[R26BK01782225] 플라즈마 화학기상증착(PECVD) 장비 구매

===== 입찰공고문-화학기상증착장비.hwpx =====
강원테크노파크 공고 제2026-216호

입찰 공고
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규격 착오 또는 규정의 미숙지 등으로 입찰자가 계약을 체결하지 않거나, 계약을 체결하고 불이행하는 경우 관계법령에 의거 부정당업자로 제재되어 일정기간 입찰참여가 제한되는 등 불이익을 받으실 수 있사오니, 본 입찰공고서의 규격서 및 계약관련규정을 철저히 숙지하신 후 입찰에 참가하여 주시기 바랍니다.
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• 공 고 명: 플라즈마 화학기상증착(PECVD) 장비 구매
• 입찰방법: 제한(총액)규격가격동시
• 기초금액: 금3,000,000,000원 ※ 부가가치세 포함
• 납품기한: 계약일로부터 390일 이내
• 규

격: 제안요청서 및 규격서 참조

• 낙찰자선정방식: 제한(총액)규격가격 동시
• 개찰일시: 규격(기술)입찰 평가 완료 후 나라장터에서 개찰
• 개찰장소: 국가종합전자조달시스템 나라장터(G2B)
• 기

타: 공동계약 불허, 제안사항 설명회 없음

1

입찰(개찰) 일시 및 장소
<hp:lineBreak/>
가. 입찰방식 : 전자입찰
나. 규격(기술)ㆍ가격 전자입찰서 제출 시작일시 : 2026. 10. 21. 17:00
다. 규격(기술)ㆍ가격 전자입찰서 제출 마감일시 : 2026. 11. 3. 10:00
라. 개찰일시 : 규격(기술)입찰 평가 완료 후
마. 개찰장소 : 국가종합전자조달시스템(나라장터)

2

입찰 참가자격
아래의 참가자격을 모두 갖춘 자
가. 「국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정」에 따라 전자입찰서 제출 마감 전일까지 나라장터(G2B 시스템)에 세부품명번호 10자리 2399039801(진공증착기)을 제조 또는 물품으로 입찰참가자격 등록이 완료된 업체
나. 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」제76조(부정당업자의 입찰참가자격 제한)에 접촉되지 않는 업체
다. 단독계약이 가능한 업체여야 하며, 공동계약(공동수급) 및 하도급은 불허함
라. 본 제안서에 기술된 내용 등을 완벽히 이해 및 구현 가능하며, 향후 설비의유지보수 및 설비사용 교육, 훈련 등을 원활히 수행 가능한 업체
◐ 아래 각호에 어느 하나에 해당하는 경우에는 위 입찰참가자격을 모두 갖춘 경우에도 동 입찰에 참여할 수 없습니다.

「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」제27조의5 및 같은 법 시행령 제12조제3항에 따라 ‘조세포탈 등을 한 자’로서 유죄판결이 확정된 날부터 2년이 지나지 아니한 자

* 입찰자는 같은 법 시행령 제12조제3항 각 호에 해당하지 아니한다는 서약서를 입찰시 제출하여야 합니다. 만일 서약내용이 허위로 판명될 경우 계약의 해제․해지를 당할 수 있고, 부정당업자 입찰참가자격제한처분을 받을 수 있습니다. (서약서 제출은 전자입찰 시 정해진 서식에 따라 송신한 입찰서로 갈음)

3 입찰 방법

가. 본 입찰은“규격·가격 동시입찰”로, 규격과 가격입찰서를 동시에 제출하며, 규격입찰(제안서 평가)을 평가한 결과 적격업체를 선정한 후 선정된 적격업체에 한하여 가격입찰을 개찰
나. 본 입찰은 총액입찰로 예정가격 이내 최저가를 적용
다. 본 입찰은 반드시 국가종합전자조달 홈페이지(http://www.g2b.go.kr)를 통한전자입찰로만 제출하여야 하며, 가격입찰서를 제출한 입찰자만 제안서를 제출할 수 있음
라. 본 입찰은 청렴계약제, 전자계약 대상이며, 공동수급을 허용하지 않음

4 제안서 평가방식 및 낙찰자 결정방법

가. 제안서 평가방식
(재)강원테크노파크는 외부전문가로 구성된 7인 이상의 제안서평가위원회를 구성
해당분야 산·학·연·관 전문가
제안내용 및 평가위원회와 관련된 제반 사항(명단 등)은 비공개
제안서평가위원회를 통해 제안서 및 제안서류를 서면 또는 대면으로 평가
각 항목별로 평가위원의 평가점수를 산술평균한 점수(소수점 이하 둘째 자리에서 반올림)를 100점 만점으로 환산하여 제안업체의 점수로 평가
평가위원회 점수 중 최고·최저 점수를 제외한 나머지 평가위원의 점수를 산술 평균하여 최종점수를 산정하며, 최고·최저 점수가 2개 이상일 시 그 중 1개만 제외
제안서평가위원회의 대면 평가시 업체 대표의 참석이 원칙이나, 필요시 위임장을 작성하여 대리인이 참석 가능(제안서 발표 이전 제출 필수)
제안서 평가에 관련하여, 제안 업체에 제안서 내용에 대한 추가 설명 요청 가능
제안서 평가는 “제안요청서” [붙임 1]과 같은 평가항목과 비중으로 평가
평가항목에 필요한 객관적인 증빙서류 미제출 시 해당항목에 대해 지방계약법 등 관련 규정에 따라 처리
제안서에 대한 평점 집계표를 작성하여 평점 총계에 한해 조달청 통보
규격제안서 평가 결과를 개별업체에 통보 후, 나라장터(G2B 시스템)를 통해 공지
나. 낙찰자 결정
「지방자치단체를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」 제18조(2단계 경쟁등의 입찰) 제3항 및 제42조(국고에 부담이 되는 경쟁입찰에서의 낙찰자 결정) 제3항에 의한 규격 제안서 적합 업체 중 최저가 입찰자
종합평점이 100점 만점에 85점 이상을 득한 업체를 규격제안서 적합 업체로 선정
2개 업체 이상 유효한 입찰 평가 결과, 규격 적격으로 선정된 업체(1개 업체일 경우 포함)에 한하여 가격 개찰 실시
동일가격으로 입찰한 최저가 입찰자가 2인 이상인 경우에는 적격통과점수 이상을 받은 자 중에서 최고점수를 받은 자를 낙찰자로 결정하고, 종합평점도 동일한 경우에는 추첨을 통하여 낙찰자 결정
다음 각 사항에 해당하는 경우 부적합 처리
입찰자가 규격입찰서 평가 진행 중 부정한 행위를 한 경우
입찰자의 귀책사유로 규격입찰서 평가 업무를 수행할 수 없는 경우

5

제출 서류
구 분
내
용
비
고
제출
서류
1. 입찰참가신청서
1부
2. 서약서
1부
3. 청렴서약서
1부
4. 보안서약서
1부
5. 회사 일반현황 및 연혁
1부
6. 주요 납품실적
1부
7. 사업수행 조직표
1부
8. 규격대비표
1부
9. 개인정보 수집 및 활용 동의서
1부
10. 평가위원 추첨번호표
1부
11. 제안서(전자제출)
-
12. 발표자료(전자제출)
-
13. 기업신용평가서
1부
14. 대표자(법인) 인감증명서 및 사용인감계
각 1부
15. 사업자등록증 사본, 법인등기부등본(법인에 한함)
1부
16. 기타 별첨 증빙자료(필요시)
1부

※ 단, 계약담당자는 개찰 이후라도 필요한 경우 상기 관련 제출서류(입찰참가자격 포함)에 대한 적정성·적합성 여부를 사후에 판정할 수 있음
* 입찰공고문과 제안요청서에서 요청한 자료가 중복되는 경우 1개의 자료만 제출하며 혼동되는 내용이 있을시 입찰공고문을 우선함
* 상기 서류는 전자입찰서 제출 마감일시 이전까지 제출하여야 함. 입찰참여자의 착오, 실수로 인한 책임은 모두 입찰참여자(업체)에게 있음
* 사본 제출 시 반드시 원본대조필 날인 후 제출.

6 유의사항

가. 입찰보증금 납부는 입찰참가 신청서 제출로 갈음하며, 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」 제9조 제3항 및 동법 시행령 제38조 제2항에 의한 국고귀속사유가 발생한 때에는 입찰금액의 100분의 5에 해당하는 금액을 납입하여야 함
나. 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」 제5조의2 등 관계 법령에 위반되는 행위를 한 경우 해당 입찰․낙찰이 취소되거나 계약이 해지․해제될 수 있습니다. 계약담당자는 위반행위를 확인하기 위하여 입찰자 또는 계약상대자에게 관련 자료 제출을 요청할 수 있음
다. 본 입찰에 참가하는 모든 업체는 서약서, 청렴서약서, 보안서약서를 제출하여야 하며 결과에 의한 일체의 계약은「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」 등 관련 법규를 준수
라. 규격서에 기술되어 있지 않거나 불명확하다고 생각되는 사항은 (재)강원테크노파크의 해석 및 의견에 따름
마. 제안과 관련되어 제출된 자료 일체는 반환하지 않으며, 본 제안과 관련된 일체의 소요 비용은 제안업체가 부담
바. 계약업체는 장비의 제작, 검사, 포장, 운반, 설치, 검수, 교육 등을 통해 장비가 정상 가동할 수 있도록 할 전반적인 책임이 있음
사. 계약업체의 책임으로 발생하는 모든 하자 및 사고와 그로 인한 손해에 대해서는 계약업체가 변상
아. 책임 사항을 이행하기 위한 제반 비용은 계약업체가 부담하며 납품검사 완료 시, 계약업체는 하자보증보험증권을 제출
자. 제출된 제안서의 내용은 수정, 삭제 또는 대체가 불가하며 제안서에 제시된 내용은 계약서에 명시되지 않아도 계약서와 동일한 효력을 가짐
차. 제안서와 계약서에 동시에 명시되었을 시, 계약서의 내용이 우선
카. 제안업체는 제안과 관련된 (재)강원테크노파크에 기제출된 모든 문서와 제공한 자료 및 정보에 대해서 보안사항을 준수하여 외부에 유출하지 않음
타. 제안업체의 사유로 정보유출 등 보안사고 발생시 민·형사상의 모든 책임은 제안업체가 부담
파. 제안요청서 및 입찰 공고 등에 포함되지 않은 사항은 관련 법규 및 예규 등이 정한 바에 따름
하. 문 의 처

• (계약담당부서) (재)강원테크노파크 경영지원실

김승현 과장 (033-248-5677), [email protected]

• (사업담당부서) (재)강원테크노파크 글로벌사업단 반도체육성팀

권순호 대리 (033-743-8629), [email protected]

2026. 10. 21. (재)강원테크노파크 재무관

===== 입찰공고문-화학기상증착장비.pdf =====
강원테크노파크 공고 제2026-216호

입찰 공고
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규격 착오 또는 규정의 미숙지 등으로 입찰자가 계약을 체결하지 않거나, 계약을 체결하고 불이행하는 경
우 관계법령에 의거 부정당업자로 제재되어 일정기간 입찰참여가 제한되는 등 불이익을 받으실 수 있사
오니, 본 입찰공고서의 규격서 및 계약관련규정을 철저히 숙지하신 후 입찰에 참가하여 주시기 바랍니다.
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• 공 고 명: 플라즈마 화학기상증착(PECVD) 장비 구매
• 입찰방법: 제한(총액)규격가격동시
• 기초금액: 금3,000,000,000원 ※ 부가가치세 포함
• 납품기한: 계약일로부터 390일 이내
• 규

격: 제안요청서 및 규격서 참조

• 낙찰자선정방식: 제한(총액)규격가격 동시
• 개찰일시: 규격(기술)입찰 평가 완료 후 나라장터에서 개찰
• 개찰장소: 국가종합전자조달시스템 나라장터(G2B)
• 기

1 타: 공동계약 불허, 제안사항 설명회 없음 입찰(개찰) 일시 및 장소

가. 입찰방식 : 전자입찰
나. 규격(기술)ㆍ가격 전자입찰서 제출 시작일시 : 2026. 10. 21. 17:00
다. 규격(기술)ㆍ가격 전자입찰서 제출 마감일시 : 2026. 11. 3. 10:00
라. 개찰일시 : 규격(기술)입찰 평가 완료 후
마. 개찰장소 : 국가종합전자조달시스템(나라장터)

2 입찰 참가자격

아래의 참가자격을 모두 갖춘 자
가. 「국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정」에 따라 전자입찰서 제출
마감 전일까지 나라장터(G2B 시스템)에 세부품명번호 10자리 2399039801(진
공증착기)을 제조 또는 물품으로 입찰참가자격 등록이 완료된 업체

나. 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」제76조(부정당업자의
입찰참가자격 제한)에 접촉되지 않는 업체
다. 단독계약이 가능한 업체여야 하며, 공동계약(공동수급) 및 하도급은 불허함
라. 본 제안서에 기술된 내용 등을 완벽히 이해 및 구현 가능하며, 향후 설비의
유지보수 및 설비사용 교육, 훈련 등을 원활히 수행 가능한 업체
◐ 아래 각호에 어느 하나에 해당하는 경우에는 위 입찰참가자격을 모두 갖춘 경우에도
동 입찰에 참여할 수 없습니다.
「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」제27조의5 및 같은 법 시행령 제12조제3항에
따라 ‘조세포탈 등을 한 자’로서 유죄판결이 확정된 날부터 2년이 지나지 아니한 자
* 입찰자는 같은 법 시행령 제12조제3항 각 호에 해당하지 아니한다는 서약서를 입찰시 제
출하여야 합니다. 만일 서약내용이 허위로 판명될 경우 계약의 해제 • 해지를 당할 수 있
고, 부정당업자 입찰참가자격제한처분을 받을 수 있습니다. (서약서 제출은 전자입찰 시
정해진 서식에 따라 송신한 입찰서로 갈음)

3 입찰 방법

가. 본 입찰은“규격·가격 동시입찰”로, 규격과 가격입찰서를 동시에 제출하며,
규격입찰(제안서 평가)을 평가한 결과 적격업체를 선정한 후 선정된 적격업
체에 한하여 가격입찰을 개찰
나. 본 입찰은 총액입찰로 예정가격 이내 최저가를 적용
다. 본 입찰은 반드시 국가종합전자조달 홈페이지(http://www.g2b.go.kr)를 통한
전자입찰로만 제출하여야 하며, 가격입찰서를 제출한 입찰자만 제안서를 제출할 수 있음
라. 본 입찰은 청렴계약제, 전자계약 대상이며, 공동수급을 허용하지 않음

4 제안서 평가방식 및 낙찰자 결정방법

가. 제안서 평가방식
❍ (재)강원테크노파크는 외부전문가로 구성된 7인 이상의 제안서평가위원회를 구성
* 해당분야 산·학·연·관 전문가

❍ 제안내용 및 평가위원회와 관련된 제반 사항(명단 등)은 비공개
❍ 제안서평가위원회를 통해 제안서 및 제안서류를 서면 또는 대면으로 평가
❍ 각 항목별로 평가위원의 평가점수를 산술평균한 점수(소수점 이하 둘째

자리에서 반올림)를 100점 만점으로 환산하여 제안업체의 점수로 평가
❍ 평가위원회 점수 중 최고·최저 점수를 제외한 나머지 평가위원의 점수를 산술
평균하여 최종점수를 산정하며, 최고·최저 점수가 2개 이상일 시 그 중 1개만 제외
❍ 제안서평가위원회의 대면 평가시 업체 대표의 참석이 원칙이나, 필요시
위임장을 작성하여 대리인이 참석 가능(제안서 발표 이전 제출 필수)
❍ 제안서 평가에 관련하여, 제안 업체에 제안서 내용에 대한 추가 설명 요청 가능
❍ 제안서 평가는 “제안요청서” [붙임 1]과 같은 평가항목과 비중으로 평가
❍ 평가항목에 필요한 객관적인 증빙서류 미제출 시 해당항목에 대해 지방계약법
등 관련 규정에 따라 처리
❍ 제안서에 대한 평점 집계표를 작성하여 평점 총계에 한해 조달청 통보
❍ 규격제안서 평가 결과를 개별업체에 통보 후, 나라장터(G2B 시스템)를 통해 공지
나. 낙찰자 결정
❍ 「지방자치단체를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」 제18조(2단계 경쟁등
의 입찰) 제3항 및 제42조(국고에 부담이 되는 경쟁입찰에서의 낙찰자 결정)
제3항에 의한 규격 제안서 적합 업체 중 최저가 입찰자

• 종합평점이 100점 만점에 85점 이상을 득한 업체를 규격제안서 적합 업체로 선정
• 2개 업체 이상 유효한 입찰 평가 결과, 규격 적격으로 선정된 업체(1개 업체일

경우 포함)에 한하여 가격 개찰 실시
❍ 동일가격으로 입찰한 최저가 입찰자가 2인 이상인 경우에는 적격통과점수
이상을 받은 자 중에서 최고점수를 받은 자를 낙찰자로 결정하고, 종합평점도
동일한 경우에는 추첨을 통하여 낙찰자 결정
❍ 다음 각 사항에 해당하는 경우 부적합 처리

• 입찰자가 규격입찰서 평가 진행 중 부정한 행위를 한 경우
• 입찰자의 귀책사유로 규격입찰서 평가 업무를 수행할 수 없는 경우

5 제출 서류 구 분

제출
서류

내 용 비 고 1. 입찰참가신청서 1부 2. 서약서 1부 3. 청렴서약서 1부 4. 보안서약서 1부 5. 회사 일반현황 및 연혁 1부 6. 주요 납품실적 1부 7. 사업수행 조직표 1부 8. 규격대비표 1부 9. 개인정보 수집 및 활용 동의서 1부 10. 평가위원 추첨번호표 1부 11. 제안서(전자제출) - 12. 발표자료(전자제출) - 13. 기업신용평가서 1부

14. 대표자(법인) 인감증명서 및 사용인감계

각 1부

15. 사업자등록증 사본, 법인등기부등본(법인에 한함)

1부 16. 기타 별첨 증빙자료(필요시) 1부

※ 단, 계약담당자는 개찰 이후라도 필요한 경우 상기 관련 제출서류(입찰참가자격 포함)에 대한 적정성·
적합성 여부를 사후에 판정할 수 있음
* 입찰공고문과 제안요청서에서 요청한 자료가 중복되는 경우 1개의 자료만 제출하며 혼동되는 내용이
있을시 입찰공고문을 우선함
* 상기 서류는 전자입찰서 제출 마감일시 이전까지 제출하여야 함. 입찰참여자의 착오, 실수로 인한 책
임은 모두 입찰참여자(업체)에게 있음
* 사본 제출 시 반드시 원본대조필 날인 후 제출.

6 유의사항

가. 입찰보증금 납부는 입찰참가 신청서 제출로 갈음하며, 「국가를 당사자로 하는
계약에 관한 법률」 제9조 제3항 및 동법 시행령 제38조 제2항에 의한 국고귀속사유가
발생한 때에는 입찰금액의 100분의 5에 해당하는 금액을 납입하여야 함
나. 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」 제5조의2 등 관계 법령에 위반되는
행위를 한 경우 해당 입찰․낙찰이 취소되거나 계약이 해지․해제될 수 있습니다.
계약담당자는 위반행위를 확인하기 위하여 입찰자 또는 계약상대자에게 관련 자료
제출을 요청할 수 있음
다. 본 입찰에 참가하는 모든 업체는 서약서, 청렴서약서, 보안서약서를 제출하여야 하며 결

과에 의한 일체의 계약은「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」 등 관련 법규를 준수
라. 규격서에 기술되어 있지 않거나 불명확하다고 생각되는 사항은 (재)강원테크노파크의
해석 및 의견에 따름
마. 제안과 관련되어 제출된 자료 일체는 반환하지 않으며, 본 제안과 관련된 일체의
소요 비용은 제안업체가 부담
바. 계약업체는 장비의 제작, 검사, 포장, 운반, 설치, 검수, 교육 등을 통해 장비가
정상 가동할 수 있도록 할 전반적인 책임이 있음
사. 계약업체의 책임으로 발생하는 모든 하자 및 사고와 그로 인한 손해에 대해서는 계약업체가 변상
아. 책임 사항을 이행하기 위한 제반 비용은 계약업체가 부담하며 납품검사 완료 시,
계약업체는 하자보증보험증권을 제출
자. 제출된 제안서의 내용은 수정, 삭제 또는 대체가 불가하며 제안서에 제시된 내용은
계약서에 명시되지 않아도 계약서와 동일한 효력을 가짐
차. 제안서와 계약서에 동시에 명시되었을 시, 계약서의 내용이 우선
카. 제안업체는 제안과 관련된 (재)강원테크노파크에 기제출된 모든 문서와 제공한
자료 및 정보에 대해서 보안사항을 준수하여 외부에 유출하지 않음
타. 제안업체의 사유로 정보유출 등 보안사고 발생시 민·형사상의 모든 책임은 제안업체가 부담
파. 제안요청서 및 입찰 공고 등에 포함되지 않은 사항은 관련 법규 및 예규 등이 정한 바에 따름
하. 문 의 처

• (계약담당부서) (재)강원테크노파크 경영지원실

김승현 과장 (033-248-5677), [email protected]

• (사업담당부서) (재)강원테크노파크 글로벌사업단 반도체육성팀

권순호 대리 (033-743-8629), [email protected]

2026. 10. 21. (재)강원테크노파크 재무관

===== 규격서(수정)_화학기상증착장비.hwpx =====
구매 장비 규격서

□ 장비구매 목록
구분
장비명
세부품명번호
용 도
수량
1
PECVD
(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)
장비 구매
2399039801
(진공증착기)
반도체 소자의 제조 공정에서 웨이퍼 표면에 절연막 및 기능성 박막을 형성하기 위한 증착 공정에 활용.
반도체 공정용 웨이퍼의 Passivation, 절연막 형성 및 층간절연막(ILD) 공정에 활용.
1

• 제출 방법 및 담당자: 온라인 메일([email protected])로 제출 후 반드시 유선 확인

※ (담당) 정윤우 선임연구원, 033-743-7350

□ 장비 규격 안내 및 준수사항
장비명
사양
수량
PECVD
(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)
장비
시스템 구성
웨이퍼 크기 및 종류: 300 mm Wafer @ Semi Standard
웨이퍼 로딩 방식 : Cassette FOUP type
모듈 구성: Loadlock Module 2 Module, Transfer 1 Module, Process 2 Module
주 전원: 3상/ 208 VAC / 60Hz / 300A

2. 시스템 제어
시스템제어방식 : PC 기반 제어
소프트웨어: 완전 자동화 소프트웨어
시스템 제어 PC 운영체제 : Window

3. 진공성능
기본 압력(Base pressure) : ≤ 10 mTorr
누설률(Leak rate) : ≤ 5 mTorr / min
4. 공정모듈 성능
챔버재질 : 알루미늄
챔버유형 : 샤워헤드 방식
세정방식 : RPS(원격플라즈마세정)
적용공정 : 산화막 형성을 위한 PETEOS
스테이지 히터
공정용 히터 온도 범위 (최대 / 최소) : R.T to 550 ℃
공정용 웨이퍼 온도 범위 (최대 / 최소) : R.T to 550 ℃
히터 온도 균일도 (9 포인트 T/C Wafer) : ≤± 3.0% @ Set Temperature

5. 소스 캐니스터(Liquid Gas Cabinet)
소스 공급방식 : Pressurization
소스 캐니스터 용량 : 5 gallon 이상
소스 캐리어 가스 : He

6. 공정 모듈 성능 (PETEOS)
두께 균일도
웨이퍼 내 막 두께 균일도: 1s = 1.5% (1s) , Max-Min <3%
웨이퍼 간 막 두께 균일도 : 1s = 1.5% (1s) , Max-Min <3%
굴절률(Refractive Index) : 1.46 +/- 0.01
박막 응력 및 반복성(dyne/cm2) : <= 1.0E9 (C)
증착 파티클: < 15EA @ =0.20um
이송 파티클: < 10EA @ =0.20um
측면 단차 피복률: 60% 이상
바닥면 단차 피복률: 70% 이상

7. 기타
가스캐비넷 (2bottle 1Process) : NF3,N2O,SiH4(방폭),NH3(방폭)
N2 Purifier (2bottle 1Process) : H2 (방폭)
O2 Gas (2bottle 1Process) : 일반
Scrubber : 1차 Scrubber 2EA
(CVD 공정가스 처리 1대, Gas Cabinet 처리 1대)
1EA

8. 준수사항
○ Refurbish Standard 제출(제안서 심사 평가)
○ Factory Acceptance Test(FAT) 및 Initial Acceptance Test(IAT) 포함
○ 교육은 제조사에서 교육받은 엔지니어에 의해 무상으로 실시할 것
○ 각 구성품에 대한 교육 및 안전 매뉴얼을 포함할 것
○ 장비 및 운영 시스템은 클린룸 환경 내 설치 및 운용에 적합할 것
○ 장비·Sub Module·Utility·기타 Hook-up 포함할 것
○ 장비의 운송, 반입 및 설치, Hook-up 등 관련된 모든 사항에 대한 비용은 공급자가 부담할 것
○ 납품일로부터 1년간 하자보수 제공할 것(단, Labor Warranty는 2년간)
○ 하자보수 기간 중 운영 유지 보수가 필요하다고 판단되는 경우, 발생하는 모든 비용을 공급자가 부담할 것
○ 공급자는 계약일로부터 390일 이내, 재단이 지정하는 시간 및 장소에 장비를 설치할 것
○ 세부 조건은 제안 요청서 참고

===== 제안요청서(수정)_화학기상증착장비.hwpx =====

제 안 요 청 서

공 고 명
플라즈마 화학기상증착 장비 (PECVD) 장비 구매
발주기관
강원테크노파크

2026. 9.

담 당
반도체육성팀
정윤우
선임연구원
tel
: 033) 743-7350
e-mail : [email protected]

1 입찰 개요

1. 입찰배경
가. 강원테크노파크에서 수행하는 반도체 소모품 실증센터 구축사업과 관련하여 필요한 공정 장비 1종(플라즈마 화학기상 증착 장비,PECVD)로, 국내 제작 부품의 장비 장착 및 공정테스트를 통해 부품의 성능과 적용 가능성을 검증하는 실증 장비를 구매하고자 함.

2. 입찰내용
가. 도입장비 세부 기술규격 : 별첨 규격서 참조
나. 납품 및 설치 장소

⑴ 납품장소 : 강원테크노파크 반도체육성팀 지정장소

⑵ 납품조건 : 현장설치 및 성능검사 - 반도체 장비 오퍼레이팅 매뉴얼 : 1부 - 반도체 장비 유지보수 매뉴얼 : 1부

• 장비 spec 표기된 카탈로그(또는 브로셔) : 1부

• Acceptance Test List : 1부(계약이후 / 강원TP 수정가능)

⑶ 납품기한 : 계약일로부터 390일 이내

• 수요기관이 건축, 장비 운영 등 일정에 따라 납품 기한 조정(연기)를 요청할 경우 계약 대상자는 이에 응해야 한다.

⑷ 납품범위 : 장비(Sub Module, Utility 포함)의 제작, Packing, 운반, Fab in, 설치, 검사, 교육 및 하자보증

⑸ 사업예산 : 금3,000,000,000원(금삼십억원)

⑹ 입찰방법 : 제한(총액) 규격/가격 동시 입찰
다. 하자담보책임기간 : 납품일로부터 1년
라. 하자보증

⑴ 하자보증 기간

• 납품일로부터 1년으로, 정상적인 작동 상태에서 고장 또는 손상 될 경우 장비 공급자의 책임하에 무상으로 수리하여야 함

⑵ 유지보수 및 수리

• 모든 유지보수 및 수리 등 A/S는 전문 기술자가 지원하며, A/S 계획을 제출함

(3) 하자보증기간 중 정기 점검

• 하자보증 기간 중 운영·유지·보수가 필요하다고 판단되는 경우, 발생하는 모든 인건비는 계약·공급자가 부담한다.

마. 공급되는 모든 장비와 소프트웨어는 강원테크노파크에서 제시하는 규격 및 기준에 적합하게 설치되어야 하며, 국문 운전 설명서를 제출하여야 함
3. 입찰자 준수사항
3.1. 입찰 시 제출 서류
가. 입찰에 참여하고자 하는 자는 본 규격에서 정하는 모든 사항을 숙지하여 구매자 요구사항을 충분히 수용할 수 있어야 한다.
나. 입찰 시 입찰자는 강원테크노파크에서 규격(기술)평가를 할 수 있도록 서류 및 자료를 제출하여야 한다. 만약 제안서가 임의적이거나 다르게 제출되었다면 평가에서 제외될 수 있다.
다. 유의 사항

1) 제출된 제안서는 일체 반환 하지 않으며, 본 제안과 관련된 일체의 소요 비용은 입찰 참가자의 부담으로 한다.

2) 강원테크노파크에서 제안 내용에 대한 확인을 위하여 추가 제안 또는 자료를 요청할 수 있으며 이에 따라 제출된 자료는 제안서와 동일한 효력을 가진다.

3) 제안서 평가는 강원테크노파크에서의 평가 기준에 의하여 평가한다.

4) 제안 업체는 업체의 경험과 기술력을 충분히 반영, 평가받을 수 있도록 기술 제안서를 작성해야 한다. 또한 본 기술사양서에 포함된 사양은 제안 업체가 제안을 하기 위한 최소한의 사양으로 제안 업체는 그 이상의 제품들로 제안해야 한다.

5) 기타 규정되지 않은 사항은 강원테크노파크의 유권해석에 따른다.

3.2. 입찰서 작성 및 평가
가. 입찰자는 입찰 시 규격 입찰서와 가격 입찰서를 구분하여 입찰서를 작성한다.
나. 제안서에는 입찰 시 자료 제출 내용과 물품구매 규격서에서 규정한 모든 항목의 규격 기준에 따라 제안하고자 하는 내용이 명확하고 상세하게 기술된 제안서를 작성 제출하여야 한다.
다. 입찰서 평가

⑴ 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령에 따라 제안서는 평가 결과를 공개하며 평가의 공정성 확보를 위하여 평가위원 실명은 공개하지 않는다.

⑵ 제안서가 입찰서의 지시 사항, 규정, 시방서 및 기타 사항에 위배 되고 적합하지 않을 경우 심사대상에서 제외된다.

⑶ 제안서 평가는 시험, 검사, 운반, 설치 및 성능검사 등 장비의 성능을 포함한 입찰자의 제반 능력에 관하여 이루어지며, 상기 심사에 의하여 적격 입찰자(가격 공개 대상자)를 선정한다.

⑷ 제출된 제안서는 반환하지 않는다.

⑸ 제출된 제안서는 [붙임 1]의 [제안서 심사 평가표]에 따라 평가한다.
4. 계약자 준수사항
4.1. 계약내용 및 이의의 해석
가. 계약자는 계약서 내용에 기술되는 기기 및 자재 등 일체를 공급하여야 하며, 사양서에 기술되어 있지 않은 사항 또는 불명확하다고 생각되는 사항은 계약 전에 강원테크노파크에 해석 및 의견을 확인하여야 하며, 계약 후에는 강원테크노파크의 해석에 따라야 한다.
나. 계약자는 본 장비 사양서에 명기되지 않았더라도 기능적, 효율적인 운용에 필요한 기기, 공구 등은 계약 사항에 포함된 것으로 간주하고 납품하여야 한다.
다. 도면 및 카달로그에 표시되었지만 사양에 언급되지 않았거나, 사양에 포함되었지만 도면 및 카달로그에 표시되지 않은 사항은 서로 보완 효력을 가지며, 본 계약에 포함된 것으로 간주한다.

4.2. 계약자의 책무
가. 계약자는 장비의 설계, 제작, 검사, 운반, 설치 및 성능검사에 대한 전반적인 책임이 있으며, 모든 부품은 정상동작 상태 하에서 파손 또는 변형이 없이 충분한 강도와 성능을 보장하여야 한다.
나. 장비를 제작 완성함에 있어 꼭 필요한 부분의 누락 또는 생략이 되었을 경우 계약자는 이를 무상으로 보완하여야 한다.
다. 본 사양에 의해 납품된 장비의 하자 등 문제점 발생 시 이에 대한 책임은 계약자에게 있다.
라. 본 제품을 납품하여 설치 공사 및 성능검사 시 계약자 측의 기술자는 제품의 설치 및 성능검사를 포함한 정상적인 가동에 필요한 모든 기술적인 업무를 지원하여야 한다.
마. 불가항력

1) 어느 당사자가 (1) 폭풍, 홍수, 지진 등과 같은 천재지변; (2) 폭동, 혁명, 반란, 봉기 등의 소요; (3) 화재, 폭발 등의 사고나 혼란; (4) 파업(해당 당사자 사업장 내의 파업은 포함되지 아니한다. 단, 전국가적, 전지역적 및 전산업적 규모의 파업은 포함한다.), 또는 (5)전쟁, 입출항금지, 검역격리, 외환규제, 지급불능선언 등 법률 또는 정부기관의 규제 또는 공적인 행위 등 당사자의 합리적인 통제범위를 벗어난 사유(이하 “불가항력적 사유”)로 인하여 계약당사자가 본 계약상 의무의 전부 또는 일부를 이행하지 못하거나 지연한 경우에는 상대방에 대하여 그러한 불이행 또는 지연에 따른 책임을 지지 아니한다.

2) 불가항력 사유가 60일을 초과하여 계속되거나 계속될 것으로 예상될 경우, 양당사자는 계약의 이행 또는 해지에 관하여 협의한다. 만일 양 당사자가 불가항력 사유 발생 후 ４개월 또는 합의된 기간 이내에 합의를 하지 못할 경우, 어느 당사자도 계약을 해지할 권한이 있다. 이에 따라 계약이 해지된 경우에는 양 당사자는 미결 채무를 정산하되, 불가항력 사유의 발생 이전에 이미 발생한 사유로 인한 상대방에 대한 손해배상청구에는 영향을 미치지 아니한다.

불가항력 사태를 당한 당사자는 양당사자간의 합의에 따라 그 상황에서 합리적으로 필요한 만큼 자신의 계약의무 이행기간이 연장된다. 그러나 계약금액은 조정되지 아니한다.
바. 계약변경

1) 강원테크노파크에 의한 계약변경

계약자와의 합의가 있는 경우 또는 정부의 규제, 기타 본 계약을 이행하는 것이 강원테크노파크의 재정적 상태에 중대한 악영향을 미치는 사유가 발생하는 경우, 강원테크노파크는 그러한 사유를 증빙하는 서류를 첨부하여 계약자에 대한 사전 서면통보로써 업무의 범위, 시기, 조건 등을 변경할 수 있다.

이러한 업무변경으로 인하여 업무비용의 증가나 감소, 일정의 지연 등이 초래되는 경우에는, 양당사자는 상호합의에 의하여 이를 반영하는 계약변경을 할 수 있다.

2) 계약자에 의한 변경

본 계약에서 달리 규정하고 있는 경우 및 강원테크노파크의 귀책사유로 인한 경우를 제외하고 계약자에 의한 계약변경은 허용되지 아니한다. 다만, 설계 및 설비 등의 변경으로 인하여 계약금액의 절감효과가 있는 경우 계약자는 기술규격의 개선을 포함한 업무의 변경을 강원테크파크에 요청할 수 있으며, 강원테크파크의 사전 서면에 의한 승인이 있는 경우에 한하여 이를 변경할 수 있다. 계약자가 요청한 업무의 변경에 따라 강원테크파크가 계약의 변경이 필요하다고 판단하는 경우, 양 당사자들의 합의 하에 계약을 변경할 수 있다. 강원테크파크의 계약변경에 대한 승인에도 불구하고 계약자는 본건 계약상 성능보증항목에 대한 보증책임을 부담하여야 한다.
사. 비밀유지

각 당사자는 본 계약에 관련된 모든 문서, 자료, 결과물 및 정보 등(이하 “비밀정보”)에 대한 보안을 유지하여야 하며, 정부조달협정, 관련 법령, 법원의 재판 또는 중재절차에 의한 경우를 제외하고는 본 계약과 직접 관련되지 않은 제３자에게 공개하여서는 아니 되고, 각 당사자의 임직원, 하수급자, 대리인, 수임인, 기타 본 계약과 관련하여 그 당사자로부터 비밀정보를 취득한 자로 하여금 비밀정보에 대한 보안을 유지하고, 정부조달협정, 관련법령, 법원의 재판 또는 중재절차에 의한 경우를 제외하고는 본 계약과 직접적으로 관련되지 않은 제3자에게 비밀정보를 제공한 당사자의 사전 서면승인 없이 공개되지 않도록 하여야 한다. 만약 각 당사자의 임직원, 하수급자, 대리인, 기타 본 계약과 관련하여 그 당사자로부터 비밀정보를 취득한 자가 상대방 당사자의 사전 서면에 의한 동의 없이 비밀정보를 제3자에게 공개하는 경우 그로 인하여 발생하는 직접적인 손해배상 등의 책임은 그 당사자가 부담한다.
아. 준거법

1) 이 계약은 대한민국 법률의 적용을 받고 이에 따라 해석된다.

2) 계약자 및 하수급자는 업무의 이행에 있어 대한민국의 관련 법률, 시행령, 시행규칙, 규정, 기준, 예규 등을 준수하여야 하며, 계약자는 그 위반에 대하여 책임을 진다.

4.3. 포장 및 운반
가. 포장은 운반 및 설치 현장의 습도, 기후조건 등을 감안하여 장비 및 부품의 운반 또는 보관 중 손상이 발생하지 않도록 견고한 포장을 하여야 하며, 외부에서 보기 쉬운 곳에 색채 및 기호 등으로 각 기기의 번호, 명칭 등을 표시하여야 한다.
나. 장비의 운반 중 장비의 기능 및 성능에 영향을 미치는 손상이 발생했을 경우에는 이에 대한 사후처리 및 원형복구는 계약자의 책임 하에 이행하여야 한다.

4.4. 장비의 가동조건
가. 동 장비는 특별히 규정하지 않는 한 주위온도(-5℃ ~ +40℃)내에서 정상상태로 운전되도록 설계, 제작하여야 한다.
나. 동 장비는 클린룸 환경(Class 1,000) 내 설치 및 운용에 적합하여야 한다.
다. 동 장비는 24 Hr/Day, 365 Day/Year Full 가동이 가능하여야하며, Up-time은 월 기준 80% 이상이어야 한다.
4.5. 설치
설치작업 이전에 반드시 설치 장소에 대한 기초상태 등 제반 여건을 사전 확인한 후에 기계 및 부품을 설치하여야 하며, 설치와 관련되는 모든 비용(장비, 인원, 동력 등)은 계약자가 부담한다.
납품 기일 내에 수요기관에서 설치 요구하는 장소에 본 장비를 설치하여야 한다. 설치위치는 담당자와 상의하여 설치한다.
계약자는 장비의 운송, 발주기관이 지정하는 장소로의 반입 및 설치, Hook-up, Turn-on 및 정상 작동 확인에 이르기까지 장비의 반입·설치·시운전에 필요한 제반 사항을 일괄 수행하여야 하며, 이에 소요되는 운송비, 설치비, Hook-up 비용 등 제반 비용은 계약자가 부담한다.
계약자는 장비의 성능 및 상태확인을 위하여 장비 반입 전 1회, 장비 반입 설치 및 Hook-up 완료 후 1회 등 총 2회의 Acceptance Test를 계약시 제출한 Acceptance Test List에 의거하여 실시해야 하며, 시험결과에 보완사항이 발생하는 경우 이를 조치하여야 한다.
규격서 및 제안요청서에 기입된 가스 이외에 추가로 준비되는 가스 등을 추가하는데 문제가 없어야 한다.
4.6. 안전대책 및 책임
가. 계약자는 성능검사 완료시까지 제반 안전대책을 수립하여 안전에 대비하여야 하며, 안전사고 발생 시 이에 따른 민․형사상의 책임은 계약자에게 있다.

4.7. 산업재산권의 보호
가. 본 장비의 설계, 제작, 시험 및 납품, 유지보수와 관련하여 타인 또는 외국의 권리나 특허, 실용신안, 상표, 의장(공업소유권)등의 권리보호에 따른 문제점이 발생되지 않도록 해야 하며 발생 시 이에 대한 처리책임은 계약자에게 있다.
나. 장비의 설치완료 및 보증기간 완료 후 강원테크노파크는 상기 특허, 실용신안 등의 재산권을 사용할 권리를 계약상대자와 공동으로 소유한다.

4.8. 성능검사 및 교육훈련
가. 장비 납품 후, 계약상대자의 책임으로 발주기관 및 검사기관 관계자의 입회하에 장비의 성능검사를 실시하여야 하며, 성능검사에 필요한 소요자재, 인력, 경비 등은 계약상대자 부담으로 실시하여야 한다.
나. 계약자는 성능검사에 필요한 모든 사항은 준비한 성능검사 계획 및 승인된 시험 점검을 위해 감독관 입회하에 성능검사를 시행하여야 하며, 성능검사 불합격 시는 즉각 결함 부분을 시정하여 재시행 하여야 한다.
다. 장비의 설계, 제작, 시험 및 납품(소프트웨어 포함)과 관련하여, 계약상대자는 장비의 정상적인 구동 및 Acceptance Test 수행에 필요한 소프트웨어를 제공하여야 하며, 해당 소프트웨어의 설치 및 구동에 필요한 제반 사항을 지원하여야 한다.

4.9. 교육훈련(기술지도)
가. 계약자는 기기별 운전 정비 및 관리에 필요한 사람에 대하여 기간, 인원 등이 명시된 교육 훈련 계획서를 제출하여야 하며 계약자 부담으로 교육훈련을 시행하여야 한다.
나. 교육훈련은 최소 3회 이상 실시하여야 한다.

4.10. 허가 및 수속
가. 계약자는 제작, 납품과 관련하여 국내법이 규정하는 사항에 대하여는 대관청허가 및 수속 등을 처리해야 할 의무가 있으며, 이에 따른 비용은 계약자가 부담한다.

4.11. 하자보증
가. 물품 및 용역에 대한 하자보증기간은 FAT Sign Off가 완료된 날을 기산일로 1년(단, Labor Warranty는 2년)까지 다음 사항을 하자보증을 하여야 한다.
◦ 원자재 선택 또는 재질 불량으로 인한 결함
◦ 설계 또는 제작 불량으로 인한 결함
◦ 운송 또는 기술감리 불량으로 인한 결함
◦ 도면, 지침, 절차서 등의 불량으로 인한 결함
◦ 성능미달
◦ 설치시공의 불량으로 인한 결함
◦ 기타 하자로 판단되는 사항

나. 강원테크노파크는 상기의 하자 또는 불일치를 알게 된 날로부터 1개월 이내에 계약자에게 동 사실을 통지하고, 계약자는 통지 접수 후 15일 이내에 또는 상호 합의한 기간 내에 필요한 조치를 취하여야 하며, 강원테크노파크는 필요시 하자보증금으로 보수 및 보전조치를 취할 수 있다.
다. 상기 가 항의 사유로 인한 공급기자재의 수리, 교체 또는 수정작업을 요하는 경우 계약자의 비용부담으로 이를 수행하여야 한다. 강원테크노파크는 하자물품의 대체 혹은 교체 완료시까지 그 물품에 대한 사용권한을 갖는다.
라. 인수통보일이 계약자 귀책사유가 아닌 다른 사유로 예정일로부터 1개월 이상 지연될 경우, 양당사자는 그러한 지연에 따른 하자보증기간의 연장에 대한 보상방안을 협의하여 결정한다.
마. 계약자는 하자보증기간 중 계약자가 공급한 기자재의 하자로 인하여 운행정지가 발생할 경우 7일 이내 조치를 하여야 한다.(단, 사용자의 부주의로 발생된 문제점은 제외한다.) 조치일수를 초과한 운행정지 누계일수의 합계가 20일을 초과하는 운행정지가 발생할 경우 매 1일당 해당기간 동안 운행정지 해당품의 시간대비 운행정지에 대한 손실 금액을 강원테크노파크에 배상하여야 한다. 단, 계약자의 운행정지에 대한 총 배상금액은 총 계약금액의 10%를 초과하지 아니한다.

4.12. 운용지원(AFTER SERVICE)
계약자는 제작 공급한 장비에 대한 신속하고 완벽한 운용지원(After Service)을 위하여 지원 체제를 갖추어야 한다.
하자보수 기간은 검수가 완료된 날을 기산일로 1년으로 하며, 사용자 과실 및 하자보수 기간 이후 발생되는 경우 실비로 A/S를 처리하여야 한다
2

제안 안내사항 1. 입찰방식 가. 입찰방식 : 규격 가격 동시입찰

• (1차) 장비규격(제품규격 및 수행능력) 적합여부 평가

• (2차) 1차 평가결과 적합 입찰자에 대한 가격 개찰

나. 입찰참가자의 자격

• 진공증착기(세부품명번호: 2399039801)를 제조 또는 공급물품으로 입찰 참가 등록한 자

• 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제76조(부정당업자의 입찰참가자격 제한)에 해당되지 않는 자

다. 제안서 제출

• 제안서는 나라장터를 통해 온라인으로 제출, 제안서류 일체는 PDF파일형식으로 제출

- 제안서 형식 : A4

• 제안서 내용은 실제 사실과 일치하여야 하며 제출 후 수정, 추가 등 변경불가

• 제안을 위해 소요되는 비용은 업체 부담이며, 제출된 제안서는 반환하지 않음

• 입찰 참여자는 제안서를 작성하는 데 필요한 자료 요청 가능

• 입찰 참여자는 입찰공고 등 필요한 모든 사항을 숙지하여 제안서를 작성하여야 하며, 숙지하지 못해 발생하는 불이익은 입찰 참여자의 책임

라. 제출서류
(1) 입찰참가신청서 1부(서식 : 붙임2 참조)
(2) 서약서 1부(서식 : 붙임3 참조)
(3) 청렴서약서 1부(서식 : 붙임4 참조)
(4) 보안서약서 1부(서식 : 붙임5 참조)
(5) 회사 일반현황 및 연혁 1부(서식 : 붙임6 참조)
(6) 주요 납품실적(서식 : 붙임6-1 참조)
(7) 사업수행 조직표 1부(서식 : 붙임7 참조)
(8) 규격대비표 1부(서식 : 붙임8 참조)
(9) 개인정보 수집 및 활용 동의서(서식 : 붙임9 참조)
(10) 평가위원 추첨번호표(서식 : 붙임10 참조)
(11) Refurbish Standard(서식 : 붙임11 참조)
(12) 제안서 (전자제출)

• 제안서 평가 항목에 대한 세부설명으로 구성

• 장비사양에 대해 설명할 수 있는 자료(카탈로그 등)

• 기타 제안서 작성지침에 따라 필요하다 생각되는 서류

(13) 발표자료 (전자제출)

• 제안서와 동일 내용으로 평가의 공정성 확보를 위해 제안사의 명칭, 참여기술자 이름, 사업수행실적, 자문위원 이름 등 제안서를 인지할 수 있는 사항을 삭제하여 파일 제출

(14) 기업신용평가서 1부
(15) 대표자(법인) 인감증명서 1부 및 사용인감계 1부
(16) 사업자등록증 사본 1부, 법인등기부등본 1부(법인에 한함)
※ 제안서 및 발표자료는 온라인 접수 후,

발표평가 전까지 10부 인쇄본 오프라인 제출

마. 제출방법
⑴ 제안서는 입찰서류를 구비한 후 대표자의 인감을 날인하여 제출
⑵ 제출기한(입찰당일 시간엄수) 내에 미제출시는 제안의사가 없는 것으로 처리하고, 제반 자료는 일체 반환하지 않음
⑶ 제안요청서에 대한 의문사항은 반드시 전화 또는 방문하여 질의하며, 응답한 사항은 법적 효력을 갖지 못함

※ 그 외의 사항은 조달청 입찰공고 참조 2. 제안서 평가방법

가. 평가방법

• (제품규격평가) 전체항목이 적합하여야 함
• (수행능력평가) 기술평가위원회 평가를 통해 총 100점 중 85점 이상을 득해야함

나. 제안서 평가 심사위원 구성 및 심사방법
⑴ 심사위원 : 최소 7인 이상(평가위원장 1인 포함)
⑵ 심사방법 : 업체에서 제출한 제안서를 통한 참가업체의 제안서 설명 후 심사평가

(평가 기준에 의거 종합 평점 산정)

※ 상황에 따라 비대면 평가로 대체 할 수 있음
⑶ 제안서 평가는 [붙임1] 제안서 심사평가표의 평가항목에 따라 평가한다.
⑷ 평가항목에 따른 증빙서류를 제출하지 못할 경우 해당항목은 최저점처리 한다.
⑸ 제출된 제안서는 반환하지 않으며, 공정한 심사를 위하여 제안평가위원회의 평가위원 명단은 사전공개하지 않는다.
⑹ 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령에 따라 제안서는 평가결과를 공개하며 평가의 공정성 확보를 위하여 평가위원 실명은 공개하지 않는다.
⑺ 제안서가 입찰서의 지시사항, 규정, 시방서 및 기타 사항에 위배되고 적합하지 않을 경우 심사대상에서 제외된다.
⑻ 그 밖에 정하지 않은 사항은 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령에 따른다.

3. 적격업체 선정방법
가. 평가위원별 점수를 합산하여 최고·최저점을 제외한 평가인원수로 나눈 평균점수가 85점 이상을 득한 업체를 규격적격으로 선정(소주점 이하 다섯째자리에서 반올림 적용)하고 선정된 업체를 대상으로 가격 개찰하여 결정한다.
나. 평가점수 85점 미만인 업체는 부적격 업체로 결정한다.
다. 규격/가격 동시입찰의 경우 2인 이상의 유효한 입찰이 이루어진 경우라면 규격 적격자가 1인 뿐인 경우에도 그 적격자의 가격입찰서를 개봉하여 예정가격 이하이면 낙찰자로 결정한다.
다. 제안설명

⑴ 업체별 40분 이내(제안발표 : 20분, 질의응답 : 20분)

* 제안업체 수 및 기타 재단 사정에 따라 시간은 변동 될 수 있음

⑵ 제안서 설명순서 : 발주처 자체 결정

⑶ 제안서 평가 당일 설명회 장소에 업체당 최대 2명 참석 가능

* 상황에 따라 비대면 평가로 대체 할 수 있음

※ 주의사항

㉠ 발표파일은 자유양식으로 작성하여 제출(평가항목에 대한 세부설명으로 구성)

㉡ 발표슬라이드는 표지 및 목차를 포함하여 50매 내외로 작성

㉢ 발표슬라이드에는 플레시, 음성, BGM, 슬라이드 쇼의 애니메이션 기능을 사용할 수 없음

㉣ 발표슬라이드 자료 및 발표 시에는 제안사의 명칭, 참여기술자 이름, 사업수행실적, 자문위원 이름 등 제안사를 인지할 수 있는 사항을 명기할 수 없으며, 위반 시 불이익을 당할 수 있으며, 그 책임은 전적으로 해당업체에서 부담함

㉤ 발표시간은 20분 (초과 시 강제종료)

㉥ 총괄책임자가 발표하되 불가피한 경우에는 대표사 소속자 중 한 명이 발표 가능하며, 총괄책임자의 위임장을 제출하여야 함

㉦ 발표자는 참여사에 재직 중 임을 확인할 수 있는 재직증명서와 신분증을 지참하시고, 반드시 본 공고일 이전에 입사한 자이어야 함

4. 보안준수 및 일반사항
가. 제안 요청일 이후 제안서 제출 시까지 발생하는 모든 사안에 대하여 제안참여 업체의 제안 관계자 이외의 인원에 대해서는 대외비로 취급 되어야 하며, 제안서와 관련되어 기 제출된 모든 문서와 제공한 자료 및 정보에 대해서는 외부에 공개하지 않는다.
나. 평가위원회에서 입찰 참여자의 제안내용에 대한 설명(발표 등)을 요구할 수 있으며, 미참석 시 평가에 불이익이 발생 할 수 있고 그 책임은 입찰 참여자에게 있음
다. 정확한 평가를 위해 필요한 경우 입찰 참여자에게 보완서류 또는 입증자료를 추가로 제출을 요구할 수 있음(※요구받은 기한 내 자료를 제출하여야 하며, 미제출 또는 불명확한 경우 제출된 서류만으로 평가)
라. 평가항목 : [붙임 1][붙임 2] 참고

5. 낙찰자 선정 및 계약체결

가. 낙찰자 선정

• 제안서 평가결과 (제품규격평가)의 전체항목이 적합이어야 하며, (수행능력 평가)의 점수가 총점 100점 중 85점 이상 득점한 제안서를 제출한 사업자를 기술적격 사업자로 판정(다만, 관련법령에서 정한 법적 의무 사항 미준수시 부적격)
• 제안서를 제출함과 동시에 가격을 투찰해야 한다.
• 제안서 평가를 실시하여 적격자로 확정된 자 중에서 개찰하여 예정가격 이하 최저가격으로 입찰한 자를 최종낙찰자로 선정한다.
• 규격/가격 동시입찰의 경우 2인 이상의 유효한 입찰이 이루어진 경우라면 규격 적격자가 1인 뿐인 경우에도 그 적격자의 가격입찰서를 개봉하여 예정가격 이하이면 낙찰자로 결정한다.

※「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」
나. 계약체결

• 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률, 시행령 및 시행규칙에 따라 계약 추진
• 하자담보책임기간 : 검수완료일로부터 1년

<입찰 진행 순서> ➊ 사전 규격

공개
‣
➋ 공고
‣
➌제안서
제출
‣
➍제안서 평가
(제품규격‧
수행능력 평가)
‣
➎가격
개찰
(최종 낙찰자 결정)
‣
➏계약진행

6. 사업참여 시 수행조건

가. 납품을 추진하는 제안자는 사업에 대해 권한을 갖고 사업을 추진하되, 모든 책임을 부담해야 한다.

나. 납품의 효율적인 추진을 위하여 계약상대자는 공사의 계약 수행과정에 계약 이행상황 등의 지도‧감독에 대해 성실히 응하여야 하며 지적된 사항은 최단 시일 내에 성실히 보완해야 한다.

다. 제안자는 제안 및 발주처의 요청사항을 충실히 시공(제작, 설치) 하여야 하며, 지속적 협의를 통해 설비 메커니즘 및 시험방법과 관련한 발주처의 의견을 장비설계 및 구축에 적극 반영하여야 한다.

라. 계약상대자는 장비의 운송, 발주기관이 지정하는 장소로의 반입 및 설치, Hook-up, Turn-on 및 정상 작동 확인에 이르기까지 장비의 반입·설치·시운전에 필요한 제반 사항을 일괄 수행하여야 하며, 이에 소요되는 운송비,설치비,Hook-up 비용 등 제반 비용은 계약상대자가 부담한다.

마. 계약상대자는 장비의 성능 및 상태확인을 위하여 장비 반입 전 1회, 장비 반입 설치 및 Hook-up 완료 후 1회 등 총 2회의 Acceptance Test를 실시하여야 하며, 시험결과에 보완사항이 발생하는 경우 이를 조치하여야 한다.<hp:lineBreak/>
3

제안서 작성 안내 1. 제안서 작성 유의사항 ㅇ 제안서의 효력

• 제안서에 제시된 내용과 발주기관의 요구에 의하여 수정, 보완, 변경된 제안내용은 계약서에 명시하지 않더라도 계약서와 동일한 효력이 있음(다만, 계약서에 명시된 경우 계약서가 우선)
• 발주기관은 필요시 제안서에 추가 자료를 요구할 수 있으며, 이에 따라 제출된 자료는 제안서와 동일한 효력을 가짐

ㅇ 제안서 작성 지침 및 유의사항

• 제안서는 제안요청서에 요구하는 모든 사항이 누락 없이 기술되어야 하며, 제안요청서의 요구 항목들이 제안서의 어느 부분에 기술되었는지 참고표를 제시하여야 함
• 제시한 제안서 목차, 세부작성 지침을 준용하고 기술평가기준 등을 고려하여 제안서를 작성하여야 함
• 제안서는 A4용지 기준 종 방향작성을 원칙으로 하되, 부득이한 경우 A4용지 횡 방향 또는 기타 용지를 일부 사용할 수 있음
• 제안서의 각 페이지는 쉽게 참조할 수 있도록 페이지 하단 중앙에 일련번호를 붙이되, 각 장별로 구분하여 번호를 부여함
• 제안서는 PDF 제출이 원칙이며, 사용된 영문 약어에 대해서는 약어 설명을 함께 제공해야 함(용량은 300MB 미만)
• 제안서의 내용을 객관적으로 입증할 수 있는 관련 자료는 제안서의 별첨으로 제출하여야 함
• 제안서의 내용은 명확한 용어를 사용하여 표현하여야 함. 예는 들어, “사용 가능하다”, “할 수 있다”, “고려하고 있다” 등과 같이 모호한 표현은 평가 시 불가능 한 것으로 간주하게 되며, 계량화가 가능한 것은 계량화 하여 표현하여야 함
• 제안서는 본 사업과 관련하여 취득한 조사 및 분석자료 등을 대외비로 취급하여야 하며, 외부에 유출 또는 타 용도로 사용하지 않아야 함
• 제출된 제안서의 기재 내용은 실제 사실과 일치하여야 하며 발주기관이 요청하지 않는 한 수정, 추가, 대체 할 수 없음
• 제안된 내용이 사실과 다르거나 허위로 판명될 경우, 이로 인해 발생하는 모든 책임(민‧형사상의 법적 책임 포함)은 제안서를 제출한 업체가 져야 함
• 기타사항은 공고서 및 조달청 제안평가 관련 규정에 따름

2. 제안서 작성지침
작성 항목
작성 방법
제출 서식
일반현황
경영상태

• 일반현황 및 주요연혁, 주요 사업 분야
• 기업신용도

신용평가서 등 증빙서류
장비의 규격 부문
사양 충족도

• 제안 장비의 규격 명확히 제시(규격대비표 작성)
• 가동원리, 시스템 구성 등 구체적 설명
• 장비 도면, 설계 및 설치 계획 설명
• 동등 이상의 장비일 경우 증빙 가능한 구체적인 사양 및 제안 사항을 초과하는 부분 또는 우수 사항 표시

자유서식
장비의 성능

• 제안성능을 충족하는지를 명확히 확인할 수 있는 각종 공식 증빙자료 (카탈로그, 매뉴얼 등)
• 공정결과의 재현성 및 신뢰성 등을 통한 품질 우수성 제시
• 장비의 사양, 확장성, 편의성 등을 자유롭게 제시
• 설치 후 장비성능측정 계획서 또는 성능보증 등
• 제안 제품의 카탈로그, 매뉴얼 등의 관련 자료는 제안서에 별첨하여 제출

자유서식
장비의 안정성 및 내구성

• 장비의 각종 안전 및 보호 기능 제시
• 과열방지, 긴급제동 등 안전 및 보호 기능 제시
• 정전 등 비상시 대비 여부
• 분진 제어 등 작업환경문제 대비 여부
• 소모품의 교체 주기
• Refurbish Standard 제출

자유서식
사용 편리성

• 장비 조작 등의 사용자의 편리성
• 소모품 및 부속품 교체, 장비 청소 등 유지관리의 편리성

자유서식
기술지원 부문
품질보증
계획의
적정성

• 장비 취급 및 설비의 전문성 제시
• 사업 업종의 정합성 확인
• A/S 요청 시 원격제어 또는 기술인력 대응방안 제시
• 장비의 무상 A/S 유지보수 계획 제시
• A/S 요청 시, A/S 대응 소요시간 제시

사업자등록증
자유서식
기술지원
능력

• A/S 요청 시 원격제어 또는 기술인력 대응
• 장비의 무상 A/S 유지보수 계획 제출
• A/S 요청 시, A/S 대응 소요시간 제시

자유서식
교육훈련

• 장비·기술적 문제에 대한 대응방안 제시
• 연간 교육훈련 계획안 제출 및 교육지원 횟수 제시

자유서식

3. 제안서 평가방법
평가 항목
평가 방법
배점
기준
일반현황
(10)
경영상태

• 경영상태 평가(신용평가)

10
경영상태 배점 기준표 참조
장비의 규격 부문
(65)
사양
충족도

• 규격서의 부합성 (규격대비표)
• 제안요청서 작성의 충실성 및 내용의 이해도
• 가동 원리, 설계, 전체 시스템 구성 등

25
탁월 25점
우수 23점
보통 21점
미흡 18점
미달 15점
장비의
성능

• 구성품의 기능과 성능 증빙자료 제시
• 품질 우수성, 편의성, 부품신뢰성
• 성능평가 및 검증방안 제시 여부
• 추가기능, 성능의 확장성 등

15
탁월 15점
우수 13점
보통 11점
미흡 8점
미달 5점
장비의
안정성 및 내구성

• 내구성능 등의 우월성 평가
• 과열방지, 긴급제동 등 안전 및 보호 기능 여부
• 정전 등 비상시 대비 여부
• 소모품의 교체 주기
• Refurbish 조치의 적정성

15
탁월 15점
우수 13점
보통 11점
미흡 8점
미달 5점
사용
편리성

• 소모품 및 부속품 교체, 장비 청소 등 <hp:lineBreak/>

유지관리의 편리성

• 장비 조작 등 사용자의 편리성

10
탁월 10점
우수 9점
보통 7점
미흡 5점
미달 3점
기술지원 부문
(25)
품질보증
계획의
적정성

• 장비 취급 및 설비의 전문성 제시
• 사업 업종의 정합성 확인
• A/S 요청 시 원격제어 또는 기술인력 대응방안 제시
• 장비의 무상 A/S 유지보수 계획 제시
• A/S 요청 시, A/S 대응 소요시간 제시

10
탁월 10점
우수 8점
보통 6점
미흡 3점
미달 1점
기술지원
능력

• 장비취급 및 설비의 전문성 제시
• 최근 3년내 AMAT의 CVD 납품실적
• 사업 업종의 정합성 확인

10
탁월 10점
우수 8점
보통 6점
미흡 3점
미달 1점
교육훈련

• 연간 교육훈련 계획안 제출 및 교육지원 횟수 충족 여부

5
탁월 5점
보통 3점
미달 1점
합 계
10100

[붙임 1]
제안서 심사 평가표

업체명 :

평 가 부 문
평 가 항 목
배점
평가
탁월
우수
보통
미흡
미달
일반
현황
(10)
경영상태

• 경영상태 평가(신용평가)

참조자료에 따른
점수 부여

장비의 규격
부문
(65)
사양 충족도
제안요청사항 요구 충족도

• 규격서와의 부합성
• 제안요청서 작성의 충실성 및 내용의 이해도
• 가동 원리, 설계, 전체 시스템 구성 등

25
23
21
18
15

장비의 성능

• 기술과의 적합성, 구성품의 기능 및 성능 평가
• 품질 우수성, 편의성, 부품신뢰성
• 성능평가 및 검증방안 제시 여부
• 추가기능, 성능의 확장성 등

15
13
11
8
5

장비의 안정성 및 내구성

• 과열방지, 긴급제동 등 안전 및 보호기능 여부
• 소모품의 교체 주기
• 정전 등 비상시 대비 여부
• Refurbish 부품의 적정성

15
13
11
8
5

사용 편리성

• 소모품 및 부속품 교체, 장비 청소 등 <hp:lineBreak/>

유지관리의 편리성

• 장비 조작 등 사용자의 편리성

10
9
7
5
3

기술
지원 부문
(25)
품질보증
계획의
적정성

• A/S 요청 시 원격제어 또는 기술인력 대응
• 장비의 무상 A/S 유지보수 계획 제출
• A/S 요청 시, A/S 대응 소요시간 제시

10
8
6
3
1

기술지원
능력

• 장비취급 및 설비의 전문성 제시
• 최근 3년내 AMAT의 CVD 납품실적
• 사업 업종의 정합성 확인

10
8
6
3
1

교육훈련

• 연간 교육훈련 계획안 제출

5
-
3
-
1

합 계

검토
의견

※ 평가위원별 점수를 합산하여 최고·최저점을 제외한 평가위원수로 나눈 평균점수가 85점 이상 업체를 적격자로 판단한다. 소수점 이하 다섯째자리까지 적용

위와 같이 평가표를 제출합니다.

2026년
월
일
평가자 :
(인)
[붙임 2]
입 찰 참 가 신 청 서

※ 아래 사항 중 해당되는 경우에는 기재하시기 바랍니다.
처리시간
즉
시
신청인
상호 또는 법인명칭

사업자등록번호
(법인등록번호)

주
소

전 화 번 호

대
표
자

주민등록번호

입찰개요
입 찰
공 고
(지 명) 번 호

입 찰 일 자

입 찰
건 명

입찰보증금
납부면제 및 지급확약
본인은 낙찰 후 계약 미체결 시 귀 재단에 낙찰금액의 25/1000에 해당하는 입찰보증금을 현금으로 납부할 것을 확약합니다.
대리인
본 입찰에 관한 일체의 권한을 다음의
자에게 위임합니다.
성
명 :
주민등록번호 :
사용인감
본 입찰에 사용할 인감을 다음과 같이 신고합니다.

사용인감 :

본인은 위의 번호로 공고(지명통지)한 귀 재단의 일반(제한․지명) 경쟁입찰에 참가하고자 기관에서 정한 공사(물품구매․기술용역) 입찰유의서 및 입찰공고 사항을 모두 승낙하고 별첨서류를 첨부하여 제안참가를 신청합니다.

2026.
.
.

대표자 (주)
대표자<hp:fwSpace/>성명 :
(인)

강원테크노파크원장 귀하 [붙임 3] 서 약 서

공고명 :
업체명 :
주 소 :

강원테크노파크가 시행하는 사업의 계약자 선정을 위한 제안서 평가와 관련, 아래의 제반사항을 준수할 것을 서약합니다.

• 아

래 -

가. 제출된 제안서는 사실에 근거하며, 만일 제안서 자료 및 발표 내용이 허위로 판명될 경우에는 선정업체 추천자격에서 제외하여도 아무런 이의를 제기하지 않겠습니다.
나. 관련 규정에 따라 구성된 평가위원의 평가방법 및 평가 기준에 대하여 이의를 제기하지 않겠습니다.

2026.
.
.

서약자:
서명

강원테크노파크원장 귀하<hp:tab width="1000" leader="0" type="1"/>
[붙임 4]
청 렴 서 약 서
업체제출용

당사는 부패 없는 투명한 기업경영과 공정한 행정이 사회 발전과 국가 경쟁력에 중요한 관건이 됨을 깊이 인식하고 국제적으로도 OECD 뇌물방지 협약의 발효 및 부패기업 및 국가에 대한 제재가 강화되는 추세에 맞추어 강원도에서 시행하는 청렴서약제 취지에 적극 호응하고 강원테크노파크에서 시행하는『반도체 소모품 실증센터 화학기상증착장비 구매』입찰에 참여함에 있어 당사 및 하도급 업체의 임직원과 대리인은

1. 입찰가격의 유지나 특정인의 낙찰을 위한 담합을 하거나, 다른 업체와 협정, 결의, 합의하여 입찰의 자유경쟁을 부당하게 저해하는 일체의 불공정한 행위를 하지 않겠습니다.
◦이를 위반하여 경쟁 입찰에 있어서 특정인의 낙찰을 위하여 담합을 주도한 것이 사실로 드러날 경우 강원도가 발주하는 입찰에 입찰참가자격 제한 처분을 받은 날로부터 2년 동안 참여하지 않겠으며
◦경쟁 입찰에 있어서 특정인의 낙찰을 위하여 담합을 한 사실이 드러날 경우 강원테크노파크가 발주하는 입찰에 입찰참가자격 제한 처분을 받는 날로부터 2년 동안 참여하지 않고,
◦위와 같이 담합 등 불공정행위를 한 사실이 드러날 경우 독점규제 및 공정거래에 관한 법률에 따라 공정거래위원회에 발주관서가 고발하여 과징금 등을 부과토록 하는데 이의를 제기하지 않겠습니다.

2. 입찰, 계약체결 및 계약이행 과정에서 관계자(정부, 민간 전체 포함)에게 직․간접적으로 금품․향응 등의 뇌물이나 부당한 이익을 제공하지 않겠습니다.
◦이를 위반하여 입찰, 계약의 체결 또는 계약 이행 과정에서 관계자에게 뇌물을 제공함으로써 입찰에 유리하게 되어 계약이 체결되었거나, 시공 중 편의를 받아 부실하게 시공한 사실이 드러날 경우에는 (재)강원테크노파크가 발주하는 입찰에 입찰참가 자격제한 처분을 받는 날로부터 2년 동안 참여하지 않겠으며
◦입찰․계약체결 및 계약이행과정에서 관계자에게 뇌물을 제공함으로써 낙찰자에게 유리하게 하도록 하거나 이행을 부실하게 한 자는 강원도가 발주하는 입찰에 입찰참가자격 제한 처분을 받은 날로부터 2년 동안 참여하지 않고
◦입찰, 계약체결 및 계약이행과 관련하여 관계자에게 뇌물을 제공한 사실이 드러날 경우에는 (재)강원테크노파크가 발주하는 입찰에 입찰참가자격제한 처분을 받는 날로부터 2년 동안 참여하지 않겠습니다.

3. 입찰, 계약체결 및 계약이행과 관련하여 관계자에게 뇌물을 제공한 사실이 드러날 경우에는 계약체결 이전의 경우에는 낙찰자 결정 취소, 공사 착공 전에는 계약취소, 공사착공 이후에는 발주처에서 전체 또는 일부계약을 해지하여도 이를 감수하겠습니다.

4. 회사 임‧직원이 관계자에게 뇌물을 제공하거나 담합 등 불공정 행위를 하지 않도록 하는 회사윤리강령과 내부비리 제보자에 대해서도 일체의 불이익 처분을 하지 않는 사규를 제정토록 노력하겠습니다.

5. 본 건 입찰․계약체결․계약이행․준공과 관련하여 (재)강원테크노파크가 시행하는 청렴서약서 작성과 관련 요구하는 자료 제출, 서류 열람, 현장 확인 등 활동에 적극 협조하겠습니다.

6. 본 건 관련하여 하도급 계약체결 및 이행에 있어서 하도급자로부터 금품을 수수하거나 부당 또는 불공정한 행위를 하지 아니하겠습니다.

위 청렴 서약은 상호 신뢰를 바탕으로 한 약속으로서 반드시 지킬 것이며 낙찰자로 결정될 시 본 서약내용을 그대로 계약 특수 조건으로 계약하여 이행하고, 입찰참가자격 제한, 계약해지 등 강원테크노파크의 조치와 관련하여 당사가 강원테크노파크를 상대로 손해배상을 청구하거나 당사를 배제하는 입찰에 관하여 민‧형사상 이의를 제기하지 않을 것을 서약합니다. 또한, 응낙사항을 따르지 않아 발생하는 분쟁으로 강원테크노파크가 입은 모든 민･형사상 그리고 물질적 피해를 당사가 전적으로 모두 보장할 것을 확약하고 이 서약서를 제출합니다.

2026.
.
.

서 약 자 상 호 ：
대 표 자 :
(인)

강원테크노파크원장 귀하
[붙임 5]

보 안 서 약 서
제

안

자
상호<hp:fwSpace/>또는<hp:fwSpace/>법인명칭

사업자등록번호
(법인등록번호)

주
소

전 화 번 호

대
표
자

주민등록번호

본인은 강원테크노파크에서 시행하는 『반도체 소모품 실증센터 화학기상증착장비 구매』제안서를 제출함에 있어 본 제안과 관련된 제반사항을 반드시 준수하고 보안유지에 최선을 다할 것이며, 만일 이를 소홀히 하여 발생되는 모든 사항에 대하여 귀 재단의 어떤 조치에도 이의를 제기하지 않을 것임을 서약합니다.

2026.
.
.

서 약 자
인

강원테크노파크원장 귀하

[붙임 6]
업체현황 및 연혁
법 인 명

대표자 성명

주
소

사업자등록번호

(개업년월일)
전화번호

종업원수 회사설립일

년
월
해당부문 종사기간

년
월 ~

년
월
업
태
1. 법인( ), 개인(
)
최근 3년간
총매출액
(백만원)
′23(
)
′24(
)
′25(
)
2. 공급자(
), 제조자(
)
3. 대기업(
), 중소기업( )
주요 연혁(요약)

[붙임 6-1]
주요 납품실적
물 품 명
기간
계약금액
발주처
비고

※ 2023년 1월 1일 이후 실적 첨부
※ 최근 실적부터 위에서 아래로 작성

[붙임 7]
사업수행 조직표

사업수행조직도 사업총괄책임자 직위, 기술등급, 성명 ○○ 부문 ○○ 부문

○○ 부문
직위/기술등급
이름

직위/기술등급
이름

직위/기술등급
이름

[붙임 8]
규 격 대 비 표(업체작성용(예시))
Comparative Table of Specification
물품분류번호

공고번호

장비명 :
COMMODITY :
제품설명
(Description)
제작자(생산국)

Model 업체명

작성자
직 급

성 명 연락처 E-mail

강원테크노파크 입찰사양
응찰업체 사양
Ⅰ. 용도(End- user’s Use and Feature)

1.

2.
Ⅱ. 장비의 구성(Configurations of Goods)

1. Mainbody
1 set

2. Accessories
1 set

-
Ⅲ. 성능 및 규격(Performance and Specification)
1. Optics : Double beam
2. Wavelength range : 190～900㎚ or

wider
3. Stray light : less than 0.02%T at

220㎚
4. Spectral bandwidth : 0.5, 1, 2, 4㎚

Variable
5. Wavelength accuracy : ±0.3㎚ or

better
6. Detector : PMT or better
7. - - - - : - - -
Ⅳ. 기타조건(Remarks)
1.
Ⅰ. 용도(End- user’s Use and Feature)

1.

2.
Ⅱ. 장비의 구성(Configurations of Goods)

1. Mainbody
1 set

2. Accessories
1 set

-
Ⅲ. 성능 및 규격(Performance and Specification)
1. Optics : Double beam
2. Wavelength range : 190～900㎚ or

wider
3. Stray light : less than 0.02%T at

220㎚
4. Spectral bandwidth : 0.5, 1, 2, 4㎚

Variable
5. Wavelength accuracy : ±0.3㎚ or

better
6. Detector : PMT or better
7. - - - - : - - -
Ⅳ. 기타조건(Remarks)
1.

[붙임 9]
개인정보 수집 및 활용 동의서<hp:fwSpace/><hp:fwSpace/>제안업체는 각각의 대표자가 확인(또는 직인날인)하며, 모든 참여기술자가 각각 확인해야 함.

[수집하는 개인정보의 항목]
강원테크노파크에서 실시하는『반도체 소모품 실증센터 화학기상증착장비 구매』을 위하여 아래와 같은 개인정보를 수집하고 있습니다.

• 사업자(법인) : 사업자(법인)등록번호, 주소, 등기부등본 기재사항, 기술자 보유현황 등
• 개인(기술자) : 성명, 생년월일, 주민등록번호, 주소, 연락처(전화번호, 메일주소), 직장명, 부서, 직위, 자격증 보유현황, 경력사항 등

[개인정보 수집․이용 목적]
1. 당해 제안서 평가를 위하여 참여한 업체 및 기술자에 대한 평가
2. 당해 제안서 평가를 위한 제반사항 확인

[개인정보 보유 및 이용기간]
강원테크노파크에서 시행하는『반도체 소모품 실증센터 화학기상증착장비 구매』을 위해 목적이 상실될 때까지 상기 명시된 사업수행자의 개인정보가 보유 및 이용됩니다.

• 보유근거 :「공공기록물 관리에 관한 법률 시행령」에 따른 기록물 관리기준 적용

[개인정보 수집 동의 거부의 권리]
위 사업수행을 위하여 개인정보를 제공하고자 하는 자는 개인정보 활용 동의를 거부할 권리가 있으며, 거부할 경우 해당 공사 계약 대상에서 제외됨을 알려드립니다.

개인정보의 수집 및 이용목적에 동의하십니까?(해당란에 √표시)
□ 동의함
□ 동의하지 않음

동의자 확인 :
성명 _________________ (인 또는 서명)
[붙임 10]
평가위원 추첨번호표

일련번호
추첨번호
비고
1

2 3 4 5 6 7

※ 1 ~ 21의 숫자 중 임의로 7개 숫자를 지정하여 표기

상기와 같이 (재)강원테크노파크에서 시행하는 「반도체 소모품 실증센터 화학기상증착장비 구매」에 제안서 평가위원 추첨번호를 제출합니다.

2026년
월
일

입 찰 자
인(사용인감)

(재)강원테크노파크 원장 귀하
[붙임 11]
Refurbish Standard
제안업체명

장비명/모델

조치유형
Chemical cleaning / Plate copper with silver(외주)
Anodizing / Repainting(외주)
Rebuild / Calibrated(외주)
Replaced New
Cleaning(Overhaul)(자체)

Section
Item
조치유형
System
Load port

ATM robot & controller

Aligner Buffer station Fan (FFU) unit ATM 압력계

VTM / Transfer
VTM robot & controller

Wafer placement / Dynamic sensor

Banner sensor TM chamber TM ISO valve TM Vacuum gauge Robot Arm

Loadlock
Loadlock chamber

Loadlock 압력계 ISO valve Slot valve Diffuser Purge / N₂ valve Rocker valve assy Door plate

Dry pump (EPX, TM/Loadlock용)

Process Chamber
Chamber upper assy

Chamber body / wall, He·RF enclosure plate

Chamber liner Showerhead

Ceramic heater /Lift pin / RPS

Gas injector

Process kit (Edge ring, Cover ring, Insulator 등)

O-ring / Seal / Gasket 전체(전 모듈)

Chamber lid hoist

Endpoint (OES) detector & collimator

Vacuum
Turbo pump

Turbo pump controller

Dry pump (Process chamber용)

VAT valve assembly (Throttle / Gate)

Roughing isolation valve Vacuum manifold line Centering ring / Clamp

Manometer (100 mT / 10 T)

Pump N₂ ballast / purge valve

RF
RF Generator

RF Cable/ Connector RF Matcher

ESC
ESC

ESC power supply

Gas
MFC

Gas box valve / Manifold Pressure switch (PSH) Gas filter Gas line VCR gasket / Fitting

Pneumatic
Solenoid valve 전체

Pneumatic line / tube 전체

Cylinder (Loadlock lift, Lifter, Open/Close)

Control / Electrical
Control PC / UI monitor

제어 소프트웨어· OS · 라이선스

VME assy (CPU, VIOP, LTNI PCB 등)

AC control box assy Power supply UPS

Battery 전체(UPS, 컨트롤러 백업 등)

Cable / Harness

안전장치(EMO, Interlock, 가스누설 연동)

Facility / Utility
Facility valve (N₂, He, CDA)

Cooling water line / Hose

Exhaust interface Frame / Cover / Panel

※ 작성요령
1. PM별 작성
2. 목록에 없는 부품은 행을 추가하여 기재 가능
3. 구성에 없는 항목은 해당없음으로 기재 가능
4. 본 표의 기재내용에 대해 FAT/SAT 시 증빙제출

[참 조]
경영상태 배점기준표
경영상태
(신용평가등급
확인서에 의함)
회사채에대한
신용평가등급
기업어음에대한
신용평가등급
기업신용평가 등급
평점
AAA
-
AAA(회사채에 대한 신용평가등급
AAA에 준하는 등급)
10
AA+,AA0,AA-
A1
AA+,AA0,AA-(회사채에 대한 신용평가등급 AA+,AA0,AA-에 준하는 등급)
A+
A2+
A+(회사채에 대한 신용평가등급 A+에
준하는 등급)
A0
A20
A0(회사채에 대한 신용평가등급 A0에
준하는 등급)
A-
A2-
A-(회사채에 대한 신용평가등급 A-에
준하는 등급)
BBB+
A3+
BBB+(회사채에 대한 신용평가등급
BBB+에 준하는 등급)
BBB0
A30
BBB0(회사채에 대한 신용평가등급
BBB0 준하는 등급)
BBB-
A3-
BBB-(회사채에 대한 신용평가등급
BBB-에 준하는 등급)
9
BB+,BB0
B+
BB+,BB0(회사채에 대한 신용평가등급
BB+,BB0에 준하는 등급)
BB-
B0
BB-(회사채에 대한 신용평가등급
BB-에 준하는 등급)
B+,B0,B-
B-
B+,B0,B-(회사채에 대한 신용평가등급
B+,B0,B-에 준하는 등급)
7
CCC+이하
C 이하
CCC+이하(회사채에 대한 신용평가등급
CCC+이하에 준하는 등급)
5

「신용정보의 이용 및 보호에 관한 법률」제2조 제8의3에 해당하는 신용조회사 또는「자본시장과 금융투자업에 관한 법률」제335조의3에 따라 업무를 영위하는 신용평가사가 입찰공고일 이전에 평가하고 유효기간 내에 있는 회사채, 기업어음 및 기업신용평가등급을 국가종합전자조달시스템에 조회된 신용평가등급으로 평가하되, 가장 최근의 신용평가등급으로 평가한다. 다만, 가장 최근의 신용평가등급이 다수가 있으며 그 결과가 서로 다른 경우에는 가장 낮은 등급으로 평가한다.

• 신용평가등급 확인서가 확인되지 않은 경우에는 최저등급으로 평가하며, 유효기간 만료일이 입찰공고일인 경우에도 유효한 것으로 평가한다. 다만, 입찰공고일 다음날 이후에 발생 또는 수정된 자료는 평가에서 제외한다.
• 신용평가등급확인서 미제출, 유효기간이 인정되지 않을 경우 최저등급으로 평가한다.

추정가격이 고시금액 미만인 입찰에서 입찰공고일을 기준으로 최근 7년 이내에 사업을 개시한 창업기업에 대해서는 신용평가등급 점수상의 배점 한도를 부여한다. 이 경우 창업기업에 대한 확인은 「중소기업제품공공구매 종합정보망」에 등재된 자료로 확인하며, 창업기업확인서의 유효기간 내에 있어야 한다. 다만, 제안서 평가일 전일까지 발급된 자료도 심사에 포함하며, 이 경우 입찰공고일 이전 창업을 확인 할 수 있는 자료(법인인 경우 법인등기부상 법인설립등기일, 개인사업자인 경우에는 사업자등록증명서 상 사업자등록일)를 제출하여야 한다.(이하 창업기업에 대한 확인방법은 같다)

• 공동수급체의 경우 구성원별 해당 점수에 지분율을 곱한 후 그 점수들을 합산하여 최종 평가하고, 평가 결과 소수점 이하의 숫자가 있는 경우 소수점 다섯째자리에서 반올림 한다.

<hp:fwSpace/>[예] (A사 점수×A사 지분율)+(B사 점수×B사 지분율)…
중소기업협동조합이 입찰에 참여하는 경우 중소기업협동조합의 신용평가등급으로 평가한다.