[R26BK01543919] Ion energy analyser

규 격 서 (구매, 제조․제작 요청용)
요청 내역 품명 Ion energy analyser 모델 Semion single sensor system 1Set 추정금액 (부가세 포함)
79,750,000 원 기본 구성 사양 (세부 규격) ■ Ion energy analyser Semion single-sensor system (1ea sensor) Ion energy, Ion flex, Negative Ion/ 1 location Vdc average Semion electronics 0-2500 eV Semion software suite Semion advanced vacuum Al anodized surface:horder+sensors Holder diameter:50mm Time averaged measurements Time trend measurements Measurement Contour Graph 기타(유의) 사항 ○ 하자보증기간: 1년
납품 관련 사항 납기 완료 요구일
2026년 09월 30일 납품 장소 플라즈마기술연구소 본관동 L305호 (전라북도 군산시 오식도동 소재)
문의처 물품 관련 사항
핵융합응용그룹 ([email protected] / 063-440-4239)
구매 사유 및 활용 용도 이온에너지분석기는 플라즈마 내 이온의 에너지 분포와 이온 플럭스를 실시간으로 측정할 수 있는 핵심 진단 장비임. 플라즈마 공정에서는 이온 에너지가 박막 성장, 식각, 표면 개질, 결함 형성, 계면 특성 변화 등에 직접적인 영향을 미치기 때문에, 공정 조건을 정량적으로 이해하고 최적화하기 위해서는 이온 에너지에 대한 정확한 분석이 필수적임. 특히 본 장비는 휴대형 시스템으로 구성되어 있어 특정 장비에 고정하지 않고, 보유 중인 다양한 플라즈마 연구장비에 적용할 수 있음. 따라서 단일 시스템을 여러 연구 장비에 공용으로 활용할 수 있어 장비 활용성이 높고, 연구 효율성 및 예산 활용 측면에서도 매우 적합함. 또한 이온에너지분석기를 활용하면 플라즈마 조건 변화에 따른 이온 에너지 및 플럭스 변화를 실시간으로 확인할 수 있어, 공정 재현성 확보, 실험 조건 표준화, 플라즈마-기판 상호작용 분석 등에 효과적으로 활용할 수 있음. 따라서 본 장비는 플라즈마 기반 공정 최적화와 신소재 연구의 신뢰성 향상을 위해 반드시 필수적인 장비임.