
※ 주민등록번호가 포함된 서류 제출 시 뒷자리는 반드시 마스킹 처리 후 제출
5. 입찰보증금
가. 입찰금액의 5/100 이상의 이행(입찰)보증보험증권(원본)으로 입찰서류 제출 마감 일시까지 납부하여야 한다.
나. 낙찰자가 기일 내 계약을 체결하지 않을 때는 입찰보증금을 본 대학에 귀속한다.
다. 입찰보증금의 보증기간은 입찰일로부터 최소 50일까지로 하여야 한다.
6. 낙찰자 결정 및 계약
가. 낙찰자 결정은 예정가격 이하 및 낙찰하한율 이상을 충족하면서 최저가격을 투찰한 자를 계약상대자로 결정하며, 낙찰이 될 수 있는 동일가격 입찰서 제출자가 2인 이상인 경우는 동일 가격 입찰자를 대상으로 나라장터 시스템을 통해 자동으로 추첨하는 방식을 적용한다.
나. 낙찰자는 낙찰 통보일로부터 지체 없이 계약을 체결하여야 하며, 계약 시 대학이 제시하는 구매 예정액의 100분의 10을 계약보증금(현금 또는 보증보험증권)으로 납부하여야 한다.
다. 낙찰자는 실제 구매량(납품 지시량)이 증가되거나 감소되어도 본 계약단가에 의하여 납품하여야 하며, 이에 이의를 제기할 수 없다.
라. 낙찰자는 계약 후 납품 시 계약금액의 100분의 3에 해당하는 하자(이행)증권을 납부하여야 한다.
마. 납품하는 모든 제품은 정품이어야 하며, 낙찰 후 정품에 대한 관련 증명을 요구하는 경우 낙찰자는 정품임을 증명하는 서류를 즉시 제출하여야 한다.
7. 양도 제한 및 공동도급 불가
본 계약 이행에 따르는 일체의 채권 및 채무를 제3자에게 양도하거나 위임, 하청,
공동 도급할 수 없다.
8. 계약해지 및 손해배상
규격 미달품을 납품하거나 비정품을 납품할 경우 계약의 일부 또는 전부를 해제 또는 해지할 수 있으며, 이로 인하여 공급받는 자가 손해를 입었을 경우 공급자는 이를 배상할 책임을 진다.
9. 기타사항
가. 입찰에 참가하고자 하는 자는 입찰공고의 내용 및 규격서 등 필요한 모든 사항을 완전히 숙지하고 참가하시기 바라며, 이를 숙지하지 못한 책임은 입찰서 제출자에게 있음.
나. 공고문에 언급되지 않은 사항은 입찰공고일 현재 적용되는 국가계약관련법령 등
관련 규정에 의함.
붙임
1) 구매규격서
서식
1) 입찰참가신청서
2) 위임장
3) 사용인감계
4) 청렴계약이행서약서
5) 확약서
6) 사용부서확인서
<문의사항 안내> □ 입찰 및 계약에 관한 내용
ERICA RISE지산학협력단 RISE팀 서상진 대리, 031-400-4647, [email protected]
□ 규격 및 납기에 관한 내용
규격 : ERICA 마이크로LED디스플레이연구센터 반희정 연구원, 031-400-4680, [email protected]
납기 : ERICA RISE지산학협력단 RISE팀 서상진 대리, 031-400-4647, [email protected]
2026. 10. 07.
한양대학교ERICA RISE지산학협력단 RISE팀
[서식 1] 입 찰 참 가 신 청 서 ════════════════════ 입 찰 공 고 번 호 제01-2026-0008호 입 찰 일 자 2026. 10. 15. 11:00 입 찰 건 명
한양대학교ERICA 마스크 얼라이너 시스템 구매
당 업체는 위의 번호로 공고한 귀교의 경쟁입찰에 참가하고자 귀교에서 정한 물품 구매의 입찰공고사항을 모두 승낙하고 별첨서류를 첨부하여 입찰참가신청을 합니다.
※ 첨부서류 : 입찰 세부 공고 및 제출서류 목록에서 요구하는 서류
20 년
월
일
입찰참가신청자
사업자등록번호 :
― ―
주
소 :
상
호 :
대
표
자 :
생 년 월 일 : 전 화 번 호 : 한양대학교ERICA 산학협력단장 귀하 [서식 2] 위 임 장 입 찰 건 명
한양대학교ERICA 마스크 얼라이너 시스템 구매
대리인
성
명 :
주
소 :
생 년 월 일 :
*위임장 제출 시 대리인의 재직증명서를 첨부하여 제출
위 사람을 대리인으로 정하고 아래 사항의 권한을 위임한다.
■ 위임사항 : 본 입찰과 관련된 입찰 및 계약행위에 관한 일체의 권한과 의무
20 년
월
일
사업자등록번호 :
주
소 :
상
호 :
대
표
자 :
(인)
한양대학교ERICA 산학협력단장 귀하 [서식 3] 사 용 인 감 계
본 입찰과 관련한 계약 및 이에 수반되는 모든 행위에 사용하기 위하여 다음과 같이 사용인감계를 제출합니다.
법 인 인 감 사 용 인 감
20 년
월
일
사업자등록번호 :
주
소 :
상
호 :
대
표
자 :
(인)
한양대학교ERICA 산학협력단장 귀하 [서식 4] 청렴계약이행서약서
본 입찰에 참여함에 있어서 우리회사의 임․직원과 대리인은 부패없는 투명한 기업경영과 공정한 행정이 사회발전과 국가 경쟁력에 중요한 관건이 됨을 깊이 인식하며,
1. 특정인의 낙찰을 위한 담합을 하거나 다른 업체와 협정‧결의‧합의하여 입찰의 자유경쟁을 부당하게 저해하는 일체의 불공정한 행위를 않겠습니다.
2. 입찰, 계약체결 및 계약이행 과정에서 관계 직원에게 직‧간접적으로 금품․향응 등의 뇌물이나 부당한 이익을 제공하지 않겠습니다.
3. 입찰, 계약체결 및 계약이행과 관련하여 관계 직원에게 뇌물을 제공한 사실이 드러날 경우에는 계약체결 이전의 경우 낙찰자결정 취소, 용역착수 전에는 계약취소, 용역착수 이후에는 발주처에서 전체 또는 일부계약을 해지하여도 감수하고 민‧형사상 이의를 제기하지 않겠습니다.
4. 관계직원에게 뇌물을 제공하거나 담합 등 불공정 행위를 하지 않도록 하는 회사윤리강령과 내부비리 제보자에 대해서도 일체의 불이익처분을 하지 않도록 하겠습니다.
위 청렴계약이행서약은 상호신뢰를 바탕으로 한 약속으로서 반드시 지킬 것이며, 낙찰자로 결정될 시 본 서약내용을 그대로 계약하여 이행하고, 입찰참가자격제한, 계약해지 등 조치와 관련하여 당사는 손해배상을 청구하거나 당사를 배제하는 입찰에 관하여 민‧형사상 이의를 제기하지 않을 것을 서약합니다.
20 년
월
일
사업자등록번호 :
주
소 :
상
호 :
대
표
자 :
(인)
한양대학교ERICA 산학협력단장 귀하 [서식 5]
확
약
서
‘한양대학교ERICA 마스크 얼라이너 시스템 구매’ 입찰에 참여한 당 업체는 귀 대학의 공정한 심사와 객관적인 내부절차에 의한 입찰 진행상의 제반 결정에 이의를 제기하지 않고 응낙할 것과 계약체결에 따른 증빙 서류 제출 등 제반 유의사항을 준수할 것을 확인합니다.
아울러 입찰 결과 낙찰될 경우, 모든 제품은 정품을 공급하며 만일 정품이 아닐 경우 낙찰 및 계약이 취소되고 이에 따르는 참가자격 제한과 법적 책임을 감수할 것임을 확인합니다.
20 년
월
일
응찰자 : 참여기업 대표
직인
한양대학교ERICA 산학협력단장 (귀하) [서식 6] * 제출요령
- 입찰에 참여하려는 업체의 견적을 확인 후 반드시 사용부서가 직접 작성 및 서명
- 사용부서로부터 확인을 받은 견적(사양)서 여백 및 사용부서 확인서에 서명을 받아야 함.
사용부서 확인서
‘한양대학교ERICA 마스크 얼라이너 시스템 구매’ 입찰에 공지된 물품의 구매 신청자는 참여하려는 (업체명 수기로 기입)의 상세 산출 내역이 포함된 견적서, 물품의 제품사양, A/S기간, 교육지원 사항, 설치 요건, 납품 조건 등을 확인하였으며, (업체명 수기로 기입)이/가 현장실사를 필하였으며, 차후 본 입찰에 최저가 낙찰되어 계약을 체결하고 물품의 제조 및 납품 이행을 하게 되는 것에 이견이 없음을 확인합니다.
20 년
월
일
<확 인 자>
소 속 : 한양대학교ERICA 마이크로LED디스플레이연구센터
직 위 : 연구원 성 명 : 반희정 (인) 한양대학교ERICA 산학협력단장 (귀하)
===== 붙임1. 한양대학교ERICA 마스크 얼라이너 시스템 구매 규격서.hwp =====
규 격 서
『한양대학교ERICA 마스크얼라이너 시스템 구매』
2026. 09. 29 한양대학교 1. 물품 규격 순번 구분 품목 및 내역 세부품명번호 (10자리) 수량 1 장비 마스크 얼라이너 시스템
가. Mask Aligner 본체 : 1 set
나. 장비 제어용 PC 및 운영 소프트웨어 : 1 set
다. UV 광원 및 기본 노광 유닛 : 1 set
라. 방진 기능이 포함된 장비 베이스 구조 : 1 set
마. Mask holder and Chuck : 1 set
바. 사용자 매뉴얼 및 기본 부속품 : 1 set
2321119401 (포토레지스트 노광기) 1 SET 2. 상세 규격 내용 품명 마스크 얼라이너 시스템 수량 1EA 세부 내역 주요 사양 Ⅰ.용도
- 반도체 리소그래피(Photo-lithography) 공정에서 패턴이 그려진 포토마스크와 기판을 정확
하게 위치 정렬하고 UV 광원을 조사하여 미세 패턴을 전사하는 핵심 노광 장비임.
- Z-axis 모션이 모터로 동작하는 PC 제어 기반의 반자동(Semi-auto) 장비로, 반복 공정 시
작업자 편차를 줄이고 수율을 향상시킬 수 있음.
- 조각(Piece) 단위의 소형 시료부터 최대 6인치 웨이퍼까지 연구실의 다양한 샘플 규격에
맞춘 공정이 가능함.
- 외부 보행 진동 등이 발생하는 Yellow Room 환경에서도 해상도 저하를 막기 위해 방진
메커니즘이 통합된 구조를 지님.
Ⅱ. 특성
- 수은등의 전 파장(350-450nm)의 조사가 가능하다.
- 마스크와 시편의 정렬 오차가 1㎛를 넘지 않는다.
- 1㎛ 이내의 패턴 해상도를 구현한다. - 평행광 오차가 ±1°를 초과하지 않는다
- 자외선의 조사 균일도가 ±3%를 초과하지 않는다.
Ⅲ. 성능 및 규격
1. 반도체 노광 공정용 Mask Aligner
가. 본체
1) System Type : Semi Auto / Manual System
- Auto exposure, Leveling and Z axis Stage motion
2) Sample size : Piece to 6 inch
3) Mask Holder : 7 inch x 7 inch
4) Auto leveling of mask and sample
나. Light source module (광원 모듈)
1) Lamp type : Mercury Short arc lamp (1 kW)
2) Wavelength : 350nm to 450nm
3) 365nm Beam Intensity : ~ 25 mW/cm²
4) Max. beam size : 7.25 inch x 7.25 inch
5) Beam Uniformity : ≤±3%
다. Microscope (현미경)
1) Manual moving stage : Dual X, Y, Z axis
2) Magnification : 85x ~ 540x
3) Objective spacing : 50 ~ 150mm
4) Move range : Y Axis ± 10 mm
5) Working distance : 86 mm / 32 mm (2X Lens)
라. Stage and controller module (스테이지 및 제어 모듈)
1) Exposure Timer : minimum time of 0.1 sec
2) Stage movement : X, Y, Z and Theta
X, Y : ±5 mm , Theta : About ±4°
Z Motion travel : 15 mm
3) Contact mode : Vacuum, Hard, Soft Contact & Proximity gap
4) Stage Resolution : X, Y Stage Resolution: 0.1 um
Theta : 5 x 10-5 degrees Z Axis : 0.1 ~ 10 um
5) Z and Theta Axis motorized motion
6) Z-Axis Alignment Gap: 0 ~ 100 um
마. Resolution (해상도) 1) Vacuum Contact : 1 um 2) Hard Contact : 2 um 3) Soft contact : 3 um
4) Proximity contact (20 um): 5 um
Ⅳ. 납품 및 교육 1. 설치 및 납품 - 설치 조건
- 공간 효율성: Yellow Room 내 협소한 공간 및 연구원 이동 동선을 고려한 가로
1150 mm 세로 1070 mm 높이 1500 mm 이내의 본체 설계.
- 안정성: 잦은 진동 노출 환경에서도 공정 정밀도를 유지할 수 있도록 본체와
통합된 일체형 고성능 제진대(Active/Passive Isolation) 구조 필수.
- 지정 장소 설치 및 정상 가동 여부 검수 진행
- 설치장소 : 수요자 지정장소 2. 교육
- 밀착형 기술 전수: 장비 운영 조기 정착을 위해 원격 지원이 아닌, 전문 엔지니어에
의한 대면 중심의 사용자 교육 및 심화 기술 지원 솔루션을 반드시 제공해야 함.
- 장비 기본 조작, 공정 세팅, 유지보수 및 안전 관리에 대한 현장 교육 실시
Ⅴ. 하자보수(Maintenance) 1. 하자보수 기간 : 1년 이상 2. 하자보수 조건
- 신속 대응 체계: 장애 발생 시 24시간 이내 현장 방문 및 정밀 진단이 가능한 서비스 망을 갖추어야 함.
- 예방적 품질 관리: 미숙련 사용자의 빈번한 사용으로 인한 고장을 방지하기 위해 정기적인 점검과 소모품 예방 정비 서비스를 제공해야 함.
- 공정 연속성 보장(Backup Solution): 장비 결함으로 인한 가동 중단 시, 연구 리스크 최소화를 위해 제조사가 보유한 동일 모델 이상의 데모(Demo) 장비를 활용한 공정 지원이 가능해야 함.
Ⅵ. 기타 조건(Remarks) 1. 공통사항
- 본 기본 규격서는 최소한의 규격을 규정하며 제안사는 필히 본 기본 규격서에 명시된 동등 및 동급 이상의 규격을 제안하여야 한다.
- 제안에 포함된 물품은 제조사 정품 부품이어야 하며, Refurbished, Used, Warranty 서비스용 부품의 제안해서는 안 된다.
- 국내 설치. 교육. 장애 대응 및 부품 공급이 가능한 기술 지원 체계를 갖추고 입찰 시 담당연락처를 제출해야 한다
2. 기타 조건
- 국내 제조 장비: 반도체 소부장 기술 자립화 취지에 부합하는 국내 제조 장비
- 공정 유연성 및 확장성: 6인치, 4인치 웨이퍼 및 조각(Piece) 샘플 모두 대응 가능한 구조여야 하며, 특수 샘플 대응을 위한 전용 Jig 및 Mask Holder 등 맞춤형 추가 KIT 제작 및 기술 서비스를 제공해야 함.
요청 사항
-. 입찰 종료 전(개찰 동일 또는 동급 장비의 1um 이하 패턴 구현 결과 데이터(원본 결과
이미지와 측정조건)을 제출해야 함.
-. 기한 내 미제출하거나 제출자료를 통해 요구.성능 충족여부를 확인할 수 없는 경우 규격
부적합으로 판정할 수 있음.
===== 붙임1. 한양대학교ERICA 마스크 얼라이너 시스템 구매 규격서.pdf =====
규 격 서
『한양대학교ERICA 마스크얼라이너 시스템 구매』
2026. 09. 29 한양대학교
1. 물품 규격
순번
구분 품목 및 내역
세부품명번호
(10자리)
수량
마스크 얼라이너 시스템
가. Mask Aligner 본체 : 1 set
나. 장비 제어용 PC 및 운영 소프트웨어 : 1 set
1
장비
다. UV 광원 및 기본 노광 유닛 : 1 set
라. 방진 기능이 포함된 장비 베이스 구조 : 1
set
2321119401
(포토레지스트
1 SET 노광기)
마. Mask holder and Chuck : 1 set
바. 사용자 매뉴얼 및 기본 부속품 : 1 set
2. 상세 규격 내용
품명
마스크 얼라이너 시스템 수량 1EA
세부 내역
주요 사양
Ⅰ.용도
- 반도체 리소그래피(Photo-lithography) 공정에서 패턴이 그려진 포토마스크와 기판을 정확
하게 위치 정렬하고 UV 광원을 조사하여 미세 패턴을 전사하는 핵심 노광 장비임.
- Z-axis 모션이 모터로 동작하는 PC 제어 기반의 반자동(Semi-auto) 장비로, 반복 공정 시
작업자 편차를 줄이고 수율을 향상시킬 수 있음.
- 조각(Piece) 단위의 소형 시료부터 최대 6인치 웨이퍼까지 연구실의 다양한 샘플 규격에
맞춘 공정이 가능함.
- 외부 보행 진동 등이 발생하는 Yellow Room 환경에서도 해상도 저하를 막기 위해 방진
메커니즘이 통합된 구조를 지님.
Ⅱ. 특성
- 수은등의 전 파장(350-450nm)의 조사가 가능하다.
- 마스크와 시편의 정렬 오차가 1㎛를 넘지 않는다.
- 1㎛ 이내의 패턴 해상도를 구현한다.
- 평행광 오차가 ±1°를 초과하지 않는다
- 자외선의 조사 균일도가 ±3%를 초과하지 않는다.
Ⅲ. 성능 및 규격
1. 반도체 노광 공정용 Mask Aligner
가. 본체
1) System Type : Semi Auto / Manual System
- Auto exposure, Leveling and Z axis Stage motion
2) Sample size : Piece to 6 inch
3) Mask Holder : 7 inch x 7 inch
4) Auto leveling of mask and sample
나. Light source module (광원 모듈)
1) Lamp type : Mercury Short arc lamp (1 kW)
2) Wavelength : 350nm to 450nm
3) 365nm Beam Intensity : ~ 25 mW/cm²
4) Max. beam size : 7.25 inch x 7.25 inch
5) Beam Uniformity : ≤±3%
다. Microscope (현미경)
1) Manual moving stage : Dual X, Y, Z axis
2) Magnification : 85x ~ 540x
3) Objective spacing : 50 ~ 150mm
4) Move range : Y Axis ± 10 mm
5) Working distance : 86 mm / 32 mm (2X Lens)
라. Stage and controller module (스테이지 및 제어 모듈)
1) Exposure Timer : minimum time of 0.1 sec
2) Stage movement : X, Y, Z and Theta
X, Y : ±5 mm , Theta : About ±4°
Z Motion travel : 15 mm
3) Contact mode : Vacuum, Hard, Soft Contact & Proximity gap
4) Stage Resolution : X, Y Stage Resolution: 0.1 um
Theta : 5 x 10-5 degrees
Z Axis : 0.1 ~ 10 um
5) Z and Theta Axis motorized motion
6) Z-Axis Alignment Gap: 0 ~ 100 um
마. Resolution (해상도)
1) Vacuum Contact : 1 um
2) Hard Contact : 2 um
3) Soft contact : 3 um
4) Proximity contact (20 um): 5 um
Ⅳ. 납품 및 교육
1. 설치 및 납품
- 설치 조건
- 공간 효율성: Yellow Room 내 협소한 공간 및 연구원 이동 동선을 고려한 가로
1150 mm 세로 1070 mm 높이 1500 mm 이내의 본체 설계.
- 안정성: 잦은 진동 노출 환경에서도 공정 정밀도를 유지할 수 있도록 본체와
통합된 일체형 고성능 제진대(Active/Passive Isolation) 구조 필수.
- 지정 장소 설치 및 정상 가동 여부 검수 진행
- 설치장소 : 수요자 지정장소
2. 교육
- 밀착형 기술 전수: 장비 운영 조기 정착을 위해 원격 지원이 아닌, 전문 엔지니어에
의한 대면 중심의 사용자 교육 및 심화 기술 지원 솔루션을 반드시 제공해야 함.
- 장비 기본 조작, 공정 세팅, 유지보수 및 안전 관리에 대한 현장 교육 실시
Ⅴ. 하자보수(Maintenance)
1. 하자보수 기간 : 1년 이상
2. 하자보수 조건
- 신속 대응 체계: 장애 발생 시 24시간 이내 현장 방문 및 정밀 진단이 가능한 서비스
망을 갖추어야 함.
- 예방적 품질 관리: 미숙련 사용자의 빈번한 사용으로 인한 고장을 방지하기 위해
정기적인 점검과 소모품 예방 정비 서비스를 제공해야 함.
- 공정 연속성 보장(Backup Solution): 장비 결함으로 인한 가동 중단 시, 연구 리스크
최소화를 위해 제조사가 보유한 동일 모델 이상의 데모(Demo) 장비를 활용한 공정
지원이 가능해야 함.
Ⅵ. 기타 조건(Remarks)
1. 공통사항
- 본 기본 규격서는 최소한의 규격을 규정하며 제안사는 필히 본 기본 규격서에 명시된 동등 및
동급 이상의 규격을 제안하여야 한다.
- 제안에 포함된 물품은 제조사 정품 부품이어야 하며, Refurbished, Used, Warranty
서비스용 부품의 제안해서는 안 된다.
- 국내 설치. 교육. 장애 대응 및 부품 공급이 가능한 기술 지원 체계를 갖추고 입찰
시 담당연락처를 제출해야 한다
2. 기타 조건
- 국내 제조 장비: 반도체 소부장 기술 자립화 취지에 부합하는 국내 제조 장비
- 공정 유연성 및 확장성: 6인치, 4인치 웨이퍼 및 조각(Piece) 샘플 모두 대응 가능한
구조여야 하며, 특수 샘플 대응을 위한 전용 Jig 및 Mask Holder 등 맞춤형 추가 KIT
제작 및 기술 서비스를 제공해야 함.
요청 사항
-. 입찰 종료 전(개찰 동일 또는 동급 장비의 1um 이하 패턴 구현 결과 데이터(원본 결과
이미지와 측정조건)을 제출해야 함.
-. 기한 내 미제출하거나 제출자료를 통해 요구.성능 충족여부를 확인할 수 없는 경우 규격
부적합으로 판정할 수 있음.