===== 입찰공고서.hwp =====
[공고번호 제2026 – 38호]
물 품 구 매 입 찰 공 고 1. 입찰에 부치는 사항
가. 입찰건명 : 금속막 원자층 증착 장비 (Metale Atomic Layer Deposition) 1대 구매 (내자)
나. 규격 및 수량 : 별첨 "상세규격서 및 제안요청서 등" 참조
다. 기초금액 : 일금 오억이백칠십사만원정 (₩502,740,000- VAT 포함)
라. 입찰방법 : 전자입찰, 제한(총액)입찰, 규격가격분리동시입찰, 예정가격 이하 최저가 낙찰제
마. 납품기한 : 계약일로부터 6개월 이내
바. 납품조건 : 현장설치도 (한국나노기술원 지정장소)
사. 공동계약 및 하도급 여부 : 불가 아. 분할납품 : 불가
자. 하자담보책임기간 : 검수 완료 후 1년간
2. 입찰서 제출기한 및 기술(규격)제안서 제출
가. 공고기간 : 2026.10.20.(화) 14:00 ~ 2026.10.28.(수) 14:00
나. 기술(규격)제안서 등 제출 : 2026.10.28.(수) 14:00 ~ 15:00 ※“제안요청서”참조
※ 제출방법 : 직접제출(우편 및 메일송부불가) 및 나라장터 상 제안서(규격) 등 파일 업로드
※ 제출 서류는 반환하지 않으며 제출 서류에 대한 접수확인을 반드시 받으셔야 합니다.
※ 제출장소 : 경기도 수원시 영통구 광교로 109 (재)한국나노기술원 3층 입찰장
다. 입찰가격 : 모든 비용(세금, 부대비, 운반, 하역, 설치 등)이 포함 된 최종 가격입니다.
라. 입찰서 개찰일시 : 기술(규격)제안서 심사 후 개찰
※ 가격입찰서와 기술(규격)제안서 중 어느 하나라도 미제출 시에는 입찰무효처리 됩니다.
마. 개찰장소 : 우리 원 계약담당관 PC
※ 가격개찰은 상기 개찰일시에도 불구하고 기술(규격)제안서 평가 완료 후 진행되며,
개찰 시 전산장애가 생길 경우에는 다소 늦어지거나 연기될 수 있습니다.
3. 입찰 참가자격
가. 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제12조 및 동법 시행규칙 제14조에서 정한 자격을 갖추고 동법 시행령 제76조의 규정에 의한 입찰 참가 자격 제한을 받지 않은 업체로서 조달청 전자입찰 참가자격 등록 및 이용자 등록을 마친 업체이어야 합니다.
나. 납품 실적 : 국내·외 기업 및 연구소에 ALD 납품 실적이 최근 5년간 5건 이상이여야 함
다. 입찰공고서에 정한 서류(규격 제안서 등)을 구비 후 소정 기일 내에 입찰등록을 필한 업체
라. 전자입찰 방식에 의하므로 전자입찰이용자 등록을 필한 업체만이 참여가 가능합니다.
마. 미 자격자가 입찰에 참가할 경우 관계규정에 따라 부정당업자로 제재할 수 있습니다.
4. 입찰참가신청 및 입찰보증금
가. 본 입찰은 전자입찰로서 입찰보증금(입찰금액의 100분의 5이상)은 국가계약법시행령 제37조 제1항에 의하며, 입찰보증금 납부는 동조 제3항에 의거 면제하되 지급확약은 조달청 전자입찰서의“입찰보증금지급각서”로 갈음합니다.
나. 낙찰자가 정당한 사유 없이 낙찰통보 접수일로부터 10일 이내에 계약을 체결하지 아니할 경우에는 입찰보증금(입찰금액의 100분의 5이상)을 우리원에 현금으로 납부하여야 하며, 동시에 부정당업자의 입찰참가자격 제한 처분을 받게 됩니다.
다. 입찰보증금의 귀속조치 등에 관하여는 우리원 계약업무규칙 제38조 규정에 의합니다.
5. 낙찰자 결정 방법 및 예정가격
가. 기술(규격)제안서를 평가하여 적격자를 대상으로 가격입찰서를 개찰하고, 예정가격 이하 최저가격 입찰한 자를 낙찰자로 선정합니다.
나. 제출하신 입찰등록 서류는 기술(규격)제안서 평가기준에 따라 합격, 불합격 여부로 평가하며 세부 평가기준의 성능 및 규격이 동등이상의 사양일 경우 합격으로 판정합니다.
다. 예정가격은 기초금액의 ±2% 범위 내에서 작성된 15개의 예비가격 중 4개를 추첨하여 산술평균한 가격으로 결정하며 예비가격 산출을 위한 기초금액은 전자입찰서 접수 개시 전까지 국가종합전자조달시스템에 공개합니다.
6. 입찰의 무효
국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제39조 및 동법 시행규칙 제44조, 국가종합 전자조달시스템 전자입찰 특별유의서 규정에 의합니다.
7. 청렴계약이행서약서 제출
본 입찰에 참가하고자 하는 업체는 우리원의 청렴계약입찰특별유의서 및 청렴계약이행특수조건을 준수하겠다는 청렴계약서약서를 제출한 것으로 간주하며, 아울러 최종 계약 상대자는 계약체결 시 청렴계약이행각서를 제출해야 합니다.
8. 기타 유의사항
가. 입찰, 등록 서류의 모든 사본에는“사실과 상위없음”또는“원본대조필”을 확인·날인 후 제출하셔야 합니다.
나. 본 구매입찰은 조달청전자입찰 방식에 의거 집행하므로 조달청 전자입찰이용자 등록을 필하고 전자입찰서는 반드시 조달청 홈페이지(www.g2b.go.kr)의 국가종합 전자조달시스템을 이용하여 제출하여야 합니다.
다. 입찰에 참가하고자 하는 자는 우리원 홈페이지(www.kanc.re.kr) 입찰공고란에서 해당입찰의 입찰공고서, 물품구매계약일반조건, 기타 입찰에 필요한 모든 사항을 입찰 전에 반드시 숙지하고 입찰에 참가하여야 하며, 이를 숙지하지 못하여 발생한 책임은 입찰자에게 있습니다.
라. 타인의 공인인증서를 차용하여 입찰서를 제출한 경우 당해 입찰자(공인인증서 차용자ㆍ대여자)는 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제76조 제1항 제8호 또는 제9호의 규정에 따라 부정당업자 제재 대상에 해당될 수 있으며, 동건 입찰은 무효처리합니다.
마. 전자입찰참가 희망업체의 전산장비 부족 등의 사유로 인하여 전자입찰등록 및 투찰이 곤란한 경우에는 투찰시간 마감 24시간 이전에 조달청 전자입찰 Help Desk(☎1588-0800)에 문의하여 주시기 바라며, 장애발생에도 불구하고 조달청 전자입찰 Help Desk로 문의를 하지 않아 발생하는 모든 책임은 입찰자에게 있습니다.
바. 본 입찰은 국가종합 전자조달 시스템 전자입찰 특별유의서 제20조에 의거 전산장애 발생 시 개찰이 다소 지연되거나 연기될 수 있습니다.
사. 낙찰자가 결정된 이후, 장비도입심의위원회 결정여부 또는 환율변동 등에 따른 예산 부족 시 동 계약을 보류, 연기 할 수 있습니다.
아. 낙찰예정자로 선정된 자는 한국나노기술원에서 재직 또는 퇴직 후 2년 이내인 자에 대한‘퇴직자(재직자) 영입현황 확인서’를 제출하여야 합니다.
자. 낙찰자는 낙찰일로부터 10일 이내 계약을 체결해야 합니다.
차. 계약체결 기간 경과 시 자동으로 계약체결 의사가 없는 것으로 간주 처리합니다.
카. 낙찰자가 정당한 사유 없이 정해진 기일까지 계약을 체결하지 않거나 본 전자입찰의 무자격자가 고의로 무효의 입찰을 한 경우 『국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령』 제76조의 규정에 의하여 부정당업자로 제재 처분합니다.
타. 계약 시에는 인지세법 제3조에 해당하는 세액의 인지를 첩부하여야 하며, 국세·지방세 납세증명서, 사업장 4대 보험료 완납증명서를 각1부씩 제출하여야 합니다.
9. 문의사항
가. 장비 및 사양 : 공정개발실 박성민 ☎ 031-546-6232, 공정개발실 김대영 ☎ 031-546-6249
나. 입찰 및 계약 : 경영지원실 서정운 ☎ 031-546-6512
다. 전자입찰 이용안내 : ☎ 1588-0800 국가종합전자조달시스템 콜센터
※ 입찰 및 계약과 관련하여 한국나노기술원 직원이 금품, 향응 등 부당한 요구를 할 경우 청탁방지담당관([email protected])에게 신고하여 주시기 바랍니다.
위와 같이 공고함 2026년 10월 20일
===== 입찰공고서.pdf =====
[공고번호 제2026 – 38호]
물 품 구 매 입 찰 공 고
1. 입찰에 부치는 사항
가. 입찰건명 : 금속막 원자층 증착 장비 (Metale Atomic Layer Deposition) 1대 구매 (내자)
나. 규격 및 수량 : 별첨 "상세규격서 및 제안요청서 등" 참조
다. 기초금액 : 일금 오억이백칠십사만원정 (₩502,740,000- VAT 포함)
라. 입찰방법 : 전자입찰, 제한(총액)입찰, 규격가격분리동시입찰, 예정가격 이하 최저가 낙찰제
마. 납품기한 : 계약일로부터 6개월 이내
바. 납품조건 : 현장설치도 (한국나노기술원 지정장소)
사. 공동계약 및 하도급 여부 : 불가
아. 분할납품 : 불가
자. 하자담보책임기간 : 검수 완료 후 1년간
2. 입찰서 제출기한 및 기술(규격)제안서 제출
가. 공고기간 : 2026.10.20.(화) 14:00 ~ 2026.10.28.(수) 14:00
나. 기술(규격)제안서 등 제출 : 2026.10.28.(수) 14:00 ~ 15:00 ※“제안요청서”참조
※ 제출방법 : 직접제출(우편 및 메일송부불가) 및 나라장터 상 제안서(규격) 등 파일 업로드
※ 제출 서류는 반환하지 않으며 제출 서류에 대한 접수확인을 반드시 받으셔야 합니다.
※ 제출장소 : 경기도 수원시 영통구 광교로 109 (재)한국나노기술원 3층 입찰장
다. 입찰가격 : 모든 비용(세금, 부대비, 운반, 하역, 설치 등)이 포함 된 최종 가격입니다.
라. 입찰서 개찰일시 : 기술(규격)제안서 심사 후 개찰
※ 가격입찰서와 기술(규격)제안서 중 어느 하나라도 미제출 시에는 입찰무효처리 됩니다.
마. 개찰장소 : 우리 원 계약담당관 PC
※ 가격개찰은 상기 개찰일시에도 불구하고 기술(규격)제안서 평가 완료 후 진행되며,
개찰 시 전산장애가 생길 경우에는 다소 늦어지거나 연기될 수 있습니다.
3. 입찰 참가자격
가. 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제12조 및 동법 시행규칙 제14조에서 정한
자격을 갖추고 동법 시행령 제76조의 규정에 의한 입찰 참가 자격 제한을 받지 않은 업체
로서 조달청 전자입찰 참가자격 등록 및 이용자 등록을 마친 업체이어야 합니다.
- 1 -
나. 납품 실적 : 국내·외 기업 및 연구소에 ALD 납품 실적이 최근 5년간 5건 이상이여야 함
다. 입찰공고서에 정한 서류(규격 제안서 등)을 구비 후 소정 기일 내에 입찰등록을 필한 업체
라. 전자입찰 방식에 의하므로 전자입찰이용자 등록을 필한 업체만이 참여가 가능합니다.
마. 미 자격자가 입찰에 참가할 경우 관계규정에 따라 부정당업자로 제재할 수 있습니다.
4. 입찰참가신청 및 입찰보증금
가. 본 입찰은 전자입찰로서 입찰보증금(입찰금액의 100분의 5이상)은 국가계약법시행령 제
37조 제1항에 의하며, 입찰보증금 납부는 동조 제3항에 의거 면제하되 지급확약은 조달
청 전자입찰서의“입찰보증금지급각서”로 갈음합니다.
나. 낙찰자가 정당한 사유 없이 낙찰통보 접수일로부터 10일 이내에 계약을 체결하지 아니할
경우에는 입찰보증금(입찰금액의 100분의 5이상)을 우리원에 현금으로 납부하여야 하며,
동시에 부정당업자의 입찰참가자격 제한 처분을 받게 됩니다.
다. 입찰보증금의 귀속조치 등에 관하여는 우리원 계약업무규칙 제38조 규정에 의합니다.
5. 낙찰자 결정 방법 및 예정가격
가. 기술(규격)제안서를 평가하여 적격자를 대상으로 가격입찰서를 개찰하고, 예정가격 이하
최저가격 입찰한 자를 낙찰자로 선정합니다.
나. 제출하신 입찰등록 서류는 기술(규격)제안서 평가기준에 따라 합격, 불합격 여부로 평가
하며 세부 평가기준의 성능 및 규격이 동등이상의 사양일 경우 합격으로 판정합니다.
다. 예정가격은 기초금액의 ±2% 범위 내에서 작성된 15개의 예비가격 중 4개를 추첨하여
산술평균한 가격으로 결정하며 예비가격 산출을 위한 기초금액은 전자입찰서 접수 개시
전까지 국가종합전자조달시스템에 공개합니다.
6. 입찰의 무효
국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제39조 및 동법 시행규칙 제44조, 국가
종합 전자조달시스템 전자입찰 특별유의서 규정에 의합니다.
7. 청렴계약이행서약서 제출
본 입찰에 참가하고자 하는 업체는 우리원의 청렴계약입찰특별유의서 및 청렴계약이행
특수조건을 준수하겠다는 청렴계약서약서를 제출한 것으로 간주하며, 아울러 최종 계약
상대자는 계약체결 시 청렴계약이행각서를 제출해야 합니다.
8. 기타 유의사항
- 2 -
가. 입찰, 등록 서류의 모든 사본에는“사실과 상위없음”또는“원본대조필”을 확인·날인
후 제출하셔야 합니다.
나. 본 구매입찰은 조달청전자입찰 방식에 의거 집행하므로 조달청 전자입찰이용자 등록을
필하고 전자입찰서는 반드시 조달청 홈페이지(www.g2b.go.kr)의 국가종합 전자조달시
스템을 이용하여 제출하여야 합니다.
다. 입찰에 참가하고자 하는 자는 우리원 홈페이지(www.kanc.re.kr) 입찰공고란에서 해당입
찰의 입찰공고서, 물품구매계약일반조건, 기타 입찰에 필요한 모든 사항을 입찰 전에 반
드시 숙지하고 입찰에 참가하여야 하며, 이를 숙지하지 못하여 발생한 책임은 입찰자에
게 있습니다.
라. 타인의 공인인증서를 차용하여 입찰서를 제출한 경우 당해 입찰자(공인인증서 차용자ㆍ
대여자)는 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제76조 제1항 제8호 또는 제
9호의 규정에 따라 부정당업자 제재 대상에 해당될 수 있으며, 동건 입찰은 무효처리합
니다.
마. 전자입찰참가 희망업체의 전산장비 부족 등의 사유로 인하여 전자입찰등록 및 투찰이
곤란한 경우에는 투찰시간 마감 24시간 이전에 조달청 전자입찰 Help Desk(☎
1588-0800)에 문의하여 주시기 바라며, 장애발생에도 불구하고 조달청 전자입찰 Help
Desk로 문의를 하지 않아 발생하는 모든 책임은 입찰자에게 있습니다.
바. 본 입찰은 국가종합 전자조달 시스템 전자입찰 특별유의서 제20조에 의거 전산장애 발생
시 개찰이 다소 지연되거나 연기될 수 있습니다.
사. 낙찰자가 결정된 이후, 장비도입심의위원회 결정여부 또는 환율변동 등에 따른 예산 부
족 시 동 계약을 보류, 연기 할 수 있습니다.
아. 낙찰예정자로 선정된 자는 한국나노기술원에서 재직 또는 퇴직 후 2년 이내인 자에 대한
‘퇴직자(재직자) 영입현황 확인서’를 제출하여야 합니다.
자. 낙찰자는 낙찰일로부터 10일 이내 계약을 체결해야 합니다.
차. 계약체결 기간 경과 시 자동으로 계약체결 의사가 없는 것으로 간주 처리합니다.
카. 낙찰자가 정당한 사유 없이 정해진 기일까지 계약을 체결하지 않거나 본 전자입찰의 무
자격자가 고의로 무효의 입찰을 한 경우 『국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행
령』 제76조의 규정에 의하여 부정당업자로 제재 처분합니다.
타. 계약 시에는 인지세법 제3조에 해당하는 세액의 인지를 첩부하여야 하며, 국세·지방세
납세증명서, 사업장 4대 보험료 완납증명서를 각1부씩 제출하여야 합니다.
9. 문의사항
가. 장비 및 사양 : 공정개발실 박성민 ☎ 031-546-6232, 공정개발실 김대영 ☎ 031-546-6249
- 3 -
나. 입찰 및 계약 : 경영지원실 서정운 ☎ 031-546-6512
다. 전자입찰 이용안내 : ☎ 1588-0800 국가종합전자조달시스템 콜센터
※ 입찰 및 계약과 관련하여 한국나노기술원 직원이 금품, 향응 등 부당한 요구를 할 경우 청탁
방지담당관([email protected])에게 신고하여 주시기 바랍니다.
위와 같이 공고함
2026년 10월 20일
- 4 -
===== 상세규격서_Metal ALD.pdf =====
상 세 규 격 서
거래의뢰번호 :
(영문) Metal Atomic Layer Deposition
품명
(국문) 금속막 원자층 증착 장비
○ Metal ALD(Atomic Layer Deposition)는 화학흡착(Chemisorption) 반응을 기반으로,
원자층(Atomic Layer) 단위의 금속 박막 또는 금속 질화물(Metal Nitride)을 형성하
는 증착 공정이다. 본 공정은 자기제한적(Self-limiting) 반응 메커니즘에 의해 진행
되며, 각 반응 사이클에서 표면에 포화 흡착된 물질만 반응하므로 원자층 수준의
정밀한 막 두께 제어가 가능함.
○ Metal ALD는 CVD나 PVD와 같은 연속 증착 방식이 아닌, 표면 흡착 기반 공정이라
는 점에서 본질적인 차이를 가진다. 공정 중 1차 소스(금속 전구체)가 챔버 내로 주
입되면, 기판 표면의 활성 사이트(-OH, -NH 등)에만 선택적으로 화학 흡착이 발생
용도개요
하고, 표면이 포화되면 반응은 자동으로 종료됨. 이후 2차 소스(환원제 또는 반응가
스)가 주입되면, 표면에 흡착된 전구체와만 화학적 치환 반응이 일어나 최종적으로
새로운 금속 또는 금속질화물 박막이 형성됨. 이와 같은 메커니즘으로 인해 한 사
이클당 한 개의 원자층만 형성되는 것이 Metal ALD의 핵심 원리임.
○ Metal ALD는 로직·메모리 반도체의 게이트 및 전극, 고종횡비 구조 대응 배리어·
라이너 형성에 활용되며, BEOL 배선 공정에서는 Seed-less 배선 구현을 위한 초박
막 금속 증착 기술로 적용됨.
○ 디스플레이, 에너지 및 센서 분야에서도 전극·확산 방지막·계면 제어용 금속 박
막 형성에 활용되어 초미세·3차원 구조 소자 전반에 적용 가능한 핵심 증착 공정
기술로 활용되고 있음.
Ⅰ. 요구 사양(Requirement Specifications)
(1) System Configuration
① Wafer Size & Type : 12 inch (coupon~12 inch compatible)
② System Configuration
- Loadlock Module : 1 Module
- Process Module: 1Module
상세내역
③ Main Power : 3 Phase / 208 VAC / 60 Hz / 400 A
(2) Process Module Function & Performance : 1ea PM
① Chamber Material : Anodized Al and SUS
② Chamber Type : Showerhead-type PEALD Chamber
③ Stage Heater Type
- Heater Type : Molded Heater (Material : Inconel)
- Heater Temperature Capability for Process (Max): 700 ℃
④ Chamber Top Plate & Body & Pumping Line
- Max. Temperature : 180 ℃
⑤ RF Plasma Kit
- RF Frequency : 13.56 MHz
- Max Power : 1.0 KW
⑥ Process Pressure Control
- Pressure Gauge : Baratron Gauge (CDG)
- Controller : Self-tuning Pressure Controller
⑦ Pumping & Vent System
- Leak Check Port : 1/4" VCR or NW 25
- Install the RGA Port : NW25
- Vacuum Pump : 20,000 Liters/min
- Fore-line Trap : Heating Type, 450℃ ↑ (with Heating Jacket)
⑧ Vacuum Measurement : Convectron Gauge & ATM Sensor
- Process Chamber : ≤ 20 mTorr @ R.T
(3) Gas Delivery System
① Gas Delivery System Type : Conventional Type (Plumbing)
② Gas Type
- Source Carrier, Curtain, Gas Line Purge : Ar
- Reactant : H2, PN2, NH3, O2
- NH3/H2 Line Purge : PN2
③ Gas Piping Grade : EP Grade
④ Gas Line
- Max. Temperature :≥150 ℃
- Heater Type : Heating Block & Band Heater
⑤ MFC
- Specification : 1,000 sccm
- MFC Response : ≤ 1 sec
(4) Source Delivery Unit
① Number of Source Canister : 4 ea
② Canister Temperature Control Type
- Hot Canister : with Heating Jacket (Max. Temperature < 150 ℃)
- Gas Line Heater: with Band & Block Heater(Max. Temperature < 150 ℃)
③ Source Carrier Gas : Ar (Hot & Cold Common)
④ Real Time Level Sensing (with Level Sensor) : available
(5) Cooling & Heating System
① Mainframe Water Line : Sus
(6) Vacuum Pump
① Process Module : 1 Sets / 20,000 Liters/min
(7) Scrubber
① Method ; Thermal & Wet Type Scrubber
② Gas Scrubber + Power Drain
③ Max. Heating Temperature - 850 ℃ ~ 1,050 ℃
④ Gas : N2 and Air
(8) Target Material
- Ru, Mo, Co, Pt (상황에 따라 변경될 수 있음)
II. 최종인수시험
(1) 장비 성능 검수
① Vacuum performance
⒜ Process chamber base pressure (@ Room Temp.)
- Spec : 2-hour pumping < 5.0E * 10-3 Torr
- 조건 : Chamber condition은 Clean and empty 상태, No heating
⒝ Process chamber leak rate (@ Room Temp.)
- Spec : < 5.0E * 10-2 Torr
- 조건 : Base Pressure까지 Pumping후 모든 Vaccum Valve Close
⒞ Process chamber base pressure (@ 500℃ heating)
- Spec : ≤ 20mTorr/min
- 조건 : Chamber condition은 Clean and empty 상태
⒟ Loadlock chamber base pressure
- Spec: ≤ 50mTorr/min
- 조건 : Chamber condition은 Clean and empty 상태, No heating
⒠ Loadlock chamber leak rate
- Spec : ≤ 3.0mTorr/min
- 조건 : Base pressure pumping 까지 후 모든 vacuum valve close
② MFC Flow
- MFC response: ≤1sec
- MFC flow accuracy: ±1% of set point
- MFC flow repeatability: ≤ ±0.2% of full scale
Gas
O2
H2
N2
Ar
Ar
Range(sccm)
500
500
500
1000
2000
Set Value(sccm)
300,500
300,500
300,500
700,1000
500,1000,1500,2000
③ Heater control
- PID Control system에서 TC 측정, 상온에서 측정 시작 후 2시간 후 안정화
- Spec :
Set temp. ≤±3.0%
Canister
Main chamber
Shower head
Line
Hot Trap
Set (℃)
80, 90, 100
200, 300, 500
100, 150
100, 150
450, 500
Reading (℃)
-
④ Motion Test: Loading/Unloading 반복을 1-cycle로 계산하여 반복 진행
- Loading/Unloading 반복을 1-cycle로 계산하여 50 cycle 반복 진행
- Spec : No fail
⑤ Plasma Test
- Spec : Reflect Power ≤±1%
Set power
100
200
300
500
Forward power
-
Reflect power
-
(2) 공정 성능 검수 (*자료 제출 필수)
- 성능 평가 박막 : Ru
- GPC (Growth Per Cycle): 1~3Å/cycle (*전구체에 따라 변경될 수 있음)
- Within Wafer NU (％): ≤ 3.0% @1σ (9point , 200mm wafer, 면저항기)
- Wafer to Wafer NU (%): ≤ 3.0% @1σ (9point, 5wafers, 200mm wafer, 면저항기)
- Step Coverage : ≥ 80% @CD 300nm, Depth 1um, A/R 1:3.3, (Side 또는 Bottom)
최솟값 두께/ Top 두께 * 100 (TEM)
- 비저항 : ≤ 30uΩ*cm (면저항기,TEM)
1. 성능 보증
가. 공급자는 상세규격서 및 용도설명서의 성능 요구 조건을 보증해야 함
특기사항
나. 공급업체는 본 장비의 성능을 검증하기 위해 최종인수시험 항목들의 성능을 평
가 확인하여야 함.
다. 주요사양에 기재되지 않은 추가 제공할 수 있는 별도 기능 및 옵션은 응찰사양
서 해당항목에 반드시 작성하여 제출 요함.
2. 검수 및 승인
가. 납기
1) 납기일 : 계약 체결일로부터 6개월 이내
2) 상호 협의된 일정 내에 문제가 발생하여 설치가 지연될 때는 지연 패널티를
한국나노기술원에 지불함 (계약 조건에 따름)
나. 검수
1) “검수”는 공급자가 기술원에 납품하고 설치한 장비가 요구사양을 만족하는지 성
능 평가하는 것을 말하며, 아래 검수 및 검사 과정을 거침
2) 현지 검수
- “현지 검수”는 공급자가 공장 출하 전, 납품 장비의 외관, 장비 구성, 기본 동작
등을 검수하는 것을 의미하며, 기술원의 직원이 배석한 상태에서 실시하여야 함
- 공급자는 기술원과 상호 협의하여 현지 검수 예정일로부터 1달 전까지 검수 기준
을 기술원에 제시하여야 함
- “현지 검수”는 공급자와 기술원은 협의하에 서면으로 대체 가능함.
3) 입고 검수
- “입고 검수”는 공급자가 기술원에 장비를 납품하고 설치한 후에 장비의 외관,
장비 구성, 기본 동작 등을 검수하는 것을 의미하며, 기술원의 직원이 배석한 상태
에서 실시하여야 함.
- “입고 검수”의 기준은 “현지 검수”의 기준을 따르되, 상황에 따라 변경될 수
있음.
- 공급자는 기술원과 상호 협의하여 장비를 납품하기 전 “입고 검수”의 기준을
기술원에 제시하여야 함.
- 제조사 공장에서 장비 출하 전 확인한 최종인수시험 항목들의 성능을 재현하여
최종 성능 평가 확인
(성능 평가를 위한 웨이퍼 레퍼런스 시료는 업체 측 에서 제공하도록 함)
- 검수 과정에서 장비 규격 미달 시 ship back 처리하며, 기술원의 합·부 판정
에 대한 분쟁 발생 시 기술원의 해석에 따름
- 기술원의 유틸리티 공사 지연으로 인해 최종인수시험(FAT)이 늦어질 수 있음
다. 검수 승인
1) “검수 승인”이란 공급자가 최종 기술 검사(최종인수시험보고서)를 기술원에 제
출하여 기술원의 승인을 받은 상태를 의미함. 해당 보고서에는 기술원과 공급자의
서명이 반드시 포함되어야 함. 업체가 제시하는 H/W Setup 보고서는 최종 기술 검
사 문서를 갈음할 수 없음.
3. 제작 기준
가. 본 장비는 신규 장비여야 함
나. 장비를 설치하는 과정에서 안전수칙 미준수 및 안전도구 미착용으로 발생하는
모든 안전사고는 공급자 측에서 조치와 책임을 다함
4. 품질 보증
가. 장비 무상서비스 보증기간 : “검수 승인” 후 1년
나. 품질 보증 기간 내 고장 발생 시 : 공급자 측에서 부품과 인력을 무상으로 제공
하여 수리하여야 함 (단, 사용자의 과실 및 고의에 의한 고장은 제외함)
5. 유지 보수
가. 장비 문제 발생 시 전화 대응이 가능한 서비스 엔지니어를 최종인수시험(FAT)
승인 전에 지정해야 하며, 이를 최종인수시험에 기록해야 함
나. 기술원에서 전화로 서비스 엔지니어의 방문 요청 시, 전화를 받은 시점을 기준으
로 48시간 이내에 방문 점검을 실시하여야 함
다. 국내에 S/W 및 H/W 전담 엔지니어가 반드시 상주해야 하며, 업체는 해당 인력의
기술 지원 가능 여부를 사용자에게 증빙할 수 있어야 함
라. 업체는 엔지니어의 기술 역량, 지원 가능 시간, 유지보수 대응 절차 등을 포함한
상세 정보를 제공해야 하며, 사용자는 필요시 업체로부터 전담 엔지니어의 경력
및 기술 지원 이력을 요청할 수 있으며 업체는 이에 대한 객관적인 증빙자료를
제출할 수 있어야 함
6. 장비 교육
가. 시기 : 장비의 검수 승인 이후 한 달 이내
나. 기간 : 각 내용별 1 ~ 2일
가. 장소 : 기술원 내 설치장소
나. 비용 : 무상
다. 인원 : 기술원의 직원 2명 이상
라. 내용 : ALD 이론, 장비 기본운용, 장비유지보수, Application 교육
마. 기타
1) 사용자가 원활한 사용을 위해 추가 교육을 요청할 때에는 이에 대한 1회(2일 이
상) 교육을 지원함
2) 품질 보증 기간 동안에 실시되는 교육 및 기술 지원에 따른 모든 제반 경비는 공
급자 측에서 부담하여야 함
7. 운송
가. 장비 운송용 포장은 운송 과정에서 문제가 없도록 견고해야 함
나. 장비는 파티클 오염이 안 되도록 포장되어야 함
바. 장비 반입 시 파손이 우려되는 부품은 내장하거나 반입 후 조립해야 함
8. 비고
가. 본 용도설명서, 상세규격서 등에 명시되지 않은 사항은 공급자 측에서 제안하고
상호 협의 하에 결정함
나. 본 용도설명서, 상세규격서 등은 기술제안서의 작성을 위한 최소한의 규격을 규
정하며 반드시 상기 사양과 동등하거나 그 이상의 규격으로 구성되어야 함
다. 기술제안서의 모든 내용은 객관적으로 입증할 수 있어야 함
라. 장비의 모든 구성품은 신품이어야 하며, 공동 도급, 분할 납품을 불허함
마. 공급자는 공정에 최적화된 유틸리티 정보 및 Hook-up 사양서를 계약 직후 1달
이내에 기술원의 양식에 맞게 제공해야 함
사. 장비 설치 과정에서 안전 수칙 미준수(안전도구 미착용 등)로 인해 발생하는 모
든 안전사고에 대해서 공급자는 그에 따른 조치와 책임을 다해야 함
9. 입찰 자격
납품 실적: 국내외 기업 및 연구소에 ALD 납품 실적이 최근 5년간 5건 이상이어
야 함
작 성 일 2026. 07. 27 부 서 명 미래반도체공정개발실 작 성 자 박 성 민 (인) 부 서 장 정 상 현 (인)
===== 용도설명서_Metal ALD.pdf =====
용 도 설 명 서
품 (영문) Metal Atomic Layer Deposition
명 (국문) 금속막 원자층 증착 장비
모
- 델 수량 1 대
○ 인공지능 및 1nm 이하급 초미세 시스템반도체 소자 실증 테스트베드
용
구축 사업'의 공정을 위해 필수적으로 구축되어야 하는 장비임.
도
개
요
○ 금속막 원자층 증착 장비는 로직·메모리 반도체의 게이트 및 전극, 고
종횡비 구조 대응 배리어·라이너 형성에 활용되며, BEOL 배선 공정에서
는 Seed-less 배선 구현을 위한 초박막 금속 증착 기술로 적용됨.
1) Wafer Size & Type : 12 inch (coupon ~ 12 inch compatible)
2) System Configuration
- Loadlock Module : 1 Module
- Process Module:1ea PEALD Process Modules
3) Main Power : 3 Phase / 208 VAC / 60 Hz / 400 A
4) Chamber Material : Anodized Al Body and sus
주
요
5) Chamber Type : Showerhead-type PEALD Chamber
사 6) Stage Heater Type
양
- Heater Capability for Process (Max / Min) : R.T to 700 ℃
7) RF Plasma Kit
- RF Frequency : 13.56 MHz
- Max Power : 1.0 KW
8) Number of Source Canister : 4 ea (Hot Canister)
9) Reactant : H2, PN2, NH3, O2
10) Scrubber : Thermal & Wet Type Scrubber
활
용
계
획
○ 시스템반도체의 공정 중 금속막을 증착함 (Ru, Mo, Co, Pt, 상황에 따라
변경될 수 있음)
○ 시스템반도체 연구 및 개발을 하는 산·학·연의 연구 개발을 위한 공
정지원 서비스에 활용할 계획임.
설
치
장
○ 한국나노기술원 클린룸 내 시스템반도체 지원라인
소
특
기
사
○ 상세규격서와 상동 항
2026. 07. 27.
부 서 명
융합공정기술본부 미래반도체공정개발실 작 성 자 박 성 민 (인) 부 서 장 정 상 현 (인)
===== 제안요청서_Metal ALD.hwp =====
제 안 요 청 서 한국나노기술원 1. 사업건명 : 금속막 원자층 증착 장비
(Metal Atomic Layer Deposition)
가. 계약(입찰)방법 1) 규격가격동시입찰
2) 관련근거 :「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」제18조
나. 제안 자격 : 입찰 공고문에 따름 다. 납품 조건
1) 사업기간은 관련분야의 추진일정, 예산의 상황, 현장의 여건변동에 따라 조정 될 수 있다.
2) 본 사업의 제안자는 현장설치 일정에 맞추어 기자재를 납품 및 설치하여 공정추진에 차질이 없도록 하여야 한다. 또한 이에 따라 현장설치하고 시운전, 장비 운영 인력 및 기술적 문제해결, 및 A/S에 대한 교육을 포함한다.
3) 설치, 시운전, 검수 등에 필요한 모든 경비는 납품 업체가 부담한다.
4) 납품기한은 계약 후 6개월 이내로 한다.
라. 하자보증기간 : 장비의 검수 승인 이후 1년
마. 낙찰자 결정방식 : 규격적격자 중 예정가격이내 최저가격 입찰자 선정
바. 제안서 평가와 절차 적용기준
- 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제18조(2단계경쟁 등의 입찰)의 규정에 의한 규격·가격 동시 입찰로서 규격입찰제안서에 대한 평가결과 총 85점 이상인 자에 한하여 가격개찰을 실시하며, 예정가격 이하의 유효한 입찰자 중 최저가격 입찰자를 적격업체로 결정한다.
사. 제안조건
1) 제시된 규격과 동등하거나 그 이상으로 제안하여야 한다.
2) 제안과 관련되어 제출된 자료 일체는 반환하지 않으며, 본 제안과 관련된 일체의 소요비용은 제안업체가 부담한다.
3) 제안서의 모든 기재사항은 객관적으로 입증할 수 있는 서류를 첨부해야 하며, 허위 작성한 사실이 판명되는 경우 평가대상에서 제외되며 계약 후에도 계약해지와 함께 인적․물적․기간적 손실에 대한 손해배상을 청구할 수 있다.
4) 제출된 제안서의 내용은 수정, 삭제 또는 대체할 수 없다.
5) 제안서에 제시된 내용은 계약서에 명시하지 않더라도 계약서와 동일한 효력을 가진다. 다만, 계약서에 명시된 경우에는 계약서의 내용이 우선한다.
6) 본 제안서의 결과에 의한 일체의 계약은 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 등 관련법규를 준수한다.
7) 제안업체는 동 사업과 관련하여 취급 또는 습득한 정보에 대하여 과업수행 기간은 물론 그 이후라도 정보유출 등에 관한 보안사항을 준수하여야 하며, 보안 사고에 대한 민․형사상의 모든 책임을 진다.
아. 제안서 평가
1) 제안서의 평가는 본 원의 기술평가위원회를 통해 제안서류를 평가하고 필요시 제안 업체별 제안발표회를 수행할 수 있다. 제안발표회를 실시할 시에는 발표일시 및 장소를 제안 업체에게 사전 통보한다.
2) 평가 기준 및 방법
- 평가위원들의 종합 평점의 평균이 100점 만점에 85점 이상을 득한 업체를 규격입찰적격 업체로 선정한다.
- 총점 100점 기준 85점 이상인 자에 한하여 가격개찰을 실시하며, 예정가격 이하의 유효한 입찰자 중 최저가격 입찰자를 낙찰자로 선정한다.
- 제안서 평가는 정량평가 15점, 정성평가 85점으로 한다.
- 각 항목별로 평가위원의 평가점수를 산술평균한 점수(소수점 3째 자리에서 반올림) 100점 만점으로 환산하여 제안업체의 점수로 한다.
- 평가점수는 각 평가위원의 기술평가점수 중에서 최저 및 최고점수를 제외 후 평균하여 산출한다. 다만, 최저 또는 최고 점수가 2개 이상일 때에는 하나만 제외한다.
- 평가항목에 따른 객관적인 증빙서류를 제출하지 못할 경우 해당항목은 영점처리한다.
※ 제안서 상 제출 된 납품실적 인정여부는 기술원 수요부서의 판단을 따르며, 납품실적에 대한 입증책임은 입찰자가 부담하며 의무를 다하지 아니하여 실적 확인이 어려운 경우에는 실적을 인정하지 않습니다.
※ 해당 납품이행실적은 관련협회 또는 공공기관의 확인을 받은 실적증명서를 제출하여야 합니다. 다만, 관련협회에 신고 받지 않은 민간회사의 이행실적이 있는 경우에는 원본이 확인 된 해당용역의 계약서, 세금계산서, 거래명세표 등의 증빙자료를 첨부하여 실적증명서를 제출한 경우에 한하여 인정합니다. (실적증명서에 명시된 금액과 세금계산서에 명시된 금액이 일치하여야 하오니, 확인 후 제출하여 주시기 바랍니다.)
- 상세규격서의 규격을 충족하지 못하는 경우 부적격으로 처리한다.
3) 제안서평가 기관(수요기관)의 장은 제안서 평가 종료 후 전자조달 시스템 또는 수요기관 정보처리장치 등을 통해 3일 이상 공개하며, 평가결과 공개 시 평가위원명은 비공개한다. 단, 제안서 평가결과에 개인정보, 영업비밀 및 다른 법령에 따라 공개가 제한되는 정보가 포함되어 있을 경우 평가결과의 일부 또는 전부를 공개하지 아니할 수 있다. 이 경우 전자조달시스템 또는 발주기관의 정보처리장치에 제안서 평가결과를 공개하지 않는다는 취지와 그 사유를 게재하여야 한다.
자. 제안서 제출기간 및 방법 1) 제출일시 : 입찰공고서 참조 2) 제출방법 : 입찰공고서 참조 3) 제출서류 : - 입찰참가신청서 (서식 참조) 1부 - 제안서 : (한글 양식 A4 용지) 1부
. 납품실적증명원 및 실적증빙자료 (서식 참조)
* 발주서/계약서 및 세금계산서 첨부
. 입찰공고일 기준 최근 1년 이내 신용평가등급서 (조달청 및 공공기관 입찰 제출용만 인정)
. 응찰사양서 (서식 참조) . 회사 일반현황 및 연혁 (서식 참조) . 장비 카다로그 또는 브로셔 (필수제출) - 서약서 1부 - 사업자등록증 및 법인계좌 사본 1부 - 법인 인감증명서 1부 - 사용인감계(법인인감 날인 요) 1부
- 입찰대리인 위임장 및 재직증명서 (법인인감 날인 요) 각 1부
차. 보안준수
1) 제안 요청일 이후 제안서 제출 시까지 발생하는 모든 사안에 대하여 제안참여 업체의 제안 관계자 이외의 인원에 대해서는 대외비로 취급 되어야 하며, 제안서와 관련되어 한국나노기술원에 기 제출된 모든 문서와 제공한 자료 및 정보에 대해서는 외부에 공개하지 않는다.
카. 유의사항
1) 입찰, 등록 서류의 모든 사본에는 “사실과 상위없음” 또는 “원본대조필”을 확인·날인 후 제출하셔야 합니다.
2) 입찰공고문에 기재된 필수 제출서류를 제외하고, 업체에서 제출한 제안서 내용 중 추가 자료가 요구되거나 보완이 필요한 경우에는 추가 제출을 요청 할 수 있다.
3) 입찰공고문에 첨부된 규격서(상세규격서 등)를 단순 복사하여 제출하는 제안서는 무효처리 될 수 있다.
4) 제출된 규격 제안서의 내용은 요청하지 않는 한 변경할 수 없으며, 계약체결 시 계약조건의 일부로 간주한다.
5) 규격 제안내용에 대한 확인을 위하여 추가자료 요청 또는 현지실사를 할 수 있으며, 이 경우 입찰참가자는 이에 적극 응하여야 한다.
6) 제안서에 제시된 내용은 계약서에 명시하지 않더라도 계약서와 동일한 효력을 가진다. 다만, 계약서에 명시된 경우에는 계약서의 내용을 우선한다.
7) 제출된 규격 제안서는 일체 반환하지 않으며, 본 제안과 관련된 일체의 소요 비용은 입찰 참가자의 부담으로 한다.
8) 본 사업의 효율적인 추진을 위하여 제안업체는 계약수행 과정에 계약이행 상황 등의 지도, 감독에 대해 기술원의 요구에 성실히 응하여야 하며 지적된 사항은, 즉시 보완하여야 한다.
2. 제안서 작성지침 1. 규격제안서 작성방법
1) 규격제안서는 목차 순서대로 작성하며 정확하고 명료하게 누락 없이 작성한다.
2) 규격제안서를 허위로 작성해서는 안되며 허위로 작성된 사실이 발견 될 경우에는 관련 법규 및 규정에 따라 처리한다.
3) 규격제안서 제출 시 제안사에 따라 본 장비의 설치 시 규격서에 명시되지 않은 장비 및 물량 또는 기술 등이 있을 때에는 제안사가 물량 또는 기술을 제안할 수 있으나, 별도의 금액산정은 인정하지 않는다.
4) 계약 후에도 규격제안서 내용이 허위 작성된 사실이 발견되거나 제안된 내용을 충족시키지 못할 경우 제안사는 관련 법규 및 규정에 따라 책임을 진다.
5) 제안서의 내용은 명확한 용어를 사용하여 표현하여야 한다. “사용 가능하다”, “할 수 있다”, “고려하고 있다” 등과 같이 모호한 표현은 평가 시 불가능한 것으로 간주하며 계량화가 가능한 것은 계량화하여야 한다.
2. 규격제안서의 구성 및 내용 1) 규격제안서 구성 ① 규격제안서 표지 ② 서약서 ③ 장비규격서제안서 및 응찰사양서 ④ 회사 일반현황 및 연혁 ⑤ 신용평가등급 확인서 및 납품이행실적 ⑥ 장비카탈로그 및 브로셔 2) 규격제안서 구성에 대한 내용 ① 장비규격제안서 : 붙임 참조
② 응찰사양서 (해당 장비 필수항목) : 서식 참조
- 양식에 맞게 작성 하여 제출 ③ 회사 일반현황 및 연혁 : 붙임 참조 - 회사개요 및 연혁 - 조직도 및 사업분야
④ 장비카탈로그 및 브로셔 (해당 장비 필수항목)
□ 평가 기준 및 제출 서식 안내 (Guide)
작 성 항 목 작 성 방 법 필수제출 서식 장비 납품 실적 [정량]
1) 평가 기준 : 장비 납품 실적 충족도
- 입찰 공고일 기준 최근 5년 이내
- 제안 장비 동등 이상 사양
- 국내·외 기업, 대학, 정부출연연구기관, 국가연구소 및 공공연구기관 등 납품실적 인정
2) 작성 양식 : [서식 7] 참조 납품실적증명서
기업신용도
[정량]
1) 평가 기준 : 제안사의 재무구조 및 경영상태
2) 제출 참조 : [붙임 1] 경영 상태에 따른 평점표
신용평가등급서
제안개요 및 업체현황
[정성]
1) 평가 기준 : 부합성 및 전문성
- 제안요청서의 내용을 명확히 이해하고, 본 제안의 개요·목적·범위·전제조건 및 주요 내용의 종합적으로 요약하여 부합성을 제시
- 반도체 설비 전문 기업으로서의 일반 현황, 주요 연혁, 주요사업분야, 기술 인력 현황 등을 구체적으로 작성
제안서
장비 규격의 적합성
[정성]
1) 평가 기준: 응찰사양서의 시방규격
2) 평가 요소: 응찰사양서의 제안규격
3) 작성 양식 : [서식 4] 참조
제안서 (응찰사양서) 장비 용도의
적합성
[정성]
1) 평가 기준: 용도설명서의 규격 충족도 및 적합성
2) 평가 요소:
- 제안 장비의 용도 정합 여부 및 기능의 충족성
제안서
설비 능력
[정성]
1) 평가 기준: 제안 장비의 기술적 완성도 및 운용 적합성,
특징 및 장점 명기
2) 평가 요소:
- 제안 장비의 우수성 및 편의성
- 장비의 유지 보수의 용이성
- 시스템의 안정성 및 신뢰성
제안서
사후 관리
[정성]
1) 평가 기준: 유지 보수 지속성 및 기술지원 체계의 신뢰성
2) 평가 요소:
- 장비 유지보수 및 인력운영 계획
(설비의 유지보수 측면 강점, 제안사 전체 엔지니어 인력 규모 및 제안 장비 담당 엔지니어 인력 규모를 구분하여 제시)
- 국내 A/S 및 부품 수급의 용이성
- 보증기간 이후 사후 기술 제공을 위한 업체 특장점
제안서 추진 계획
/교육 훈련
[정성]
1) 평가 기준: 도입 일정 및 교육 일정의 적정성
2) 평가 요소:
- 납품 및 설치 일정표 등의 적합성
- 장비 교육 훈련 계획
제안서 기타
※ 제안사가 기술원의 특성에 맞는 독창적인 제안 내용을 자유롭게 기술
제안서 □ 채점 기준표 평가 항목 산정 방법 평점 평가 요소 정량 (15점) 납품실적 산정 배점 우수 10점 양호 5점 보통 3점 미흡 1점 10점
1) 평가 기준: 장비 납품 실적 충족도
- 입찰 공고일 기준 최근 5년 이내
- 제안 장비 동등 이상 사양
- 국내외 기업 및 국가연구소 납품실적만 인정
- 우수: 5대 이상, 양호: 3대 이상,
보통: 1대 이상, 미흡: 0대 이하
2) 평가 서류: 납품실적증명서 또는 실적증빙서류
기업신용도 * 붙임 1의 경영상태에 따른 평점표에 따름 5점
1) 평가 기준:
제안사의 재무구조 및 경영상태
정성 (85점) 제안개요 및 업체 현황 산정 배점 우수 10점 양호 5점 보통 3점 미흡 1점 10점 1) 평가 기준: 부합성 및 전문성
2) 평가 요소:
- 300mm 대구경 기반 1nm 이하급 초미세 시스템 반도체 실증 테스트베드 사업 및 산학연 기술지원의 목적을 고려할 때, 제안 개요 및 목적, 범위, 내용의 부합성
- 본 구축사업의 목적 관련한 반도체 설비 전문 기업으로서 제안사의
일반현황, 주요연혁, 주요 사업 분야, 기술인력 현황 등 전문성
3) 평가 서류: 제안서 장비 규격의 적합성 산정 배점 우수 20점 양호 15점 보통 10점 미흡 1점 20점 1) 평가 기준 : 응찰사양서의 시방규격 2) 평가 항목 : 응찰사양서의 제안규격 3) 평가 서류 : 제안서(응찰사양서) 장비 용도의 적합성 산정 배점 우수 15점 양호 10점 보통 5점 미흡 1점 15점
1) 평가 기준: 용도설명서의 규격 충족도 및 적합성
2) 평가 요소:
- 제안 장비의 용도 정합 여부 (공고 용도 불일치 부분은 적색으로 표기)
3) 평가 서류: 제안서 설비능력 산정 배점 우수 20점 양호 15점 보통 10점 미흡 1점 20점
1) 평가 기준: 제안 장비의 기술적 완성도 및 운용 적합성, 특징 및 장점
2) 평가 요소:
- 제안 장비의 우수성 및 편의성
- 제안 장비의 유지 보수의 용이성
- 시스템의 안정성 및 신뢰성
(전용 OS 또는 펌웨어 기반 구성 여부 등)
3) 평가 서류: 제안서 사후 관리 산정 배점 우수 15점 양호 10점 보통 5점 미흡 1점 15점
1) 평가 기준: 유지 보수 지속성 및 기술지원 체계의 신뢰성
2) 평가 요소:
- 장비 유지보수 및 인력운영 계획
(설비의 유지보수 측면 강점, 제안사 전체 엔지니어 인력 규모 및 제안 장비 담당 엔지니어 인력 규모를 구분하여 제시)
- 국내 A/S 및 부품 수급의 용이성
- 보증기간 이후 사후 기술 제공을 위한 업체 특장점
3) 평가 서류: 제안서 추진 계획 /교육 훈련 산정 배점 우수 5점 양호 4점 보통 3점 미흡 1점 5점
1) 평가 기준: 도입 일정 및 교육 일정의 적정성
2) 평가 요소:
- 납품 및 설치 일정표 등의 적합성
- 장비 교육 훈련 계획
3) 평가 서류: 제안서 합 계 100점 [붙임 1] 경영 상태에 따른 평점표 신용평가등급 회사채에 대한 신용평가등급 기업신용평가등급 AAA
회사채에 대한 신용평가등급 AAA에 준하는 등급
5 AA+, AA0, AA-
회사채에 대한 신용평가등급 AA+, AA0, AA-에 준하는 등급
4.9 A+
회사채에 대한 신용평가등급 A+에 준하는 등급
4.8 A0
회사채에 대한 신용평가등급 A0에 준하는 등급
4.7 A-
회사채에 대한 신용평가등급 A-에 준하는 등급
4.6 BBB+
회사채에 대한 신용평가등급 BBB+에 준하는 등급
4.5 BBB0
회사채에 대한 신용평가등급 BBB0에 준하는 등급
4.4 BBB-
회사채에 대한 신용평가등급 BBB-에 준하는 등급
4.3 BB+, BB0
회사채에 대한 신용평가등급 BB+, BB0에 준하는 등급
4.2 BB-
회사채에 대한 신용평가등급 BB-에 준하는 등급
4.1 B+, B0, B-
회사채에 대한 신용평가등급 B+, B0, B-에 준하는 등급
4.0 CCC+ 이하
회사채에 대한 신용평가등급 CCC+에 준하는 등급
3.9 [붙임 2] 평가위원별 채점표
업체명 :
평가자 소속 :
평가자 성명 :
(인)
평 가 항 목 배점 평가 기타 정량 (15점) 1. 평가 기준 : 장비 납품 실적 충족도 2. 평가 서류 : 납품실적증명서 10점
1. 평가 기준 : 제안사의 재무구조 및 경영상태
2. 평가 서류 : 경영상태에 따른 평정표 5점 정성 (85점) 1. 평가 기준: 부합성 및 전문성 2. 평가 서류: 제안서 10점 1. 평가 기준: 상세 규격 항목 만족 여부 2. 평가 서류: 응찰사양서 20점
1. 평가 기준: 용도설명서의 규격 충족도 및 적합성
2. 평가 서류: 제안서 15점
1. 평가 기준: 제안 장비의 기술적 완성도 및 운용 적합성
특기 및 장점 2. 평가 서류: 제안서 20점
1. 평가 기준: 유지 보수 지속성 및 기술지원 체계의 신뢰성
2. 평가 서류: 제안서 15점
1. 평가 기준: 도입 일정 및 교육 일정의 적정성
2. 평가 서류: 제안서 5점
합
계
100점 【서식1】 “금속막 원자층 증착 장비 구매”
규
격
제
안
서
202 년
월
( 업 체 명 ) 【서식2】 서 약 서 입 찰 건 명 :
본사는 한국나노기술원에서 공고한 입찰참가와 관련하여 다음과 같이 제반
사항을 준수 할 것을 확약합니다.
1. 당 사는 동 사업의 목적과 제안요청서에 제시된 모든 사항을 충분히 검토, 숙지, 인정한 후 본 규격제안서를 제출합니다.
2. 제출된 모든 관련 증빙서류는 성실하게 작성, 제출하며 만약 허위기재 사항 등이 확인될 경우에는 참가자격에서 제외되어도 아무런 이의를 제기하지 않겠습니다.
3. 입찰서 평가를 위한 평가방법, 평가기준, 평가결과 등 사업자 선정 제반 결정에 어떠한 이의 제기도 하지 않겠습니다.
202 년
월
업 체 명 : 사업자번호 :
주
소 :
대 표 자 :
(인)
한국나노기술원 귀하 【서식3】 장 비 규 격 제 안 서 신 청 인
상
호
사업자등록번호
주
소
전 화 번 호 대 표 자 입찰담당자 입 찰 개 요 입찰공고번호 입 찰 일 자 입 찰 건 명
본인은 위의 번호로 공고한 경쟁입찰에 참가하며 입찰유의서 및 입찰공고 사항을
모두 승낙하고 별첨서류를 첨부하여 장비규격을 제안합니다.
※ 붙임서류 1. 응찰사양서 2. 회사소개서 3. 신용평가등급 확인서 4. 장비 카탈로그 및 브로셔 등
(※ 사본의 경우 원본대조필 후 제안사 인감 날인)
202 년
월
일
신청인 :
(인)
한국나노기술원 귀하 【서식4】 응 찰 사 양 서
※ 응찰사양서는 규격평가 기준표(상세규격서)에 작성된 사양 모두를 작성하여 제출하고, 사양
별 각각의 장비규격서를 아래와 같이 작성하여 제출하여야 한다.
제작회사 : 모델명 : 제 품 사 진 시방규격 (제안요청 규격) 제안규격 (납품규격) 제조사 (국가) 항목별 충족여부 1. System Configuration • 규격 O 1) Wafer Size & Type Coupon~12inch 공급처 BIDDING SPEC 입력 2) Wafer Process Single Wafer Process - Loadlock Module 1 Module - Prcoess Module 1 Module 3) Method
- Thermal ALD, PE ALD (Both)
Available 4) Main Power
3 Phase / 208 VAC / 60 Hz / 400 A
2. System Controller 1) System Control PC-based System 2) Software Fully Automated Software
- Save Lot / Wafer / Process / Alarm
History
Yes
- Error Message and Event Log Function
Yes
3) Communication Protocol
- SECS, GEM Protocol Yes
- Online Communication Port
Yes - Trace Data Collection Yes 3. Vacuum Performance 1) Base Pressure - Loadlock Chamber ≤50mTorr - Process Chamber ≤50mTorr @R.T 2) Leak Rate - Loadlock Chamber ≤3mTorr/min - Process Chamber ≤2mTorr/min @200℃ 4. Loadlock Module 1) Chamber Material Aluminum (Al 6061) 2) Vacuum Gauge
Convectron Gauge & ATM Sensor
3) Transparent Window Yes 5. Process Module 1) Chamber Material Al & Sus 2) Chamber Type
Showerhead-type(Single or Dual PEALD Chamber)
3) Stage Heater Type - Heater Type
Molded Heater(Material : Inconel)
-Heater Temperature Capability (Max)
700 ℃
- Heater Temperature Uniformity (9 points
T/C Wafer)
≤± 3.0% @ Set Temperature
4) Chamber Top Plate & Body &
Pumping Line
- Max. Temperature 180℃ 5) RF Plasma Kit - RF Frequency 13.56 MHz - Max Power 1.0 KW - Power Accuracy ≤± 1.0% @Set point - Reflected Power ≤± 1.0% @Set point
6) Process Pressure Control
- Pressure Gauge Baratron Gauge(CDG)_1set
- APC(Auto Pressure Control)
Trottle Valve ＊ Control Accuracy ≤± 2.0% @ Set point - Convectron gauge CVG - ATM Sensor Sensor
7) Pumping & Vent System
- Pumping / Vent Line Sus
- Slow & Fast Pumping/Vent
Programmable by Software - Leak Check Port 1/4" VCR or NW 25 - Vacuum Pump 20,000 Liters/min - Hot Trap Heating Type,≥400℃ 6. Gas Delivery System
1) Gas Delivery System Type
Conventional Type (Plumbing)
2) Gas Type
- Source Carrier, Curtain, Gas Line Purge
Ar - Reactant H2,PN2,NH3,O2 3) Gas Piping Grade EP Grade 4) Gas Line - Max. Temperature 150℃ - Heater Type
Heating Block & Band Heater
5) MFC - Specification 1,000sccm - Signal Type Digital - MFC Response ≤ 1 sec - MFC Flow Accuracy ≤± 1% of Set point. - MFC Flow Repeatability ≤± 0.2% of Full scale 7. Source Delivery Unit
1) Number of Source Canister
4ea
2) Source Canister Capacity
No limit 3) Source Transfer Type Bypass Type 4) Hot Canister, Cooler Available 5) Source Carrier Gas Ar
8. Cooling & Heating System
1) Mainframe Water Line Sus
2) Over Temperature Interlock
Yes 3) Water Leak Interlock Yes 4) Monitoring Alarm Yes 9. Vacuum Pump 1) Process Module 20,000 Liters/min 10. Scrubber 1) Method
Thermal & Wet Type Scrubber
2) Gas Scrubber+Power Drain
Yes
3) Max. Heating Temperature
850 ℃ ~ 1,050 ℃ 4) Gas N2 and Air 11. Metal ALD Film 1) Ru, Mo, Co, Pt Available
12. Ru Qualification (* 자료 제출 필수)
1) GPC (Growth Per Cycle)
1~3Å / Cycle
2) Film Thickness Uniformity
- Within Wafer
≤ 3.0% @1σ,Thickness 10nm
- Wafer to Wafer
≤ 3.0% @1σ,8inch WF 5장, Thickness 10nm
3) 비저항 ≤ 30uΩ*cm 4) Roughness - Ra(중심선 평균값)
≤ 1.0nm @Ru 10nm on Test grade wafer
5) Step Coverage
(Side 또는 Bottom 최소 두께/ Top 두께) * 100
≥80% @CD 300nm, Depth 1um, A/R 1:3.3
13. 기본사양 외 추가 적용되는 기능, 기술, 옵션 기재
반드시 입력 요함
※ 제안규격이 시방규격을 모두 충족(또는 상위규격)하여야 규격충족여부에 O로 표기하며, 그 이외는 규격충족을 만족하지 않는 것으로 간주하여 X(붉은색 표기)로 표기 한다.
상
호 :
주
소 :
대 표 자 :
(인)
【서식5】 일반현황 및 연혁
회
사
명
대 표 자 사 업 분 야
주
소
(전화번호) 설립년도
년
월
종업원수
사무직 :
명, 생산직 :
명, 영업직 :
명, A/S직 :
명
해당부문 종사기간
년
월 ~
년
월 현재 ( 년 개월)
(주 요 연 혁 : 최근 3년간 주요 납품실적 포함)
【서식6】 입 찰 참 가 신 청 서
* 아래 사항 중 해당되는 경우에만 기재하시기 바랍니다.
처리기간
즉
시
신 청 인 상호 또는 법인명칭 법인등록번호
주
소
전 화 번 호
대
표
자
입 찰 개 요
입
찰 공
고
(지 명)
공
고
제
호
입 찰 일 자
.
.
.
입
찰 건
명
입 찰 보 증 금
납
부
보증금율 :
%
보증금액 : 금
원정(₩
)
보증금납부방법 :
납 부
면 제 및
지
급 확
약
사유 :
본인은 낙찰 후 계약 미체결 시 기술원에 낙찰금액에 해당하는 소정의 입찰보증금을 현금으로 납부할 것을 확약합니다.
대 리 인 사 용 인 감
본 입찰에 관한 일체의 권한을 다음의
자에게 위임합니다.
성명 :
본 입찰에 사용할 인감을 다음과 같이
신고합니다.
사용인감 :
(인)
본인은 위의 번호로 공고(지명통지)한 귀 기술원의 일반(제한
지명) 경쟁 입찰에 참가하고자 귀 기술원에서 정한 공사(물품구매
기술용역)입찰유의서 및 입찰공고사항을 모두 승낙하고 별첨 서류를 첨부하여 입찰 참가신청을 합니다.
붙임서류 :
1. 입찰참가자격을 증명하는 서류 사본 1 통
2. 인감신고서 1통 3. 기타 공고로써 정한 서류
신
청
인 :
(인)
한국나노기술원 원장 귀하 【서식7】 납 품 실 적 증 명 서 신 청 인 업체명(상호) 대 표 자 (인) 영업소재지 전 화 번 호 사업자번호 사업의 종류 계 약 및 납품내용 계약번호 품명 및 수량 규 격 계약금액 (천원) 계약기간
사양서에는 본 입찰참가자격을 제한하는 사항이 명기된 자료를 포함하여 분량이 많을 경우 별도 첨부하시되 발주처 간인이 되어있어야함.
제출처 용 도 증 명 서 발급기관 위 납품 사실을 증명함
20 년
월
일
주 소 : 상 호 :
대표자 :
(인)
담 당 자 :
(인)
전화번호 :
1) 납품실적증명서 “신청인” 대표자란 응찰업체 법인 또는 사용인감 날인
2) 품명 및 규격은 반드시 우리 기술원 입찰참가자격에서 요구하는 품명과 같아야 함.
우리기술원에서 요구하는 품명 및 규격이 작성된 실적증명서와 상이 할 시에는 보완자료를 첨부 할 수 있음.
3) 제출처는 “ (재)한국나노기술원” 용도는 “입찰참가용 ”으로 명기함.
4) 본 납품실적증명서는 원본 제출이며, 계약 시 이와 관련된 계약서, 내역서, 세금계산서 등을 첨부할 것
【서식8】 퇴직자(재직자) 영입현황 확인서 □ 공고번호 : □ 입찰건명 :
1. 한국나노기술원 재직자 또는 퇴직자(퇴직 후 2년이 경과하지 아니한 자)가 당사에 대표이사 또는 임직원으로 (□ 근무를 하고, □ 근무를 하지 않고) 있습니다.
※ 상기 박스(□)에 체크(√)하고, 근무를 하는 경우 아래 표 작성
(1) 한국나노기술원 재직자가 근무를 하고 있는 경우
구분 성 명 회사명 : 한국나노기술원 직위 근무 부서 임원* 여부 직위 근무 부서 임원* 여부 1 2
(2) 한국나노기술원 퇴직자가 근무를 하고 있는 경우
구분 성 명 퇴직 당시 현 재 직위 근무 부서 퇴직일 직위 근무 부서 임원* 여부 1 2
*(임원의 범위) 대표이사, 이사, 감사 또는 상법 제401조의2제1항에 따라 이사와 동등한 권한이
있다고 볼 수 있는 자
2. 상기 입찰에 있어 위에 제출한 내용은 사실이며, 만약 사실과 다를 경우(축소, 누락 포함)에는 부정당업자로 입찰참가자격 제한조치 등의 불이익 처분을 받더라도 일체의 이의를 제기하지 아니할 것을 확약하고, 이에 확인서를 제출합니다.
202 년
월
일
회 사 명 :
대 표 자 :
(인)
한국나노기술원장 귀하 【서식9】 - 입찰건명 : 청렴계약 이행각서
당사는「부패없는 투명한 기업경영과 공정한 행정」이 사회발전과 국가 경쟁력에 중요한 관건이 됨을 깊이 인식하며, 국제적으로도 OECD 뇌물방지 협약이 발효되었고 부패기업 및 국가에 대한 제재가 강화되는 추세에 맞추어 청렴 계약 취지에 적극 호응하여 한국나노기술원에서 발주하는 모든 공사, 물품구매, 용역 등의 입찰에 참여함에 있어 당사 임직원과 대리인은
1. 입찰가격의 유지나 특정인의 낙찰을 위한 담합을 하거나 다른 업체와 협정, 결의, 합의하여 입찰의 자유경쟁을 부당하게 저해하는 일체의 불공정한 행위를 않겠습니다.
◦ 이를 위반하여 경쟁입찰에 있어서 특정인의 낙찰을 위하여 담합을 주도한 것이 사실로 드러날 경우 한국나노기술원에서 발주하는 입찰에 입찰참가자격제한 처분을 받은 날로부터 2년 동안 참가하지 않겠으며,
◦ 경쟁입찰에 있어서 입찰자간에 서로 상의하여 미리 입찰가격을 협정하거나 특정인의 낙찰을 위하여 담합을 한사실이 드러날 경우 한국나노기술원이 시행하는 입찰에 입찰참가자격 제한 처분을 받은 날로부터 1년 동안 참여하지 않고,
◦ 위와 같이 담합등 불공정행위를 한 사실이 드러날 경우 독점규제 및 공정거래에관한법률에 따라 공정거래위원회에 고발하여 과징금등을 부과토록 하는 데 일체의 이의를 제기하지 않겠습니다.
2. 입찰ㆍ계약체결 및 계약이행 과정에서 관계자에게 직ㆍ간접적으로 금품ㆍ향응(친인척 등에 대한 부정한 취업 제공 포함) 등의 부당한 이익을 제공하지 않겠습니다.
◦ 이를 위반하여 입찰ㆍ계약체결 및 계약이행과 관련하여 관계자에게 금품, 향응(친인척 등에 대한 부정한 취업 제공 포함) 등을 제공함으로써 입찰에 유리하게 되어 계약이 체결되었거나 계약이행 과정에서 편의를 받아 부실하게 시공 또는 제조한 사실이 드러날 경우에는 한국나노기술원이 시행하는 입찰에 입찰참가자격 제한 처분을 받은 날로부터 2년 동안 참가하지 않겠으며,
◦ 입찰 및 계약조건이 입찰자 및 낙찰자에게 유리하게 되도록 하거나, 계약목적물의 이행을 부실하게 할 목적으로 관계자에게 금품ㆍ향응(친인척 등에 대한 부정한 취업 제공 포함) 등을 제공한 사실이 드러날 경우에는 한국나노기술원이 시행하는 입찰에 입찰참가자격 제한 처분을 받은 날로부터 1년 동안 참가하지 않고,
◦ 입찰ㆍ계약체결 및 계약이행과 관련하여 한국나노기술원 관계자에게 금품, 향응(친인척 등에 대한 부정한 취업 제공 포함) 등을 제공한 사실이 드러날 경우에는 한국나노기술원이 시행하는 입찰에 입찰참가자격 제한 처분을 받은 날로부터 6개월동안 참가하지 않겠습니다.
3. 입찰ㆍ계약체결 및 계약이행과 관련하여 관계자에게 금품, 향응(친인척 등에 대한 부정한 취업 제공 포함) 등을 제공한 사실이 드러날 경우에는 낙찰자 결정 취소, 계약이행 전에는 계약취소, 계약이행 이후에는 당해 계약의 전부 또는 일부계약을 해제 또는 해지하여도 감수하겠으며, 민ㆍ형사상 이의를 제기하지 않겠습니다.
위 청렴계약 서약은 상호신뢰를 바탕으로 한 약속으로서 반드시 지킬 것이며, 낙찰자로 결정될 시 본 서약내용을 그대로 계약특수조건으로 계약하여 이행하고, 입찰참가자격 제한, 계약해지 등 한국나노기술원의 조치와 관련하여 당사가 한국나노기술원을 상대로 손해배상을 청구하거나 당사를 배제하는 입찰에 관하여 민ㆍ형사상 어떠한 이의도 제기하지 않을 것을 서약합니다.
20
.
.
.
상
호 :
대
표 :
(인)
한국나노기술원 원장 귀하 【서식10】 국가계약법 제27조의5 및
같은 법 시행령 제12조 제5항에 따른 서약서
당사는 「국가계약법」제27조의5 제1항에 따른 조세포탈 등을 한 자가 아님을 서약합니다. 만일 다음 각 호의 사유에 해당되어 유죄판결이 확정된 날부터 2년이 지나지 않는 사실이 발견된 때에는 계약을 해제ㆍ해지하는 등의 불이익을 감수하겠으며, 「국가계약법 시행령」 제76조 제1항 제1호 가목에 따라 부정당업자의 입찰참가자격제한 처분을 받겠습니다.
1.「조세범 처벌법」 제3조에 따른 조세 포탈세액이나 환급·공제받은 세액이 5억원 이상인 자
2.「관세법」 제270조에 따른 부정한 방법으로 관세를 감면받거나 면탈하거나 환급받은 세액이 5억원 이상인 자
3.「지방세기본법」 제102조에 따른 지방세 포탈세액이나 환급·공제 세액이 5억원 이상인 자
4.「국제조세조정에 관한 법률」 제34조에 따른 해외금융계좌의 신고의무를 위반하고, 그 신고의무 위반금액이 「조세범 처벌법」제16조 제1항에 따른 금액을 초과하는 자
5.「외국환거래법」 제18조에 따른 자본거래의 신고의무를 위반하고, 그 신고의무 위반금액이 같은 법 제29조 제1항 제3호에 해당하는 자
202 .
.
.
서약자 : ○○회사 대표 ○○○ (인) 한국나노기술원장 귀하 【서식11】 수의계약 체결 제한 여부 확인서
- 해당하는 [ ]에 √ 표시를 합니다.
(1쪽)
발주자 발주기관 한국나노기술원 발주부서 경영지원실 발주날짜 발주내용 [ ] 공사 [ ] 용역 [√ ] 물품 [ ] 기타 수의계약 사유 계약상대자 (확인인) 성명 소속 [ ] 개인 [ ] 법인 [ ] 단체 [ ] 기타 연락처 주소 수의계약 체결 제한 확인사항
발주기관의 소속 고위공직자, 배우자, 고위공직자의 직계존속·비속 또는 생계를 같이하는 배우자의 직계존속·비속에 해당하는가?
[ ] 예 [ ] 아니오 [ ] 해당없음 ②
계약 업무을 법령상·사실상 담당하는 공직자, 배우자, 공직자의 직계존속·비속 또는 생계를 같이하는 배우자의 직계존속·비속에 해당하는가?
[ ] 예 [ ] 아니오 [ ] 해당없음
발주기관(산하기관)의 감독기관 소속 고위공직자, 배우자, 고위공직자의 직계존속·비속 또는 생계를 같이하는 배우자의 직계존속·비속에 해당하는가?
[ ] 예 [ ] 아니오 [ ] 해당없음
발주기관(자회사)의 모회사 소속 고위공직자, 배우자, 고위공직자의 직계존속·비속 또는 생계를 같이하는 배우자의 직계존속·비속에 해당하는가?
[ ] 예 [ ] 아니오 [ ] 해당없음
상임위원회 위원의 국회의원, 배우자, 국회의원의 직계존속·비속 또는 생계를 같이하는 배우자의 직계존속·비속에 해당하는가?
[ ] 예 [ ] 아니오 [ ] 해당없음
공공기관을 감사 또는 조사하는 지방의회의 의원, 배우자, 의원의 직계존속·비속 또는 생계를 같이하는 배우자의 직계존속·비속에 해당하는가?
[ ] 예 [ ] 아니오 [ ] 해당없음
부터 까지 어느 하나에 해당하는 사람이 대표자인 법인
또는 단체에 해당하는가? [ ] 예 [ ] 아니오 [ ] 해당없음
부터 까지 어느 하나에 해당하는 사람과 특수한 관계의 사업자(공직자, 배우자, 공직자의 직계존속·비속, 생계를 같이하는 배우자의 직계존속·비속이 단독으로 또는 합산하여 발행주식 총수의 100분의 30 이상, 출자지분 총수의 100분의 30 이상, 자본금 총액의 100분의 50 이상을 소유하고 있는 법인 또는 단체)에 해당하는가?
[ ] 예 [ ] 아니오 [ ] 해당없음
「공직자의 이해충돌 방지법」제12조에 따른 수의계약 체결 제한에 대하여 위와 같이 확인합니다. 만약 위 사항이 사실과 다른 경우에는 어떠한 처벌이나 불이익도 감수할 것을 서약합니다.
년
월
일
○○○○○○ 계약상대자(대표자) (서명 또는 인)
210mm×297mm[일반용지 60g/㎡(재활용품)]