[R26BK01803245] 초고진공 초전도 금속 박막 전자빔 증착 시스템_262387 공고문 전문

===== KAIST 물품 구매 입찰 공고서_규격가격동시입찰_초고진공 초전도 금속 박막 전자빔 증착 시스템_262387_최종.hwpx =====

물품 구매입찰 공고

공고번호 : 제262387호
입찰에 부치고자 다음과 같이 공고합니다.

2026.11.02. 카이스트 구매팀

< 본 계약은 청렴계약(서약)제가 적용됩니다 >

본 계약은 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」 제5조의2에 따른 청렴계약제가 적용됩니다. 입찰자는 반드시 입찰서 제출 시 아래 청렴계약서에 관한 내용을 숙지·승낙하여야 하며, 동 내용을 위반한 경우 발주기관의 조치에 대해서 어떠한 이의도 제기할 수 없습니다.

「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」 제5조의2에 따라 이 입찰에 참여한 당사 대리인과 임직원은 입찰·낙찰, 계약 체결 및 이행, 감독, 검사 등의 과정(준공·납품 이후를 포함한다)에서 아래 각호의 청렴계약 조건을 준수할 것이며, 이를 위반한 때에는 입찰·낙찰을 취소하거나 계약을 해제·해지하는 등의 불이익을 감수하고, 이에 민·형사상 이의를 제기하지 않을 것임을 약정합니다.
1. 금품·향응, 사례, 증여, 취업제공(친인척 등에 대한 부정한 취업 제공 포함) 및 알선 등을 직접적·간접적으로 요구 또는 약속하거나 수수(授受)하지 않겠습니다.
2. 입찰가격의 사전 협의 또는 특정인의 낙찰을 위한 담합 등 공정한 경쟁을 방해하는 행위나 불공정한 행위를 하지 않겠습니다.
3. 공정한 직무수행을 방해하는 알선·청탁을 통하여 입찰 또는 계약과 관련된 특정 정보의 제공을 요구하거나 받는 행위를 하지 않겠습니다.
4. 한국과학기술원 협력업체 행동강령(홈페이지 → 입찰/구매)을 숙지하고 준수하겠으며, 계약 체결 시 “협력업체 행동강령 준수 서약서‘를 제출하겠습니다.
※ 입찰 및 계약 관련 부패행위나 불공정행위 등이 발생한 경우 한국과학기술원 신문고(www.kaist.ac.kr) 또는 청탁관리자([email protected])에 신고하여 주시기 바랍니다.

본 입찰 설명서는 입찰자와 낙찰자가 숙지하고 준수하여야 할 사항을 기재한 것으로써 모든 입찰 희망자는 이를 열람하여야 합니다. 이 입찰과 관련하여 추가 문의사항은 아래 담당자에게 연락하시기 바랍니다.
○ 입찰참가자격 등록, 나라장터 시스템 : 정부조달 콜센터(1588-0800)
○ 입찰 및 계약 (입찰공고, 개찰, 계약방법 등) : 구매팀 한상민 ☎ 042-350-2332
○ 물품 규격, 사양 등 : 전기및전자공학부 이용우 ☎ 010-6806-7288

본 건 입찰에 참가하는 자는 아래의 입찰설명서를 구성하는 공고서 및 각종 규정, 규격서(제안요청서 포함) 등을 반드시 열람하고 숙지하여야 하며, 숙지하지 못함에 따라 발생하는 모든 책임은 입찰자에게 있습니다.
규격 착오 또는 규정의 미숙지 등으로 입찰자가 계약을 체결하지 않거나, 계약을 체결하고 불이행하거나, 입찰공고와 계약서에 명시된 계약의 주요조건을 위반한 경우 관계법령에 따라 부정당업자로 제재되어 일정기간 입찰참여가 제한되는 등 불이익을 받으실 수 있습니다.

음 -

※ 유의사항
○ 본 입찰집행과 관련하여 입찰공고서와 규격서(제안요청서 등 입찰 첨부서류 일체)의 <hp:lineBreak/>내용이 서로 다를 경우 입찰공고서가 우선 적용됩니다.
○ 입찰공고일(재공고 시에는 최초 공고일) 기준 현행규정을 적용, 규정은 국가법령정보<hp:lineBreak/>센터 홈페이지(http://www.law.go.kr)에서 참고하시기 바랍니다.
○ 수요기관의 규정과 해석을 우선 적용합니다.

※ 개찰은 규격 심사 완료 후 진행
○ 세부품명 : 진공증착기(물품분류번호 2399039801)
○ 사업예산 : 88,000,000원 (VAT 포함)
○ 기초금액 : 86,274,500원 (VAT 포함) ※ 예비가격 산정의 기준이 되는 금액
○ 납품기한 : 2026년 12월 18일까지
○ 납품장소 : 수요기관 지정장소

기타 세부사항은 전자입찰 공고서에 첨부된 규격서 등 첨부서류를 반드시 확인하시기 바랍니다.

2. 참가 자격
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아래의 입찰 참가 자격을 모두 갖춘 자이어야 합니다.
○ 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률시행령」 제12조 및 같은 법 시행규칙 제14조의 규정에 의한 유자격자
○ 「국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정(조달청 고시)」에 의하여 입찰참가 자격등록 마감일시까지 국가종합전자조달시스템(나라장터)에 아래 입찰참가자격을 모두 등록한 자

(물품) 진공증착기(물품분류번호 2399039801) 제조 또는 공급

○ 「중소기업기본법」 제2조제2항에 따른 소기업, 「소상공인기본법」 제2조에 따른 소상공인, 「벤처기업육성에 관한 특별법」 제2조제1항에 따른 벤처기업 또는 「중소기업창업 지원법」에 따른 창업기업

※ 예산 활용기간 제한에 따른 입찰 참가 자격
본 입찰에 따른 물품 구매 예산은 사용 기간에 제한되어 있습니다. 규격서 등에서 명시한 납기가 준수되지 않을 경우 지체상금이 부과될 수 있으며, 납품이 예산 사용 기간을 초과할 것으로 예상되는 경우 계약이 해지 또는 해제될 수 있습니다.
따라서, 반드시 납품기한 내 계약이행 완료가 가능한 업체만 입찰에 참여하시기 바랍니다.

※ ‘중소기업ㆍ소상공인확인서’가 중소기업제품 공공구매 종합정보망(http://www.smpp.go.kr)에서 확인(전자입찰서 제출 마감일 전일까지 발급된 것으로서 전자입찰서 제출 마감일까지 계속 유지되어야 함)되지 않을 경우 입찰참가자격이 없습니다.
※ ‘중소기업ㆍ소상공인확인서’를 규격(기술)입찰서 제출 마감일 전일까지 신청한 사항이 확인된 업체는 입찰참가가 가능하나 다음 중 어느 하나에 해당하는 경우에는 입찰참가자격이 없습니다.

규격(기술)입찰서 제출 마감일부터 5일 이내에 중소기업공공구매 종합정보망에서 확인이 되지 않는 경우

발급된 중소기업ㆍ소상공인확인서가 입찰참가자격의 기업 구분과 다른 경우

발급된 중소기업ㆍ소상공인확인서의 유효기간 시작일이 전자입찰서 제출 마감일 이후(마감일 포함)인 경우

규격(기술)입찰서 제출 마감일 전일까지 중소기업ㆍ소상공인확인서를 신청하지 않은 경우

※ 입찰 참가 제한
다음 중 어느 하나에 해당하는 자는 입찰참가자격이 없습니다.
○ 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」 제27조의5 및 같은 법 시행령 제12조제3항에 따라 ‘조세포탈 등을 한 자’로서 유죄판결이 확정된 날부터 2년이 지나지 아니한 자

* 입찰자는 같은 법 시행령 제12조제3항 각 호에 해당하지 아니한다는 서약서를 입찰 시 제출하여야 합니다. 만일 서약 내용이 허위로 판명될 경우 계약의 해제ㆍ해지를 당할 수 있고, 부정당업자 입찰참가자격 제한 처분을 받을 수 있습니다. (서약서 제출은 전자입찰 시 정해진 서식에 따라 송신한 입찰서로 서약서 제출을 대신합니다.)

3. 입찰 참가 자격 등록
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○ (입찰참가자격 등록) 조달청 경쟁입찰참가자격 등록은 수시로 가능하며, 입찰참가를 위해서는 전자입찰서 제출마감일 전일 18:00까지 등록을 하여야 합니다. 등록절차와 나라장터 이용안내는 정부조달콜센터(☎ 1588-0800, FAX: 042-472-2297)로 문의하시기 바랍니다.
○ (안전입찰) 입찰참가자는 전자입찰 시 「국가종합전자조달시스템 전자입찰특별유의서」 제7조 제1항 제1-2호에 따라 나라장터 안전입찰서비스를 사용(이용자 선택사항)하여 입찰에 참가할 수 있으며, 이 경우 미리 해당 소프트웨어를 설치하여야 합니다. (자세한 사항은 안전 입찰서비스 유의사항 안내 참고)
○ (인증) 본 입찰은 국가종합전자조달시스템 전자입찰 특별유의서 제7조에 따른 신원확인 입찰이 적용되며, 국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정 제2조제1항제16호에 따른 개인인증수단을 이용(공동인증서 제외)하여 신원을 확인받은 후 입찰에 참여하여야 합니다.
○ (입찰 취소) 전자입찰의 취소 신청은 「전자조달의 이용 및 촉진에 관한 법률 시행규칙」 제4조 및 (계약예규) 물품구매(제조)입찰유의서 제9조 제4항에서 정한 기준, 절차에 의해서만 가능합니다.

※ 「중대재해 등의 처벌에 관한 법률」 제정·시행에 따른 준수 사항 안내
○ 수요기관 및 계약상대자는 계약체결 이후 「중대재해처벌법」 제4조 및 제5조에 규정된 안전·보건과 관련된 의무를 준수하여야 하며, 입찰자는 현장여건, 과업내용 등을 미리 확인하여 이와 관련된 제반비용을 입찰가격에 반영하여야 합니다.
○ 수요기관은 「중대재해처벌법 시행령」 제4조 제9호에 따라 계약상대자가 동 법 제4조 및 제5조에 규정된 안전·보건과 관련된 의무를 준수하는지 평가·점검할 수 있으며, 계약상대자는 수요기관이 평가·점검을 실시하는 경우 이에 협조하여야 합니다.
○ 수요기관은 계약상대자가 안전·보건 확보에 필요한 조치를 소홀히 하거나 이행여부에 대한 점검 결과 보완 및 조치 등이 필요한 경우에는 계약상대자에게 이에 대한 시정을 요구할 수 있습니다.

4. 제출 서류 및 입찰보증금
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○ 제출서류 목록

(첨부 양식) 제안서 1부 ※ 작성 방법은 제안요청서 참조
기타 서류 (평가 참고 자료 등 제안 관련 서류) 각 1부
신용평가 등급 확인서 (용도 : 조달청 및 공공기관 제출용) 1부
소기업·소상공인 확인서/벤처기업 확인서/창업기업 확인서(용도 : 공공기관 입찰용) 중 1부
경쟁입찰참가자격등록증(나라장터 출력) 1부
사업자등록증 1부

※ 제출 서류가 사본일 경우 “사실과 상위 없음”을 확인 날인하여 제출
(물품 납품 시) 「국세 및 지방세 완납증명서」(각 1부), 「4대 사회보험료 완납증명서」(1부)를 제출하여야 하며 미제출시 대금 지급이 불가합니다.

○ 제출방법 : 국가종합전자조달시스템(나라장터)을 통한 전자제출

※ 직접 방문(우편, 택배 포함)에 의한 서류제출은 받지 않음
○ 제출문의 : 구매팀 한상민 (042-350-2332, [email protected])
○ 입찰보증금

입찰보증금(5%) 납부는 면제하되 입찰보증금 지급각서 제출로 대체함
입찰보증금 지급각서는 전자입찰 시 정해진 서식에 따라 송신한 입찰서로 갈음함
낙찰자가 소정의 기일까지 정당한 사유 없이 계약을 체결하지 않을 시 동 보증금을 낙찰자에게 청구함

○ 기타

전자입찰로서 별도의 입찰(견적) 참가 신청을 하지 않아도 되며, 조달청 입찰 참가 자격등록 내용에 따라 입찰(견적)에 참여하는 것으로 갈음함

6. 규격 및 과업 내용 등 : 규격서, 제안요청서 등 첨부서류 참조
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규격 착오 또는 규정의 미숙지 등으로 입찰자가 계약을 체결하지 않거나, 계약을 체결하고 불이행하는 경우 관계 법령(국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 제27조, 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제76조)에 의거 부정당 업자로 제재되어 일정기간 입찰 참여가 제한되는 등 불이익을 받으실 수 있으니 본입찰 공고서, 규격서 및 계약 관련 규정을 숙지하신 후 입찰에 참가하여 주시기 바랍니다.

7. 입찰서 제출 및 예정가격
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○ 조달청 G2B system 을 이용한 전자입찰로서 총액입찰
○ 본 사업예산은 부가가치세가 포함된 금액이므로 입찰금액은 반드시 부가가치세를 포함하여 투찰하여야 함
○ 예정가격은 기초금액의 ±2%의 범위 내에서 작성된 15개의 예비가격 중에서 응찰자가 추첨한 2개의 예비가격 번호 중 가장 많이 선택된 4개의 복수예비가격을 산술평균한 가격으로 결정함

8. 낙찰자 결정 방법
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○ 낙찰자 결정방법 : 규격입찰서(제안서) 적격자 중 예정가격이하로서 최저가 입찰자
○ 2인 이상 유효한 입찰이 성립한 경우 규격입찰서 심사결과 적격자가 1인인 경우에도 규격적격자의 가격입찰서를 개찰하여 낙찰자를 결정함
○ 개찰결과 동일가격으로 입찰한 자가 2인 이상인 경우에는 규격 또는 기술 우위자를 낙찰자로 결정하며, 규격 또는 기술평가 결과도 같은 때에는 추첨에 의하여 낙찰자를 결정함

동일가격 입찰에 대해 추첨에 의하여 낙찰자를 결정하는 경우 국가종합전자조달시스템 전자입찰특별유의서 제15조에 따라 전자조달시스템을 통해 자동으로 추첨하는 방식을 사용하여 최종 낙찰자를 선정함

○ 자격 미달 업체가 개찰 1순위 업체일 경우라도 낙찰을 배제하고 다음 순위의 적격업체를 낙찰자로 결정합니다.
○ 낙찰자로 결정된 자는 특별한 사유가 없는 한 낙찰일로부터 3일 이내에 내역서를 제출하고 5일 이내에 계약을 체결하여야 하며, 정당한 사유 없이 계약을 체결하지 않을 경우 입찰금액의 100분의 5에 해당하는 금액을 한국과학기술원에 납부하여야 합니다.

9. 제안서 기술평가
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○ 사업설명회 : 미실시
○ 평가 방법 및 기준 : (첨부) 제안요청서 참조

10. 유의사항
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○ 본 입찰진행과 관련하여「전자조달의 이용 및 촉진에 관한 법률 시행령」제4조 3항 전자조달시스템에 게시된 내용과 붙임 파일 형태의 입찰 공고문(이하 “입찰 공고문”이라한다)의 내용이 다른 경우에는 입찰 공고문의 내용이 우선한다. 다만, 입찰 공고일은 전자조달시스템에 게시한 날과 입찰 공고문에 적힌 입찰 공고일이 다른 경우 전자조달시스템에 게시한 날이 우선합니다.
○ 전자입찰 참가 희망 업체의 전산장비 준비 불충분 등의 사유로 인하여 전자입찰 등록 및 투찰이 곤란한 경우에는 투찰시간 마감 24시간 이전에 조달청 전자조달 콜센터 (☎1588-0800)에 문의하여 주시기 바랍니다.
○ 입찰(견적)에 참가 하고자 하는 자는 입찰(견적)에 필요한 제반사항을 사전 열람, 숙지한 후 입찰(견적)에 응하시기 바랍니다. 입찰(견적) 관련 사항 미 숙지로 인한 책임은 입찰자에게 있으며 입찰 등록을 필한 자는 위 조건을 숙지하고 수락한 것으로 봅니다.
○ 입찰 및 계약 관련 부패행위나 불공정행위 등이 발생한 경우 한국과학기술원 신문고(www.kaist.ac.kr) 또는 청탁관리자([email protected])에 신고하여 주시기 바랍니다.

한국과학기술원 총장

===== KAIST 물품 구매 입찰 공고서_규격가격동시입찰_초고진공 초전도 금속 박막 전자빔 증착 시스템_262387_최종.pdf =====
물품 구매입찰 공고
공고번호 : 제262387호
입찰에 부치고자 다음과 같이 공고합니다.
2026.11.02.
카이스트 구매팀
< 본 계약은 청렴계약(서약)제가 적용됩니다 >
본 계약은 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」 제5조의2에 따른 청렴계약제가
적용됩니다. 입찰자는 반드시 입찰서 제출 시 아래 청렴계약서에 관한 내용을 숙지·승낙
하여야 하며, 동 내용을 위반한 경우 발주기관의 조치에 대해서 어떠한 이의도 제기할
수 없습니다.
「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」 제5조의2에 따라 이 입찰에 참여한 당사 대리인과
임직원은 입찰·낙찰, 계약 체결 및 이행, 감독, 검사 등의 과정(준공·납품 이후를 포함
한다)에서 아래 각호의 청렴계약 조건을 준수할 것이며, 이를 위반한 때에는 입찰·낙찰을
취소하거나 계약을 해제·해지하는 등의 불이익을 감수하고, 이에 민·형사상 이의를 제기
하지 않을 것임을 약정합니다.
1. 금품·향응, 사례, 증여, 취업제공(친인척 등에 대한 부정한 취업 제공 포함) 및 알선
등을 직접적·간접적으로 요구 또는 약속하거나 수수(授受)하지 않겠습니다.
2. 입찰가격의 사전 협의 또는 특정인의 낙찰을 위한 담합 등 공정한 경쟁을 방해하는 행위나
불공정한 행위를 하지 않겠습니다.
3. 공정한 직무수행을 방해하는 알선·청탁을 통하여 입찰 또는 계약과 관련된 특정 정보의
제공을 요구하거나 받는 행위를 하지 않겠습니다.
4. 한국과학기술원 협력업체 행동강령(홈페이지 → 입찰/구매)을 숙지하고 준수하겠으며,
계약 체결 시 “협력업체 행동강령 준수 서약서‘를 제출하겠습니다.
※ 입찰 및 계약 관련 부패행위나 불공정행위 등이 발생한 경우 한국과학기술원 신문고
(www.kaist.ac.kr) 또는 청탁관리자([email protected])에 신고하여 주시기 바랍니다.
본 입찰 설명서는 입찰자와 낙찰자가 숙지하고 준수하여야 할 사항을 기재한 것으로써 모든
입찰 희망자는 이를 열람하여야 합니다. 이 입찰과 관련하여 추가 문의사항은 아래 담당자에
게 연락하시기 바랍니다.
○ 입찰참가자격 등록, 나라장터 시스템 : 정부조달 콜센터(1588-0800)
○ 입찰 및 계약 (입찰공고, 개찰, 계약방법 등) : 구매팀 한상민 ☎ 042-350-2332
○ 물품 규격, 사양 등 : 전기및전자공학부 이용우 ☎ 010-6806-7288

본 건 입찰에 참가하는 자는 아래의 입찰설명서를 구성하는 공고서 및 각종 규정,
규격서(제안요청서 포함) 등을 반드시 열람하고 숙지하여야 하며, 숙지하지 못함에 따라
발생하는 모든 책임은 입찰자에게 있습니다.
규격 착오 또는 규정의 미숙지 등으로 입찰자가 계약을 체결하지 않거나, 계약을 체결하고
불이행하거나, 입찰공고와 계약서에 명시된 계약의 주요조건을 위반한 경우 관계법령에 따라
부정당업자로 제재되어 일정기간 입찰참여가 제한되는 등 불이익을 받으실 수 있습니다.

다 음 -

1. 물품 구매입찰 공고서
2. 국가종합전자조달시스템 전자입찰특별유의서 (조달청 고시)
3. 국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정 (조달청 고시)
4. (계약예규) 물품구매(제조)입찰유의서 (재정경제부 계약예규)
5. (계약예규) 정부입찰ㆍ계약 집행기준 (재정경제부 계약예규)
6. (계약예규) 물품구매(제조)계약 일반조건 (재정경제부 계약예규)
7. 물품구매(제조)계약 특수조건 (조달청 지침)
8. 기타 입찰ㆍ계약관련 KAIST 내규, 법령 및 규정
※ 유의사항
○ 본 입찰집행과 관련하여 입찰공고서와 규격서(제안요청서 등 입찰 첨부서류 일체)의
내용이 서로 다를 경우 입찰공고서가 우선 적용됩니다.
○ 입찰공고일(재공고 시에는 최초 공고일) 기준 현행규정을 적용, 규정은 국가법령정보
센터 홈페이지(http://www.law.go.kr)에서 참고하시기 바랍니다.
○ 수요기관의 규정과 해석을 우선 적용합니다.

1. 입찰 개요
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○ 공 고 명 : 초고진공 초전도 금속 박막 전자빔 증착 시스템_262387
○ 입찰방식 : 전자입찰
○ 계약방법 : 제한경쟁, 총액입찰
○ 낙찰방법 : 규격가격동시입찰
○ 공동계약 및 구성방식 : 불가
○ 전자입찰 시작일시 : 2026.11.03.(화), 10:00
○ 전자입찰 마감일시 : 2026.11.10.(화), 10:00
○ 개찰일시 : 2026.11.10.(화), 11:00 이후
○ 개찰장소 : 카이스트 구매팀 입찰집행관 PC
※ 개찰은 규격 심사 완료 후 진행
○ 세부품명 : 진공증착기(물품분류번호 2399039801)
○ 사업예산 : 88,000,000원 (VAT 포함)
○ 기초금액 : 86,274,500원 (VAT 포함) ※ 예비가격 산정의 기준이 되는 금액
○ 납품기한 : 2026년 12월 18일까지
○ 납품장소 : 수요기관 지정장소
기타 세부사항은 전자입찰 공고서에 첨부된 규격서 등 첨부서류를 반드시 확인하시기 바랍니다.
2. 참가 자격
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아래의 입찰 참가 자격을 모두 갖춘 자이어야 합니다.
○ 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률시행령」 제12조 및 같은 법 시행규칙 제14조의
규정에 의한 유자격자
○ 「국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정(조달청 고시)」에 의하여 입찰참가 자격
등록 마감일시까지 국가종합전자조달시스템(나라장터)에 아래 입찰참가자격을 모두 등록한 자

(물품) 진공증착기(물품분류번호 2399039801) 제조 또는 공급

○ 「중소기업기본법」 제2조제2항에 따른 소기업, 「소상공인기본법」 제2조에 따른 소상공인,
「벤처기업육성에 관한 특별법」 제2조제1항에 따른 벤처기업 또는 「중소기업창업 지원법」에
따른 창업기업
※ 예산 활용기간 제한에 따른 입찰 참가 자격
본 입찰에 따른 물품 구매 예산은 사용 기간에 제한되어 있습니다. 규격서 등에서 명시한
납기가 준수되지 않을 경우 지체상금이 부과될 수 있으며, 납품이 예산 사용 기간을 초과할

것으로 예상되는 경우 계약이 해지 또는 해제될 수 있습니다.
따라서, 반드시 납품기한 내 계약이행 완료가 가능한 업체만 입찰에 참여하시기 바랍니다.
※ ‘중소기업ㆍ소상공인확인서’가 중소기업제품 공공구매 종합정보망(http://www.smpp.go.kr)에서 확인(전
자입찰서 제출 마감일 전일까지 발급된 것으로서 전자입찰서 제출 마감일까지 계속 유지되어야 함)되지
않을 경우 입찰참가자격이 없습니다.
※ ‘중소기업ㆍ소상공인확인서’를 규격(기술)입찰서 제출 마감일 전일까지 신청한 사항이 확인된 업체는
입찰참가가 가능하나 다음 중 어느 하나에 해당하는 경우에는 입찰참가자격이 없습니다.

규격(기술)입찰서 제출 마감일부터 5일 이내에 중소기업공공구매 종합정보망에서 확인이 되지 않는 경우
발급된 중소기업ㆍ소상공인확인서가 입찰참가자격의 기업 구분과 다른 경우
발급된 중소기업ㆍ소상공인확인서의 유효기간 시작일이 전자입찰서 제출 마감일 이후(마감일 포함)인 경우
규격(기술)입찰서 제출 마감일 전일까지 중소기업ㆍ소상공인확인서를 신청하지 않은 경우

※ 입찰 참가 제한
다음 중 어느 하나에 해당하는 자는 입찰참가자격이 없습니다.
○ 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」 제27조의5 및 같은 법 시행령 제12조제3항에
따라 ‘조세포탈 등을 한 자’로서 유죄판결이 확정된 날부터 2년이 지나지 아니한 자
* 입찰자는 같은 법 시행령 제12조제3항 각 호에 해당하지 아니한다는 서약서를 입찰 시
제출하여야 합니다. 만일 서약 내용이 허위로 판명될 경우 계약의 해제ㆍ해지를 당할
수 있고, 부정당업자 입찰참가자격 제한 처분을 받을 수 있습니다. (서약서 제출은 전자
입찰 시 정해진 서식에 따라 송신한 입찰서로 서약서 제출을 대신합니다.)
3. 입찰 참가 자격 등록
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○ (입찰참가자격 등록) 조달청 경쟁입찰참가자격 등록은 수시로 가능하며, 입찰참가를 위해
서는 전자입찰서 제출마감일 전일 18:00까지 등록을 하여야 합니다. 등록절차와 나라장터
이용안내는 정부조달콜센터(☎ 1588-0800, FAX: 042-472-2297)로 문의하시기 바랍니다.
○ (안전입찰) 입찰참가자는 전자입찰 시 「국가종합전자조달시스템 전자입찰특별유의서」
제7조 제1항 제1-2호에 따라 나라장터 안전입찰서비스를 사용(이용자 선택사항)하여 입찰에
참가할 수 있으며, 이 경우 미리 해당 소프트웨어를 설치하여야 합니다. (자세한 사항은
안전 입찰서비스 유의사항 안내 참고)
○ (인증) 본 입찰은 국가종합전자조달시스템 전자입찰 특별유의서 제7조에 따른 신원확인
입찰이 적용되며, 국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정 제2조제1항제16호에 따른
개인인증수단을 이용(공동인증서 제외)하여 신원을 확인받은 후 입찰에 참여하여야 합니다.
○ (입찰 취소) 전자입찰의 취소 신청은 「전자조달의 이용 및 촉진에 관한 법률 시행규칙」
제4조 및 (계약예규) 물품구매(제조)입찰유의서 제9조 제4항에서 정한 기준, 절차에 의해서만

가능합니다.
※ 「중대재해 등의 처벌에 관한 법률」 제정·시행에 따른 준수 사항 안내
○ 수요기관 및 계약상대자는 계약체결 이후 「중대재해처벌법」 제4조 및 제5조에 규정된
안전·보건과 관련된 의무를 준수하여야 하며, 입찰자는 현장여건, 과업내용 등을 미리 확
인하여 이와 관련된 제반비용을 입찰가격에 반영하여야 합니다.
○ 수요기관은 「중대재해처벌법 시행령」 제4조 제9호에 따라 계약상대자가 동 법 제4조 및
제5조에 규정된 안전·보건과 관련된 의무를 준수하는지 평가·점검할 수 있으며, 계약상대
자는 수요기관이 평가·점검을 실시하는 경우 이에 협조하여야 합니다.
○ 수요기관은 계약상대자가 안전·보건 확보에 필요한 조치를 소홀히 하거나 이행여부에 대한
점검 결과 보완 및 조치 등이 필요한 경우에는 계약상대자에게 이에 대한 시정을 요구
할 수 있습니다.
4. 제출 서류 및 입찰보증금
---------------------------------------------------------------------------------------------------------------------
○ 제출서류 목록

(첨부 양식) 제안서 1부 ※ 작성 방법은 제안요청서 참조
기타 서류 (평가 참고 자료 등 제안 관련 서류) 각 1부
신용평가 등급 확인서 (용도 : 조달청 및 공공기관 제출용) 1부
소기업·소상공인 확인서/벤처기업 확인서/창업기업 확인서(용도 : 공공기관 입찰용) 중 1부
경쟁입찰참가자격등록증(나라장터 출력) 1부
사업자등록증 1부

※ 제출 서류가 사본일 경우 “사실과 상위 없음”을 확인 날인하여 제출
(물품 납품 시) 「국세 및 지방세 완납증명서」(각 1부), 「4대 사회보험료 완납증명서」(1부)를
제출하여야 하며 미제출시 대금 지급이 불가합니다.
○ 제출방법 : 국가종합전자조달시스템(나라장터)을 통한 전자제출
※ 직접 방문(우편, 택배 포함)에 의한 서류제출은 받지 않음
○ 제출문의 : 구매팀 한상민 (042-350-2332, [email protected])
○ 입찰보증금

입찰보증금(5%) 납부는 면제하되 입찰보증금 지급각서 제출로 대체함
입찰보증금 지급각서는 전자입찰 시 정해진 서식에 따라 송신한 입찰서로 갈음함
낙찰자가 소정의 기일까지 정당한 사유 없이 계약을 체결하지 않을 시 동 보증금을 낙찰자

에게 청구함
○ 기타

전자입찰로서 별도의 입찰(견적) 참가 신청을 하지 않아도 되며, 조달청 입찰 참가 자격

등록 내용에 따라 입찰(견적)에 참여하는 것으로 갈음함

5. 입찰 무효
---------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------
○ 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」 제39조제4항, 「같은 법 시행규칙」
제44조 및 「(계약예규)물품구매(제조)입찰유의서」 제12조에 해당되는 입찰은 무효입니다.
○ 입찰참가자격등록증상의 상호 및 대표자(대표자가 다수인 경우 대표자 전원의 성명을 모두
등재, 각자 대표도 해당)가 법인등기부등본상(개인인 경우 사업자등록증)의 상호, 대표자와
다른 경우에는 입찰참가자격등록증을 변경등록하고 입찰에 참여하여야 하며, 변경등록하지
않고 참여한 입찰은 무효입찰임을 알려드리오니 주의하시기 바랍니다.
○ 입찰참가자격의 판단기준일은 입찰참가자격등록 마감일(기준일이 정해져 있는 경우에는 해당일)
이며 마감일(일시가 정해져 있는 경우에는 해당일시)까지 참가자격을 갖추지 않은 경우 무효
입찰임을 알려드리오니 주의하시기 바랍니다.
○ 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행규칙」 제44조 및 「(계약예규)물품구매(제조)
입찰유의서」 제12조에 정한 입찰무효 해당여부 확인을 위하여 등록정보 확인을 위한
서류(법인등기부등본, 사업자등록증, 입찰대리인임을 확인할 수 있는 서류, 관련되는 면허
등을 증명하는 서류 등)를 요청하는 경우, 낙찰대상자는 관계서류를 제출하여야 합니다.
○ 전자입찰(견적)서가 제출마감시간까지 국가종합전자조달시스템(G2B)에 도착하지 아니하거나,
컴퓨터 인식 불능으로 인한 입찰(견적)서는 무효합니다.
6. 규격 및 과업 내용 등 : 규격서, 제안요청서 등 첨부서류 참조
---------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------
규격 착오 또는 규정의 미숙지 등으로 입찰자가 계약을 체결하지 않거나, 계약을 체결하고 불
이행하는 경우 관계 법령(국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 제27조, 국가를 당사자로
하는 계약에 관한 법률 시행령 제76조)에 의거 부정당 업자로 제재되어 일정기간 입찰 참여가
제한되는 등 불이익을 받으실 수 있으니 본입찰 공고서, 규격서 및 계약 관련 규정을 숙지
하신 후 입찰에 참가하여 주시기 바랍니다.
7. 입찰서 제출 및 예정가격
---------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------
○ 조달청 G2B system 을 이용한 전자입찰로서 총액입찰
○ 본 사업예산은 부가가치세가 포함된 금액이므로 입찰금액은 반드시 부가가치세를 포함하여
투찰하여야 함
○ 예정가격은 기초금액의 ±2%의 범위 내에서 작성된 15개의 예비가격 중에서 응찰자가 추첨한
2개의 예비가격 번호 중 가장 많이 선택된 4개의 복수예비가격을 산술평균한 가격으로 결정함

8. 낙찰자 결정 방법
---------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------
○ 낙찰자 결정방법 : 규격입찰서(제안서) 적격자 중 예정가격이하로서 최저가 입찰자
○ 2인 이상 유효한 입찰이 성립한 경우 규격입찰서 심사결과 적격자가 1인인 경우에도 규격
적격자의 가격입찰서를 개찰하여 낙찰자를 결정함
○ 개찰결과 동일가격으로 입찰한 자가 2인 이상인 경우에는 규격 또는 기술 우위자를 낙찰자로
결정하며, 규격 또는 기술평가 결과도 같은 때에는 추첨에 의하여 낙찰자를 결정함

동일가격 입찰에 대해 추첨에 의하여 낙찰자를 결정하는 경우 국가종합전자조달시스템

전자입찰특별유의서 제15조에 따라 전자조달시스템을 통해 자동으로 추첨하는 방식을
사용하여 최종 낙찰자를 선정함
○ 자격 미달 업체가 개찰 1순위 업체일 경우라도 낙찰을 배제하고 다음 순위의 적격업체를 낙찰
자로 결정합니다.
○ 낙찰자로 결정된 자는 특별한 사유가 없는 한 낙찰일로부터 3일 이내에 내역서를 제출하고
5일 이내에 계약을 체결하여야 하며, 정당한 사유 없이 계약을 체결하지 않을 경우 입찰금
액의 100분의 5에 해당하는 금액을 한국과학기술원에 납부하여야 합니다.
9. 제안서 기술평가
---------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------
○ 사업설명회 : 미실시
○ 평가 방법 및 기준 : (첨부) 제안요청서 참조
10. 유의사항
---------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------
○ 본 입찰진행과 관련하여「전자조달의 이용 및 촉진에 관한 법률 시행령」제4조 3항 전자
조달시스템에 게시된 내용과 붙임 파일 형태의 입찰 공고문(이하 “입찰 공고문”이라한다)의
내용이 다른 경우에는 입찰 공고문의 내용이 우선한다. 다만, 입찰 공고일은 전자조달시스템에
게시한 날과 입찰 공고문에 적힌 입찰 공고일이 다른 경우 전자조달시스템에 게시한 날이 우선
합니다.
○ 전자입찰 참가 희망 업체의 전산장비 준비 불충분 등의 사유로 인하여 전자입찰 등록 및 투찰이
곤란한 경우에는 투찰시간 마감 24시간 이전에 조달청 전자조달 콜센터 (☎1588-0800)에 문의
하여 주시기 바랍니다.

○ 입찰(견적)에 참가 하고자 하는 자는 입찰(견적)에 필요한 제반사항을 사전 열람, 숙지한
후 입찰(견적)에 응하시기 바랍니다. 입찰(견적) 관련 사항 미 숙지로 인한 책임은 입찰자
에게 있으며 입찰 등록을 필한 자는 위 조건을 숙지하고 수락한 것으로 봅니다.
○ 입찰 및 계약 관련 부패행위나 불공정행위 등이 발생한 경우 한국과학기술원 신문고
(www.kaist.ac.kr) 또는 청탁관리자([email protected])에 신고하여 주시기 바랍니다.
한국과학기술원 총장

===== 물품 내역 및 세부 규격서_최종.hwp =====
물품 내역 및 세부 규격서

연번 정부물품분류번호1) (품명)2) 품목명3) 단위 수량 1 2399039801 진공증착기 초고진공 초전도 금속 박막 전자빔 증착 시스템 개 1

1) 8자리 또는 10자리 숫자로 제시된 식별번호

2) 물품분류번호에 연계된 품명 3) 구매하고자 하는 물품의 품목명

Ⅰ. 용도 및 특징(End-user's Use and Feature)

(1) 용도

큐비트 칩, 제어회로 칩, 웨이퍼 및 TSV 기반 인터포저 표면에 초전도 금속박막과 UBM 및 Indium 범프를 lift-off 방식으로 형성하여, 극저온 3차원 통합 패키징에 필요한 금속 적층 구조를 제작함.

Ti 등 접착층, 확산방지층 및 Al·Nb 등 초전도 금속층과 Indium층을 단일 진공 사이클 내에서 순차적으로 증착하여, 공정 간 대기 노출에 따른 계면 자연산화막 형성과 외부 오염을 억제하고 범프–UBM 계면의 접촉저항과 계면 결함을 최소화함.

금속 종류, 적층 순서, 박막 두께, 증착 속도 및 기판 온도를 조절하여 초전도 박막과 Indium 범프의 두께 재현성 및 형상 균일도를 개선하고, PR 몰드를 이용한 lift-off 공정을 최적화함.

Lift-off 방식으로 제작한 Indium 범프와 전해도금 방식으로 제작한 범프의 형상, 균일도, 접촉저항 및 공정 수율을 비교하여 극저온 3차원 통합 패키징에 적합한 범프 제작 공정을 선정함.

형성된 범프–UBM–RDL 구조를 데이지체인 기반 DC 시험구조와 CPW 공진기 기반 RF 시험구조 제작에 활용하고, 극저온 환경에서 접촉저항, 초전도 전이 특성, TLS 및 저항성 손실과 신뢰성을 평가하여 3차원 통합 패키징 공정의 성능을 검증함.

(2) 특징

Evaporation 방식으로 금속박막을 증착하는 장치로, 중저온용 Effusion Cell과 고온용 E-beam Source를 함께 구성하여 서로 다른 증발 조건을 요구하는 금속 재료를 증착할 수 있음. 이를 통해 초전도 금속박막 및 UBM–Indium 적층 구조를 단일 챔버에서 형성할 수 있음.

500 mm 이상의 Long Body 공정 챔버를 적용하여 소스와 웨이퍼 사이에 충분한 이격 거리를 확보함. 증발원으로부터 기판에 전달되는 열의 영향을 줄여 기판 및 박막의 손상을 최소화하고, 지향성 증착을 이용한 PR 몰드 기반 lift-off 공정에 활용할 수 있음.

10 kW급 전자빔 증발원과 pocket당 20 cc 용량의 6-pocket 구조를 적용하여 복수의 금속 재료를 개별 포켓에 장착할 수 있음. 단일 진공 사이클 내에서 접착층, 확산방지층 및 초전도층 등 다양한 금속박막을 순차적으로 증착하여, 계면 산화와 외부 오염을 억제하고 다층 금속 적층 구조를 형성할 수 있음.

10 cc 용량의 중저온용 Effusion Cell을 별도로 적용하여 저융점 Indium의 증발 조건을 조절할 수 있음. 고온용 E-beam Source와 함께 사용하여 UBM 금속층과 Indium층을 진공 파괴 없이 연속 증착할 수 있음.

전자빔 증발원과 Effusion Cell 사이에 교차오염 방지용 격벽 구조를 적용하여 서로 다른 증착 재료 간 교차오염을 줄이고, 금속별 증착 환경과 다층 적층 공정의 재현성을 개선할 수 있음.

2,000 L/s 이상의 터보분자펌프와 500 L/min 이상의 Dry Scroll Pump로 구성된 oil-free 진공 배기 시스템을 적용함. 오일을 사용하는 배기계에서 발생할 수 있는 오일 역확산에 의한 오염을 억제하여 고순도 금속박막 증착에 필요한 진공 환경을 조성할 수 있음.

10-9 Torr 범위의 Cold Cathode Gauge와 10-3 Torr 범위의 Pirani Gauge를 적용하여 진공 배기 과정과 증착 전후의 챔버 압력을 모니터링할 수 있음. 이를 통해 공정별 진공 상태를 확인하고 증착 조건을 관리할 수 있음.

QCM 기반 두께 모니터와 Thickness Controller를 적용하여 증착 속도와 누적 두께를 실시간으로 확인하고 제어할 수 있음. 금속층별 목표 두께를 설정하여 초전도 박막 및 UBM–Indium 적층 구조의 두께 재현성을 확보할 수 있음.

기판 회전 기능과 최대 120℃의 기판 가열 기능을 적용하여 증착 중 기판 위치에 따른 두께 편차를 완화하고, 금속 재료와 공정 목적에 따라 기판 온도를 설정할 수 있음. 이를 통해 초전도 금속박막과 PR 몰드 기반 증착에 필요한 공정 조건을 최적화할 수 있음.

전장·제어 패널과 장비 운용용 제어 소프트웨어를 적용하여 진공 배기 및 증착에 필요한 장비 조작을 수행할 수 있음. 주요 구성품의 운전과 공정 조건 설정을 지원하여 장비 운용 편의성을 높일 수 있음.

Ⅱ. 물품/장비의 구성(Configurations of Goods)

가. 고진공용 Long Body 공정 챔버

나. Source: e-Beam Gun 및 Effusion Cell

다. Oil-free 진공 펌프 시스템: TMP 및 드라이스크롤 펌프

라. 저/고진공 게이지 및 박막 증착률 측정기 (QCM)

마. 제어 시스템: 터치 스크린 및 제어 S/W

Ⅲ. 성능 및 규격(Performance and Specification)

가. 이빔증착기 본체 : 1 세트

1) 챔버 형식: 수직형 Long Body 고진공 챔버

2) 챔버 재질: SUS 316 진공용 스테인리스강

3) 소스-기판 거리: 약 500 mm 이상 4) 기판 크기: 최대 4-inch 급

5) 기판 회전: 약 1-30 rpm 가변 제어

6) 기판 고정: 기판 크기에 적합한 교체형 홀더 또는 클램핑 구조

7) 기판 가열: 상온 – 120C

8) 증착 셔터: 기판 셔터 및 소스별 독립 셔터 적용

9) 관찰창: 증착 상태 확인용 View port

10) 내부 구조: 방착판 및 탈착식 shield 적용

11) 냉각: 챔버 및 열부하 부품의 수냉 구조

12) 가스: Vent 및 purge 용 N₂또는 Ar 가스 도입 구조

13) 확장 포트: 진공 게이지, QCM, 소스 및 계측 장치 장착용 예비 포트

나. 증착 소스: 1세트 1) e-Beam Gun: 1세트 - 최대 출력: 10 kW급

Crucible pocket: 6 pocket 이상

Pocket 용량: 20 cc/Pocket

Crucible 냉각: 수냉 방식

증착 재료: 금속 및 기타 e-beam 증착 가능 재료

셔터: 공압식 source shutter 2) Effusion cell 최대 출력: 760 W 이상 가열 온도: 700℃ Crucible 용량: 약 10 cc 범위

증착 재료: 준금속 및 기타 증착 가능 재료 (중저온용)

셔터: 공압식 source shutter

다. Oil-free 진공 펌프 시스템: 1세트

1) 고진공 펌프: Turbo Molecular Pump, N2 2,200 L/s

2) 보조 펌프: Dry Scroll Pump, 530 L/s

3) 펌프 구성: Oil-free 진공 배기 시스템

4) TMP 냉각: 수냉 냉각 방식

라. 진공 게이지 및 박막 증착률 측정기: 1세트

1) 저진공 게이지: Pirani Gauge, 대기압 ~ 1e-3 Torr 수준

2) 고진공 게이지: Cold Cathode, 1e-2 ~ 1e-9 torr 수준

3) 박막 증착률 측정 방식: Quartz Crystal Microbalance

4) 측정 항목: 실시간 증착률 및 누적 막 두께

5) 두께 및 비율 해상도: ±0.37 Å/s

6) 채널 수: 1 Channel

Ⅳ. 납품 및 교육(Install Test & Education)

1. 설치 및 납품

납품 기한 : 2026년 12월 18일까지

- 설치 조건 수요자가 지정하는 시간 및 장소에 장비 설치 유틸리티 훅업은 고객사에서 진행함

장비 정상 작동을 확인하기 위한 SAT를 통해 장비 설치를 완료함

설치장소 : 미래소자융합동 E3-3 1301호

2. 교육 - 장비 작동법 및 유지보수 교육 Ⅴ. 하자보수(Maintenance) 1. 하자보수 기간 : 장비 납품 후 1년 2. 하자보수 조건

정상적인 사용 상태에서 발생한 성능/기능상의 고장인 경우에 해당

사용자의 오류에 의한 문제 발생시 실비 청구

- 소모품 및 소모성 부품은 포함하지 않음

성능/기능상의 고장이 아닌 긁힘, 찍힘, 파손 등은 포함하지 않음

Ⅵ. 기타 조건(Remarks) 1. 공통사항

본 기본 규격서는 최소한의 규격을 규정하며 제안사는 필히 본 기본 규격서에 명시된 동등 및 동급 이상의 규격을 제안하여야 한다.

제안에 포함된 물품은 제조사 정품 부품이어야 하며, Refurbished, Used, Warranty 서비스용 부품의 제안해서는 안 된다.

- 국내 정식 유통 제품을 제안하여야 한다.

상기에 기술되지 않은 내용 등은 수요기관의 요청 또는 해석에 따른다.

2. 기타 조건

셋업 시 유틸리티 준비 및 유틸리티 Hook-up은 구매자 측에서 진행함

공정에 사용되는 Precursor는 포함되어 있지 않음

Ⅶ. 규격 관련 문의 : 전기및전자공학부 이용우 ☎ 010-6806-7288

===== KAIST 규격가격동시입찰 (규격)제안요청서_최종.hwp =====

규 격 제 안 요 청 서 초고진공 초전도 금속 박막 전자빔 증착 시스템 구매 2026. 10. 14 ※ 관련 문의

○ 입찰참가자격 등록, 나라장터 시스템 : 정부조달 콜센터(1588-0800)

○ 입찰 및 계약 (입찰공고, 개찰, 계약방법 등) : 구매팀 한상민 ☎ 042-350-2332

○ 물품 규격, 사양 등 : 전기및전자공학부 이용우 ☎ 010-6806-7288

목 차 Ⅰ. 사업 개요 1 Ⅱ. 입찰 참가 자격 1 Ⅲ. 낙찰자 선정 방법 및 제안 조건 2 Ⅳ. 제안서 평가 및 적격업체 선정 3 Ⅴ. 기타 사항 4 Ⅵ. 붙임 1. 제안서 작성 지침 5 2. 기술규격평가 배점표 6 3. 기술규격평가 세부 채점기준표 7

4. 신용평가등급에 의한 경영상태 평가 기준 8

Ⅶ. 서식 1. 제안서 표지 9 2. 업체 일반현황 및 주요 연혁 10 3. 기업신용평가 11 4. 제안 물품 내역 및 규격서 12 5. 규격 비교표 14 6. 보유 기술 인력 세부 현황 15 Ⅰ 사업 개요

❍ 사업명 : 초고진공 초전도 금속 박막 전자빔 증착 시스템 구매

❍ 사업예산 : 88,000,000원

❍ 규격 및 수량 : 물품 내역 및 세부 규격서 등 참조

❍ 납품기한 : 2026년 12월 18일까지

❍ 납품장소 : 카이스트 캠퍼스 내 지정 장소 (E3-3 미래융합소자동 1층 1301호실)

❍ 인도조건 : 현장설치도 ❍ 하자보증기간 : 납품일로부터 1년 Ⅱ 입찰 참가 자격

❍ 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률시행령」 제12조 및 같은 법 시행규칙 제14조의 규정에 의한 유자격자

❍ 「국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정(조달청 고시)」에 의하여 입찰참가 자격등록 마감일시까지 국가종합전자조달시스템(나라장터)에 아래 입찰참가자격을 모두 등록한 자

진공증착기 (물품분류번호 10자리 : 2399039801) 공급 또는 제조

❍ 기타 입찰 자격에 관한 세부 사항은 공고서 및 규격서에 따름

Ⅲ 낙찰자 선정 방법 및 제안 조건 □ 낙찰자 선정 방법 : 규격가격동시입찰*

* 제안서와 가격입찰서를 동시에 제출받고 본원의 기술평가위원회의 제안서 평가에 따라 규격적격자를 선정한 후 규격적격자의 가격입찰서를 개봉하여 낙찰자를 선정하는 방식

규격가격동시입찰 낙찰자 선정 절차 입찰공고 ▶ 입찰 (나라장터) 제안서 및 가격입찰서 제출 ▶ 규격제안서 평가 (수요부서, 실사용자) ▶ 가격입찰서 개찰 ▶ 계약 체결 ▶ 계약 이행 □ 제안 조건

❍ 제시된 규격과 동등하거나 그 이상으로 제안하여야 하며, 제안서에 기재된 장비 일체는 국내에 정식 유통망이 있는 제품으로 한정

❍ 제안과 관련되어 제출된 자료 일체는 반환하지 않으며, 본 제안과 관련된 일체의 소요비용은 제안업체가 부담

❍ 제안서의 모든 기재사항은 객관적으로 입증할 수 있는 관계서류를 첨부해야 하며, 허위 작성한 사실이 판명되는 경우 평가대상에서 제외되며 관련 규정에 따라 처리

❍ 제출된 제안서의 내용은 수정, 삭제 또는 대체 불가

❍ 제안서에 제시된 내용은 계약서에 명시하지 않더라도 계약서와 동일한 효력을 가짐
※ 단, 계약서에 명시된 경우에는 계약서의 내용이 우선함

❍ 본 제안서의 결과에 의한 일체의 계약은 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 등 관련법규 준수

❍ 제안업체는 동 사업과 관련하여 취급 또는 습득한 정보에 대하여 과업수행기간은 물론 그 이후라도 정보유출 등에 관한 보안사항을 준수하여야 하며, 보안 사고에 대한 민․형사상의 모든 책임을 져야 함

□ 제출 서류

❍ 제안서 1부 (붙임 1 제안서 작성 지침 참조 및 서식 활용)

❍ (해당 시)카달로그, 브로슈어 도면 등 제안 물품 설명 자료

❍ 신용평가 등급 확인서 (용도 : 조달청 및 공공기관 제출용) 1부

❍ 소기업·소상공인 확인서/벤처기업 확인서/창업기업 확인서(용도 : 공공기관 입찰용) 중 1부

❍ 경쟁입찰참가자격등록증 1부 ❍ 사업자등록증 1부 Ⅳ 제안서 평가 및 적격업체 선정 □ 제안서 평가

❍ 제안서의 평가는 본교의 기술평가위원회를 통해 제안서류를 평가하며, 제안서 발표 없이 서면으로 평가

❍ 각 항목별로 평가위원의 평가점수를 산술평균한 점수(소수점 다섯째 자리에서 반올림)를 100점 만점으로 환산

❍ 제안서의 기술부문 평가는 기술제안서 평가항목을 기준으로 하여 [붙임 2]와 같은 평가항목과 비중을 가지고 평가

❍ 평가항목에 따른 증빙서류를 제출하지 못할 경우 해당항목은 최하점 처리

□ 적격업체 선정 방법

❍ 평가위원의 종합평점이 100점 만점에 85점 이상을 득한 업체를 규격입찰적격 업체로 선정

❍ 2개 업체 이상의 유효한 입찰평가 결과 규격 적격으로 선정된 업체(1개 업체일 경우 포함)에 한하여 가격입찰을 실시

□ 기술평가 결과 통보

❍ 기술입찰서에 대한 평가결과(위원별·항목별 평가점수)를 3일 이상 전자조달시스템 또는 발주기관의 정보처리장치를 통하여 공개

❍ 평가위원명 비공개 Ⅴ 기타 사항 □ 보안 준수

❍ 제안요청일 이후 제안서 제출 시까지 발생하는 모든 사안에 대하여 제안 참여 업체의 제안 관계자 이외의 인원에 대해서는 대외비로 취급

❍ 제안서와 관련되어 한국과학기술원에 기 제출된 모든 문서와 제공한 자료 및 정보에 대해서는 외부에 공개 불가

Ⅵ 붙임 □ 붙임 1. 제안서 작성 지침 작 성 항 목 작 성 방 법 제출 서식 Ⅰ. 제안 개요

제안요청 내용을 명확하게 이해하고 본 제안의 목적, 범위, 전제조건 및 제안의 특징 및 장점을 요약

자유 양식 Ⅱ. 일반부문 1. 일반현황

제안사의 일반현황, 주요 연혁, 주요 사업 분야, 자본금 및 부문별 매출액을 명료하게 제시

- 제안사의 조직 및 사업 참여 인원 현황

경영상태 확인을 위한 신용평가 등급 확인서

※ 「조달청 및 공공기관 제출용」에 한해 인정

서식 1 서식 2 서식 3 Ⅲ. 기술부문 1. 공고 규격 또는 기술과의 적합성 - 기본규격서의 규격 충족도 및 적합성

공정 챔버 형식·재질 및 소스–기판 거리의 적합성

E-beam Gun 및 Effusion Cell의 규격 충족도

증발원 간 교차오염 방지 구조 및 셔터 구성의 적합성

기판 크기 및 기판 고정·회전·가열 기능의 적합성

진공 배기 시스템 및 진공 게이지의 적합성

서식 4 서식 5 2. 설비 능력 - 기판 회전 및 가열 조건의 제어 능력

소스별 독립 셔터를 이용한 증착 제어 능력

실시간 증착률 및 누적 박막 두께 측정 능력

Thickness Controller를 이용한 박막 두께 제어 능력

- 주요 구성품의 냉각 구조 적합성 - 제어 시스템을 통한 장비 운용의 편의성 자유 양식 및 서식 4 서식 5 Ⅳ. 관리부문 1. 추진체계, 기술 보유 및 지원 방안

계약 이후 제작, 납품, 설치 및 시운전 일정표

장비 설치 및 성능 검증을 위한 업무 추진체계 및 담당자 역할

장비 운용 및 유지 관리를 위한 교육 훈련 계획, 방법 및 내용

※ 교육 담당자는 입찰업체 또는 공급업체 소속 직원이어야 하며, 장비 납품 후 1년 이내 수요기관에서 교육 요청 시 3회까지 무상교육을 실시해야 함

자유 양식 2. 사후 관리 - 장비 유지 보수 및 장애 대응 체계 - 유지보수 담당 인력과 인력 운영계획

※ 해당 인력 보유 증명을 위해 4대 보험 증빙 제출

A/S 대응절차, 대응시간 및 부품수급 계획

제시한 하자보증기간과 보증 범위 및 추가 지원 조건

자유 양식 및 서식 6 □ 붙임 2. 기술규격평가 배점표 평 가 항 목 배점 평가 기타 일반부문 ○ 일반현황

경영상태 확인을 위한 신용평가 등급 확인서

10점 기술부문 ○ 공고규격 또는 기술과의 적합성 30점 - 기본규격서의 규격 충족도 및 적합성

공정 챔버 형식·재질 및 소스–기판 거리의 적합성

E-beam Gun 및 Effusion Cell의 규격 충족도

증발원 간 교차오염 방지 및 셔터 구성 적합성

기판 크기 및 기판 고정·회전·가열 기능의 적합성

진공 배기 시스템 및 진공 게이지의 적합성

○ 설비능력 30점 - 기판 회전 및 가열 조건의 제어 능력

소스별 독립 셔터를 이용한 증착 제어 능력

실시간 증착률 및 누적 박막 두께 측정 능력

Thickness Controller를 이용한 박막 두께 제어 능력

- 주요 구성품의 냉각 구조 적합성 - 제어 시스템을 통한 장비 운용의 편의성 관리부문 ○ 추진체계 및 교육 훈련 20점

계약 이후 제작, 납품, 설치 및 시운전 일정

장비 설치 및 성능검증을 위한 업무 추진체계와 담당자별 역할

장비 운용 및 유지관리를 위한 교육 훈련 계획, 방법 및 내용

○ 사후관리 10점 - 장비 유지보수 및 장애 대응 체계 - 유지보수 담당 인력과 인력 운영계획

A/S 대응절차, 대응시간 및 부품수급 계획

제시한 하자보증기간과 보증 범위 및 추가 지원조건

합
계

100점 □ 붙임 3. 기술규격평가 세부 채점 기준표 평가 항목 산정 방법 평점 평가 요소 일반 부문 일반 현황

붙임4 「신용평가등급에 의한 경영상태 평가」에 따름

10점 - 신용평가등급확인서

※ 「조달청 및 공공기관 제출용」에 한해 인정

기술 부문 공고규격 또는 기술과의 적합성 매우 우수 우수 보통 미흡

매우
미흡

배점의 100% 배점의 80% 배점의 60% 배점의 40% 배점의 20% 30 24 18 12 6 30점

공정 챔버, E-beam Gun, Effusion Cell, Oil-free 진공 펌프 시스템, 진공 게이지, QCM 및 제어 시스템 각 1세트가 구성되어야함.

수직형 Long Body 고진공 챔버, SUS 316 재질이며, 소스–기판 거리 약 500 mm 이상이 확보되어야함.

E-beam Gun: 최대 출력 10 kW급, 6 Pocket 이상, Pocket당 20 cc 이상을 요구함.

Effusion Cell: 최대 출력 760 W 이상, 가열 온도 700℃ 이상, Crucible 용량 약 10 cc 이상을 요구함.

E-beam Gun과 Effusion Cell 사이 교차오염 방지 격벽, 기판 셔터 및 소스별 독립 공압식 셔터가 적용되어야함.

최대 4-inch급 기판, 교체형 홀더 또는 클램핑 구조, 약 1–30 rpm 가변 회전, 상온–120℃ 가열이 가능해야함.

TMP: N₂ 기준 2,200 L/s 급 이상, Dry Scroll Pump: 530 L/s 급 이상을 만족해야함.

Pirani Gauge: 대기압–10⁻³ Torr 수준. Cold Cathode Gauge: 10⁻²–10⁻⁹ Torr 수준이 적용되어야함.

설비능력 매우 우수 우수 보통 미흡

매우
미흡

배점의 100% 배점의 80% 배점의 60% 배점의 40% 배점의 20% 30 24 18 12 6 30점

약 1–30 rpm 범위의 기판 회전 속도 가변 제어, 상온–120℃ 범위의 기판 가열이 가능해야함.

기판 셔터 및 E-beam Gun·Effusion Cell 각각의 독립 셔터 적용, 소스 셔터 공압 구동을 요구함.

QCM 방식의 실시간 증착률 및 누적 막 두께 측정, 1 Channel, 규격서 기재 해상도 ±0.37 Å/s를 충족해야함.

Thickness Controller를 통한 증착 속도 및 최종 두께의 실시간 피드백 제어가 가능해야함.

챔버 및 열부하 부품, E-beam Gun의 Crucible, 터보분자펌프(TMP)에 수냉 방식을 적용해야 함.

전장·제어 패널, 터치스크린 및 장비 운용용 제어 소프트웨어 구성을 요구함.

관리 부문 추진체계 및 교육훈련 매우 우수 우수 보통 미흡

매우
미흡

배점의 100% 배점의 80% 배점의 60% 배점의 40% 배점의 20% 20 16 12 8 4 20점 - 납품 및 설치 일정표 등의 적합성 - 장비 교육 훈련 계획 사후 관리 매우 우수 우수 보통 미흡

매우
미흡

배점의 100% 배점의 80% 배점의 60% 배점의 40% 배점의 20% 10 8 6 4 2 10점 - 장비 유지보수 및 인력운영계획

유지보수를 위한 A/S 및 부품수급의 용이성

- 제시 보증기간 이상의 하자보증 합 계 100점

□ 붙임 4. 신용평가등급에 의한 경영상태 평가

(단위 : 점) 신용평가등급 평 점 회사채 기업어음 기업신용평가등급 AAA AA+, AA0, AA- A+, A0, A- BBB+, BBB0 A1 A2+, A20, A2- A3+, A30 AAA AA+, AA0, AA- A+, A0, A- BBB+, BBB0 10.0 BBB- BB+, BB0, BB- A3- B+, B0 BBB- BB+, BB0, BB- 9.5 B+, B0, B- B- B+, B0, B- 9.0 CCC+ 이하 C 이하 CCC+ 이하 7.0

① 「신용정보의 이용 및 보호에 관한 법률」제2조 제8의3에 해당하는 신용조회사 또는「자본시장과 금융투자업에 관한 법률」제335조의3에 따라 업무를 영위 하는 신용평가사가 입찰공고일 이전에 평가하고 유효기간 내에 있는 회사채, 기업어음 및 기업신용평가등급을 평가하되, 가장 최근의 신용평가등급으로 평가한다. 다만, 가장 최근의 신용평가등급이 다수가 있으며 그 결과가 서로 다른 경우에는 가장 낮은 등급으로 평가한다.

② 신용평가등급 확인서를 제출하지 않을 경우에는 최저등급으로 평가하며, 유효기간 시작일 또는 만료일이 입찰공고일인 경우에도 유효한 것으로 평가한다.

③ 합병한 업체에 대하여는 합병 후 새로운 신용평가등급으로 심사하여야 하며 합병 후의 새로운 신용평가등급이 없는 경우에는 합병대상업체 중 가장 낮은 신용평가등급을 받은 업체의 신용평가등급으로 심사한다.

기업신용평가등급 확인서는 「조달청 및 공공기관 제출용」으로 발급 분에 한해 심사

※ 미제출 또는 그 외 서류는 가장 낮은 등급으로 채점

Ⅶ 서식 □ 서식 1. 제안서 표지

제
안
서

〔장비명〕 2026. 00. 00. (업체명) ※ 관련 문의

○ 물품 제안 관련 : 담당자 성명 직급 연락처 이메일

○ 입찰 및 계약 관련 : 담당자 성명 직급 연락처 이메일

□ 서식 2. 업체 일반현황 및 주요 연혁 업체 일반현황 및 주요연혁 업체명 대표자 성명 소 재 지 본 사 전화 : 사업자등록번호 (개업년월일) 000-00-00000 (yyyy.mm.dd.) FAX : 공 장 전화 : FAX : 종업원수

1. 사무직 :
명

2. 생산직 :
명

국 적 자 본 금 백만원 결산일

월말일(년
회)

업
태

1. 법 인(
), 개 인(
)

최근 2년간 총매출액 (백만원)

2023(
백만원)

2024(
백만원)

2025(
백만원)

2. 공급자(
), 제조자(
)

3. 대기업(
), 중소기업(
)

(주요연혁) □ 서식 3. 기업신용평가 기업신용평가 (유효한) 신용평가등급확인서 이미지 삽입

* 신용평가등급확인서 원본 파일 별도 첨부 ※ 「조달청 및 공공기관 제출용」에 한해 인정

□ 서식 4. 제안 물품 내역 및 규격서 제안 물품 내역 및 규격서 연번 정부물품분류번호1) (품명)2) 품목명3) 단위 수량 1 4320140101 그래픽용어댑터 고성능 그래픽 카드 개 1 2 4323260501 (응용과학용소프트웨어) 데이터 수집처리장치 운영 소프트웨어 조 1

1) 8자리 또는 10자리 숫자로 제시된 식별번호

2) 물품분류번호에 연계된 품명 3) 제안하고자 하는 물품의 품목명

Ⅰ. 용도 및 특징(End-user's Use and Feature)

1. 연번 1 품목명 (제조사) 모델명 - - - 2. 연번 2 품목명 (제조사) 모델명 - -

Ⅱ. 물품/장비의 구성(Configurations of Goods)

1. 연번 1 품목명 (제조사) 모델명 가. 구성품 1 : n개 나. 구성품 2 : n개 다. 구성품 3 : n개 2. 연번 2 품목명 (제조사) 모델명 가. 구성품 1 : n개 나. 구성품 2 : n개

Ⅲ. 성능 및 규격(Performance and Specification)

1. 연번 1 품목명 (제조사) 모델명 가. 구성품 1 1) 2) 3) 나. 구성품 2 1) 2) 3) 다. 구성품 2 1) 2) 3) 2. 연번 2 품목명 (제조사) 모델명 가. 구성품 1 1) 2) 3) 나. 구성품 2 1) 2) 3)

Ⅳ. 납품 및 교육(Install Test & Education)

1. 설치 및 납품

납품기한 : 0000년 00월 00일까지 / 계약체결일로부터 00일/주/월

- 설치 조건 - 설치장소 : 수요기관 지정 장소 2. 교육 - 교육에 관한 사항 작성 Ⅴ. 하자보수(Maintenance) 1. 하자보수 기간 : 00년 2. 하자보수 조건 - 하자보수 조건 기재 3. 기타 하자보수 관련 내용 작성 - 기타 하자보수 관련 내용 기재 Ⅵ. 기타 조건(Remarks) 1. 2.

Ⅶ. 규격 관련 문의 : 제안업체 담당자 성명 연락처 이메일

□ 서식 5. 규격 비교표 규격 비교표 □ 입찰 참가 물품 상세규격 ◦ 세부품목명 : ◦ 제 조 사 : ◦ 모델명 :

공고규격(Specification Requirement)

업체 제안규격(Bidding Specification)

서식 4. 제안 물품 내역 및 규격서 내용 중
장비의 구성 및 규격에 해당하는 내용 복사

II. 장비의 구성 III. 성능 및 규격

제안 물품의 구성과 성능 및 규격을 비교 가능한 형태로 작성

1. 장비의 구성 2. 성능 및 규격 □ 서식 6. 보유 기술 인력 세부 현황 보유 기술 인력 세부 현황 성명 직위 (현재 직위) 최종학위 (학사/석사/박사) 전공 (최종학위 전공) 해당분야 경력 (단위 : 년) 등급

※ 작성 요령 해당 분야 경력 및 등급 작성 요령

해당 분야 인정 경력 : 관련 업체 및 엔지니어링업체의 경력을 합산

등급 : 특급, 고급, 중급, 초급으로 구분

․ 특급 : 기술사, 기사 10년 이상, 박사 3년, 석사 9년, 학사 12년, 전문대 15년 이상

․ 고급 : 기사 7년 이상, 박사, 석사 6년, 학사 9년, 전문대 12년 이상

․ 중급 : 기사 4년 이상, 석사 3년, 학사 6년, 전문대 9년 이상

․ 초급 : 기사, 석사, 학사, 전문대졸 이상 경력 등

[R26BK01803245] 초고진공 초전도 금속 박막 전자빔 증착 시스템_262387

상세 정보

📄 공고문 전문 첨부 「KAIST 물품 구매 입찰 공고서_규격가격동시입찰_초고진공 초전도 금속 박막 전자빔 증착 시스템_262387_최종.hwpx」에서 추출 · 원문 파일이 우선합니다

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