===== 1. 입찰공고서_세정장비.hwp =====
입찰공고(제2026–061호)
▣ 공고명 : 300mm 웨이퍼 매엽식 자동 세정 장비
입찰에 참가하고자 하는 자는 아래의 입찰설명서(공고서, 규격서, 사양서 및 관련 규정 등)를 반드시 열람하여 그 내용을 숙지한 후 입찰에 참가하여야 하며 미숙지에 따른 책임은 입찰자에게 있습니다. 이 입찰과 관련하여 추가 문의사항이 있으면 아래 담당자에게 연락주시기 바랍니다.
◦ 입찰 참가자격 등록, 나라장터시스템 : 정부조달 콜센터(1588-0800)
◦ 입찰참가자격, 시방서 등(수요부서) : 나노공정기술실 이기성(042-366-1534)
◦ 입찰공고, 계약방법 등(구매부서) : 재무회계실 이광연(042-366-2021)
< 본 계약은 청렴계약(서약)제가 적용됩니다 >
본 계약은「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」제5조의2에 따른 청렴계약제가 적용됩니다. 입찰자는 반드시 입찰서 제출 시 아래의 청렴계약서에 관한 내용을 숙지·승낙하여야 하며, 동 내용을 위반한 경우 발주기관의 조치에 대하여 어떠한 이의도 제기할 수 없습니다.
「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」제5조의2에 따라 본 입찰에 참여한 당사 대리인과 임직원은 입찰․낙찰, 계약체결 또는 계약이행 등의 과정(준공․납품 이후를 포함한다)에서 아래 각 호의 청렴계약 조건을 준수할 것이며, 이를 위반할 때에는 입찰․낙찰을 취소하거나 계약을 해제․해지하는 등의 불이익을 감수하고, 이에 민․형사상 이의를 제기하지 않을 것임을 약정합니다.
1. 금품․향응 등(친인척 등에 대한 부정한 취업 제공 포함)을 요구 또는 약속하거나 수수(授受)하지 않겠습니다.
2. 입찰가격의 사전 협의 또는 특정인의 낙찰을 위한 담합 등 공정한 경쟁을 방해하는 행위를 하지 않겠습니다.
3. 공정한 직무수행을 방해하는 알선․청탁을 통하여 입찰 또는 계약과 관련된 특정 정보의 제공을 요구하거나 받는 행위를 하지 않겠습니다.
4.「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」제4조의2제1항제2호 위반 시에 아래의 손해배상액을 납부토록 하겠습니다.
- 입찰자 : 입찰금액의 100분의 5 - 계약상대자 : 계약금액의 100분의 10 1. 입찰개요
1.1. 공고(사업)명 : 300mm 웨이퍼 매엽식 자동 세정 장비
1.2. 사양(규격) 및 수량 : 제안요청서 및 구매사양서 참고
1.3. 사업예산 : 1,930,000,000원(VAT 포함)
1.4. 기초금액 : 1,891,400,000원(VAT 포함)
1.5. 계약방법 : 제한경쟁입찰(실적제한) 1.6. 낙찰자결정방법 : 규격가격동시
1.7. 계약기간 : 계약일부터 2027년 8월 31일까지
1.8. 납품장소 및 인도조건 : 나노종합기술원 / 현장(지정장소) 설치도
1.9. 공동수급 등 : 공동수급 및 하도급 불가
2. 입찰 일시 및 장소
2.1. 입찰방식 : 전자입찰(나라장터 온라인 제출 / 가격입찰서, 제안서 등)
2.2. 입찰서 제출 시작일시 : 2026.09.09. 10:00
2.3. 입찰서 제출 마감일시 : 2026.09.17. 10:00
2.4. 개찰일시 : 2026.09.17. 11:00
2.5. 개찰장소 : 국가종합전자조달시스템(나라장터)
2.6. 개찰은 제안서 평가 이후에 진행됩니다.
2.7. 기술원은 참가자격 및 제출서류 등에 대한 적정성 여부를 개찰 이후에도 판정할 수 있습니다.
3. 입찰참가자격
3.1. 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률시행령」 제12조(경쟁입찰의 참가자격) 및 동법 시행규칙 제14조(입찰참가자격요건의 증명)의 자격요건을 갖춘 자
3.2. 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」 제27조 및 동법 시행령 제76조(부정당업자의 입찰참가자격제한)에 의한 부정당업자에 해당하지 않는 자
3.3. 은행관리, 부도 또는 법정관리, 화의개시 중에 있지 않고 국가, 지방자치단체, 정부출연 및 투자기관에 부정당업체로 제재를 받지 않은 자
3.4. 「국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정」에 의하여 반드시 전자입찰서 제출 마감일 전일(18:00)까지 나라장터(G2B시스템)에 입찰참가자격을 등록한 자
3.5. 본 입찰에 참여하고자 하는 자는 최근 5년 이내 300mm 웨이퍼 매엽식 세정 장비 납품실적을 1건 이상 보유한 자
3.5.1. 실적심사는 제안서에 포함된 실적증빙 자료를 통해서 확인합니다.
3.5.2. 납품(계약) 실적이 없는 경우 ‘입찰참가자격’ 없음으로 처리합니다.
4. 입찰신청(투찰) 및 입찰서류 제출
4.1. 본 입찰은 전자입찰로만 집행하며, 입찰서는 국가종합전자조달시스템 (www.g2b.go.kr)의 전자 입찰시스템을 이용하여 제출하여야 합니다.
4.1.1. 본 입찰은 부가가치세를 포함한 가격으로 투찰하여야 합니다.
4.1.2. 면세사업자 및 영세율을 적용받는 사업자는 반드시 부가가치세를 포함한 가격으로 투찰하여야 하며, 최종 계약 시에는 부가세를 제외한 금액으로 계약을 체결합니다
4.2. 입찰서류 제출방법: 전자제출(나라장터)
4.2.1. 나라장터 > 입찰 > 입찰진행/참가 화면 투찰버튼 클릭 > 입찰서류제출현황 팝업 > 제안서제출 바로가기 > 파일 첨부 후 제출
4.2.2. 나라장터를 통해서 제출하는 제안서류 일체는 PDF 파일 형식으로 제출하여야 하며, 총 용량은 300MB를 초과할 수 없습니다.
4.2.3. 나라장터 이용시 문제가 있는 경우 국가종합전자조달시스템 콜센터(1585-0800)로 문의하시기 바랍니다.
4.3. 입찰서류 구분 서류명 비 고 입찰참가 자격 확인 서류 등 (1.~4. 까지 1개 PDF 파일로 제출) 1. 사업자등록증명서(원본) 1부 국세청 홈택스 발급 2. 서약서 1부 공고서(하단) 서식 참고 3. 청렴계약 이행확약서 1부 공고서(하단) 서식 참고 4. 퇴직자 영입현황 확인서 1부 공고서(하단) 서식 참고 제안서 (1개 PDF파일로 제출) 제안서 1부
- 유사계약수행실적, 실적증명서 및 증빙자료(전자세금계산서, 발주서 등) 필수 제출
제안요청서 평가기준 및 제안서 목차를 참고하여 제안서 작성 서식을 활용하여 작성(※ 제안서 목차를 준수하며 자율양식으로도 작성 가능)
4.4. 제출 서류가 허위인 경우 평가대상 제외, 계약을 해제할 수 있으며 이에 대한 손해배상의 책임이 있습니다.
5. 입찰, 계약, 하자보수 보증금 납부 및 귀속
5.1. 입찰보증금의 납부
5.1.1. 입찰자가 아래에 해당하는 경우에는 입찰금액의 100분의 5이상(「국가계약법 시행령」 제37조 제1항 단서조항에 따른 기획재정부장관이 기간을 정하여 고시한 경우에는 1천분의 25이상)의 입찰보증금을 납부 하여야 합니다.
5.1.1.1. 신용정보 관리규약에 의한 채무불이행 또는 금융질서 문란자
5.1.1.2. 입찰공고일 이전 1년 이내에 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」 제76조제1항제2호가목의 사유로 입찰참가자격 제한을 받은 자(입찰참가자격 제한 기간 중인 경우를 포함한다.)
5.2. (입찰보증금 납부면제) 위 사항을 제외하고는 본 입찰에서 입찰보증금의 납부는 면제하되, 입찰보증금 지급각서를 제출하여야 합니다.
5.3. (입찰보증금 지급각서 제출방법) 전자입찰(나라장터) 시 정해진 서식에 따라 송신한 입찰서로 갈음합니다. (별도 서류제출 필요없음)
5.4. (입찰보증금 국고귀속 등) 낙찰자가 정해진 기일 내에 계약을 체결하지 아니한 경우, 입찰보증금은 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률시행령」제38조(「지방자치단체를 당사자로 하는 계약에 관한 법률시행령」제38조)에 의해 조치되며, 부정당업자 제재를 받게 됩니다.
5.5. (계약보증금의 납부) 「국가계약법 시행령」제50조 제1항 및 나노종합기술원 「계약업무요령」 제11조에서 정한 계약보증금을 납부하여야 합니다.
5.6. (하자보수보증금의 납부) 「국가계약법 시행령」제62조 제1항 및 나노종합기술원 「계약업무요령」 제13조에서 정한 하자보수보증금을 납부하여야 합니다.
6. 입찰의 무효
6.1. 『국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령』 제39조제4항, 동 시행규칙 제44조 및 『계약예규』 입찰유의서 중 입찰의 무효 조항에 해당하는 경우 해당 입찰은 무효로 합니다.
6.2. 기술원은 참가자격 및 제출서류 등에 대한 적정성(적합) 여부를 개찰 이후에도 판정할 수 있으며, 개찰 이후에도 적정성(적합) 검토가 부적합으로 판정되는 자의 입찰은 무효로 처리합니다.
7. 낙찰자 결정 방법 및 예정가격 7.1. 낙찰자결정방법 : 규격가격동시
7.2. 규격(기술) 적격자 중 예정가격 이하 최저가 입찰자를 낙찰자로 합니다.
7.3. 규격(기술)평가에 대한 심사위원명단, 심사결과는 공개하지 않으며, 입찰자는 이의를 제기할 수 없습니다.
7.4. 2인 이상 유효한 입찰이 성립한 경우 규격입찰서 심사결과 적격자가 1인인 경우에도 규격적격자의 가격입찰서를 개찰하여 낙찰자를 선정합니다.
7.5. 개찰결과 동일가격으로 입찰한 자가 2인 이상인 경우에도 규격 또는 기술 우위자를 낙찰자로 결정하며 규격 또는 기술평가 결과도 같은 때에는 추첨에 의하여 낙찰자를 결정합니다.
7.6. 예정가격은 예비가격기초금액 기준 ± 2% 범위 내에서 작성된 15개의 예비가격 중 입찰에 참여하는 각 업체가 추첨(2개씩 선택)한 번호 중 가장 많이 선택된 번호 4개를 산술 평균한 가격으로 합니다.
7.7. 낙찰자가 정당한 사유없이 계약에 불응하거나 부도 중에 있는 업체 및 부정당업자 제재기간 중에 있는 업체가 낙찰자로 선정될 경우에는 차순위 입찰자를 낙찰자로 결정합니다.
8. 유의사항
8.1. 입찰참가자는 국가종합전자조달시스템 전자입찰특별유의서, 공사입찰특별유의서, 기획재정부 계약예규, 입찰공고 및 규격서(제안서 등) 등을 사전에 숙지하고 입찰에 응하기 바라며, 미 숙지로 인한 책임은 입찰자에게 있습니다.
8.2. 본 입찰에 참가하고자 하는 자는 청렴계약 이행을 위한 청렴계약입찰 특별유의서 및 청렴계약특수조건을 사전에 숙지하여야 하며, 입찰에 참여하는 업체는 입찰서류 제출을 청렴계약 이행확약서를 제출한 것으로 간주하고, 낙찰자로 선정된 자는 청렴계약이행확약서를 계약 시 제출하여야 합니다. 입찰서류제출 항목에 포함되어 미리 제출한 경우라도 추가제출을 요청하는 경우 제출해야 합니다.
8.3. 낙찰자로 선정된 자는 계약 시 나노종합기술원에서 퇴직 후 2년 이내인 자에 대한‘퇴직자 영입현황 확인서’를 제출하여야 합니다. 입찰서류제출 항목에 포함되어 미리 제출한 경우라도 추가제출을 요청하는 경우 제출하야 합니다.
8.4. 낙찰자로 선정된 자가 수의계약으로 계약을 체결하는 경우 공직자의 이해충돌 방지제도 운영지침에 의해 ‘수의계약 체결 제한 여부 확인서’를 제출하여야 합니다.
8.5. 「중대재해·처벌 등에 관한 법률」제정·시행에 따른 준수사항 안내
8.5.1. 수요기관 및 계약상대자는 계약체결 이후 「중대재해처벌법」 제4조 및 제5조에 규정된 안전·보건과 관련된 의무를 준수하여야 하며, 입찰자는 현장여건, 과업내용 등을 미리 확인하여 이와 관련된 제반비용을 입찰가격에 반영하여야 합니다.
8.5.2. 수요기관은 「중대재해처벌법 시행령」 제4조 제9호에 따라 계약상대자가 동 법 제4조 및 제5조에 규정된 안전·보건과 관련된 의무를 준수하는지 평가·점검할 수 있으며, 계약상대자는 수요기관이 평가·점검을 실시하는 경우 이에 협조하여야 합니다.
8.5.3. 수요기관은 계약상대자가 안전·보건 확보에 필요한 조치를 소홀히 하거나 이행여부에 대한 점검 결과 보완 및 조치 등이 필요한 경우에는 계약상대자에게 이에 대한 시정을 요구할 수 있습니다.
8.6. 입찰 및 계약 관련 부패행위나 불공정행위 등이 발생한 경우에는 나노종합기술원 홈페이지(www.nnfc.re.kr)-정보마당-신고센터-청렴부패신고 Hot-line 및 이메일 등으로 신고해 주시기를 바랍니다.
9. 보충정보 제공처
9.1. (물품사양 등) 나노공정기술실 이기성(042-366-1534, [email protected])
9.2. (입찰/계약 절차 등) 재무회계실 이광연(042-366-2021, [email protected])
위와 같이 공고합니다. 2026. 9. 9. 나 노 종 합 기 술 원 장 [붙임1]
서
약
서
나노종합기술원에서 시행하는 “ ㅇㅇㅇㅇㅇㅇㅇㅇ(공고명 기입) ”사업자 선정 제안서 평가와 관련, 아래의 내용을 준수할 것을 서약합니다.
제출된 제안서를 포함한 모든 서류와 증빙자료는 상호 일치하고 사실에 근거하며 신의와 성실의 원칙에 입각하여 작성하여 제출하며, 만일 제출한 자료와 발표내용이 부정한 방법으로 작성되었거나 허위로 판명될 경우에는 참가 자격에서 제외하여도 아무런 이의를 제기하지 않겠습니다.
제안서 평가를 위해 구성된 평가위원 구성, 평가방법, 평가기준, 평가결과에 대하여 일체의 이의를 제기하지 않겠습니다.
2026.
.
.
주 소 : 회사명 :
대표자 :
(인)
나노종합기술원장 귀하 [붙임2] 청렴계약 이행확약서
제1조(목적) 이 청렴계약이행확약서는 나노종합기술원과 계약자가 체결하는 물품구매․용역․공사 계약에 있어 계약일반 조건 외에 청렴계약을 위한 내용을 특별히 규정함을 목적으로 한다.
제2조(청렴계약이행 준수의무) ①물품․용역․공사 등의 입찰에서 청렴계약 이행각서를 제출하고 계약체결 하거나 계약 체결 할 상대자는 계약체결 또는 계약이행(준공 이후도 포함)과 관련하여 어떠한 명분으로도 관계 직원에게 직․ 간접적으로 금품․향응 등의 부당한 이익을 제공하여서는 아니 된다.
제3조(부정당업자의 입찰참가자격 제한) ①입찰에 참가하는 자가 입찰가격이나 특정인의 낙찰을 위하여 담합 등 불공정 행위를 하였을 때에는 다음 각 호의 어느 하나에서 정하는 바에 따라 나노종합기술원에서 시행하는 입찰에 참가 제한을 받게 된다.
1. 경쟁입찰에서 담합을 주도하여 낙찰을 받은 자는 입찰참가자격 제한 처분을 받은 날로부터 2년 동안 입찰에 참가하지 못한다.
2. 경쟁입찰에서 담합을 주도한 자는 입찰참가자격 제한 처분을 받은 날로부터 1년 동안 입찰에 참가하지 못한다.
3. 경쟁입찰에서 입찰자 간에 서로 상의하여 미리 입찰가격을 협정하거나 특정인의 낙찰을 위하여 담합한 자는 입찰 참가자격 제한 처분을 받은 날로부터 6월 동안 입찰에 참가하지 못한다.
② 입찰담합 등 불공정행위를 한 경우에는 제1항과 병행하여 「독점규제 및 공정거래에 관한 법령」에 따라 공정 거래위원회에 고발 등 조치를 하는데 일체 이의를 제기하지 않는다.
③ 입찰․낙찰, 계약체결 또는 계약이행 과정(준공 이후 포함)에서 관계 직원에게 직․간접적으로 금품, 향응 등 부당한 이익을 제공하지 않겠으며 이를 위반하였을 때에는 다음 각 호의 어느 하나에서 정하는 바에 따라 나노종합기술원에서 시행하는 입찰에 참가제한을 받게 된다.
1. 2억원 이상의 뇌물을 준 자는 입찰참가자격 제한 처분을 받은 날로부터 2년 동안 입찰에 참가하지 못한다.
2. 1억원 이상 2억원 미만의 뇌물을 준 자는 입찰참가자격 제한 처분을 받은 날로부터 1년 동안 입찰에 참가 하지 못한다.
3. 1천만원 이상 1억원 미만의 뇌물을 준 자는 입찰참가자격 제한 처분을 받은 날로부터 6개월 동안 입찰에 참가하지 못한다.
4. 1천만원 미만의 뇌물을 준 자는 입찰참가자격 제한 처분을 받은 날로부터 3개월 동안 입찰에 참가하지 못한다.
④ 제1항부터 제3항에 따라 입찰참가자격을 제한하는 기술원으로 부터 처분을 받은 자는 나노종합기술원을 상대로 손해배상을 청구하거나 배제하는 입찰에 관하여 민․형사상 이의를 제기하지 않는다.
제4조(계약해지 등) ① 입찰, 낙찰, 수의시담, 계약체결 또는 계약이행(준공 이후도 포함)과 관련하여 관계 직원에게 금품, 향응 등을 제공한 자는 다음 각 호의 어느 하나에서 정하는 바에 따라 해당 계약에 대한 조치를 받는다.
1. 계약체결 이후 착공전의 경우에는 해당 계약을 해제한다. 다만, 나노종합기술원의 사업수행 상 부득이 한 경우에는 그러하지 아니할 수 있다.
2. 계약이행 이후에는 계약의 전부 또는 일부를 해제 또는 해지한다. 다만, 계약대상물의 성격, 진도, 규모, 이행 기간 등을 감안하여 부득이한 경우에는 그러하지 아니할 수 있다.
3. 계약자는 제1호부터 제2호에 따른 나노종합기술원의 처리에 대하여 민․형사상 일체 이의를 제기하지 않는다.
제5조(기타사항) ①계약자는 자사의 임․직원(하도급업체나 하도급업체와 직․간접적으로 업무를 수행하는 자를 포함)과 대리인이 관계 직원에게 뇌물을 제공하거나 담합 등 불공정행위를 하지 않도록 하는 업체윤리강령과 내부비리 제보자에 대하여도 일체의 불이익 처분을 하지 않는 사규를 제정하도록 적극 노력한다.
2026년
월
일
확약자 주 소 : 회사명 :
대표자 :
(인)
나노종합기술원장 귀하 [붙임3] 퇴직자 영입현황 확인서 □ 공고번호 : □ 입찰건명 :
1. 나노종합기술원 퇴직자(퇴직 후 2년이 경과하지 아니한 자)가 당사에 대표 이사 또는 임직원으로 (□ 근무를 하고, □ 근무를 하지 않고) 있습니다.
※ 상기 박스(□)에 체크(√)하고, 근무를 하는 경우 아래 표 작성
성
명
소
속
퇴직당시 직위 퇴직당시 근무부서 퇴직일
2. 상기 입찰에 있어 위에 제출한 내용은 사실이며, 만약 사실과 다를 경우(축소, 누락 포함)에는 부정당업자로 입찰참가자격 제한조치 등의 불이익 처분을 받더라도 일체의 이의를 제기하지 아니할 것을 확약하고 이에 확인서를 제출합니다.
년
월
일
회 사 명 :
대 표 자 :
(인)
나노종합기술원장 귀하
===== 1. 입찰공고서_세정장비.pdf =====
입찰공고(제2026–061호)
▣ 공고명 : 300mm 웨이퍼 매엽식 자동 세정 장비
입찰에 참가하고자 하는 자는 아래의 입찰설명서(공고서, 규격서, 사양서 및 관련
규정 등)를 반드시 열람하여 그 내용을 숙지한 후 입찰에 참가하여야 하며 미숙지에
따른 책임은 입찰자에게 있습니다. 이 입찰과 관련하여 추가 문의사항이 있으면 아
래 담당자에게 연락주시기 바랍니다.
◦ 입찰 참가자격 등록, 나라장터시스템 : 정부조달 콜센터(1588-0800)
◦ 입찰참가자격, 시방서 등(수요부서) : 나노공정기술실 이기성(042-366-1534)
◦ 입찰공고, 계약방법 등(구매부서) : 재무회계실 이광연(042-366-2021)
< 본 계약은 청렴계약(서약)제가 적용됩니다 >
본 계약은「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」제5조의2에 따른 청렴계약제가 적용
됩니다. 입찰자는 반드시 입찰서 제출 시 아래의 청렴계약서에 관한 내용을 숙지·승낙하여야
하며, 동 내용을 위반한 경우 발주기관의 조치에 대하여 어떠한 이의도 제기할 수 없습니다.
「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」제5조의2에 따라 본 입찰에 참여한 당사
대리인과 임직원은 입찰․낙찰, 계약체결 또는 계약이행 등의 과정(준공․납품 이후를
포함한다)에서 아래 각 호의 청렴계약 조건을 준수할 것이며, 이를 위반할 때에는 입찰․
낙찰을 취소하거나 계약을 해제․해지하는 등의 불이익을 감수하고, 이에 민․형사상
이의를 제기하지 않을 것임을 약정합니다.
1. 금품․향응 등(친인척 등에 대한 부정한 취업 제공 포함)을 요구 또는 약속하
거나 수수(授受)하지 않겠습니다.
2. 입찰가격의 사전 협의 또는 특정인의 낙찰을 위한 담합 등 공정한 경쟁을 방
해하는 행위를 하지 않겠습니다.
3. 공정한 직무수행을 방해하는 알선․청탁을 통하여 입찰 또는 계약과 관련된 특
정 정보의 제공을 요구하거나 받는 행위를 하지 않겠습니다.
4.「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」제4조의2제1항제2호 위반 시에 아래
의 손해배상액을 납부토록 하겠습니다.
- 입찰자 : 입찰금액의 100분의 5
- 계약상대자 : 계약금액의 100분의 10
1. 입찰개요
1.1. 공고(사업)명 : 300mm 웨이퍼 매엽식 자동 세정 장비
1.2. 사양(규격) 및 수량 : 제안요청서 및 구매사양서 참고
1.3. 사업예산 : 1,930,000,000원(VAT 포함)
1.4. 기초금액 : 1,891,400,000원(VAT 포함)
1.5. 계약방법 : 제한경쟁입찰(실적제한)
1.6. 낙찰자결정방법 : 규격가격동시
1.7. 계약기간 : 계약일부터 2027년 8월 31일까지
1.8. 납품장소 및 인도조건 : 나노종합기술원 / 현장(지정장소) 설치도
1.9. 공동수급 등 : 공동수급 및 하도급 불가
2. 입찰 일시 및 장소
2.1. 입찰방식 : 전자입찰(나라장터 온라인 제출 / 가격입찰서, 제안서 등)
2.2. 입찰서 제출 시작일시 : 2026.09.09. 10:00
2.3. 입찰서 제출 마감일시 : 2026.09.17. 10:00
2.4. 개찰일시 : 2026.09.17. 11:00
2.5. 개찰장소 : 국가종합전자조달시스템(나라장터)
2.6. 개찰은 제안서 평가 이후에 진행됩니다.
2.7. 기술원은 참가자격 및 제출서류 등에 대한 적정성 여부를 개찰 이후에도
판정할 수 있습니다.
3. 입찰참가자격
3.1. 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률시행령」 제12조(경쟁입찰의 참
가자격) 및 동법 시행규칙 제14조(입찰참가자격요건의 증명)의 자격요건을
갖춘 자
3.2. 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」 제27조 및 동법 시행
령 제76조(부정당업자의 입찰참가자격제한)에 의한 부정당업자에 해당하지
않는 자
3.3. 은행관리, 부도 또는 법정관리, 화의개시 중에 있지 않고 국가, 지방자치단
체, 정부출연 및 투자기관에 부정당업체로 제재를 받지 않은 자
3.4. 「국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정」에 의하여 반드시 전자
입찰서 제출 마감일 전일(18:00)까지 나라장터(G2B시스템)에 입찰참가자격
을 등록한 자
3.5. 본 입찰에 참여하고자 하는 자는 최근 5년 이내 300mm 웨이퍼 매엽식 세
정 장비 납품실적을 1건 이상 보유한 자
3.5.1. 실적심사는 제안서에 포함된 실적증빙 자료를 통해서 확인합니다.
3.5.2. 납품(계약) 실적이 없는 경우 ‘입찰참가자격’ 없음으로 처리합니다.
4. 입찰신청(투찰) 및 입찰서류 제출
4.1. 본 입찰은 전자입찰로만 집행하며, 입찰서는 국가종합전자조달시스템
(www.g2b.go.kr)의 전자 입찰시스템을 이용하여 제출하여야 합니다.
4.1.1. 본 입찰은 부가가치세를 포함한 가격으로 투찰하여야 합니다.
4.1.2. 면세사업자 및 영세율을 적용받는 사업자는 반드시 부가가치세를 포함한 가격으
로 투찰하여야 하며, 최종 계약 시에는 부가세를 제외한 금액으로 계약을 체결합
니다
4.2. 입찰서류 제출방법: 전자제출(나라장터)
4.2.1. 나라장터 > 입찰 > 입찰진행/참가 화면 투찰버튼 클릭 >
입찰서류제출현황 팝업 > 제안서제출 바로가기 > 파일 첨부 후 제출
4.2.2. 나라장터를 통해서 제출하는 제안서류 일체는 PDF 파일 형식으로 제출
하여야 하며, 총 용량은 300MB를 초과할 수 없습니다.
4.2.3. 나라장터 이용시 문제가 있는 경우 국가종합전자조달시스템 콜센터(1585-0800)
로 문의하시기 바랍니다.
4.3. 입찰서류
구분
서류명
입찰참가
자격 확인
서류 등
(1.~4. 까지
1개 PDF
파일로
제출)
제안서
(1개
PDF파일로
제출)
비 고 1. 사업자등록증명서(원본) 1부 국세청 홈택스 발급 2. 서약서 1부 공고서(하단) 서식 참고 3. 청렴계약 이행확약서 1부 공고서(하단) 서식 참고 4. 퇴직자 영입현황 확인서 1부 공고서(하단) 서식 참고
제안요청서 평가기준 및 제안서
1. 제안서 1부
목차를 참고하여 제안서 작성
- 유사계약수행실적, 실적증명서 및 증빙자
서식을 활용하여 작성(※ 제안서
료(전자세금계산서, 발주서 등) 필수 제
목차를 준수하며 자율양식으로
출
도 작성 가능)
4.4. 제출 서류가 허위인 경우 평가대상 제외, 계약을 해제할 수 있으며 이에
대한 손해배상의 책임이 있습니다.
5. 입찰, 계약, 하자보수 보증금 납부 및 귀속
5.1. 입찰보증금의 납부
5.1.1. 입찰자가 아래에 해당하는 경우에는 입찰금액의 100분의 5이상(「국가계약법
시행령」 제37조 제1항 단서조항에 따른 기획재정부장관이 기간을 정하여 고
시한 경우에는 1천분의 25이상)의 입찰보증금을 납부 하여야 합니다.
5.1.1.1. 신용정보 관리규약에 의한 채무불이행 또는 금융질서 문란자
5.1.1.2. 입찰공고일 이전 1년 이내에 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행
령」 제76조제1항제2호가목의 사유로 입찰참가자격 제한을 받은 자(입찰참가
자격 제한 기간 중인 경우를 포함한다.)
5.2. (입찰보증금 납부면제) 위 사항을 제외하고는 본 입찰에서 입찰보증금의 납부
는 면제하되, 입찰보증금 지급각서를 제출하여야 합니다.
5.3. (입찰보증금 지급각서 제출방법) 전자입찰(나라장터) 시 정해진 서식에 따라 송신
한 입찰서로 갈음합니다. (별도 서류제출 필요없음)
5.4. (입찰보증금 국고귀속 등) 낙찰자가 정해진 기일 내에 계약을 체결하지 아
니한 경우, 입찰보증금은 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률시행
령」제38조(「지방자치단체를 당사자로 하는 계약에 관한 법률시행령」제
38조)에 의해 조치되며, 부정당업자 제재를 받게 됩니다.
5.5. (계약보증금의 납부) 「국가계약법 시행령」제50조 제1항 및 나노종합기술원
「계약업무요령」 제11조에서 정한 계약보증금을 납부하여야 합니다.
5.6. (하자보수보증금의 납부) 「국가계약법 시행령」제62조 제1항 및 나노종합기술
원 「계약업무요령」 제13조에서 정한 하자보수보증금을 납부하여야 합니다.
6. 입찰의 무효
6.1. 『국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령』 제39조제4항, 동 시행
규칙 제44조 및 『계약예규』 입찰유의서 중 입찰의 무효 조항에 해당하는
경우 해당 입찰은 무효로 합니다.
6.2. 기술원은 참가자격 및 제출서류 등에 대한 적정성(적합) 여부를 개찰 이후
에도 판정할 수 있으며, 개찰 이후에도 적정성(적합) 검토가 부적합으로 판
정되는 자의 입찰은 무효로 처리합니다.
7. 낙찰자 결정 방법 및 예정가격
7.1. 낙찰자결정방법 : 규격가격동시
7.2. 규격(기술) 적격자 중 예정가격 이하 최저가 입찰자를 낙찰자로 합니다.
7.3. 규격(기술)평가에 대한 심사위원명단, 심사결과는 공개하지 않으며, 입찰자
는 이의를 제기할 수 없습니다.
7.4. 2인 이상 유효한 입찰이 성립한 경우 규격입찰서 심사결과 적격자가 1인인
경우에도 규격적격자의 가격입찰서를 개찰하여 낙찰자를 선정합니다.
7.5. 개찰결과 동일가격으로 입찰한 자가 2인 이상인 경우에도 규격 또는 기술
우위자를 낙찰자로 결정하며 규격 또는 기술평가 결과도 같은 때에는 추
첨에 의하여 낙찰자를 결정합니다.
7.6. 예정가격은 예비가격기초금액 기준 ± 2% 범위 내에서 작성된 15개의 예
비가격 중 입찰에 참여하는 각 업체가 추첨(2개씩 선택)한 번호 중 가장 많이
선택된 번호 4개를 산술 평균한 가격으로 합니다.
7.7. 낙찰자가 정당한 사유없이 계약에 불응하거나 부도 중에 있는 업체 및 부정
당업자 제재기간 중에 있는 업체가 낙찰자로 선정될 경우에는 차순위 입찰
자를 낙찰자로 결정합니다.
8. 유의사항
8.1. 입찰참가자는 국가종합전자조달시스템 전자입찰특별유의서, 공사입찰특별유
의서, 기획재정부 계약예규, 입찰공고 및 규격서(제안서 등) 등을 사전에 숙
지하고 입찰에 응하기 바라며, 미 숙지로 인한 책임은 입찰자에게 있습니다.
8.2. 본 입찰에 참가하고자 하는 자는 청렴계약 이행을 위한 청렴계약입찰 특별
유의서 및 청렴계약특수조건을 사전에 숙지하여야 하며, 입찰에 참여하는
업체는 입찰서류 제출을 청렴계약 이행확약서를 제출한 것으로 간주하고,
낙찰자로 선정된 자는 청렴계약이행확약서를 계약 시 제출하여야 합니다.
입찰서류제출 항목에 포함되어 미리 제출한 경우라도 추가제출을 요청하는
경우 제출해야 합니다.
8.3. 낙찰자로 선정된 자는 계약 시 나노종합기술원에서 퇴직 후 2년 이내인 자
에 대한‘퇴직자 영입현황 확인서’를 제출하여야 합니다. 입찰서류제출
항목에 포함되어 미리 제출한 경우라도 추가제출을 요청하는 경우 제출하
야 합니다.
8.4. 낙찰자로 선정된 자가 수의계약으로 계약을 체결하는 경우 공직자의 이해
충돌 방지제도 운영지침에 의해 ‘수의계약 체결 제한 여부 확인서’를
제출하여야 합니다.
8.5. 「중대재해·처벌 등에 관한 법률」제정·시행에 따른 준수사항 안내
8.5.1. 수요기관 및 계약상대자는 계약체결 이후 「중대재해처벌법」 제4조 및
제5조에 규정된 안전·보건과 관련된 의무를 준수하여야 하며, 입찰자는
현장여건, 과업내용 등을 미리 확인하여 이와 관련된 제반비용을 입찰가
격에 반영하여야 합니다.
8.5.2. 수요기관은 「중대재해처벌법 시행령」 제4조 제9호에 따라 계약상대자
가 동 법 제4조 및 제5조에 규정된 안전·보건과 관련된 의무를 준수하
는지 평가·점검할 수 있으며, 계약상대자는 수요기관이 평가·점검을
실시하는 경우 이에 협조하여야 합니다.
8.5.3. 수요기관은 계약상대자가 안전·보건 확보에 필요한 조치를 소홀히 하거
나 이행여부에 대한 점검 결과 보완 및 조치 등이 필요한 경우에는 계약
상대자에게 이에 대한 시정을 요구할 수 있습니다.
8.6. 입찰 및 계약 관련 부패행위나 불공정행위 등이 발생한 경우에는 나노종합
기술원 홈페이지(www.nnfc.re.kr)-정보마당-신고센터-청렴부패신고 Hot-lin
e 및 이메일 등으로 신고해 주시기를 바랍니다.
9. 보충정보 제공처
9.1. (물품사양 등) 나노공정기술실 이기성(042-366-1534, [email protected])
9.2. (입찰/계약 절차 등) 재무회계실 이광연(042-366-2021, [email protected])
위와 같이 공고합니다. 2026. 9. 9. 나 노 종 합 기 술 원 장 [붙임1] 서 약 서
나노종합기술원에서 시행하는 “ ㅇㅇㅇㅇㅇㅇㅇㅇ(공고명 기입) ”사업자
선정 제안서 평가와 관련, 아래의 내용을 준수할 것을 서약합니다.
제출된 제안서를 포함한 모든 서류와 증빙자료는 상호 일치하고 사실
에 근거하며 신의와 성실의 원칙에 입각하여 작성하여 제출하며, 만일
제출한 자료와 발표내용이 부정한 방법으로 작성되었거나 허위로 판명
될 경우에는 참가 자격에서 제외하여도 아무런 이의를 제기하지 않겠
습니다.
제안서 평가를 위해 구성된 평가위원 구성, 평가방법, 평가기준, 평가결
과에 대하여 일체의 이의를 제기하지 않겠습니다.
2026.
주 소 :
회사명 :
대표자 :
. . (인) 나노종합기술원장 귀하 [붙임2]
청렴계약 이행확약서
제1조(목적) 이 청렴계약이행확약서는 나노종합기술원과 계약자가 체결하는 물품구매․용역․공사 계약에 있어 계약일반
조건 외에 청렴계약을 위한 내용을 특별히 규정함을 목적으로 한다.
제2조(청렴계약이행 준수의무) ①물품․용역․공사 등의 입찰에서 청렴계약 이행각서를 제출하고 계약체결 하거나 계약
체결 할 상대자는 계약체결 또는 계약이행(준공 이후도 포함)과 관련하여 어떠한 명분으로도 관계 직원에게 직․
간접적으로 금품․향응 등의 부당한 이익을 제공하여서는 아니 된다.
제3조(부정당업자의 입찰참가자격 제한) ①입찰에 참가하는 자가 입찰가격이나 특정인의 낙찰을 위하여 담합 등
불공정 행위를 하였을 때에는 다음 각 호의 어느 하나에서 정하는 바에 따라 나노종합기술원에서 시행하는
입찰에 참가 제한을 받게 된다.
1. 경쟁입찰에서 담합을 주도하여 낙찰을 받은 자는 입찰참가자격 제한 처분을 받은 날로부터 2년 동안 입찰에
참가하지 못한다.
2. 경쟁입찰에서 담합을 주도한 자는 입찰참가자격 제한 처분을 받은 날로부터 1년 동안 입찰에 참가하지 못한다.
3. 경쟁입찰에서 입찰자 간에 서로 상의하여 미리 입찰가격을 협정하거나 특정인의 낙찰을 위하여 담합한 자는 입찰
참가자격 제한 처분을 받은 날로부터 6월 동안 입찰에 참가하지 못한다.
② 입찰담합 등 불공정행위를 한 경우에는 제1항과 병행하여 「독점규제 및 공정거래에 관한 법령」에 따라 공정
거래위원회에 고발 등 조치를 하는데 일체 이의를 제기하지 않는다.
③ 입찰․낙찰, 계약체결 또는 계약이행 과정(준공 이후 포함)에서 관계 직원에게 직․간접적으로 금품, 향응 등
부당한 이익을 제공하지 않겠으며 이를 위반하였을 때에는 다음 각 호의 어느 하나에서 정하는 바에 따라
나노종합기술원에서 시행하는 입찰에 참가제한을 받게 된다.
1. 2억원 이상의 뇌물을 준 자는 입찰참가자격 제한 처분을 받은 날로부터 2년 동안 입찰에 참가하지 못한다.
2. 1억원 이상 2억원 미만의 뇌물을 준 자는 입찰참가자격 제한 처분을 받은 날로부터 1년 동안 입찰에 참가 하지 못한다.
3. 1천만원 이상 1억원 미만의 뇌물을 준 자는 입찰참가자격 제한 처분을 받은 날로부터 6개월 동안 입찰에 참가하지 못한다.
4. 1천만원 미만의 뇌물을 준 자는 입찰참가자격 제한 처분을 받은 날로부터 3개월 동안 입찰에 참가하지 못한다.
④ 제1항부터 제3항에 따라 입찰참가자격을 제한하는 기술원으로 부터 처분을 받은 자는 나노종합기술원을 상대로
손해배상을 청구하거나 배제하는 입찰에 관하여 민․형사상 이의를 제기하지 않는다.
제4조(계약해지 등) ① 입찰, 낙찰, 수의시담, 계약체결 또는 계약이행(준공 이후도 포함)과 관련하여 관계 직원에게
금품, 향응 등을 제공한 자는 다음 각 호의 어느 하나에서 정하는 바에 따라 해당 계약에 대한 조치를 받는다.
1. 계약체결 이후 착공전의 경우에는 해당 계약을 해제한다. 다만, 나노종합기술원의 사업수행 상 부득이 한
경우에는 그러하지 아니할 수 있다.
2. 계약이행 이후에는 계약의 전부 또는 일부를 해제 또는 해지한다. 다만, 계약대상물의 성격, 진도, 규모, 이행
기간 등을 감안하여 부득이한 경우에는 그러하지 아니할 수 있다.
3. 계약자는 제1호부터 제2호에 따른 나노종합기술원의 처리에 대하여 민․형사상 일체 이의를 제기하지 않는다.
제5조(기타사항) ①계약자는 자사의 임․직원(하도급업체나 하도급업체와 직․간접적으로 업무를 수행하는 자를 포함)과
대리인이 관계 직원에게 뇌물을 제공하거나 담합 등 불공정행위를 하지 않도록 하는 업체윤리강령과 내부비리
제보자에 대하여도 일체의 불이익 처분을 하지 않는 사규를 제정하도록 적극 노력한다.
2026년 월 일
확약자 주 소 :
회사명 :
대표자 :
나노종합기술원장 귀하 (인) [붙임3] 퇴직자 영입현황 확인서
□ 공고번호 :
□ 입찰건명 :
1. 나노종합기술원 퇴직자(퇴직 후 2년이 경과하지 아니한 자)가 당사에 대표
이사 또는 임직원으로 (□ 근무를 하고, □ 근무를 하지 않고) 있습니다.
※ 상기 박스(□)에 체크(√)하고, 근무를 하는 경우 아래 표 작성
성
명 소 속 퇴직당시 직위 퇴직당시 근무부서 퇴직일
2. 상기 입찰에 있어 위에 제출한 내용은 사실이며, 만약 사실과 다를 경우(축
소, 누락 포함)에는 부정당업자로 입찰참가자격 제한조치 등의 불이익 처분
을 받더라도 일체의 이의를 제기하지 아니할 것을 확약하고 이에 확인서
를 제출합니다.
년 월
회 사 명 :
대 표 자 :
나노종합기술원장 귀하 (인) 일
===== 2. 제안요청서_세정장비.hwp =====
300mm 웨이퍼 매엽식 자동 세정 장비
(300mm Single Wafer Cleaner)
제안요청서 2026년 9월 문 의 규격관련 : 나노공정기술실 이기성 책임 042-366-1534 계약관련 : 재무회계실 이광연 선임 042-366-2021 Ⅰ 제안개요
1. 물품명(장비명) : 300mm 웨이퍼 매엽식 자동 세정 장비 (300mm Single Wafer Cleaner)
2. 용도 및 필요성
가. 첨단 패키지 플랫폼 구축을 위한 300mm 웨이퍼 매엽식 자동 세정 장비
- Silicon Interposer에 다마신 공정을 이용한 구리 배선(Cu Metal Line), 수직통로(Via) 형성 시 발생하는 오염물을 제거하는 장비
- 관통 전극(TSV) 형성 시 발생하는 오염물 제거 또는 Oxide Hard Mask
제거를 위한 습식 식각 장비
- 범프 제작시 전기도금 전/후 불필요한 씨앗층 제거를 위한 습식 식각 장비
나. 국내 반도체 소부장 테스트 베드 사업화 지원.
- Single Wafer Cleaner에 필요한 소재, 부품 등 소부장테스트배드사업화 지원을 하며 기존에 구축된 공정 장비와의 연계 활용으로 산학연 연구지원 및 사업화 지원 확대
3. 사업예산 : 1,930,000,000원
4. 사양(규격)및수량 : 제품사양서 및 물품명세서 참고
5. 납품납기
가. 납품기한 : 계약일로부터 ~ 2027년 8월 31일(납품 및 설치기한)
나. 납품장소 : 나노종합기술원 현장설치도(수요자 지정 장소), 2층 Fab
6. 공동수급 등 : 공동수급 및 하도급 불가
Ⅱ 일반사양 1. 소요시기(납품시기) 가. 2027년 8월 31일까지 납품완료 2. 성능보증
가. 공급자는 구매사양서 등에 언급된 설계조건에 부합되도록 성능을 보증해야 한다.
나. 공급자는 본 장비의 성능 검증을 위해 구매사양서 규격에 만족하는 결과물을 첨부해야 한다.
3. SYSTEM 종류 및 수량 1)
300mm Single Wafer Cleaner Equipment
1 SET 4. TEST
가. System의 Operating & Performance가 정상적으로 나오는지 여부
나. System이 본 사양서의 내용과 기타 협의 사항을 준수하고 있는지 여부
다. 성능에 대한 검증 Test
- 공급자는 최종 검사 시 Test를 실시하여야 하며, 기술원은 검증 Test 결과에 대하여 합격 여부를 판단한다.
5. 장비 설치 및 검수
가. 공급자는 장비공급과 셋업에 일정 준수를 하여야 한다.
나. 공급자는 최종 검사 시 규격 요구사항에 대한 검증시험을 실시하여, 그 검증 결과를 문서로 나노종합기술원 담당자에게 제출하여야 한다.
다. 나노종합기술원에 납품 후 설치된 사양(검증 결과 등)에 대한 Performance Test를 원칙으로 한다.
※ 공급자는 설치 및 검사에 필요한 모든 제반경비를 부담하여야 한다.
6. 제작기준
가. 본 장비는 신규 장비로 납품되어야 한다.
나. 모든 설비는 관련법규 및 안전규정에 의거하여 설계, 제작 설치되어야 한다.
다. Set-up시 안전수칙 미준수 및 안전도구 미착용 등으로 발생하는 모든 안전사고는 공급자 측에서 조치와 책임을 다한다.
7. SIGN OFF
가. Set-up 완료 보고서는 당사의 최종 승인일을 기준으로 한다.
8. WARRANTY
가. Warranty 기간: Acceptance Test 완료일부터 1년 이상으로 한다.
나. Warranty 기간 중 발생한 고장(단, 사용자의 과실 및 고의에 의한 고장은 제외)에 대해서는 공급자 측에서 Parts와 Labor를 무상으로 제공 및 수리하여야 한다.
9. 동작조건 가. 구매사양서 규격 기준으로 한다. 10. 교육
가. 교육은 Set-up 완료 후 Warranty 기간 내에 장비 교육을 실시하여야 하며, 교육 및 기술지원을 다음과 같이 하여야 한다.
나. On-site training
- 공급자는 납품설치 후 장비운영에 필요한 교육(프로그램)을 실시한다.
- Operation & Maintenance 교육 1회
(나노종합기술원 설치장소 또는 공급자 제조공장)
- 장비의 설치 및 교육은 본사 교육을 이수한 엔지니어를 통해 실시하며, 설치 후 1년 동안 사용자가 필요하다고 판단되었을 때 계약자가 3회(1회 4시간)까지 무상으로 실시해야 한다.(나노종합기술원 설치장소)
다. 교육 상세 내용 - 시스템 운용
- 기본 유지보수 방법 / 예방정비 / 시스템 진단법
- 고급 기능 활용 방법
라. 필요시 협의에 따라 장비 설치 및 보수에 필요한 부속품과 필요 특수공구
1 set를 무상으로 제공하여야 한다.
마. 교육 방법 : 이론 교육 및 시연, 실무 연습
- 교육 및 기술지원에 따른 모든 제반 경비는 공급자가 부담하여야 한다.
11. 운송
가. 장비운송 시 Packing은 운송 중에 문제가 없도록 견고히 하여야 한다.
나. 장비는 Particle 오염이 안 되도록 하여야 한다.
다. 장비 반입 시 파손이 우려되는 부품은 내장하거나 반입 후 조립할 수 있도록 한다.
라. 장비의 시험실 내 안착까지 반입 등 모든 경비는 모두 공급자 측에서 부담으로 한다.
12. 특기사항
가. 본 사양서에 명시되지 않은 사항은 공급자 측에서 제안하고 상호 협의에 의하여 결정한다.
나. 공급자가 소정기한까지 물품의 전부 또는 일부의 납품을 지연했을 경우에는 지연일수 1일에 대하여 미납품 대금의 0.75/1000의 금액을 지체상금으로 기술원이 징수하며 이는 물품대금 지불 시 공제한다.
Ⅲ 계약 일반사항 1. 계약내용 및 이의의 해석
가. 계약상대자는 계약서 내용에 기술되는 물품 등 일체를 공급하여야 하며, 본 규격서에 기술되어 있지 않은 사항 또는 불명확하다고 생각되는 사항은 나노종합기술원의 해석 및 의견을 확인하여야 한다.
2. 계약상대자의 책무
가. 계약상대자는 물품(장비)의 제작, 검사, 운반, 설치 및 시운전에 대한 전반적인 책임이 있으며, 모든 부품은 정상동작 상태 하에서 파손 또는 변형이 없이 충분한 강도와 성능을 보장하여야 한다.
나. 계약상대자는 시험장비 제작 전 나노종합기술원으로부터 제작도면의 승인을 득하여야 한다.
다. 물품(장비)를 납품함에 있어 계약 내용과 비교하여 필요한 부분이 누락 또는 생략되었을 경우 계약상대자는 계약사항에 포함된 것으로 간주하고 납품하여야 한다.
라. 계약 후 납품된 물품(장비)의 하자 등 문제점 발생 시 이에 대한 책임은 계약상대자에게 있다.
마 물품(장비)의 설계, 제작, 시험 및 납품, 유지보수와 관련하여 제3자의 지식재산권 등의 권리 보호에 따른 문제점이 발생되지 않도록 하여야 하며 발생 시 이에 대한 책임은 계약상대자에게 있다.
3. 포장 및 운반
가. 포장은 운반 및 설치현장의 습도, 기후조건 등을 감안하여 장비 및 부품의 운반 또는 보관 중 손상이 발생하지 않도록 견고한 포장을 하여야 하며, 외부에서 보기 쉬운 곳에 색채 및 기호 등으로 각 기기의 번호, 명칭 등을 표시하여야 한다.
나. 장비의 운반 중 장비의 기능 및 성능에 영향을 미치는 손상이 발생했을 경우에는 이에 대한 사후처리 및 원형복구는 계약상대자의 책임하에 이행하여야 한다.
4. 설치
가. 설치작업 이전에 반드시 지정된 설치장소에 대한 기초상태 등 제반여건을 사전 확인한 후에 기계를 설치하여야 하며, 설치와 관련되는 모든 비용(장비, 인원, 동력 등)은 계약상대자가 부담한다.
나. 계약 후 물품(장비)를 납품하여 설치 및 시운전시 계약상대자는 제품의 정상적인 가동에 필요한 모든 기술적인 업무를 지원하여야 한다.
5. 안전대책 및 책임
가. 계약수행 과정에서 발생하는 계약수행 인력의 제반 안전사고 책임 및 행정적, 기술적 비용 및 문제 처리는 계약상대자가 부담한다.
나. 계약상대자는 계약수행 인력의 작업 중 안전사고 예방에 관한 규정을 제정․시행하여야 한다.
다. 계약상대자는 납품 및 설치 과정의 안전관리 방안을 준비하여야 하며 이의 소홀로 발생한 문제는 계약상대자가 일체의 책임을 진다.
라. 계약상대자는 계약수행 인력에 대하여 근로기준법, 산업안전보건법, 산업재해보상보험법, 직업안전법 등 제반 법률상 사용자로서의 책임과 의무를 이행하여야 한다.
마. 계약수행 중 발생한 모든 안전사고에 대한 책임(민․형사상)은 계약상대자에게 있다.
6. 보안 유지
가. 계약상대자는 공고문, 규격서 등 공개된 문서 내용 외에 계약수행 과정 중 취득한 각종 정보를 나노종합기술원의 승인 없이 소유 또는 외부 유출할 수 없다.
나. 보안 유지가 필요한 계약의 경우 비밀유지 대책, 보안각서 등 나노종합기술원의 보안 요구사항에 응하여야 한다.
다. 계약상대자는 계약 수행 관련 자료를 납품 전까지 별도 보관함에 구분하여 보관토록 하고, 관리책임자 정․부를 지정하여 관리하여야 한다.
라. 계약상대자는 납품 및 설치 등을 위하여 나노종합기술원에 출입할 경우 작업지정 장소 이외의 공간에 출입을 금지한다.
7. 교육훈련(기술지도)
가. 계약상대자는 필요시, 시험장비의 운용이 가능하도록 사용법 및 기타 필요한 사항을 사용 담당자를 대상으로 납품 완료와 동시에 교육을 실시하여야 한다.
나. 교육 일정 등 세부적인 사항에 대하여는 나노종합기술원과 사전 협의하여 결정한다.
다. 장비 작동 매뉴얼은 납품 시 제출하여야 하며, 나노종합기술원의 검사담당자의 확인을 받아야 한다.
8. 시운전
가. 계약상대자는 시운전에 필요한 모든 사항은 준비한 시운전 계획 및 승인된 시험 점검을 위해 감독관 입회하에 시운전을 시행하여야 하며, 시운전 불합격 시는 즉각 결함부분을 시정하여 재시행하여야 한다.
9. 보증
가. 납품되는 모든 장비에 대하여 하자보증기간은 계약의 성격에 따라 납품 또는 검사검수 완료일 익일부터 1년으로 하며 동 기간 안에 설계, 제작, 설치 공사 및 재결함 등으로 고장 또는 파손되었을 경우 계약상대자는 나노종합기술원에서 지정하는 기일 내에 무상으로 신속한 복구를 하여야 한다.
나. 하자보증기간 만료 후에도 계약상대자는 부품, 소모품, 기타 운용에 필요한 모든 부속장비 및 정비에 대한 나노종합기술원의 요구에 협의해야 한다.
10. 운용지원(AFTER SERVICE)
가. 계약상대자는 제작 공급한 장비에 대한 신속하고 완벽한 운용지원(After Service)을 위하여 지원체제를 갖추어야 한다.
Ⅳ 제안서 평가 등 1. 평가개요
가. 본 평가기준은 ⌜국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률⌟ 등 공공기관의 입찰과 관련된 법령과 계약관련 규정 등에 의거하여 제반성능 및 기능, 제품규격, 납품능력, 신뢰성, 안정성, 확장성, 유지보수성, 제출자료 충실성, 환경 요구조건, 기술 적합성 등에 대한 제안서의 평가에 적용함
2. 제안서 평가기준, 적격자 및 낙찰자 선정 등
가. 제안서 평가표에 근거하여 평가를 실시함
나. 제안 내용에 대한 평가는 평가위원회를 구성하여 평가하고 제안서에 기재되지 않은 사항에 대해서는 평가하지 않음
다. 기술(규격)제안서를 평가하여 평가위원별 평가점수를 합산하여 최고점수와 최저점수를 제외하고(최저 또는 최고점수가 2개 이상일 때에는 이중 하나만 제외) 산출한 평균점수가 85점 이상인 자를 규격적격자로 결정
라. 규격적격자 중 가격개찰결과 예정가격 이하로서 최저가격을 제시한 자를 낙찰자로 결정
마. 최저가격 제출자가 2인 이상인 경우에는 규격입찰서 평가점수의 고득점자를 낙찰자로 결정하고 규격입찰서 평가점수도 동일한 경우에는 추첨으로 결정
바. 규격적격자가 2인 이상인 경우로서 가격개찰 결과가 예정가격 이하로 입찰한 자가 없을 때는 당해 규격적격자를 대상으로 다시 가격 입찰을 할 수 있음
3. 평가방법: 서면평가
가. 본 입찰은 서면평가로 진행하며, 수요부서에서 필요한 경우 대면평가로 변경하여 실시할 수 있다.
나. 대면평가를 실시하는 경우 수요부서에서 평가회 시간 및 장소는 추후 개별 통보함
다. 제안서 발표를 실시하는 경우, 사업관리자(PM)가 직접 제안서를 발표함
라. 제안서 발표는 제출한 제안서를 기초로 발표해야 하며, 제안서 내용과 상이할 시에는 평가위원의 동의를 얻어 감점 처리할 수 있음
마. 제안사항이 미흡하거나 객관적 증빙이 없는 경우 부적합으로 판정함
4. 제안서 효력
가. 제출기한 내에 미 제출시는 제안 의사가 없는 것으로 처리하고, 제안된 자료는 일체 반환하지 아니함
나. 제출된 제안서의 내용은 나노종합기술원이 요청하지 않는 한 변경할 수 없음
다. 제안서에 제시된 내용(추가제안, 추가자료 포함)은 계약서에 명시하지 않더라도 계약서와 동일한 효력을 가짐. 다만, 계약서에 명시된 경우에는 계약서의 내용이 우선함
라. 제안 내용에 대한 평가는 평가위원회를 구성하여 평가하고 제안서에 기재되지 않은 사항에 대하여는 평가하지 않음
5. 유의사항
가. 제출된 제안서는 일체 반환하지 않으며, 본 제안과 관련된 일체의 소요비용은 입찰참가자의 부담으로 함
나. 평가기준 적용일은 입찰공고일 현재를 기준으로 함
다. 제안내용에 대한 확인을 위하여 추가자료 요청 또는 현지실사를 할 수 있으며, 입찰참가자는 이에 응하여야 함
라. 제안서의 내용을 객관적으로 입증할 수 있는 관련 자료는 제안서의 별첨으로 제출하여야 함
마. 제안서 기재사항을 입증할 수 없거나 허위로 작성한 사실이 밝혀질 경우 평가 대상에서 제외하며, 계약 후에도 제안서의 내용이 허위로 작성한 사실이 발견되거나 제안된 내용을 충족시키지 못할 경우 계약을 취소하고 이에 대한 손해에 대해서는 입찰참가업체가 책임을 져야 함
바. 제안 업체는 가능한 한 제안요청서에서 제시한 정보들의 정확성에 대해 스스로 확인할 것을 권고함. 나노종합기술원은 제안요청서나 기타 첨부 자료 상의 오류나 누락에 대해 책임을 지지 아니함
사. 사업자로 선정된 이후에 나노종합기술원과의 협의 없이 사양을 변경하여 납품하지 아니함
아. 과제 수행 완료 후 사업자의 사업 수행결과가 불량한 경우 향후 관련 사업의 참여에 제한을 받을 수 있음
자. 담합 등의 방법으로 입찰의 공정성을 해한 제안업체는 평가대상에서 제외되며, 계약 이후라도 계약파기, 인적․물적․기간적 손실에 대한 손해배상 등 이에 상응하는 책임을 부담함
차. 제안요청서, 제안서, 계약서 등에 명시된 내용의 해석에 있어 그 뜻이 모호하여 의견을 달리할 경우 나노종합기술원과 협의하여 결정함
6. 비밀 및 보안 유지
가. 제안 참여업체는 제안서를 포함한 모든 문서를 낙찰자 결정시까지 대외비로 취급하여야 하며, 제안 참여업체 관계자 이외의 제3자에게 공개할 수 없음
나. 본 규격평가기준서 및 제안서의 전체 또는 일부를 제안서 제출외의 다른 목적으로 사용할 수 없음
다. 입찰 과정 중 취득한 각종 정보와 계약 이행과정 중 취득한 정보를 누설할 수 없음
라. 위 사항을 위반하여 문제가 발생한 경우 해당 업체는 이에 따르는 전적인 책임을 지도록 함
Ⅴ 제안서 평가기준 1. 평가기준 가. 평가항목은 평가기준(표)에 의함
나. 제안 내용에 대한 평가는 평가위원회를 구성하여 평가하고 제안서에 기재되지 않은 사항에 대해서는 평가하지 않음
다. 기술(규격)제안서를 평가하여 평가위원별 평가점수를 합산하여 최고점수와 최저점수를 제외하고(최저 또는 최고점수가 2개 이상일 때에는 이중 하나만 제외) 산출한 평균점수가 85점 이상인 자를 규격적격자로 결정
2. 경영평가기준
가. 부채비율 및 유동비율의 평가 기준은 한국은행 발행 최신 기업경영분석 통계자료 중 [C292 특수 목적용 기계제조업]의 업종 평균 비율을 기초로 하여 산정된 합리적 기준이며, 모든 입찰 참여 업체에 공정하게 적용됩니다.
나. 기준이 되는 재무제표는 국세청 홈택스 발행 표준재무제표증명 또는 공인된 회계법인의 감사보고서 상 가장 최근 회계연도(2025년도) 정기결산 수치를 기준으로 정량 평가합니다.
제안서(규격‧기술) 평가기준
▣ 입찰건명 : 300mm 웨이퍼 매엽식 자동 세정 장비
▣ 업 체 명 : 평가항목 평가기준(세부항목) 배점 평점 경영상태(20) (정량평가 : 붙임1) 부채비율
◦ 가장 최근 회계연도(2025년) 기준 부채비율
100% 미만 10점 / 100%~150% 8점 / 150% ~ 200% 6점 / 200% ~ 300% 4점 / 300% 이상 2점
10 유동비율
◦ 가장 최근 회계연도(2025년)기준 유동비율
200% 이상 10점 / 200% ~ 150% 8점 / 150% ~ 100% 6점 / 100% ~ 50% 4점 / 50% 미만 2점
10 수행실적(20) (정량평가)
◦ 300mm Single Wafer Cleaner 납품 실적
(공고일 기준 최근 5년 내 기준) ◦ 평가기준 - 20대 이상 : 20점 - 20대 미만 ~ 10대 이상 : 15점 - 10대 미만 ~ 5대 이상 : 10점 - 5대 미만 ~ 1대 이상 : 5점 - 실적없음 : 0점 20 기술부문(45) (서면평가) 제품규격 적합성 (30)
◦ 장비 및 시스템 규격의 적합성(구매사양서 기준 달성률)
◦ 평가기준 - 100% : 30점 - 100% 미만 ~ 95% 이상 : 25점 - 95% 미만 ~ 90% 이상 : 20점 - 90% 미만 : 0점 30 기술능력 (10) ◦ 국내외 표준 인증
(Semi-S2, CE-Mark, S-Mark, ISO-9001, ISO-14001)
◦ 평가기준 - 4개 이상 : 5점 - 4개 미만 ~ 3개 이상 : 4점 - 3개 미만 ~ 2개 이상 : 3점 - 2개 미만 : 1점 5 ◦ 지식재산권 보유현황 (특허, 실용신안 등) ◦ 평가기준 - 20건 이상 - 5점 - 20건 미만 ~ 10건 이상 - 4점 - 10건 미만 ~ 5건 이상 - 3점 - 5건 미만 - 1점 5 공장규모 (5) ◦ 공장(클린룸 포함) ◦ 평가기준 - 1000평 이상 : 5점
- 1000평 미만 ~ 500평 이상 : 4점
- 500평 미만 ~ 200평 이상 : 3점 - 200평 미만 : 1점 5 관리부문(15) (서면평가) ◦ 기술지원 및 수리인력 수 ◦ 평가기준 - 20인 이상 : 5점 - 20인 미만 ~ 10인 이상 : 4점 - 10인 미만 ~ 5인 이상 : 3점 - 5인 미만 : 1점 5 ◦ 기술지원 및 수리인력의 경력 (평균) ◦ 평가기준 - 10년 이상 : 5점 - 10년 미만 ~ 5년 이상 : 4점 - 5년 미만 ~ 2년 이상 : 3점 - 2년 미만 : 1점 5 ◦ 장비 Warranty 기간 ◦ 평가기준 - 24개월 이상 : 5점 - 24개월 미만 ~ 18개월 이상 : 4점 - 18개월 미만 ~ 12개월 이상 : 3점 - 12개월 미만 : 0점 5 합 계 100 평가의견
※ 위원 평균점수(최고 및 최저점 각 1개 제외)가 85점 이상인 업체를 적격자로 선정
평 가 일 : 2026년 월
일
소속기관 :
직
급 :
성
명 :
(인)
Ⅵ 제안서 작성 등 제안서 작성
가. 제안서는 기술평가 시 근거가 되는 자료이며, “제안서 목차”, “제안서 평가기준”을 참고하여 제안서 작성
나. 제안서는 제안서 목차 내용과 첨부양식을 포함하여 자유 작성
2. 제안서 목차 작성항목(목차) 작 성 방 법 비고 Ⅰ. 제안업체 일반 표지 포함 작성 [서식1] 1. 일반현황 ㅇ 제안사의 일반 현황 및 주요 연혁 [서식2] 2. 조직 및 인원 ㅇ 제안사의 조직 및 인원 현황을 제시 [서식3] 3. 경영상태 ㅇ 가장 최근 회계연도(2025) 부채비율
- 신용평가등급 확인서(공공기관 입찰용) 제시
- 또는 최근 회계연도 재무제표 제시 ㅇ 가장 최근 회계연도(2025) 유동비율
- 신용평가등급 확인서(공공기관 입찰용) 제시
- 또는 최근 회계연도 재무제표 제시 부채비율 및 유동비율을 확인할 수 있는 자료 Ⅱ. 기술부문 제품규격적합성 ◦ 장비 및 시스템 규격의 적합성
- 구매사양서 및 구매사양서비교표 기준 충족 여부 등
[서식4] 자유양식 2. 기술능력 ◦ 국내외 표준 인증 및 지식재산권 보유현황 자유양식 3. 공장규모 ㅇ 공장규모(클린룸 포함) 입증 자료 제시 - 공장등록증 등 자유양식 Ⅲ. 관리부문 1. 관리부문 ◦ 기술지원 및 수리인력 수 (해당장비 서비스 인력의 적정성) [서식3] ◦ 기술지원 및 수리인력의 경력 (평균) (해당장비 서비스 인력의 수준) [서식3] ◦ 장비 Warranty 기간 - 장비 보증기간 적정성 [서식7] Ⅳ. 수행실적 등 1. 수행실적
- 300mm 웨이퍼 자동 세정 장비 계약(납품) 실적(공고일기준 최근 5년 내)
ㅇ 구매 계약등의 실적증명원 제시 [서식5~6] 3. 제안서 작성관련 서식 ※ 제안서 작성관련 서식 서식 1. 제안서 표지 서식 2. 제안업체 일반현황 서식 3. 기술지원인력현황 서식 4. 사양(규격) 비교표 서식 5. 유사계약수행실적 서식 6. 실적증명서 서식 7. 장비유지보수계획 [서식1] 『ㅇㅇㅇㅇ ㅇㅇㅇㅇ 장비』
제
안
서
상기 입찰에 대한 제안서를 제출하며, 제안서 및 제출 서류가 허위인 경우 평가대상에서 제외 또는 계약을 해제하더라도 이의제기하지 않을 것을 확인합니다.
2026. 00. 00. 상 호 : 주 소 :
대표자 :
(직인)
나노종합기술원장 귀하 [서식2] 회사소개서(일반현황 및 연혁) 회 사 명 대 표 자 사 업 분 야
주
소
전 화 번 호 회사설립년도
년
월
근 무 인 원
00 명 (4대보험 사업장 명부 등록인원 기준)
주요연혁
※ 회사소개서 내용이 많은 경우 별지를 추가하여 작성가능합니다.
[서식 3] 기술지원 인력 현황 사업 책임 기술자 직책 성명 관리 부문책임자 납품 부문책임자 직책 성명 직책 성명 ▣ 참여자 요약 연번 성명 직위 업무분야 업무경력 비고 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 ※ 입찰자 소속 직원 기준
※ 경력 증빙을 위해 대상인원에 대한 “4대 사회보험 가입자 확인서” 제출
※ 4대 사회보험 가입자 확인서는 상기표에 기재한 업무경력을 모두 확인할 수 있게 제출되어야 함(전 직장 경력을 포함하는 경우 전 직장에서 가입했던 내역을 확인할 수 있어야 함)
[서식 4] 사양(규격) 비교표 공고사양(규격) 입찰참가제품 상세규격 공고명 : 300mm 웨이퍼 매엽식 자동 세정 장비 제조사명 세부품목명 모델명
입찰참가제품의 상세규격은 “구매사양서(비교표)”을 작성하여 제출합니다.
1. 입찰자는 본 양식 우측 상단에 있는 “입찰참가제품 상세규격” 내용을 기재해야합니다.
2. 입찰자는 본 양식 하단의 내용을 작성하고 입찰자 대표 직인을 날인해야 합니다.
3. 입찰자는 Requirement Spec. 양식 자료를 작성하여 본 양식의 붙임 자료로 제출해야 합니다.
202 년
월
일
상 호 명 :
(사업자등록번호 :
)
대 표 자 : (인) 담 당 자 :
(휴대폰번호 :
)
(이메일주소 :
)
[서식 5] 유사계약수행실적 연번 계약명 계약기간 계약금액 발주처 비 고 1 2 3 4 5
- 입찰공고일 기준 최근 5년 간 유사계약 수행 완료 실적을 연도순으로 기재(입찰 공고일 이전 계약 완료 실적에 한함)
- 실적증빙은 발주사 발급의 실적증명서 원본을 원칙으로 함(실적증명서 제출이 곤란한 경우 계약서 사본, 발주서(P/O) 사본 및 세금계산서 사본 등 제출)
- 실적증빙은 발주사 발급의 실적증명서 원본을 원칙으로 함
1. 공공기관 거래실적은 증빙자료 없이 실적증명서로 제출 가능
2. 민간거래실적은 계약서, 발주서(P/O) 및 세금계산서 등 증빙자료 첨부 필수. 실적증명서 상 금액과 세금계산서 또는 계약서 등 증빙자료의 금액 일치 여부 확인 필수
- 관련분야 여부는 발주처의 제출 서류를 기반으로 확인하며, 필요시 추가 서류를 요청할 수 있음
[서식 6] ※ 조달청 나라장터 실적증명서로 대체 가능 실 적 증 명 서 신청인 업체명(상호) 대 표 자 영업소재지 전화번호 사업자등록번호 증명서용도 제 출 처 계약내용 계약명 계약개요 계약번호 계약일자 계약기간 금 액 실 적 비 고 발급처 위 사실을 증명함.
년
월
일
업 체 명 :
(인) (전화번호 :
)
주 소 : 발 급 부 서 : 담 당 자 :
※ 공공기관 거래실적은 증빙자료 없이 실적증명서로도 제출 가능하나, 민간거래실적은 세금계산서 또는 계약서 등 증빙자료 첨부 필수(실적증명서 상 금액과 세금계산서 또는 계약서 등 증빙자료의 금액 일치 여부 확인 필수)
[서식 7] 장비유지보수 무상 Labor 제공 계획 1. 장비유지보수 무상 Labor 제공 계획 24개월 이상 24개월 미만 ~ 18개월 이상 18개월 미만 ~ 12개월 이상 12개월 미만 ※ 해당부문에 “○” 표시
2. 무상 Labor 제공 세부 계획 (필요시 작성)
○ ○
===== 3. 구매사양서_세정장비.hwp =====
구 매 사 양 서
(COMMODITY DESCRIPTION) 물품분류번호 관세분류번호 HSK No. 품 명 및 규격서 DESCRIPTION 단위 UNIT 수량 Q'TY 2321119501 - 300mm 웨이퍼 매엽식 자동 세정 장비
(300mm Single Wafer Cleaner)
Set 1 1. 용도 및 특징
1) 본 장비는 300mm 웨이퍼 공정을 매엽식으로 진행하는 장비로 구리배선 형성 및 절연물질 식각 시 발생하는 유기물, 파티글, 표면흡착 및 씨앗층 등을 세정공정 및 습식공정으로 제거하는 Full Automation 장비이다.
2) 본 장비는 Cu metal 노출 구조에서 웨이퍼 세정 및 씨앗층 식각을 위한
Chamber와 Non-Cu metal 구조의 웨이퍼 세정을 위한 Chamber로 구성되며 상호간 교차오염 방지를 위해 장비모듈의 분리운영이 가능하도록 구성한다.
3) 본 장비는 좌/우측 2단 적층 Chamber 진행간의 상호간 교차오염 방지를 위해 Load Port, Index Robot, 2단 적층 Chamer 간의 완전 분리 운영하며 2 Set의 PC 설치로 운영하는 2System in one equipment 장비이다.
4) 본 장비의 구성은 Load Port(4EA), Index Robot(2EA), 2단 적층Chamer(각 2EA), Chemical Delivery System(2EA), Chemical Dispenser(10EA) 등 이다.
5) 본 장비의 산화막 식각 균일도는 3% 이하이며 Cu 및 Ti 박막의 식각균일도는 5% 이하를 만족한다.
2. 장비의 구성 1) 주장비 (Main frame)
가. 300mm Single Wafer Cleaner equipment 1set (system 2set)
2) 주변기기 (Accessories) 가. 장비 구동 소프트웨어 나. 인터락 시스템
다. CDS(Chemical Delivery System)
라. DI CO2 Unit 3. 성능 및 규격 1) System Configuration
가. Wafer Type : 300mm Wafer
나. Load Port : 4EA 다. Index Robot : 2Set 라. Process Chamber : 4EA
마. CDS(Chemical Delivery System) : 2EA
바. Chemical Dispenser : 10EA
2) System Controller 가. System O/S : Windows 나. I/O Module 다. PC(GUI) : 2Set
라. Memory : SSD, 512GB 이상
마. Data Backup : Auto Mirring System
3) Process Chamber & Chuck
가. 4 Chamber (Cu Grade 2EA, Non-Cu Grade 2EA)
나. Chamber up/down : Air Cylinder Type
다. Auto Cleaning Function
라. Spin RPM : 200 ~ 2000
마. Chemical Separation Drain
바. Chemical Recycle Function
사. Wafer Grip Chuck
아. Backside Nozzle : DIW, N2, 1:3 DHF(only DHF Chamber)
자. Inner Cup up/down : Servo Motor
4) Dispenser
가. Dispenser-1 (Chemical Nozzle) : CHB-1(2EA), CHB-2(2EA)
CHB-3(3EA), CHB-4(3EA)
나. Dispenser-2 (DIW, N2, DICO2 Nozzle) : All CHB 공통
다. Dispenser-3 (Nano Spray Nozzle + DICO2 Nozzle) : All CHB 공통
(DICO2 Nozzle은 Dispenser-2 or Dispenser-3 선택 사양 가능)
라. Dispenser up/down & left/right Move
마. Chemical & DIW Nozzle Flow Rate Monitoring
바. Nozzle Motion Profile
사. Nozzle Standby Cleaning
5) Chemical Tank 가. Chemical Tank : 9EA
나. CCSS 공급 : Chemical 5EA
다. LCSS 공급 : Bottle 5EA
라. Tank Material : Teflon(PTFE)
마. Tank Capacity : 45 Liter / Capa (60 Liter)
바. Temp Control : 고온 (In Line Heater), 상온(Heat Exchanger)
사. Chemical Circulation : Bellows Pump
아. Measuring Tank : Ti (KOH), PERR-1, PERR-2, DSP (H2SO4, H2O2)
SC-1 (NH4OH, H2O2), 3:1 DHF, 100:1 DHF
6) Sub Module 가. DI CO2 Unit 나. Web Camera System 7) Process 가. Particle
. Transfer only : Δ ≤10ea @≥0.12㎛ (Bare Si)
. Rinse & Spin dry : Δ ≤20ea @≥0.12㎛ (Bare Si)
. SC-1, DSP : Δ ≤30ea @≥0.12㎛ (Bare Si)
. BOE(LAL15), DHF(100:1) : Δ ≤50ea @≥0.12㎛ (Bare Si)
. Ti, Cu Etchant, PERR-1, 2 : Δ ≤100ea @≥0.12㎛ (Bare Si)
나. Etch Rate Non-Uniformity
. BOE(LAL15): ≤ 15±2Å/75±4Å Removal, WIW 3% (5mmEE) @T-Oxide 1000Å
. DHF(100:1): ≤ 20±2Å/90±4Å Removal, WIW 3% (5mmEE) @T-Oxide 1000Å
. Cu Etchant: ≤ 1000±50Å, WIW 5% (5mmEE) @Cu Film
. Ti Etchant: ≤ 300±15Å, WIW 5% (5mmEE) @Ti Film
다. No Corrosion : After PERR-1, PERR-2 Post Clean
8) ESH (Environmental, Safety and Health)
가. Safety Interlock for System Hardware & Software
나. Electrical Interlock 다. Emergency Shutdown 라. Leak Sensor 9) FA (Fab Automation) 가. SECS/GEM 나. FA 관련 Software O/S 4. 품질 보증 및 유지보수 1) 보증 및 서비스 가. 보증기간: 설치 검수 후 1년
나. 보증기간 중 Upgrade & Modification (Software and Hardware) 무료.
다. Maintenace & Repair Tool Kit 제공
라. 장비검수는 장비입고 2주 전에 통보 2) 교육 및 문서 제공
가. 장비 Operation & Maintenance Training 제공
나. 장비 영문/국문 매뉴얼 (Operation, PM, Maintenance 등) 제공
5. 참 조(기타조건)
1) 설치 완료 및 예비 테스트 후 1년간 무상보증기간을 제공하여야 한다.
2) 계약자는 장비의 설치와 사용법 교육을 사용자가 요청한 장소에서 수행하여야 한다.
===== 4. 구매사양비교표_세정장비.xlsx =====
[시트: Sheet1]
A: 300mm 웨이퍼 매엽식 자동 세정 장비 구매사양비교표
A: 연번 B: 나노종합기술원 요구사양 C: 제안업체 공급사양 D: 비고
A: No.1 B: 장비개요(기본조건) C: 장비개요(기본조건) D: 비고
A: 1 B: 본 장비는 300mm 웨이퍼 공정을 매엽식으로 진행하는 장비로 구리배선 형성 및 절연물질 식각시 발생하는 유기물, 파티글, 표면흡착 및 씨앗층 등을 세정공정 및 습식공정으로 제거하는 Full Automation 장비이다.
A: 2 B: 본 장비는 Cu metal 노출 구조에서 웨이퍼 세정 및 씨앗층 식각을 위한 Chamber와 Non-Cu metal 구조의 웨이퍼 세정을 위한 Chamber로 구성되며 상호간 교차오염 방지를 위해 장비모듈의 분리운영이 가능하도록 구성한다.
A: 3 B: 본 장비는 좌/우측 2단 적층 Chamber 진행간의 상호간 교차오염 방지를 위해 Load Port, Index Robot, 2단 적층Chamer 간의 완전 분리운영하며 2 Set의 PC 설치로 운영하는 2System in one equipment 장비이다.
A: 4 B: 본 장비의 구성은 Load Port(4EA), Index Robot(2EA), 2단 적층Chamer(각 2EA), Chemical Delivery System(2EA), Chemical Dispenser(10EA) 등 이다.
A: 5 B: 본 장비의 산화막 식각 균일도는 3% 이하이며 Cu 및 Ti 박막의 식각균일도는 5% 이하를 만족한다
A: NO.2 B: Equipment Configuration C: Equipment Configuration D: 비고
A: 1 B: 300mm Single Wafer Cleaner equipment 1set (system 2set)
A: 2 B: 장비 구동 소프트웨어
A: 3 B: 인터락 시스템
A: 4 B: CDS(Chemical Delivery System)
A: 5 B: DI CO2 Unit
A: NO.3 B: Performance and Configuration C: Performance and Configuration
A: 3-1. B: System Configuration C: System Configuration D: 비고
A: 1 B: Wafer Type : 300mm Wafer
A: 2 B: Load Port : 4EA
A: 3 B: Index Robot : 2set
A: 4 B: Process Chamber : 4EA
A: 5 B: CDS(Chemical Delivery System) : 2EA
A: 6 B: Chemical Dispenser : 10EA
A: 3-2. B: System Controller C: System Controller D: 비고
A: 1 B: System O/S : Windows
A: 2 B: I/O Module
A: 3 B: PC(GUI) : 2Set
A: 4 B: Memory : SSD, 512GB 이상
A: 5 B: Data Backup : Auto Mirring System
A: 3-3. B: Process Chamber & Chuck C: Process Chamber & Chuck D: 비고
A: 1 B: 4 Chamber (Cu Grade 2EA, Non-Cu Grade 2EA)
A: 2 B: Chamber up/down : Air Cylinder Type
A: 3 B: Auto Cleaning Function
A: 4 B: Spin RPM : 200 ~ 2000
A: 5 B: Chemical Separation Drain
A: 6 B: Chemical Recycle Function
A: 7 B: Wafer Grip Chuck
A: 8 B: Backside Nozzle : DIW, N2, 1:3 DHF(only DHF Chamber)
A: 9 B: Inner Cup up/down : Servo Motor
A: 3-4. B: Dispenser C: Dispenser D: 비고
A: 1 B: Dispenser-1 (Chemical Nozzle) : CHB-1(2EA), CHB-2(2EA)
CHB-3(3EA), CHB-4(3EA)
A: 2 B: Dispenser-2 (DIW, N2, DICO2 Nozzle) : All CHB 공통
D: DICO2 Nozzle
Dispenser-2 or 3 선택 사양 가능
A: 3 B: Dispenser-3 (Nano Spray Nozzle + DICO2 Nozzle) : All CHB 공통
A: 4 B: Dispenser up/down & left/right Move
A: 5 B: Chemical & DIW Nozzle Flow Rate Monitoring
A: 6 B: Nozzle Motion Profile
A: 7 B: Nozzle Standby Cleaning
A: 3-5. B: Chemical Tank C: Chemical Tank D: 비고
A: 1 B: Chemical Tank : 9EA
A: 2 B: CCSS 공급 : Chemical 5EA
A: 3 B: LCSS 공급 : Bottle 5EA
A: 4 B: Tank Material : Teflon(PTFE)
A: 5 B: Tank Capacity : 45 Liter / Capa (60 Liter)
A: 6 B: Temp Control : 고온 (In Line Heater), 상온(Heat Exchanger)
A: 7 B: Chemical Circulation : Bellows Pump
A: 8 B: Measuring Tank : Ti (KOH), PERR-1, PERR-2, DSP (H2SO4, H2O2)
SC-1 (NH4OH, H2O2), 3:1 DHF, 100:1 DHF
A: 3-6. B: Sub Module C: Sub Module D: 비고
A: 1 B: DI CO2 Unit
A: 2 B: Web Camera System
A: 3-7. B: Process C: Process D: 비고
A: 1 B: Particle
- Transfer only : Δ ≤10ea @≥0.12㎛ (Bare Si)
- Rinse & spin dry : Δ ≤20ea @≥0.12㎛ (Bare Si)
- SC-1, DSP : Δ ≤30ea @≥0.12㎛ (Bare Si)
- BOE(LAL15), DHF(100:1) : Δ ≤50ea @≥0.12㎛ (Bare Si)
- Ti, Cu Etchant, PERR-1, 2 : Δ ≤100ea @≥0.12㎛ (Bare Si)
A: 2 B: Etch Rate Non-Uniformity
- BOE(LAL15) : ≤ 15 ± 2Å/75± 4Å Removal, WIW 3% (5mmEE) @ T-Oxide 1000Å
- DHF(100:1) : ≤ 20 ± 2Å/90± 4Å Removal, WIW 3% (5mmEE) @ T-Oxide 1000Å
- Cu Etchant : ≤ 1000 ± 50Å, WIW 5% (5mmEE) @ Cu Film
- Ti Etchant : ≤ 300 ± 15Å, WIW 5% (5mmEE) @ Ti Film
A: 3 B: No Corrosion : After PERR-1, PERR-2 Post Clean
A: 3-8. B: ESH (Environmental, Safety and Health) C: ESH (Environmental, Safety and Health) D: 비고
A: 1 B: Safety Interlock for System Hardware & Software
A: 2 B: Electrical Interlock
A: 3 B: Emergency Shutdown
A: 4 B: Leak Sensor
A: 3-9. B: FA(Fab Automation) C: FA(Fab Automation) D: 비고
A: 1 B: SECS/GEM
A: 2 B: FA 관련 Software O/S
A: NO.4 B: 품질 보증 및 유지보수 C: 품질 보증 및 유지보수 D: 비고
A: 1 B: 보증기간: 설치 검수 후 1년
A: 2 B: 보증기간 중 Upgrade & Modification (Software and Hardware) 무료
A: 3 B: Maintenace & Repair Tool Kit 제공
A: 4 B: 장비 Operation & Maintenance Training 제공
A: 5 B: 장비 영문/국문 매뉴얼 (Operation, PM, Maintenance 등) 제공
A: 6 B: 장비검수는 장비입고 2주전에 통보
A: NO.5 B: 기타 C: 기타 D: 비고
A: 1 B: 설치 완료 및 예비 테스트 후 1년간 무상보증기간을 제공하여야 한다.
A: 2 B: 계약자는 장비의 설치와 사용법 교육을 사용자가 요청한 장소에서 수행하여야 한다.
B: 업체명 C: :
B: 대표자 C: :
B: 담당자 C: :
B: 담당자연락처 C: :
B: 담당자이메일 C: :