===== 1. 입찰공고서_300mm 트랙.hwp =====
입찰공고(제2026–066호)
▣ 공고명 : 300mm 패키징용 자동 감광제 도포 장비
입찰에 참가하고자 하는 자는 아래의 입찰설명서(공고서, 규격서, 사양서 및 관련 규정 등)를 반드시 열람하여 그 내용을 숙지한 후 입찰에 참가하여야 하며 미숙지에 따른 책임은 입찰자에게 있습니다. 이 입찰과 관련하여 추가 문의사항이 있으면 아래 담당자에게 연락주시기 바랍니다.
◦ 입찰 참가자격 등록, 나라장터시스템 : 정부조달 콜센터(1588-0800)
◦ 입찰참가자격, 시방서 등(수요부서) : 첨단패키징개발센터 강일석(042-366-1735)
◦ 입찰공고, 계약방법 등(구매부서) : 재무회계실 이광연(042-366-2021)
< 본 계약은 청렴계약(서약)제가 적용됩니다 >
본 계약은「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」제5조의2에 따른 청렴계약제가 적용됩니다. 입찰자는 반드시 입찰서 제출 시 아래의 청렴계약서에 관한 내용을 숙지·승낙하여야 하며, 동 내용을 위반한 경우 발주기관의 조치에 대하여 어떠한 이의도 제기할 수 없습니다.
「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」제5조의2에 따라 본 입찰에 참여한 당사 대리인과 임직원은 입찰․낙찰, 계약체결 또는 계약이행 등의 과정(준공․납품 이후를 포함한다)에서 아래 각 호의 청렴계약 조건을 준수할 것이며, 이를 위반할 때에는 입찰․낙찰을 취소하거나 계약을 해제․해지하는 등의 불이익을 감수하고, 이에 민․형사상 이의를 제기하지 않을 것임을 약정합니다.
1. 금품․향응 등(친인척 등에 대한 부정한 취업 제공 포함)을 요구 또는 약속하거나 수수(授受)하지 않겠습니다.
2. 입찰가격의 사전 협의 또는 특정인의 낙찰을 위한 담합 등 공정한 경쟁을 방해하는 행위를 하지 않겠습니다.
3. 공정한 직무수행을 방해하는 알선․청탁을 통하여 입찰 또는 계약과 관련된 특정 정보의 제공을 요구하거나 받는 행위를 하지 않겠습니다.
4.「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」제4조의2제1항제2호 위반 시에 아래의 손해배상액을 납부토록 하겠습니다.
- 입찰자 : 입찰금액의 100분의 5 - 계약상대자 : 계약금액의 100분의 10 1. 입찰개요
1.1. 공고(사업)명 : 300mm 패키징용 자동 감광제 도포 장비
1.2. 사양(규격) 및 수량 : 제안요청서 및 구매사양서 참고
1.3. 사업예산 : 2,915,000,000원(VAT 포함)
1.4. 기초금액 : 2,856,700,000원(VAT 포함)
1.5. 계약방법 : 일반경쟁 1.6. 낙찰자결정방법 : 규격가격동시
1.7. 계약기간 : 계약일부터 2027년 8월 31일까지
1.8. 납품장소 및 인도조건 : 나노종합기술원 / 현장(지정장소) 설치도
1.9. 공동수급 등 : 공동수급 및 하도급 불가
2. 입찰 일시 및 장소
2.1. 입찰방식 : 전자입찰(나라장터 온라인 제출 / 가격입찰서, 제안서 등)
2.2. 입찰서 제출 시작일시 : 2026.10.15. 10:00
2.3. 입찰서 제출 마감일시 : 2026.10.29. 10:00
2.4. 개찰일시 : 2026.10.29. 11:00
2.5. 개찰장소 : 국가종합전자조달시스템(나라장터)
2.6. 개찰은 제안서 평가 이후에 진행됩니다.
2.7. 기술원은 참가자격 및 제출서류 등에 대한 적정성 여부를 개찰 이후에도 판정할 수 있습니다.
3. 입찰참가자격
3.1. 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률시행령」 제12조(경쟁입찰의 참가자격) 및 동법 시행규칙 제14조(입찰참가자격요건의 증명)의 자격요건을 갖춘 자
3.2. 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」 제27조 및 동법 시행령 제76조(부정당업자의 입찰참가자격제한)에 의한 부정당업자에 해당하지 않는 자
3.3. 은행관리, 부도 또는 법정관리, 화의개시 중에 있지 않고 국가, 지방자치단체, 정부출연 및 투자기관에 부정당업체로 제재를 받지 않은 자
3.4. 「국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정」에 의하여 반드시 전자입찰서 제출 마감일 전일(18:00)까지 나라장터(G2B시스템)에 입찰참가자격을 등록한 자
3.5. 본 입찰에 참여하고자 하는 자는 최근 3년 이내 “300mm, 200mm 자동 감광제 도포 장비(Track System)” 납품실적을 1건 이상 보유한 자
3.5.1. 실적심사는 제안서에 포함된 실적증빙 자료를 통해서 확인합니다.
3.5.2. 납품(계약) 실적이 없는 경우 ‘입찰참가자격’ 없음으로 처리합니다.
4. 입찰신청(투찰) 및 입찰서류 제출
4.1. 본 입찰은 전자입찰로만 집행하며, 입찰서는 국가종합전자조달시스템 (www.g2b.go.kr)의 전자 입찰시스템을 이용하여 제출하여야 합니다.
4.1.1. 본 입찰은 부가가치세를 포함한 가격으로 투찰하여야 합니다.
4.1.2. 면세사업자 및 영세율을 적용받는 사업자는 반드시 부가가치세를 포함한 가격으로 투찰하여야 하며, 최종 계약 시에는 부가세를 제외한 금액으로 계약을 체결합니다
4.2. 입찰서류 제출방법: 전자제출(나라장터)
4.2.1. 나라장터 > 입찰 > 입찰진행/참가 화면 투찰버튼 클릭 > 입찰서류제출현황 팝업 > 제안서제출 바로가기 > 파일 첨부 후 제출
4.2.2. 나라장터를 통해서 제출하는 제안서류 일체는 PDF 파일 형식으로 제출하여야 하며, 총 용량은 300MB를 초과할 수 없습니다.
4.2.3. 나라장터 이용시 문제가 있는 경우 국가종합전자조달시스템 콜센터(1585-0800)로 문의하시기 바랍니다.
4.3. 입찰서류 구분 서류명 비 고 입찰참가 자격 확인 서류 등 (1.~4. 까지 1개 PDF 파일로 제출) 1. 사업자등록증명서(원본) 1부 국세청 홈택스 발급 2. 서약서 1부 공고서(하단) 서식 참고 3. 청렴계약 이행확약서 1부 공고서(하단) 서식 참고 4. 퇴직자 영입현황 확인서 1부 공고서(하단) 서식 참고 제안서 (1개 PDF파일로 제출) 제안서 1부
- 유사계약수행실적, 실적증명서 및 증빙자료(전자세금계산서, 발주서 등) 필수 제출
- 기업신용평가등급 확인서(공공기관 입찰용, 유효기간 이내 자료) 필수 제출
제안요청서 평가기준 및 제안서 목차를 참고하여 제안서 작성 서식을 활용하여 작성(※ 제안서 목차를 준수하며 자율양식으로도 작성 가능)
4.4. 제출 서류가 허위인 경우 평가대상 제외, 계약을 해제할 수 있으며 이에 대한 손해배상의 책임이 있습니다.
5. 입찰, 계약, 하자보수 보증금 납부 및 귀속
5.1. 입찰보증금의 납부
5.1.1. 입찰자가 아래에 해당하는 경우에는 입찰금액의 100분의 5이상(「국가계약법 시행령」 제37조 제1항 단서조항에 따른 기획재정부장관이 기간을 정하여 고시한 경우에는 1천분의 25이상)의 입찰보증금을 납부 하여야 합니다.
5.1.1.1. 신용정보 관리규약에 의한 채무불이행 또는 금융질서 문란자
5.1.1.2. 입찰공고일 이전 1년 이내에 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」 제76조제1항제2호가목의 사유로 입찰참가자격 제한을 받은 자(입찰참가자격 제한 기간 중인 경우를 포함한다.)
5.2. (입찰보증금 납부면제) 위 사항을 제외하고는 본 입찰에서 입찰보증금의 납부는 면제하되, 입찰보증금 지급각서를 제출하여야 합니다.
5.3. (입찰보증금 지급각서 제출방법) 전자입찰(나라장터) 시 정해진 서식에 따라 송신한 입찰서로 갈음합니다. (별도 서류제출 필요없음)
5.4. (입찰보증금 국고귀속 등) 낙찰자가 정해진 기일 내에 계약을 체결하지 아니한 경우, 입찰보증금은 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률시행령」제38조(「지방자치단체를 당사자로 하는 계약에 관한 법률시행령」제38조)에 의해 조치되며, 부정당업자 제재를 받게 됩니다.
5.5. (계약보증금의 납부) 「국가계약법 시행령」제50조 제1항 및 나노종합기술원 「계약업무요령」 제11조에서 정한 계약보증금을 납부하여야 합니다.
5.6. (하자보수보증금의 납부) 「국가계약법 시행령」제62조 제1항 및 나노종합기술원 「계약업무요령」 제13조에서 정한 하자보수보증금을 납부하여야 합니다.
6. 입찰의 무효
6.1. 『국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령』 제39조제4항, 동 시행규칙 제44조 및 『계약예규』 입찰유의서 중 입찰의 무효 조항에 해당하는 경우 해당 입찰은 무효로 합니다.
6.2. 기술원은 참가자격 및 제출서류 등에 대한 적정성(적합) 여부를 개찰 이후에도 판정할 수 있으며, 개찰 이후에도 적정성(적합) 검토가 부적합으로 판정되는 자의 입찰은 무효로 처리합니다.
7. 낙찰자 결정 방법 및 예정가격 7.1. 낙찰자결정방법 : 규격가격동시
7.2. 규격(기술) 적격자 중 예정가격 이하 최저가 입찰자를 낙찰자로 합니다.
7.3. 규격(기술)평가에 대한 심사위원명단, 심사결과는 공개하지 않으며, 입찰자는 이의를 제기할 수 없습니다.
7.4. 2인 이상 유효한 입찰이 성립한 경우 규격입찰서 심사결과 적격자가 1인인 경우에도 규격적격자의 가격입찰서를 개찰하여 낙찰자를 선정합니다.
7.5. 개찰결과 동일가격으로 입찰한 자가 2인 이상인 경우에도 규격 또는 기술 우위자를 낙찰자로 결정하며 규격 또는 기술평가 결과도 같은 때에는 추첨에 의하여 낙찰자를 결정합니다.
7.6. 예정가격은 예비가격기초금액 기준 ± 2% 범위 내에서 작성된 15개의 예비가격 중 입찰에 참여하는 각 업체가 추첨(2개씩 선택)한 번호 중 가장 많이 선택된 번호 4개를 산술 평균한 가격으로 합니다.
7.7. 낙찰자가 정당한 사유없이 계약에 불응하거나 부도 중에 있는 업체 및 부정당업자 제재기간 중에 있는 업체가 낙찰자로 선정될 경우에는 차순위 입찰자를 낙찰자로 결정합니다.
8. 유의사항
8.1. 입찰참가자는 국가종합전자조달시스템 전자입찰특별유의서, 공사입찰특별유의서, 기획재정부 계약예규, 입찰공고 및 규격서(제안서 등) 등을 사전에 숙지하고 입찰에 응하기 바라며, 미 숙지로 인한 책임은 입찰자에게 있습니다.
8.2. 본 입찰에 참가하고자 하는 자는 청렴계약 이행을 위한 청렴계약입찰 특별유의서 및 청렴계약특수조건을 사전에 숙지하여야 하며, 입찰에 참여하는 업체는 입찰서류 제출을 청렴계약 이행확약서를 제출한 것으로 간주하고, 낙찰자로 선정된 자는 청렴계약이행확약서를 계약 시 제출하여야 합니다. 입찰서류제출 항목에 포함되어 미리 제출한 경우라도 추가제출을 요청하는 경우 제출해야 합니다.
8.3. 낙찰자로 선정된 자는 계약 시 나노종합기술원에서 퇴직 후 2년 이내인 자에 대한‘퇴직자 영입현황 확인서’를 제출하여야 합니다. 입찰서류제출 항목에 포함되어 미리 제출한 경우라도 추가제출을 요청하는 경우 제출하야 합니다.
8.4. 낙찰자로 선정된 자가 수의계약으로 계약을 체결하는 경우 공직자의 이해충돌 방지제도 운영지침에 의해 ‘수의계약 체결 제한 여부 확인서’를 제출하여야 합니다.
8.5. 「중대재해·처벌 등에 관한 법률」제정·시행에 따른 준수사항 안내
8.5.1. 수요기관 및 계약상대자는 계약체결 이후 「중대재해처벌법」 제4조 및 제5조에 규정된 안전·보건과 관련된 의무를 준수하여야 하며, 입찰자는 현장여건, 과업내용 등을 미리 확인하여 이와 관련된 제반비용을 입찰가격에 반영하여야 합니다.
8.5.2. 수요기관은 「중대재해처벌법 시행령」 제4조 제9호에 따라 계약상대자가 동 법 제4조 및 제5조에 규정된 안전·보건과 관련된 의무를 준수하는지 평가·점검할 수 있으며, 계약상대자는 수요기관이 평가·점검을 실시하는 경우 이에 협조하여야 합니다.
8.5.3. 수요기관은 계약상대자가 안전·보건 확보에 필요한 조치를 소홀히 하거나 이행여부에 대한 점검 결과 보완 및 조치 등이 필요한 경우에는 계약상대자에게 이에 대한 시정을 요구할 수 있습니다.
8.6. 입찰 및 계약 관련 부패행위나 불공정행위 등이 발생한 경우에는 나노종합기술원 홈페이지(www.nnfc.re.kr)-정보마당-신고센터-청렴부패신고 Hot-line 및 이메일 등으로 신고해 주시기를 바랍니다.
9. 보충정보 제공처
9.1. (물품사양 등) 첨단패키징개발센터 강일석(042-366-1736, [email protected])
9.2. (입찰/계약 절차 등) 재무회계실 이광연(042-366-2021, [email protected])
위와 같이 공고합니다. 2026. 10. 15. 나 노 종 합 기 술 원 장 [붙임1]
서
약
서
나노종합기술원에서 시행하는 “ ㅇㅇㅇㅇㅇㅇㅇㅇ(공고명 기입) ”사업자 선정 제안서 평가와 관련, 아래의 내용을 준수할 것을 서약합니다.
제출된 제안서를 포함한 모든 서류와 증빙자료는 상호 일치하고 사실에 근거하며 신의와 성실의 원칙에 입각하여 작성하여 제출하며, 만일 제출한 자료와 발표내용이 부정한 방법으로 작성되었거나 허위로 판명될 경우에는 참가 자격에서 제외하여도 아무런 이의를 제기하지 않겠습니다.
제안서 평가를 위해 구성된 평가위원 구성, 평가방법, 평가기준, 평가결과에 대하여 일체의 이의를 제기하지 않겠습니다.
2026.
.
.
주 소 : 회사명 :
대표자 :
(인)
나노종합기술원장 귀하 [붙임2] 청렴계약 이행확약서
제1조(목적) 이 청렴계약이행확약서는 나노종합기술원과 계약자가 체결하는 물품구매․용역․공사 계약에 있어 계약일반 조건 외에 청렴계약을 위한 내용을 특별히 규정함을 목적으로 한다.
제2조(청렴계약이행 준수의무) ①물품․용역․공사 등의 입찰에서 청렴계약 이행각서를 제출하고 계약체결 하거나 계약 체결 할 상대자는 계약체결 또는 계약이행(준공 이후도 포함)과 관련하여 어떠한 명분으로도 관계 직원에게 직․ 간접적으로 금품․향응 등의 부당한 이익을 제공하여서는 아니 된다.
제3조(부정당업자의 입찰참가자격 제한) ①입찰에 참가하는 자가 입찰가격이나 특정인의 낙찰을 위하여 담합 등 불공정 행위를 하였을 때에는 다음 각 호의 어느 하나에서 정하는 바에 따라 나노종합기술원에서 시행하는 입찰에 참가 제한을 받게 된다.
1. 경쟁입찰에서 담합을 주도하여 낙찰을 받은 자는 입찰참가자격 제한 처분을 받은 날로부터 2년 동안 입찰에 참가하지 못한다.
2. 경쟁입찰에서 담합을 주도한 자는 입찰참가자격 제한 처분을 받은 날로부터 1년 동안 입찰에 참가하지 못한다.
3. 경쟁입찰에서 입찰자 간에 서로 상의하여 미리 입찰가격을 협정하거나 특정인의 낙찰을 위하여 담합한 자는 입찰 참가자격 제한 처분을 받은 날로부터 6월 동안 입찰에 참가하지 못한다.
② 입찰담합 등 불공정행위를 한 경우에는 제1항과 병행하여 「독점규제 및 공정거래에 관한 법령」에 따라 공정 거래위원회에 고발 등 조치를 하는데 일체 이의를 제기하지 않는다.
③ 입찰․낙찰, 계약체결 또는 계약이행 과정(준공 이후 포함)에서 관계 직원에게 직․간접적으로 금품, 향응 등 부당한 이익을 제공하지 않겠으며 이를 위반하였을 때에는 다음 각 호의 어느 하나에서 정하는 바에 따라 나노종합기술원에서 시행하는 입찰에 참가제한을 받게 된다.
1. 2억원 이상의 뇌물을 준 자는 입찰참가자격 제한 처분을 받은 날로부터 2년 동안 입찰에 참가하지 못한다.
2. 1억원 이상 2억원 미만의 뇌물을 준 자는 입찰참가자격 제한 처분을 받은 날로부터 1년 동안 입찰에 참가 하지 못한다.
3. 1천만원 이상 1억원 미만의 뇌물을 준 자는 입찰참가자격 제한 처분을 받은 날로부터 6개월 동안 입찰에 참가하지 못한다.
4. 1천만원 미만의 뇌물을 준 자는 입찰참가자격 제한 처분을 받은 날로부터 3개월 동안 입찰에 참가하지 못한다.
④ 제1항부터 제3항에 따라 입찰참가자격을 제한하는 기술원으로 부터 처분을 받은 자는 나노종합기술원을 상대로 손해배상을 청구하거나 배제하는 입찰에 관하여 민․형사상 이의를 제기하지 않는다.
제4조(계약해지 등) ① 입찰, 낙찰, 수의시담, 계약체결 또는 계약이행(준공 이후도 포함)과 관련하여 관계 직원에게 금품, 향응 등을 제공한 자는 다음 각 호의 어느 하나에서 정하는 바에 따라 해당 계약에 대한 조치를 받는다.
1. 계약체결 이후 착공전의 경우에는 해당 계약을 해제한다. 다만, 나노종합기술원의 사업수행 상 부득이 한 경우에는 그러하지 아니할 수 있다.
2. 계약이행 이후에는 계약의 전부 또는 일부를 해제 또는 해지한다. 다만, 계약대상물의 성격, 진도, 규모, 이행 기간 등을 감안하여 부득이한 경우에는 그러하지 아니할 수 있다.
3. 계약자는 제1호부터 제2호에 따른 나노종합기술원의 처리에 대하여 민․형사상 일체 이의를 제기하지 않는다.
제5조(기타사항) ①계약자는 자사의 임․직원(하도급업체나 하도급업체와 직․간접적으로 업무를 수행하는 자를 포함)과 대리인이 관계 직원에게 뇌물을 제공하거나 담합 등 불공정행위를 하지 않도록 하는 업체윤리강령과 내부비리 제보자에 대하여도 일체의 불이익 처분을 하지 않는 사규를 제정하도록 적극 노력한다.
2026년
월
일
확약자 주 소 : 회사명 :
대표자 :
(인)
나노종합기술원장 귀하 [붙임3] 퇴직자 영입현황 확인서 □ 공고번호 : □ 입찰건명 :
1. 나노종합기술원 퇴직자(퇴직 후 2년이 경과하지 아니한 자)가 당사에 대표 이사 또는 임직원으로 (□ 근무를 하고, □ 근무를 하지 않고) 있습니다.
※ 상기 박스(□)에 체크(√)하고, 근무를 하는 경우 아래 표 작성
성
명
소
속
퇴직당시 직위 퇴직당시 근무부서 퇴직일
2. 상기 입찰에 있어 위에 제출한 내용은 사실이며, 만약 사실과 다를 경우(축소, 누락 포함)에는 부정당업자로 입찰참가자격 제한조치 등의 불이익 처분을 받더라도 일체의 이의를 제기하지 아니할 것을 확약하고 이에 확인서를 제출합니다.
년
월
일
회 사 명 :
대 표 자 :
(인)
나노종합기술원장 귀하
===== 1. 입찰공고서_300mm 트랙.pdf =====
입찰공고(제2026–066호)
▣ 공고명 : 300mm 패키징용 자동 감광제 도포 장비
입찰에 참가하고자 하는 자는 아래의 입찰설명서(공고서, 규격서, 사양서 및 관련
규정 등)를 반드시 열람하여 그 내용을 숙지한 후 입찰에 참가하여야 하며 미숙지에
따른 책임은 입찰자에게 있습니다. 이 입찰과 관련하여 추가 문의사항이 있으면 아
래 담당자에게 연락주시기 바랍니다.
◦ 입찰 참가자격 등록, 나라장터시스템 : 정부조달 콜센터(1588-0800)
◦ 입찰참가자격, 시방서 등(수요부서) : 첨단패키징개발센터 강일석(042-366-1735)
◦ 입찰공고, 계약방법 등(구매부서) : 재무회계실 이광연(042-366-2021)
< 본 계약은 청렴계약(서약)제가 적용됩니다 >
본 계약은「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」제5조의2에 따른 청렴계약제가 적용
됩니다. 입찰자는 반드시 입찰서 제출 시 아래의 청렴계약서에 관한 내용을 숙지·승낙하여야
하며, 동 내용을 위반한 경우 발주기관의 조치에 대하여 어떠한 이의도 제기할 수 없습니다.
「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」제5조의2에 따라 본 입찰에 참여한 당사
대리인과 임직원은 입찰․낙찰, 계약체결 또는 계약이행 등의 과정(준공․납품 이후를
포함한다)에서 아래 각 호의 청렴계약 조건을 준수할 것이며, 이를 위반할 때에는 입찰․
낙찰을 취소하거나 계약을 해제․해지하는 등의 불이익을 감수하고, 이에 민․형사상
이의를 제기하지 않을 것임을 약정합니다.
1. 금품․향응 등(친인척 등에 대한 부정한 취업 제공 포함)을 요구 또는 약속하
거나 수수(授受)하지 않겠습니다.
2. 입찰가격의 사전 협의 또는 특정인의 낙찰을 위한 담합 등 공정한 경쟁을 방
해하는 행위를 하지 않겠습니다.
3. 공정한 직무수행을 방해하는 알선․청탁을 통하여 입찰 또는 계약과 관련된 특
정 정보의 제공을 요구하거나 받는 행위를 하지 않겠습니다.
4.「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」제4조의2제1항제2호 위반 시에 아래
의 손해배상액을 납부토록 하겠습니다.
- 입찰자 : 입찰금액의 100분의 5
- 계약상대자 : 계약금액의 100분의 10
1. 입찰개요
1.1. 공고(사업)명 : 300mm 패키징용 자동 감광제 도포 장비
1.2. 사양(규격) 및 수량 : 제안요청서 및 구매사양서 참고
1.3. 사업예산 : 2,915,000,000원(VAT 포함)
1.4. 기초금액 : 2,856,700,000원(VAT 포함)
1.5. 계약방법 : 일반경쟁
1.6. 낙찰자결정방법 : 규격가격동시
1.7. 계약기간 : 계약일부터 2027년 8월 31일까지
1.8. 납품장소 및 인도조건 : 나노종합기술원 / 현장(지정장소) 설치도
1.9. 공동수급 등 : 공동수급 및 하도급 불가
2. 입찰 일시 및 장소
2.1. 입찰방식 : 전자입찰(나라장터 온라인 제출 / 가격입찰서, 제안서 등)
2.2. 입찰서 제출 시작일시 : 2026.10.15. 10:00
2.3. 입찰서 제출 마감일시 : 2026.10.29. 10:00
2.4. 개찰일시 : 2026.10.29. 11:00
2.5. 개찰장소 : 국가종합전자조달시스템(나라장터)
2.6. 개찰은 제안서 평가 이후에 진행됩니다.
2.7. 기술원은 참가자격 및 제출서류 등에 대한 적정성 여부를 개찰 이후에도
판정할 수 있습니다.
3. 입찰참가자격
3.1. 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률시행령」 제12조(경쟁입찰의 참
가자격) 및 동법 시행규칙 제14조(입찰참가자격요건의 증명)의 자격요건을
갖춘 자
3.2. 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」 제27조 및 동법 시행
령 제76조(부정당업자의 입찰참가자격제한)에 의한 부정당업자에 해당하지
않는 자
3.3. 은행관리, 부도 또는 법정관리, 화의개시 중에 있지 않고 국가, 지방자치단
체, 정부출연 및 투자기관에 부정당업체로 제재를 받지 않은 자
3.4. 「국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정」에 의하여 반드시 전자
입찰서 제출 마감일 전일(18:00)까지 나라장터(G2B시스템)에 입찰참가자격
을 등록한 자
3.5. 본 입찰에 참여하고자 하는 자는 최근 3년 이내 “300mm, 200mm 자동 감
광제 도포 장비(Track System)” 납품실적을 1건 이상 보유한 자
3.5.1. 실적심사는 제안서에 포함된 실적증빙 자료를 통해서 확인합니다.
3.5.2. 납품(계약) 실적이 없는 경우 ‘입찰참가자격’ 없음으로 처리합니다.
4. 입찰신청(투찰) 및 입찰서류 제출
4.1. 본 입찰은 전자입찰로만 집행하며, 입찰서는 국가종합전자조달시스템
(www.g2b.go.kr)의 전자 입찰시스템을 이용하여 제출하여야 합니다.
4.1.1. 본 입찰은 부가가치세를 포함한 가격으로 투찰하여야 합니다.
4.1.2. 면세사업자 및 영세율을 적용받는 사업자는 반드시 부가가치세를 포함한 가격으
로 투찰하여야 하며, 최종 계약 시에는 부가세를 제외한 금액으로 계약을 체결합
니다
4.2. 입찰서류 제출방법: 전자제출(나라장터)
4.2.1. 나라장터 > 입찰 > 입찰진행/참가 화면 투찰버튼 클릭 >
입찰서류제출현황 팝업 > 제안서제출 바로가기 > 파일 첨부 후 제출
4.2.2. 나라장터를 통해서 제출하는 제안서류 일체는 PDF 파일 형식으로 제출
하여야 하며, 총 용량은 300MB를 초과할 수 없습니다.
4.2.3. 나라장터 이용시 문제가 있는 경우 국가종합전자조달시스템 콜센터(1585-0800)
로 문의하시기 바랍니다.
4.3. 입찰서류
구분
서류명
입찰참가
자격 확인
서류 등
(1.~4. 까지
1개 PDF
파일로
제출)
제안서
(1개
PDF파일로
제출)
비 고 1. 사업자등록증명서(원본) 1부 국세청 홈택스 발급 2. 서약서 1부 공고서(하단) 서식 참고 3. 청렴계약 이행확약서 1부 공고서(하단) 서식 참고 4. 퇴직자 영입현황 확인서 1부 공고서(하단) 서식 참고
제안요청서 평가기준 및 제안서
- 유사계약수행실적, 실적증명서 및 증빙자료 목차를 참고하여 제안서 작성
서식을 활용하여 작성(※ 제안서
(전자세금계산서, 발주서 등) 필수 제출
- 기업신용평가등급 확인서(공공기관 입찰용,
목차를 준수하며 자율양식으로
유효기간 이내 자료) 필수 제출
도 작성 가능)
1. 제안서 1부
4.4. 제출 서류가 허위인 경우 평가대상 제외, 계약을 해제할 수 있으며 이에
대한 손해배상의 책임이 있습니다.
5. 입찰, 계약, 하자보수 보증금 납부 및 귀속
5.1. 입찰보증금의 납부
5.1.1. 입찰자가 아래에 해당하는 경우에는 입찰금액의 100분의 5이상(「국가계약법
시행령」 제37조 제1항 단서조항에 따른 기획재정부장관이 기간을 정하여 고
시한 경우에는 1천분의 25이상)의 입찰보증금을 납부 하여야 합니다.
5.1.1.1. 신용정보 관리규약에 의한 채무불이행 또는 금융질서 문란자
5.1.1.2. 입찰공고일 이전 1년 이내에 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행
령」 제76조제1항제2호가목의 사유로 입찰참가자격 제한을 받은 자(입찰참가
자격 제한 기간 중인 경우를 포함한다.)
5.2. (입찰보증금 납부면제) 위 사항을 제외하고는 본 입찰에서 입찰보증금의 납부
는 면제하되, 입찰보증금 지급각서를 제출하여야 합니다.
5.3. (입찰보증금 지급각서 제출방법) 전자입찰(나라장터) 시 정해진 서식에 따라 송신
한 입찰서로 갈음합니다. (별도 서류제출 필요없음)
5.4. (입찰보증금 국고귀속 등) 낙찰자가 정해진 기일 내에 계약을 체결하지 아
니한 경우, 입찰보증금은 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률시행
령」제38조(「지방자치단체를 당사자로 하는 계약에 관한 법률시행령」제
38조)에 의해 조치되며, 부정당업자 제재를 받게 됩니다.
5.5. (계약보증금의 납부) 「국가계약법 시행령」제50조 제1항 및 나노종합기술원
「계약업무요령」 제11조에서 정한 계약보증금을 납부하여야 합니다.
5.6. (하자보수보증금의 납부) 「국가계약법 시행령」제62조 제1항 및 나노종합기술
원 「계약업무요령」 제13조에서 정한 하자보수보증금을 납부하여야 합니다.
6. 입찰의 무효
6.1. 『국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령』 제39조제4항, 동 시행
규칙 제44조 및 『계약예규』 입찰유의서 중 입찰의 무효 조항에 해당하는
경우 해당 입찰은 무효로 합니다.
6.2. 기술원은 참가자격 및 제출서류 등에 대한 적정성(적합) 여부를 개찰 이후
에도 판정할 수 있으며, 개찰 이후에도 적정성(적합) 검토가 부적합으로 판
정되는 자의 입찰은 무효로 처리합니다.
7. 낙찰자 결정 방법 및 예정가격
7.1. 낙찰자결정방법 : 규격가격동시
7.2. 규격(기술) 적격자 중 예정가격 이하 최저가 입찰자를 낙찰자로 합니다.
7.3. 규격(기술)평가에 대한 심사위원명단, 심사결과는 공개하지 않으며, 입찰자
는 이의를 제기할 수 없습니다.
7.4. 2인 이상 유효한 입찰이 성립한 경우 규격입찰서 심사결과 적격자가 1인인
경우에도 규격적격자의 가격입찰서를 개찰하여 낙찰자를 선정합니다.
7.5. 개찰결과 동일가격으로 입찰한 자가 2인 이상인 경우에도 규격 또는 기술
우위자를 낙찰자로 결정하며 규격 또는 기술평가 결과도 같은 때에는 추
첨에 의하여 낙찰자를 결정합니다.
7.6. 예정가격은 예비가격기초금액 기준 ± 2% 범위 내에서 작성된 15개의 예
비가격 중 입찰에 참여하는 각 업체가 추첨(2개씩 선택)한 번호 중 가장 많이
선택된 번호 4개를 산술 평균한 가격으로 합니다.
7.7. 낙찰자가 정당한 사유없이 계약에 불응하거나 부도 중에 있는 업체 및 부정
당업자 제재기간 중에 있는 업체가 낙찰자로 선정될 경우에는 차순위 입찰
자를 낙찰자로 결정합니다.
8. 유의사항
8.1. 입찰참가자는 국가종합전자조달시스템 전자입찰특별유의서, 공사입찰특별유
의서, 기획재정부 계약예규, 입찰공고 및 규격서(제안서 등) 등을 사전에 숙
지하고 입찰에 응하기 바라며, 미 숙지로 인한 책임은 입찰자에게 있습니다.
8.2. 본 입찰에 참가하고자 하는 자는 청렴계약 이행을 위한 청렴계약입찰 특별
유의서 및 청렴계약특수조건을 사전에 숙지하여야 하며, 입찰에 참여하는
업체는 입찰서류 제출을 청렴계약 이행확약서를 제출한 것으로 간주하고,
낙찰자로 선정된 자는 청렴계약이행확약서를 계약 시 제출하여야 합니다.
입찰서류제출 항목에 포함되어 미리 제출한 경우라도 추가제출을 요청하는
경우 제출해야 합니다.
8.3. 낙찰자로 선정된 자는 계약 시 나노종합기술원에서 퇴직 후 2년 이내인 자
에 대한‘퇴직자 영입현황 확인서’를 제출하여야 합니다. 입찰서류제출
항목에 포함되어 미리 제출한 경우라도 추가제출을 요청하는 경우 제출하
야 합니다.
8.4. 낙찰자로 선정된 자가 수의계약으로 계약을 체결하는 경우 공직자의 이해
충돌 방지제도 운영지침에 의해 ‘수의계약 체결 제한 여부 확인서’를
제출하여야 합니다.
8.5. 「중대재해·처벌 등에 관한 법률」제정·시행에 따른 준수사항 안내
8.5.1. 수요기관 및 계약상대자는 계약체결 이후 「중대재해처벌법」 제4조 및
제5조에 규정된 안전·보건과 관련된 의무를 준수하여야 하며, 입찰자는
현장여건, 과업내용 등을 미리 확인하여 이와 관련된 제반비용을 입찰가
격에 반영하여야 합니다.
8.5.2. 수요기관은 「중대재해처벌법 시행령」 제4조 제9호에 따라 계약상대자
가 동 법 제4조 및 제5조에 규정된 안전·보건과 관련된 의무를 준수하
는지 평가·점검할 수 있으며, 계약상대자는 수요기관이 평가·점검을
실시하는 경우 이에 협조하여야 합니다.
8.5.3. 수요기관은 계약상대자가 안전·보건 확보에 필요한 조치를 소홀히 하거
나 이행여부에 대한 점검 결과 보완 및 조치 등이 필요한 경우에는 계약
상대자에게 이에 대한 시정을 요구할 수 있습니다.
8.6. 입찰 및 계약 관련 부패행위나 불공정행위 등이 발생한 경우에는 나노종합
기술원 홈페이지(www.nnfc.re.kr)-정보마당-신고센터-청렴부패신고 Hot-lin
e 및 이메일 등으로 신고해 주시기를 바랍니다.
9. 보충정보 제공처
9.1. (물품사양 등) 첨단패키징개발센터 강일석(042-366-1736, [email protected])
9.2. (입찰/계약 절차 등) 재무회계실 이광연(042-366-2021, [email protected])
위와 같이 공고합니다. 2026. 10. 15. 나 노 종 합 기 술 원 장 [붙임1] 서 약 서
나노종합기술원에서 시행하는 “ ㅇㅇㅇㅇㅇㅇㅇㅇ(공고명 기입) ”사업자
선정 제안서 평가와 관련, 아래의 내용을 준수할 것을 서약합니다.
제출된 제안서를 포함한 모든 서류와 증빙자료는 상호 일치하고 사실
에 근거하며 신의와 성실의 원칙에 입각하여 작성하여 제출하며, 만일
제출한 자료와 발표내용이 부정한 방법으로 작성되었거나 허위로 판명
될 경우에는 참가 자격에서 제외하여도 아무런 이의를 제기하지 않겠
습니다.
제안서 평가를 위해 구성된 평가위원 구성, 평가방법, 평가기준, 평가결
과에 대하여 일체의 이의를 제기하지 않겠습니다.
2026.
주 소 :
회사명 :
대표자 :
. . (인) 나노종합기술원장 귀하 [붙임2]
청렴계약 이행확약서
제1조(목적) 이 청렴계약이행확약서는 나노종합기술원과 계약자가 체결하는 물품구매․용역․공사 계약에 있어 계약일반
조건 외에 청렴계약을 위한 내용을 특별히 규정함을 목적으로 한다.
제2조(청렴계약이행 준수의무) ①물품․용역․공사 등의 입찰에서 청렴계약 이행각서를 제출하고 계약체결 하거나 계약
체결 할 상대자는 계약체결 또는 계약이행(준공 이후도 포함)과 관련하여 어떠한 명분으로도 관계 직원에게 직․
간접적으로 금품․향응 등의 부당한 이익을 제공하여서는 아니 된다.
제3조(부정당업자의 입찰참가자격 제한) ①입찰에 참가하는 자가 입찰가격이나 특정인의 낙찰을 위하여 담합 등
불공정 행위를 하였을 때에는 다음 각 호의 어느 하나에서 정하는 바에 따라 나노종합기술원에서 시행하는
입찰에 참가 제한을 받게 된다.
1. 경쟁입찰에서 담합을 주도하여 낙찰을 받은 자는 입찰참가자격 제한 처분을 받은 날로부터 2년 동안 입찰에
참가하지 못한다.
2. 경쟁입찰에서 담합을 주도한 자는 입찰참가자격 제한 처분을 받은 날로부터 1년 동안 입찰에 참가하지 못한다.
3. 경쟁입찰에서 입찰자 간에 서로 상의하여 미리 입찰가격을 협정하거나 특정인의 낙찰을 위하여 담합한 자는 입찰
참가자격 제한 처분을 받은 날로부터 6월 동안 입찰에 참가하지 못한다.
② 입찰담합 등 불공정행위를 한 경우에는 제1항과 병행하여 「독점규제 및 공정거래에 관한 법령」에 따라 공정
거래위원회에 고발 등 조치를 하는데 일체 이의를 제기하지 않는다.
③ 입찰․낙찰, 계약체결 또는 계약이행 과정(준공 이후 포함)에서 관계 직원에게 직․간접적으로 금품, 향응 등
부당한 이익을 제공하지 않겠으며 이를 위반하였을 때에는 다음 각 호의 어느 하나에서 정하는 바에 따라
나노종합기술원에서 시행하는 입찰에 참가제한을 받게 된다.
1. 2억원 이상의 뇌물을 준 자는 입찰참가자격 제한 처분을 받은 날로부터 2년 동안 입찰에 참가하지 못한다.
2. 1억원 이상 2억원 미만의 뇌물을 준 자는 입찰참가자격 제한 처분을 받은 날로부터 1년 동안 입찰에 참가 하지 못한다.
3. 1천만원 이상 1억원 미만의 뇌물을 준 자는 입찰참가자격 제한 처분을 받은 날로부터 6개월 동안 입찰에 참가하지 못한다.
4. 1천만원 미만의 뇌물을 준 자는 입찰참가자격 제한 처분을 받은 날로부터 3개월 동안 입찰에 참가하지 못한다.
④ 제1항부터 제3항에 따라 입찰참가자격을 제한하는 기술원으로 부터 처분을 받은 자는 나노종합기술원을 상대로
손해배상을 청구하거나 배제하는 입찰에 관하여 민․형사상 이의를 제기하지 않는다.
제4조(계약해지 등) ① 입찰, 낙찰, 수의시담, 계약체결 또는 계약이행(준공 이후도 포함)과 관련하여 관계 직원에게
금품, 향응 등을 제공한 자는 다음 각 호의 어느 하나에서 정하는 바에 따라 해당 계약에 대한 조치를 받는다.
1. 계약체결 이후 착공전의 경우에는 해당 계약을 해제한다. 다만, 나노종합기술원의 사업수행 상 부득이 한
경우에는 그러하지 아니할 수 있다.
2. 계약이행 이후에는 계약의 전부 또는 일부를 해제 또는 해지한다. 다만, 계약대상물의 성격, 진도, 규모, 이행
기간 등을 감안하여 부득이한 경우에는 그러하지 아니할 수 있다.
3. 계약자는 제1호부터 제2호에 따른 나노종합기술원의 처리에 대하여 민․형사상 일체 이의를 제기하지 않는다.
제5조(기타사항) ①계약자는 자사의 임․직원(하도급업체나 하도급업체와 직․간접적으로 업무를 수행하는 자를 포함)과
대리인이 관계 직원에게 뇌물을 제공하거나 담합 등 불공정행위를 하지 않도록 하는 업체윤리강령과 내부비리
제보자에 대하여도 일체의 불이익 처분을 하지 않는 사규를 제정하도록 적극 노력한다.
2026년 월 일
확약자 주 소 :
회사명 :
대표자 :
나노종합기술원장 귀하 (인) [붙임3] 퇴직자 영입현황 확인서
□ 공고번호 :
□ 입찰건명 :
1. 나노종합기술원 퇴직자(퇴직 후 2년이 경과하지 아니한 자)가 당사에 대표
이사 또는 임직원으로 (□ 근무를 하고, □ 근무를 하지 않고) 있습니다.
※ 상기 박스(□)에 체크(√)하고, 근무를 하는 경우 아래 표 작성
성
명 소 속 퇴직당시 직위 퇴직당시 근무부서 퇴직일
2. 상기 입찰에 있어 위에 제출한 내용은 사실이며, 만약 사실과 다를 경우(축
소, 누락 포함)에는 부정당업자로 입찰참가자격 제한조치 등의 불이익 처분
을 받더라도 일체의 이의를 제기하지 아니할 것을 확약하고 이에 확인서
를 제출합니다.
년 월
회 사 명 :
대 표 자 :
나노종합기술원장 귀하 (인) 일
===== 2. 제안요청서_300mm 트랙.hwp =====
300mm 패키징용 자동 감광제 도포 장비 제안요청서 2026년 10월 문 의 규격관련 : 첨단패키징개발센터 강일석 센터장 042-366-1735 계약관련 : 재무회계실 이광연 선임 042-366-2021 Ⅰ 제안개요
1. 물품명(장비명) : 300mm 패키징용 자동 감광제 도포장비(300mm Track System for Packaging)
2. 용도 및 필요성
가. 첨단 패키지 플랫폼 구축을 위한 300mm 웨이퍼 자동 트랙 장치
- 신규 소재 공정 연구 : 두꺼운·고점도 PR(Photoresist)의 균일 도포 특성 평가 및 저온 경화 PR 등 차세대 소재 공정 개발
- 미세 배선 및 패드 패턴 형성 : Fan-Out, Flip-Chip 패키지의 재배선층(RDL) 형성, 마이크로 범프(Cu pillar, 솔더 범프) 및 TSV 패드 패턴 구현
- 인터포저 다층 적층 및 뒤틀림 대응 : 실리콘·글라스 인터포저 미세 배선 다층 적층 및 패널 레벨 패키징(PLP) 대비 기판 뒤틀림(Warpage) 제어 공정 실증
나. 국내 반도체 첨단 패키징 R&D 및 소부장 테스트베드 지원
- 첨단 패키징 전용 인프라 구축 : 수 µm급 피치 미세 배선 공정 지원을 위해 고점도 PR 전용 펌프 및 뒤틀림 제어 기술이 적용된 패키징 전용 Track 장비 도입
- 기술 한계 극복 및 생태계 강화 : 전공정 미세화 한계에 따른 첨단 패키징(2.5D/3D TSV, 인터포저 등) 핵심 공정 기술 확보 및 국내 OSAT·소부장 기업의 경쟁력 제고를 위한 개방형 테스트베드 서비스 제공
3. 사업예산 : 2,915,000,000원
4. 사양(규격)및수량 : 제품사양서 및 물품명세서 참고
5. 납품납기
가. 납품기한 : 계약일로부터 ~ 2027년 8월 31일
※ 기술원의 일정(노광장비 입고 시점)에 따라 납품기한은 변경될 수 있음
나. 납품장소 : 나노종합기술원 현장설치도(수요자 지정 장소), 2층 Fab
6. 공동수급 등 : 공동수급 및 하도급 불가
Ⅱ 일반사양 1. 소요시기(납품시기)
가. 2027년 8월 31일까지 납품 완료(기술검사는 납품 완료 후 별도 진행)
※ 기술원의 일정(노광장비 입고 시점)에 따라 납품기한은 변경될 수 있음
2. 성능보증
가. 공급자는 구매사양서 등에 언급된 설계조건에 부합되도록 성능을 보증해야 한다.
나. 공급자는 본 장비의 성능 검증을 위해 구매사양서 및 구매사양비표를 만족하는 결과물을 첨부해야 한다.
다. 공급자는 본 장비의 Warpage 성능 검증(웨이퍼 및 몰드 웨이퍼의 저온/고온 Warpage 특성을 제어할 수 있는 기구부 검증)을 위해 공인시험기관의 시험성적서와 자체시험성적서를 제출하여야 한다(시험성적기간 : 2026.01 ~ 현재)
라. 공급자는 장비 성능 보증에 관한 검증을 담당자에 확인 서명자료를 제출하여야 한다.
마. 공급자는 최근 3년 이내 TRACK System에 대한 납품 실적을 제출하여야 한다(대당 5억원 이상 실적만 인정)
3. SYSTEM 종류 및 수량 (구매사양서 및 구매사양비교표 Spec 참조)
가. Main Controller (SSD Mirroring 및 고점도 Pump Recipe Function) 1 Set
나. 4 Coater System (Warpage 대응 Chuck)
- Coater : 저점도 2 Unit, 고점도 2 Unit
- 저점도 Unit : 총 6 Nozzle (PR 1 Bottle 1 Nozzle, PR Pump 점도사양 0 ~ 200 cP)
- 고점도 Unit : 총 4 Nozzle (PR 1 Bottle 1 Nozzle 3 EA, PR Pump 점도사양 100 ~ 5000 cP / 1 Nozzle N2 가압 노즐 5000 cP 이상 대응용)
- 고점도 Unit Drain : Drain Mixing 2 System
다. 4 Development System (Warpage 대응 Chuck)
- 2 Unit : Normal Developer (TMAH 2.38%), SH Nozzle
- 2 Unit : NTD Developer (Fog Nozzle)
라. Adhesion Unit 2 Set 마. CPL 8 Set
바. LHP 8 Set & 2mm Warpage 대응 Plate
사. HHP 8 Set
아. 400도 고온용 Hop Plate 2 Set
자. PHP 4 Set & 2mm Warpage 대응 Plate
차. Local Auto Chemical Supply (2 Developer, Thinner, HMDS)
카. Robot Arm (2mm Warpage 대응)
파. THC (New Unit), TCU (Temp. Control Unit)
4. 기술검사(TEST)
가. System이 Operating & Performance가 정상적으로 나오는지 여부
나. System이 본 사양서의 내용과 기타 협의 사항을 준수하고 있는지 여부
다. 성능에 대한 검증 Test
1) 공급자는 최종 검사 시 Test를 실시하여야 하며, 기술원은 검증 Test 결과에 대하여 합격 여부를 판단한다.
2) Test 항목 : Reference Wafer PR Coating Uniformity
항목 Spec Remark
1um 두께 PR Thickness Range
Wafer 내 9 Point Thickness Range ≤5%
공급자가 제공하는 시료로 Test를 진행함 2 Lot Wafer Thickness 3σ 3σ≤200Å
Wafer to Wafer Spec (Mean) Range of Mean
≤200Å
Cup to Cup Spec (Mean) Range of Mean
≤200Å 5. 장비 설치 및 검수
가. 공급자는 장비 공급과 셋업에 일정 준수를 하여야 한다.
나. 공급자는 최종 검사 시 규격 요구사항에 대한 기술검사를 실시하여, 그 결과를 문서로 나노종합기술원 담당자에게 제출하여야 한다.
다. 나노종합기술원에 납품 후 설치된 사양(검증 결과 등)에 대한 성능 테스트 및 기술검사는 구매사양서 및 구매사양비교표 기준을 원칙으로 한다.
※ 공급자는 설치 및 검사에 필요한 모든 제반경비를 부담하여야 한다.
6. 제작기준
가. 본 장비는 2mm Warpage 대응을 할 수 있는 장비이어야 한다.
나. 모든 설비는“설비사전 안전인증제 기준”에 의거 설계, 제작 설치되어야 한다.
다. Set-up 시 안전수칙 미준수 및 안전도구 미착용 등으로 발생하는 모든 안전사고는 공급자 측에서 조치와 책임을 다한다.
7. 기술검사 완료(SIGN OFF)
가. Set-up 완료 보고서는 당사의 최종 승인일을 기준으로 한다.
8. 하자보수보증기간(WARRANTY)
가. Warranty 기간 : 기술검사(Acceptance Test) 완료일부터 3년
나. Warranty 기간 중 발생한 고장 (단, 사용자의 과실 및 고의에 의한 고장은 제외)에 대해서는 공급자 측에서 Parts와 Labor를 무상으로 제공 및 수리하여야 한다.
9. 동작조건
가. 구매사양서 및 구매사양비교표 기준으로 한다.
10. 교육
가. 교육은 Set-up 완료 후 Warranty 기간 내에 장비 교육을 실시하여야 하며, 교육 및 기술지원을 다음과 같이 하여야 한다.
① On-Site Training
- 공급자는 납품설치 후 장비운영에 필요한 교육(프로그램)을 실시한다.
- Maintenance & Diagnostics 교육 2회(나노종합기술원 설치장소 또는 공급자 제조공장)
- Operating 교육 2회(나노종합기술원 설치장소)
② 교육 상세 내용 - 시스템 운용(측정 및 분석 방법)
- 기본 유지보수 방법 / 예방정비 / 시스템 진단법
- 고급 기능 활용 방법
③ 장비 설치 및 보수에 필요한 부속품과 필요 특수공구 1 Set를 무상으로 제공하여야 한다.
④ 교육 방법 : 이론 교육 및 시연, 실무 연습
※ 교육 및 기술지원에 따른 모든 제반경비는 공급자가 부담하여야 한다.
11. 운송
가. 장비 운송 시 Packing은 운송 중에 문제가 없도록 견고히 하여야 한다.
나. 장비는 Particle 오염이 안 되도록 하여야 한다.
다. 장비 반입 시 파손이 우려되는 부품은 내장하거나 반입 후 조립할 수 있도록 한다.
라. 장비의 Fab 내 안착까지 반입 등 모든 경비는 모두 공급자 측에서 부담으로 한다.
12. 특기사항
가. 본 사양서에 명시되지 않은 사항은 공급자 측에서 제안하고 상호 협의에 의하여 결정한다.
나. 공급자가 소정기한까지 물품의 전부 또는 일부의 납품을 지연했을 경우에는 지연일수 1일에 대하여 미납품 대금의 0.75/1000의 금액을 지체상금으로 기술원이 징수하며 이는 물품대금 지불 시 공제한다.
Ⅲ 계약 일반사항 1. 계약내용 및 이의의 해석
가. 계약상대자는 계약서 내용에 기술되는 물품 등 일체를 공급하여야 하며, 본 규격서에 기술되어 있지 않은 사항 또는 불명확하다고 생각되는 사항은 나노종합기술원의 해석 및 의견을 확인하여야 한다.
2. 계약상대자의 책무
가. 계약상대자는 물품(장비)의 제작, 검사, 운반, 설치 및 시운전에 대한 전반적인 책임이 있으며, 모든 부품은 정상동작 상태 하에서 파손 또는 변형이 없이 충분한 강도와 성능을 보장하여야 한다.
나. 계약상대자는 시험장비 제작 전 나노종합기술원으로부터 제작도면의 승인을 득하여야 한다.
다. 물품(장비)를 납품함에 있어 계약 내용과 비교하여 필요한 부분의 누락 또는 생략이 되었을 경우 계약상대자는 계약사항에 포함된 것으로 간주하고 납품하여야 한다.
라. 계약 후 납품된 물품(장비)의 하자 등 문제점 발생 시 이에 대한 책임은 계약상대자에게 있다.
마 물품(장비)의 설계, 제작, 시험 및 납품, 유지보수와 관련하여 제3자의 지식재산권 등의 권리 보호에 따른 문제점이 발생되지 않도록 하여야 하며 발생 시 이에 대한 책임은 계약상대자에게 있다.
3. 포장 및 운반
가. 포장은 운반 및 설치현장의 습도, 기후조건 등을 감안하여 장비 및 부품의 운반 또는 보관 중 손상이 발생하지 않도록 견고한 포장을 하여야 하며, 외부에서 보기 쉬운 곳에 색채 및 기호 등으로 각 기기의 번호, 명칭 등을 표시하여야 한다.
나. 장비의 운반 중 장비의 기능 및 성능에 영향을 미치는 손상이 발생했을 경우에는 이에 대한 사후처리 및 원형복구는 계약상대자의 책임하에 이행하여야 한다.
4. 설치
가. 설치작업 이전에 반드시 지정된 설치장소에 대한 기초상태 등 제반여건을 사전 확인한 후에 기계를 설치하여야 하며, 설치와 관련되는 모든 비용(장비, 인원, 동력 등)은 계약상대자가 부담한다.
나. 계약 후 물품(장비)를 납품하여 설치 및 시운전시 계약상대자는 제품의 정상적인 가동에 필요한 모든 기술적인 업무를 지원하여야 한다.
5. 안전대책 및 책임
가. 계약수행 과정에서 발생하는 계약수행 인력의 제반 안전사고 책임 및 행정적, 기술적 비용과 문제처리는 계약상대자 부담한다.
나. 계약상대자는 계약수행 인력의 작업 중 안전사고 예방에 관한 규정을 제정․시행하여야 한다.
다. 계약상대자는 납품 및 설치 과정의 안전관리 방안을 준비하여야 하며 이의 소홀로 발생한 문제는 계약상대자가 일체의 책임을 진다.
라. 계약상대자는 계약수행 인력에 대하여 근로기준법, 산업안전보건법, 산업재해보상보험법, 직업안전법 등 제반 법률상 사용자로서의 책임과 의무를 이행하여야 한다.
마. 계약수행 중 발생한 모든 안전사고에 대한 책임(민․형사상)은 계약상대자에게 있다.
6. 보안 유지
가. 계약상대자는 공고문, 규격서 등 공개된 문서 내용 외에 계약수행 과정 중 취득한 각종 정보를 나노종합기술원의 승인 없이 소유 또는 외부 유출할 수 없다.
나. 보안 유지가 필요한 계약의 경우 비밀유지 대책, 보안각서 등 나노종합기술원의 보안 요구사항에 응하여야 한다.
다. 계약상대자는 계약 수행 관련 자료를 납품 전까지 별도 보관함에 구분하여 보관토록 하고, 관리책임자 정․부를 지정하여 관리하여야 한다.
라. 계약상대자는 납품 및 설치 등을 위하여 나노종합기술원에 출입할 경우 작업지정 장소 이외의 공간에 출입을 금지한다.
7. 교육훈련(기술지도)
가. 계약상대자는 필요시, 시험장비의 운용이 가능하도록 사용법 및 기타 필요한 사항을 사용 담당자를 대상으로 납품 완료와 동시에 교육을 실시하여야 한다.
나. 교육 일정 등 세부적인 사항에 대하여는 나노종합기술원과 사전 협의하여 결정한다.
다. 장비 작동 매뉴얼은 납품 시 제출하여야 하며, 나노종합기술원의 검사담당자의 확인을 받아야 한다.
8. 시운전
가. 계약상대자는 시운전에 필요한 모든 사항은 준비한 시운전 계획 및 승인된 시험 점검을 위해 감독관 입회하에 시운전을 시행하여야 하며, 시운전 불합격 시는 즉각 결함 부분을 시정하여 재시행하여야 한다.
9. 보증
가. 납품되는 모든 장비에 대하여 하자보증기간은 계약의 성격에 따라 납품 또는 검사검수 완료일 익일부터 1년으로 하며 동 기간 안에 설계, 제작, 설치 공사 및 재결함 등으로 고장 또는 파손되었을 경우 계약상대자는 나노종합기술원에서 지정하는 기일 내에 무상으로 신속한 복구를 하여야 한다.
나. 하자보증기간 만료 후에도 계약상대자는 부품, 소모품, 기타 운용에 필요한 모든 부속장비 및 정비에 대한 나노종합기술원의 요구에 협의해야 한다.
10. 운용지원(AFTER SERVICE)
가. 계약상대자는 제작 공급한 장비에 대한 신속하고 완벽한 운용지원(After Service)을 위하여 지원체제를 갖추어야 한다.
Ⅳ 제안서 평가 등 1. 평가개요
가. 본 평가기준은 ⌜국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률⌟ 등 공공기관의 입찰과 관련된 법령과 계약관련 규정 등에 의거하여 제반성능 및 기능, 제품규격, 납품능력, 신뢰성, 안정성, 확장성, 유지보수성, 제출자료 충실성, 환경 요구조건, 기술 적합성 등에 대한 제안서의 평가에 적용함
2. 제안서 평가기준, 적격자 및 낙찰자 선정 등
가. 제안서 평가표에 근거하여 평가를 실시함
나. 제안 내용에 대한 평가는 평가위원회를 구성하여 평가하고 제안서에 기재되지 않은 사항에 대해서는 평가하지 않음
다. 기술(규격)제안서를 평가하여 평가위원별 평가점수를 합산하여 최고점수와 최저점수를 제외하고(최저 또는 최고점수가 2개 이상일 때에는 이중 하나만 제외) 산출한 평균점수가 85점 이상인 자를 규격적격자로 결정
라. 규격적격자 중 가격개찰결과 예정가격 이하로서 최저가격을 제시한 자를 낙찰자로 결정
마. 최저가격 제출자가 2인 이상인 경우에는 규격입찰서 평가점수의 고득점자를 낙찰자로 결정하고 규격입찰서 평가점수도 동일환 경우에는 추첨으로 결정
바. 규격적격자가 2인 이상인 경우로서 가격개찰 결과가 예정가격 이하로 입찰한 자가 없을 때는 당해 규격적격자를 대상으로 다시 가격 입찰을 할 수 있음
3. 평가방법: 서면평가
가. 본 입찰은 서면평가로 진행하며, 수요부서에서 필요한 경우 대면평가로 변경하여 실시할 수 있다.
나. 대면평가를 실시하는 경우 수요부서에서 평가회 시간 및 장소는 추후 개별 통보함
다. 제안서 발표를 실시하는 경우, 사업관리자(PM)가 직접 제안서를 발표함
라. 제안서 발표는 제출한 제안서를 기초로 발표해야 하며, 제안서 내용과 상이할 시에는 평가위원의 동의를 얻어 감점 처리할 수 있음
마. 제안사항이 미흡하거나 객관적 증빙이 없는 경우 부적합으로 판정함
4. 제안서 효력
가. 제출기한 내에 미 제출시는 제안 의사가 없는 것으로 처리하고, 제안된 자료는 일체 반환하지 아니함
나. 제출된 제안서의 내용은 나노종합기술원이 요청하지 않는 한 변경할 수 없음
다. 제안서에 제시된 내용(추가제안, 추가자료 포함)은 계약서에 명시하지 않더라도 계약서와 동일한 효력을 가짐. 다만, 계약서에 명시된 경우에는 계약서의 내용이 우선함
라. 제안 내용에 대한 평가는 평가위원회를 구성하여 평가하고 제안서에 기재되지 않은 사항에 대하여는 평가하지 않음
5. 유의사항
가. 제출된 제안서는 일체 반환하지 않으며, 본 제안과 관련된 일체의 소요비용은 입찰참가자의 부담으로 함
나. 평가기준 적용일은 입찰공고일 현재를 기준으로 함
다. 제안내용에 대한 확인을 위하여 추가자료 요청 또는 현지실사를 할 수 있으며, 입찰참가자는 이에 응하여야 함
라. 제안서의 내용을 객관적으로 입증할 수 있는 관련 자료는 제안서의 별첨으로 제출하여야 함
마. 제안서 기재사항을 입증할 수 없거나 허위로 작성한 사실이 밝혀질 경우 평가 대상에서 제외하며, 계약 후에도 제안서의 내용이 허위로 작성한 사실이 발견되거나 제안된 내용을 충족시키지 못할 경우 계약을 취소하고 이에 대한 손해에 대해서는 입찰참가업체가 책임을 져야 함
바. 제안 업체는 가능한 한 제안요청서에서 제시한 정보들의 정확성에 대해 스스로 확인할 것을 권고함. 나노종합기술원은 제안요청서나 기타 첨부 자료 상의 오류나 누락에 대해 책임을 지지 아니함
사. 사업자로 선정된 이후에 나노종합기술원과의 협의 없이 사양을 변경하여 납품하지 아니함
아. 과제 수행 완료 후 사업자의 사업 수행결과가 불량한 경우 향후 관련 사업의 참여에 제한을 받을 수 있음
자. 담합 등의 방법으로 입찰의 공정성을 해한 제안업체는 평가대상에서 제외되며, 계약 이후라도 계약파기, 인적․물적․기간적 손실에 대한 손해배상 등 이에 상응하는 책임을 부담함
차. 제안요청서, 제안서, 계약서 등에 명시된 내용의 해석에 있어 그 뜻이 모호하여 의견을 달리할 경우 나노종합기술원과 협의하여 결정함
6. 비밀 및 보안 유지
가. 제안 참여업체는 제안서를 포함한 모든 문서를 낙찰자 결정시까지 대외비로 취급하여야 하며, 제안 참여업체 관계자 이외의 제3자에게 공개할 수 없음
나. 본 규격평가기준서 및 제안서의 전체 또는 일부를 제안서 제출외의 다른 목적으로 사용할 수 없음
다. 입찰 과정 중 취득한 각종 정보와 계약 이행과정 중 취득한 정보를 누설할 수 없음
라. 위 사항을 위반하여 문제가 발생한 경우 해당 업체는 이에 따르는 전적인 책임을 지도록 함
Ⅴ 제안서 평가기준 1. 평가기준 가. 평가항목은 평가기준(표)에 의함
나. 제안 내용에 대한 평가는 평가위원회를 구성하여 평가하고 제안서에 기재되지 않은 사항에 대해서는 평가하지 않음
다. 기술(규격)제안서를 평가하여 평가위원별 평가점수를 합산하여 최고점수와 최저점수를 제외하고(최저 또는 최고점수가 2개 이상일 때에는 이중 하나만 제외) 산출한 평균점수가 85점 이상인 자를 규격적격자로 결정
제안서(규격‧기술) 평가기준
▣ 입찰건명 : 300mm 패키징용 자동 감광제 도포 장비
▣ 업 체 명 : 평가항목 평가기준(세부항목) 배점 평점 경영상태(10) (정량평가 : 붙임1) 기업신용평가등급
- 기업신용평가등급 확인서 : 공공입찰용, 공고일 이전 발급, 유효기간 이내
10 수행실적(20) (정량평가)
◦ 300mm, 200mm 자동 감광제 도포 장비(Track System) 납품 실적
- 공고일 기준 최근 3년(26.10월~23.10월), 대당 5억원 이상 실적만 인정
- 납품 실적 기준일 : 국내 세금계산서 발행일, 국외 수출·입신고필증 일자
◦ 평가기준 - 15대 이상 : 20점 - 10대 이상 : 15점 - 5대 이상 : 10점 - 실적 없음 : 0점 20 기술부문(55) (서면평가) 제품규격 적합성 (45)
◦ 장비 및 시스템 규격의 적합성(구매사양서 기준 달성률)
◦ 평가기준 - 100% 충족 시 : 30점 - 미충족 규격항목 2개 이내 : 25점 - 미총족 규격항목 2개 초과 : 0점 30 ◦ Warpage 보정 적합성
- 12인치(두께 775um) 웨이퍼 또는 캐리어 기준으로, Overmold 및 경화 후 샘플 사용
- Edge 5포인트 이상 변위 측정 및 Chucking 후 Center 또는 Chuck의 바닥으로부터 각 포인트의 최대 변위차 300um 이내
- Foup Loader, Coater, Hot Plate, Developer 모듈 중 적어도 한 곳에서의 Warpage 보정 실증
◦ 평가기준 - 공인시험기관 시험성적서 : 15점 - 자체시험성적서 제출 : 10점 ~ 1점 - 시험성적서 미제출 : 0점 15 기술능력 (10)
◦ 국내외 표준 인증(Semi-S2, CE-Mark, S-Mark, ISO-9001, ISO-14001)
◦ 평가기준 - 4개 이상 : 5점 - 4개 미만 ~ 3개 이상 : 4점 - 3개 미만 ~ 2개 이상 : 3점 - 2개 미만 : 1점 5 ◦ 지식재산권 보유현황(특허, 실용신안) ◦ 평가기준 - 20건 이상 : 5점 - 20건 미만 ~ 10건 이상 : 4점 - 10건 미만 ~ 5건 이상 : 3점 - 5건 미만 : 1점 5 관리부문(15) (서면평가) ◦ 기술지원 및 수리인력 수 ◦ 평가기준 - 20인 이상 : 5점 - 20인 미만 ~ 10인 이상 : 4점 - 10인 미만 ~ 5인 이상 : 3점 - 5인 미만 : 1점 5 ◦ 장비 보증(Warranty) 기간 ◦ 평가기준 - 3년 이상 : 10점 - 2년 이상 ~ 3년 미만 : 7점 - 1년 이상 ~ 2년 미만 : 4점 - 1년 미만 : 0점 10 합 계 100 평가의견
※ 위원 평균점수(최고 및 최저점 각 1개 제외)가 85점 이상인 업체를 적격자로 선정
평 가 일 : 2026년 월
일
소속기관 :
직
급 :
성
명 :
(인)
[붙임1] 경영상태 평가기준 신용평가등급 평점 점수 회사채 기업어음 기업신용평가등급 AAA, AA+, AA0, AA- A+, A0, A-, BBB+, BBB0 A1, A2+, A20, A2-, A3+, A30 AAA, AA+, AA0, AA-, A+, A0, A-, BBB+, BBB0 배점의 100% 10 BBB-, BB+, BB0, BB- A3-, B+, B0 BBB-, BB+, BB0, BB- 배점의 90% 9 B+, B0, B- B- B+, B0, B- 배점의 80% 8 CCC+ 이하 C 이하 CCC+ 이하 배점의 70% 7
※ 등급별 평점이 소수점 이하의 숫자가 있는 경우 소수점 다섯째자리에서 반올림함
[주]
1. 「신용정보의 이용 및 보호에 관한 법률」제2조 제8의3에 해당하는 신용조회사 또는「자본시장과 금융투자업에 관한 법률」제335조의3에 따라 업무를 영위하는신용평가사가 입찰공고일 이전에 평가하고 유효기간 내에 있는 회사채, 기업어음 및 기업신용평가등급을 국가종합전자조달시스템에 조회된 신용평가등급으로 평가하되, 가장 최근의 신용평가등급으로 평가한다. 다만, 가장 최근의 신용평가등급이 다수가 있으며 그 결과가 서로 다른 경우에는 가장 낮은 등급으로 평가한다.
2. 신용평가등급 확인서가 확인되지 않은 경우에는 최저등급으로 평가하며, 유효기간 시작일 또는 만료일이 입찰공고일인 경우에도 유효한 것으로 평가한다. 다만, 입찰공고일 다음날 이후에 발생 또는 수정된 자료는 평가에서 제외한다.
3. 주 1에도 불구하고, 합병 또는 분할한 자가 입찰공고일 이전에 평가한 신용평가등급이 없는 경우에는 입찰서 제출 마감일 전일까지 발급된 유효기간 내에 있는 가장 최근의 신용평가등급으로 평가한다. 다만, 합병 후 새로운 신용평가등급이 없는 경우에는 입찰공고일 이전에 평가하고 유효기간 내에 있는 신용평가등급으로서 합병 대상자 중 가장 낮은 신용평가등급을 받은 자의 신용평가등급으로 평가한다.
4. 추정가격이 고시금액 미만인 입찰에서 입찰공고일을 기준으로 최근 7년 이내에 사업을 개시한 창업기업에 대해서는 신용평가등급 점수상의 배점 한도를 부여한다. 이 경우 창업기업에 대한 확인은 「중소기업제품공공구매 종합정보망」에 등재된 자료로 확인하며, 창업기업확인서의 유효기간 내에 있어야 한다. 다만, 제안서 평가일 전일까지 발급된 자료도 심사에 포함하며, 이 경우 입찰공고일 이전 창업을 확인 할 수 있는 자료(법인인 경우 법인등기부상 법인설립등기일, 개인사업자인 경우에는 사업자등록증명서 상 사업자등록일)를 제출하여야 한다.(이하 창업기업에 대한 확인방법은 같다)
5. 공동수급체의 경우 구성원별 해당 점수에 지분율을 곱한 후 그 점수들을 합산하여 최종 평가하고, 평가 결과 소수점 이하의 숫자가 있는 경우 소수점 다섯째자리에서 반올림 한다.
(예) (A사 점수×A사 지분율)+(B사 점수×B사 지분율)…
6. 중소기업협동조합이 입찰에 참여하는 경우 중소기업협동조합의 신용평가등급으로 평가한다.
Ⅵ 제안서 작성 등 제안서 작성
가. 제안서는 기술평가 시 근거가 되는 자료이며, “제안서 목차”, “제안서 평가기준”을 참고하여 제안서 작성
나. 제안서는 제안서 목차 내용과 첨부양식을 포함하여 자유 작성
2. 제안서 목차 작성항목(목차) 작 성 방 법 비고 Ⅰ. 제안업체 일반 ㅇ 표지 포함 작성 [서식1] 1. 일반현황 ㅇ 제안사의 일반 현황 및 주요 연혁 [서식2] 2. 조직 및 인원 ㅇ 제안사의 조직 및 인원 현황을 제시 [서식3] 3. 경영상태 ㅇ 기업신용평가서 제시 - 공공기관입찰용, 유효기간 이내 평가서 Ⅱ. 기술부문 제품규격적합성 ㅇ 장비 및 시스템 규격의 적합성 - 구매사양비교표 작성 제출
- 구매사양서 및 구매사양비교표 기준 충족 여부 등
[서식4] 구매사양비교표 작성 제출 제품규격적합성 ㅇ Warpage 보정 적합성 - 공인시험기관의 시험성적서 제시 - 자체시험성적서 제시 3. 기술능력 ◦ 국내외 표준 인증 및 지식재산권 보유현황 자유양식 Ⅲ. 관리부문 1. 관리부문 ◦ 기술지원 및 수리인력 수 (해당장비 서비스 인력의 적정성) 자유양식 ◦ 장비 하지보수보증(Warranty) 기간 - 장비 보증기간 적정성 제시 [서식5] Ⅴ. 수행실적 등 1. 수행실적
- 300mm, 200mm Track System 시스템 계약(납품) 실적(공고일기준 최근 3년 내)
- 구매 계약 및 납품 등에 대한 실적증명원 제시
- 납품 실적 기준일 : 국내 세금계산서 발행일, 국외 수출·입신고필증 일자
[서식6~7] 3. 제안서 작성관련 서식 ※ 제안서 작성관련 서식 서식 1. 제안서 표지 서식 2. 제안업체 일반현황 서식 3. 기술지원인력현황 서식 4. 사양(규격) 비교표 서식 5. 장비유지보수계획 서식 6. 유사계약수행실적 서식 7. 실적증명서 [서식1] 『ㅇㅇㅇㅇ ㅇㅇㅇㅇ 장비』
제
안
서
상기 입찰에 대한 제안서를 제출하며, 제안서 및 제출 서류가 허위인 경우 평가대상에서 제외 또는 계약을 해제하더라도 이의제기하지 않을 것을 확인합니다.
2026. 00. 00. 상 호 : 주 소 :
대표자 :
(직인)
나노종합기술원장 귀하 [서식2] 회사소개서(일반현황 및 연혁) 회 사 명 대 표 자 사 업 분 야
주
소
전 화 번 호 회사설립년도
년
월
근 무 인 원
00 명 (4대보험 사업장 명부 등록인원 기준)
주요연혁
※ 회사소개서 내용이 많은 경우 별지를 추가하여 작성가능합니다.
[서식 3] 기술지원 인력 현황 사업 책임 기술자 직책 성명 관리 부문책임자 납품 부문책임자 직책 성명 직책 성명 ▣ 참여자 요약 연번 성명 직위 업무분야 업무경력 비고 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 ※ 입찰자 소속 직원 기준
※ 재직 증빙을 위해 대상인원에 대한 “4대 사회보험 가입자 확인서” 제출
[서식 4] 사양(규격) 비교표 공고사양(규격) 입찰참가제품 상세규격 공고명 : 300mm 패키지용 자동 감광제 도포 장비 제조사명 세부품목명 모델명
입찰참가제품의 상세규격은 “구매사양서(비교표)”을 작성하여 제출합니다.
1. 입찰자는 본 양식 우측 상단에 있는 “입찰참가제품 상세규격” 내용을 기재해야합니다.
2. 입찰자는 본 양식 하단의 내용을 작성하고 입찰자 대표 직인을 날인해야 합니다.
3. 입찰자는 Requirement Spec. 양식 자료를 작성하여 본 양식의 붙임 자료로 제출해야 합니다.
202 년
월
일
상 호 명 :
(사업자등록번호 :
)
대 표 자 : (인) 담 당 자 :
(휴대폰번호 :
)
(이메일주소 :
)
[서식 5] 장비 보증(Warranty) 기간 제공 계획 1. 장비 보증 기간 36개월 이상 36개월 미만 ~ 24개월 이상 24개월 미만 ~ 12개월 이상 12개월 미만
※ 해당부문에 “정확한 기간(단위 : 개월)을 작성해 주세요”
2. 장비 유지보수 계획 (필요시 작성) ○ ○ [서식 6] 유사계약수행실적 연번 계약명 계약기간 계약금액 발주처 납품일 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15
- 입찰공고일 기준 최근 5년 간 유사계약 수행 완료 실적을 연도순으로 기재(입찰 공고일 이전 계약 완료 실적에 한함)
- 실적증빙은 발주사 발급의 실적증명서 원본을 원칙으로 함(실적증명서 제출이 곤란한 경우 계약서 사본, 발주서(P/O) 사본 및 세금계산서 사본 등 제출)
- 실적증빙은 발주사 발급의 실적증명서 원본을 원칙으로 함
1. 공공기관 거래실적은 증빙자료 없이 실적증명서로 제출 가능
2. 민간거래실적은 계약서, 발주서(P/O) 및 세금계산서 등 증빙자료 첨부 필수. 실적증명서 상 금액과 세금계산서 또는 계약서 등 증빙자료의 금액 일치 여부 확인 필수
- 관련분야 여부는 발주처의 제출 서류를 기반으로 확인하며, 필요시 추가 서류를 요청할 수 있음
[서식 7] ※ 조달청 나라장터 실적증명서로 대체 가능 실 적 증 명 서 신청인 업체명(상호) 대 표 자 영업소재지 전화번호 사업자등록번호 증명서용도 제 출 처 계약내용 계약명 계약개요 계약번호 계약일자 계약기간 금 액 실 적 비 고 발급처 위 사실을 증명함.
년
월
일
업 체 명 :
(인) (전화번호 :
)
주 소 : 발 급 부 서 : 담 당 자 :
※ 공공기관 거래실적은 증빙자료 없이 실적증명서로도 제출 가능하나, 민간거래실적은 세금계산서 또는 계약서 등 증빙자료 첨부 필수(실적증명서 상 금액과 세금계산서 또는 계약서 등 증빙자료의 금액 일치 여부 확인 필수)
===== 3. 구매사양서_300mm 트랙.hwp =====
구 매 사 양 서
(COMMODITY DESCRIPTION) 품목번호 Item No. 관세분류번호 HSK No. 품 명 Description 단위 Unit 수량 Q'ty 2321119401 - 300mm 패키징용 자동 감광제 도포장치 System 1 Hardware Specification 1. System Configuration
1.1. Wafer Size & Type
1.1.1. 300 mm Notch & Flat Wafer @ SEMI Standard
1.1.2. Inline Process With Exposure Machine
1.1.3. Machine Type : Left to Right
1.1.4. Process Block : 2 EA (Dual Block System)
1.2. Wafer Loading Type of Load Port
1.2.1. 300mm 4 FOUP Type Wafer Loading
1.3. System Configuration(Advanced Package Process)
1.3.1. Warpage : ~ 2mm 보정(Transfer Arm, Bake Oven, Chuck 장착 및 추가 제공)
1.3.2. Warpage 기술협력 5년
1.3.3. Power Box : Power Distribution Unit
1.3.4. 4 Coater 4 Development Unit
1.3.5. 400도 HHP 2 Unit, HHP & LHP 16 EA, CPL 8 EA, ADH 2 EA, CWH 2EA
2. System Controller
2.1. System Control - PC-Based Control System(Program / Gem, Dual Hard Automatic Backup System for Real Time)
2.2. Software : Fully Automated Software
2.2.1. SSD Mirroring
2.2.2. High Viscosity Pump Recipe Function
3. Hardware
3.1. 2 Low Viscosity Coater Unit (2-3, 2-4 Unit)
3.1.1. P/R Dispense 6 Nozzle (1 Coater 3 Nozzle)
3.1.2. RPM : Spin RPM Max ~ 5,000 rpm
3.1.3. Cup Material : Solvent Compatible (Aceton, Thinner, etc.)
3.1.4. TOP E.B.R: Motor Type (Programmable)
3.1.5. Back Rinse : Dual Type
3.1.6. Spin Chuck : 130Φ (Warpage 대응 Spin Chuck)
3.1.7. Pump : 3 EA/Unit, RRC
3.1.8. Temp. Control : Temp. Control (Circulator) with Motor Flange
3.1.9. Drain : Drain (Facility Direct)
3.2. 2 High Viscosity Coater Unit (2-1. 2-2 Unit)
3.2.1. P/R Dispense 4 Nozzle (1 Coater 2 Nozzle)
3.2.2. RPM : Spin RPM Max ~ 5,000 rpm
3.2.3. 3 High Viscosity M650 Pump (100~5000 cP), 1 N2 Press Nozzle (5000 cP ~)
3.2.4. Cup Material : Solvent Compatible (Aceton, Thinner, etc.)
3.2.5. TOP E.B.R: Motor Type (Programmable)
3.2.6. Back Rinse : Dual Type
3.2.7. Spin Chuck : 130Φ (Warpage 대응 Spin Chuck)
3.2.8. Pump : 3 EA/Unit, RRC
3.2.9. Temp. Control : Temp. Control (Circulator) with Motor Flange
3.2.10. Drain : 직하 Drain & Drain Mixing System (고점도 Coater용) / Nozzle Bath & Drain Bath
3.3. 2 Normal Developer Unit (TMAH 2.38%)
3.3.1. 2 Process Module : 1/4”Stream, SH nozzle
3.3.2. RPM : Spin RPM Max ~ 5,000 rpm
3.3.3. Dispense Type : N2 Pressure Type
3.3.4. Top Rinse : 1/4”Stream Nozzle
3.3.5. Back Rinse Nozzle
3.3.6. Spin Chuck : 130Φ (Warpage 대응 Spin Chuck)
3.3.7. Temp. Control
3.3.8. Drain Method : Drain (Facility Direct)
3.3.9. Exhaust Type : Auto Damper Type
3.4. 2 NTD Developer Unit
3.4.1. 2 Process Module : 1/4”Stream, Fog Nozzle
3.4.2. RPM : Spin RPM Max ~ 5,000 rpm
3.4.3. Dispense Type : N2 Pressure Type
3.4.4. Top Rinse : 1/4”Stream Nozzle
3.4.5. Spin Chuck : 130Φ (Warpage 대응 Spin Chuck)
3.4.6. Temp. Control
3.4.7. Drain Method : Drain (Facility Direct)
3.4.8. Exhaust Type : Auto Damper Type
3.5. ADH 3.5.1. 2 Process Module
3.5.2. Quantity : 2 EA (Vapor Type)
3.5.3. Temp. Range : 50 ~ 180℃
3.5.4. Bake Temp. Accuracy : 50.0 ~ 120℃ R ≤0.4℃, 120.1 ~ 150℃ R ≤0.8℃, 150.1 ~ 180℃ R ≤1.2℃
3.5.4. Type : Proximity 0.1 Gap Spacer
3.5.5. Wafer Transfer Type : 3-Pin Up/Down Type
3.6 CPL 3.6.1. 8 Process Module
3.6.2. Temp. Range : 15 ~ 30℃
3.6.3. Cool Temp. Accuracy : 15 ~ 30℃ R ≤0.4℃
3.6.4. Type : Proximity 0.1 Gap Spacer
3.6.5. Wafer Transfer Type : 3-Pin Up/Down Type
3.7. LHP
3.7.1. 8 Process Module (Warpage 대응)
3.7.2. Temp. Range : 50 ~ 200℃
3.7.3. Bake Temp. Accuracy : 50.0 ~ 120℃ R ≤0.3℃, 120.1 ~ 150℃ R ≤0.7℃, 150.1 ~ 200℃ R ≤1.1℃
3.7.4. Type : Proximity 0.1 Gap Spacer
3.7.5. Wafer Transfer Type : 3-Pin Up/Down Type
3.8. HHP 3.8.1. 8 Process Module
3.8.2. Temp. Range : 50 ~ 350℃
3.8.3. Bake Temp. Accuracy : 50.0 ~ 120℃ R ≤1℃, 120.1 ~ 200℃ R ≤1.5℃, 200.1 ~ 300℃ R ≤2℃, 300.1 ~ 350℃ R ≤℃
3.8.4. Type : Proximity 0.1 Gap Spacer
3.8.5. Wafer Transfer Type : 3-Pin Up/Down Type
3.8.6. Exhaust : High Exhaust Piping
3.9. 400도 Hot Plate 3.9.1. 2 Process Module
3.9.2. Temp. Range : 400℃
3.9.3. Bake Temp. Accuracy : 400℃ R ≤6℃
3.9.4. Type : Proximity 0.1 Gap Spacer
3.9.5. Wafer Transfer Type : 3-Pin Up/Down Type
3.10. PHP
3.10.1. 4 Process Module (Warpage 대응)
3.10.2. Temp. Range : 50 ~ 200℃
3.10.3. Bake Temp. Accuracy : 50.0 ~ 120℃ R ≤0.2℃, 120.1 ~ 150℃ R ≤0.3℃, 150.1 ~ 200℃ R ≤0.5℃
3.10.4. Type : Proximity 0.1 Gap Spacer
3.10.5. Wafer Transfer Type : 3-Pin Up/Down Type
3.11. Local Chemical supply : Thinner, 2 Dev supply, HMDS
3.12. Robot Arm : CS arm Mapping sensor
3.13. THC : Temperature and Humidity Controller (멜콘사 _ New unit)
3.14. TCU : Thermocon Temp control unit set +/- 0.1
Process Specification
4. PR Coating Thickness Uniformity
4.1. NNFC 제공 1um 두께 PR Thickness Wafer 내 9 Point, Set ≤5%
4.2. Wafer 간 @ 2 Lots 3σ≤200Å
4.3. Wafer to Wafer Spec (Mean) Range of Mean ≤200Å
4.4. Cup to Cup Spec (Mean) Range of Mean ≤200Å
5. Throughput 5.1. ≥50 wph @ 300mm,
Reliability & Standard Wafers
6. System Reliability & Performance
6.1. Operational Up-Time : ≥90%
6.2. MTBF (Mean Time Between Failure) : ≥200hr
6.3. MTTR (Mean Time To Repair) : ≤4hr
7. Standard Wafer Supply : 300mm Standard Wafer 25 EA : Supply
===== 4. 구매사양비교표_300mm 트랙.xlsx =====
[시트: COVER]
C:
E: MODEL
E: SUPPLIER
E: EQUIPMENT K: 300mm TRACK System
A: COMPANY H: DATE K: POSITION P: NAME U: SIGNATURE
A: Supplier
A: ( G: )
A: Local Representative
A: ( G: )
A: National Nanofab Center
[시트: Spec]
A: NNFC Requirement Spec
A: EQUIPMENT REQUIREMENT SPECIFICATION
A: Equipment : B: 300mm 패키징용 자동감광제 도포장비 (300mm Track System for Packaging)
A: No B: Items D: NNFC's SPEC E: Supplier's reply F: Remarks
A: 1 B: General C: - Wafer size D: 12 Inch, S , Notch, Flat F: Flat Wafer 가능
C: - Machine Type D: Left to Right F: 추후 노광기 Type에 따른 변경 가능
C: - Configulation D: - 4 Coater (2 저점도 Coater, 2 고점도 Coater)
4 Developer (Normal 2 Uunit, 2 NTD Unit)
- HHP 2 EA (400℃), HHP & LPH 16 EA, CPL 8 EA, ADH 2 EA, CWH 2 Eaa F: COT(저점도)*2, COT(고점도)*2
DEV(Normal)*2, DEV(NTD)*2
ECH(400C)*2, HHP*8, LHP*8, CPL*8, PHP*4, ADH*2, CWH*2
C: - Wafer Flow D: InLine Process with Exposure Machine
C: - Warpage D: ~ 2mm 대응 F: 대응 가능 범위 (<2mm)
D: Warpage 2mm 대응용 Transfer Arm, Bake Oven, Chuck 장착 및 추가 제공 F: Chuck, COT Cup 추가 제공
D: Warpage 기술 협력 5년
D: Warpage 기술 Loadmap 제공
C: - Warranty D: Hardware Waranty : 3 Years
C: - 수행 능력 D: 최근 3년 (2023~2026년) TRACK System 납품 실적(대당 5억원 이상만 실적으로 인정) F: 증빙 제출: 수출 면장 또는 세금계산서
C: - Loading Type D: Index 4 Set
A: 2 B: Main controller C: - Main Controller D: PC, Program/Gem
Dual-Hard Automatic Backup System for Real-Time
SSD Mirroring (Option)
고점도 Pump Recipe Function (Option) F: 자동화
A: 3 B: Spin
(저점도 및 고점도 분리) D: 2 Process Module (저점도 및 고점도 Coater 각 2개)
C: - P/R Dispense (저점도) D: PR Pump (0~200 cP) 총 6개 Nozzle (PR 1 Bottle 1 Nozzle)
C: - P/R Dispense (고점도) D: PR Pump (200~ 50000 cP) 총 4개 Nozzle
C: - RPM D: Spin RPM Max ~ 5,000 rpm
C: - Cup Material D: Solvent Compatible (Aceton, Thinner, etc.)
C: - Dispense Nozzle D: Coating Compatible (4*3mm)
C: - Back Rinse D: Fix Type Nozzle #2
C: - Flow Meter D: Flow Detect System F: 고점도 PR 제외
C: - Spin Chuck D: 130Φ (Warpage 대응 Spin Chuck) - 장비 장착 8 EA 포함 총 16개 납품 F: Warpage Spin Chuck * 8 EA 추가 제공
C: - Catch Cup D: 장비 장착 4 EA 포함 총 12개 납품 F: COT Cup * 8 EA 추가 제공
C: - Pump D: PR Nozzle : 3 EA/Unit, RRC
C: - Temp. Control D: Temp. Control (Circulator) with Motor Flange
C: - Drain Method D: Drain (Facility Direct) & Drain Mixing 2 System (고점도 Coater 용)
C: - Chemical Filter D: Fliter Housing & Filter 0.2um / Back Rinse, DEV, Rinse 등 총 2 Set 납품 F: PR/Thinner/DEV/DI filter * 1 Set 별도 제공
C: - Exhaust Type D: Manual Type
A: 3-1 B: Spin
(저점도) D: 2 Process Module (상부 위치, 2-3, 2-4) F: 해당 PR은 Chemical Box 내 1 노즐당 1 Bottle
C: - P/R Dispense #1 D: PR Pump (0~ 200 cP)
C: - P/R Dispense #2 D: PR Pump (0~ 200 cP)
C: - P/R Dispense #3 D: PR Pump (0~ 200 cP)
C: - RPM D: Spin RPM Max ~ 5,000 rpm
C: - Cup Material D: Solvent Compatible (Aceton, Thinner, etc.)
C: - Dispense Nozzle D: Coating Compatible (4*3mm) F: Tube : 4*3mm
Nozzle Tip : 1.5Φ
C: - TOP E.B.R D: Motor Type : Programmable
C: - Back Rinse D: Fix Type Nozzle #2
C: - Flow Meter D: Flow Detect System F: PR, EBR, BSR, RRC, Solvent Bath
C: - Spin Chuck D: 130Φ (Warpage 대응 Spin Chuck)
C: - Pump D: PR Nozzle : 3 EA/Unit, RRC
C: - Temp. Control D: Temp. Control (Circulator) with Motor Flange
C: - Drain Method D: Drain (Facility Direct)
C: - Exhaust Type D: Manual Type
A: 3-2 B: Spin
(고점도) D: 2 Process Module (하단부 위치, 2-1, 2-2) F: 해당 PR은 장비 본체 내 장착
C: - P/R Dispense #1 (고점도) D: PR Pump (100~ 5000 cP) 1회 최대 토출량 45ml F: HVP M650
C: - P/R Dispense #2 (고점도) D: PR Pump (100~ 5000 cP) 1회 최대 토출량 45ml F: HVP M650
C: - P/R Dispense #1 (고점도) D: PR Pump (100~ 5000 cP) 1회 최대 토출량 45ml F: HVP M650
C: - P/R Dispense #2 (극고점도) D: N2 가압 노즐_Canister Tank (5000 cP ~ ) F: N2 가압 노즐
C: - Bottle Canister D: 고점도 PR Bottle Canister 3EA
C: - Drian D: -직하 Drain & Drain Mixing System (고점도 Coater 용)
- Nozzle Bath & Drain Bath
C: - RPM D: Spin RPM Max ~ 5,000 rpm
C: - Cup Material D: Solvent Compatible (Aceton, Thinner, etc.)
C: - Dispense Nozzle D: Coating Compatible (4*3mm) F: Tube : 8*6mm
Nozzle Tip : 3.5Φ (고점도)
Nozzle Tip : 6.0Φ (극고점도)
C: - TOP E.B.R D: Motor Type : Programmable
C: - Back Rinse D: Fix Type Nozzle #2
C: - Flow Meter D: Flow Detect System F: PR 제외
C: - Spin Chuck D: 130Φ (Warpage 대응 Spin Chuck)
C: - Pump D: PR Nozzle : 고점도 3 EA/Unit, RRC
C: - Temp. Control D: Temp. Control (Circulator) with Motor Flange
C: - Drain Method D: Drain (Facility Direct) & Drain Mixing 2 System (고점도 Coater 용)
C: - Exhaust Type D: Manual Type
A: 4 B: Spin
(Normal Developer) D: 2 Process Module F: 2 module
C: - Develop Dispense 1 D: 1/4" Stream , SH Nozzle
C: - RPM D: Spin RPM Max ~ 5,000 rpm
C: - DEV Nozzle D: SH Nozzle
C: - Dispense Type D: N2 Pressure Type
C: - Top Rinse D: 1/4" Stream Nozzle
C: - Back Rinse Hole D: Fix Type
C: - Flow Meter D: Flow Detact System
C: - Spin Chuck D: 130Φ (Warpage 대응 Spin Chuck)
C: - Temp. control D: Temp control (circulator), with motor flange
C: - Drain Method D: Drain (Facility Direct)
C: - Exhaust Type D: Auto Damper Type
A: 4-1 B: Spin
(NTD) D: 2 Process Module F: 2 module
C: - Develop Dispense 1 D: 1/4" Stream, Fog Nozzle
C: - RPM D: Spin RPM Max ~ 5,000 rpm
C: - DEV Nozzle D: Fog Nozzle
C: - Dispense Type D: N2 Pressure Type
C: - Top Rinse D: 1/4" Stream Nozzle
C: - Back Rinse Hole D: Fix Type
C: - Flow Meter D: Flow Detact System
C: - Spin Chuck D: 130Φ (Warpage 대응 Spin Chuck)
C: - Temp. Control D: Temp. Control (Circulator) with Motor Flange
C: - Drain Method D: Drain (Facility Direct)
C: - Exhaust Type D: Auto Damper Type
A: 5 B: ADH D: 2 Process Module
C: - Quantity D: 2 EA (Vapor Type)
C: - Temp. Range D: 50 ~ 180˚C
C: - Bake Temp. Accuracy D: 50.0 ~ 120˚C R ≤0.4˚C
D: 120.1 ~ 150˚C R ≤0.8˚C
D: 150.1 ~ 180˚C R ≤1.2˚C
C: - Type D: Proximity : 0.1 Gap Spacer
C: - Wafer Transfer Type D: 3-Pin Up/Down Type
A: 6 B: CPL D: 8 Process Module
C: - Temp. Range D: 15˚C ~ 30˚C
C: - Cool Temp. Accuracy D: 15 ~ 30˚C R ≤0.4˚C
C: - Type D: Proximity : 0.1 Gap Spacer
C: - Wafer Transfer Type D: 3-Pin Up/Down Type
A: 7 B: LHP D: 8 Process Module (Warpage 대응) F: 8 Module
C: - Temp. Range D: 50˚C ~ 200˚C
C: - Bake Temp. Accuracy D: 50.0 ~ 120˚C R ≤0.3˚C
D: 120.1 ~ 150˚C R ≤0.7˚C
D: 150.1 ~ 200˚C R ≤1.1˚C
C: - Type D: Proximity : 0.1 Gap Spacer
C: - Wafer Transfer Type D: 3-Pin Up/Down Type
A: 8 B: HHP D: 8 Process Module
C: - Temp. Range D: 50˚C ~ 350˚C
C: - Bake Temp. Accuracy D: 50.0 ~ 120˚C R ≤1.0˚C
D: 120.1 ~ 200˚C R ≤1.5˚C
D: 200.1 ~ 300˚C R ≤2.0˚C
D: 300.1 ~ 350˚C R ≤4.0˚C
C: - Type D: Proximity : 0.1 Gap Spacer
C: - Exhaust D: High Exhaust Piping
C: - Wafer Transfer Type D: 3-Pin Up/Down Type
A: 9 B: 400도 Hot Plate D: 2 Process Module F: 2 Module
C: - Temp. Range D: 400˚C
C: - Bake Temp. Accuracy D: 400˚C R ≤6˚C
D: Thickness Uniformity (9 Point @ 1300Å, SOC) ≤1.00%
C: - Type D: Proximity : 0.1 Gap Spacer
C: - Wafer transfer type D: 3-Pin Up/Down Type
A: 10 B: PHP D: 4 Process Module (Warpage 대응) F: 4 Module- PHP module
C: - Temp. Range D: 50 ~ 200˚C
C: - Bake Temp. Accuracy D: 50.0 ~ 120˚C R ≤0.2˚C
D: 120.1 ~ 150˚C R ≤0.3˚C
D: 150.1 ~ 200˚C R ≤0.5˚C
C: - Type D: Proximity : 0.1 Gap Spacer
C: - Wafer Transfer Type D: 3-Pin Up/Down Type
A: 11 B: Local Chemical Supply C: - Chemical Supply D: Auto Supply
D: DEV Auto Supply & DEV Empty Tank Sensor
D: Thinner Auto Supply & Thinner Empty Tank Sensor
D: 중앙공급 장비 대체하기 위한 별도 Supply 필요(Thinner, 2 DEV, HMDS는 Chemical Box 내 공급)
A: 12 B: Robot Arm C: - Robot Arm D: CS Arm Mapping Sensor
D: Ceramic Arm - x, y, z, T & Mapping
D: PS Main Arm : - x1,2,3, z, T
D: 3 Pincette, Centering : +/- 0.3mm
A: 13 B: THC C: - THC D: Temperature and Humidity Controller (멜콘사_New Unit)
A: 14 B: TCU C: - Thermocon D: Temp. Control Unit Set +/- 0.1
A: 15 B: Process C: - Process D: PR Coating Uniformity :
D: - NNFC 제공 1um 두께 PR Thickness Wafer 내 9 Point, Set ≤5%
D: - Wafer 간 @ 2 lots 3σ ≤200Å
D: - Wafer to Wafer Spec (Mean) Range of Mean ≤200Å
D: - Cup to Cup Spec (Mean) Range of Mean ≤200Å
A: 16 B: Reliability C: - Reliability D: 1. Operation Up-Time : ≥90%
D: 2. MTBF : ≥200hrs
D: 3. MTTR : ≤4hrs
A: 17 B: Sign Off C: - Sign Off D: Hardware/Process All Meet
[시트: Configuration]
A: 1-4
FOU C: 1-0
CRA E: 2-24 F: ECH G: 2-30 I: 2-14 J: ECH K: 3-24 L: HHP M: 3-30 O: 3-14 P: PHP Q: 4-4 WEE
E: 2-23 F: HHP G: 2-29 I: 2-13 J: HHP K: 3-23 L: HHP M: 3-29 O: 3-13 P: PHP
E: 2-22 F: HHP G: 2-28 H: LHP I: 2-12 J: HHP K: 3-22 L: HHP M: 3-28 N: LHP O: 3-12 P: PHP
A: 1-3
FOU
E: 2-21 F: CPL G: 2-27 H: LHP I: 2-11 J: CPL K: 3-21 L: HHP M: 3-27 N: LHP O: 3-11 P: PHP Q: 4-0
IRA R: 4-5
EIS
E: 2-20 F: CWH G: 2-26 H: LHP I: 2-10 J: CWH K: 3-20 M: 3-26 N: LHP O: 3-10
E: 2-19 F: CPL I: 2-9 J: CPL K: 3-19 L: CPL O: 3-9 P: CPL
A: 1-2
FOU E: 2-8 G: 2-25 H: LHP I: 2-18 SHUTTLE M: 3-25 N: LHP O: 3-18
E: 2-7 F: ADH I: 2-17 SHUTTLE O: 3-17 P: CPL
E: 2-6 F: TRS G: 2-0
PRA I: 2-16 K: 3-6 M: 3-0
PRA O: 3-16 P: TRS
E: 2-5 F: TRS I: 2-15 J: ADH K: 3-5 L: CPL O: 3-15 P: TRS
E: 2-3 COT
RRC * 3 ea. H: 2-4 COT
RRC * 3 ea. K: 3-3 DEV
SH nozzle *1ea. N: 3-4 DEV
SH nozzle * 1ea.
A: 1-1
FOU
E: 2-1 COT
N2 *1ea, M650 *1ea. H: 2-2 COT
M650 *2 ea. K: 3-1 NTD
Fog nozzle * 1ea. N: 3-2 NTD
Fog nozzle * 1ea. Q: 4-3 SBU
Q: 4-2 SBU
Q: 4-1 THS
===== 2. 제안요청서_300mm 트랙.pdf =====
300mm 패키징용 자동 감광제 도포 장비
제안요청서
2026년 10월
문
의
규격관련 : 첨단패키징개발센터 강일석 센터장 042-366-1735 계약관련 : 재무회계실 이광연 선임 042-366-2021
Ⅰ 제안개 요
1. 물품명(장비명) : 300mm 패키징용 자동 감광제 도포장비(300mm Track
System for Packaging)
2. 용도 및 필요성
가. 첨단 패키지 플랫폼 구축을 위한 300mm 웨이퍼 자동 트랙 장치
- 신규 소재 공정 연구 : 두꺼운·고점도 PR(Photoresist)의 균일 도포 특성
평가 및 저온 경화 PR 등 차세대 소재 공정 개발
- 미세 배선 및 패드 패턴 형성 : Fan-Out, Flip-Chip 패키지의 재배선층
(RDL) 형성, 마이크로 범프(Cu pillar, 솔더 범프) 및 TSV 패드 패턴 구현
- 인터포저 다층 적층 및 뒤틀림 대응 : 실리콘·글라스 인터포저 미세 배선
다층 적층 및 패널 레벨 패키징(PLP) 대비 기판 뒤틀림(Warpage) 제어 공
정 실증
나. 국내 반도체 첨단 패키징 R&D 및 소부장 테스트베드 지원
- 첨단 패키징 전용 인프라 구축 : 수 µm급 피치 미세 배선 공정 지원을 위
해 고점도 PR 전용 펌프 및 뒤틀림 제어 기술이 적용된 패키징 전용
Track 장비 도입
- 기술 한계 극복 및 생태계 강화 : 전공정 미세화 한계에 따른 첨단 패키징
(2.5D/3D TSV, 인터포저 등) 핵심 공정 기술 확보 및 국내 OSAT·소부장
기업의 경쟁력 제고를 위한 개방형 테스트베드 서비스 제공
3. 사업예산 : 2,915,000,000원
4. 사양(규격)및수량 : 제품사양서 및 물품명세서 참고
5. 납품납기
가. 납품기한 : 계약일로부터 ~ 2027년 8월 31일
※ 기술원의 일정(노광장비 입고 시점)에 따라 납품기한은 변경될 수 있음
나. 납품장소 : 나노종합기술원 현장설치도(수요자 지정 장소), 2층 Fab
6. 공동수급 등 : 공동수급 및 하도급 불가
Ⅱ 일반사양
1. 소요시기(납품시기)
가. 2027년 8월 31일까지 납품 완료(기술검사는 납품 완료 후 별도 진행)
※ 기술원의 일정(노광장비 입고 시점)에 따라 납품기한은 변경될 수 있음
2. 성능보증
가. 공급자는 구매사양서 등에 언급된 설계조건에 부합되도록 성능을 보증해야
한다.
나. 공급자는 본 장비의 성능 검증을 위해 구매사양서 및 구매사양비표를 만족
하는 결과물을 첨부해야 한다.
다. 공급자는 본 장비의 Warpage 성능 검증(웨이퍼 및 몰드 웨이퍼의 저온/고
온 Warpage 특성을 제어할 수 있는 기구부 검증)을 위해 공인시험기관의
시험성적서와 자체시험성적서를 제출하여야 한다(시험성적기간 : 2026.01 ~
현재)
라. 공급자는 장비 성능 보증에 관한 검증을 담당자에 확인 서명자료를 제출하
여야 한다.
마. 공급자는 최근 3년 이내 TRACK System에 대한 납품 실적을 제출하여야
한다(대당 5억원 이상 실적만 인정)
3. SYSTEM 종류 및 수량 (구매사양서 및 구매사양비교표
Spec 참조)
가. Main Controller (SSD Mirroring 및 고점도 Pump Recipe Function) 1 Set
나. 4 Coater System (Warpage 대응 Chuck)
- Coater : 저점도 2 Unit, 고점도 2 Unit
- 저점도 Unit : 총 6 Nozzle (PR 1 Bottle 1 Nozzle, PR Pump 점도사양 0 ~
200 cP)
- 고점도 Unit : 총 4 Nozzle (PR 1 Bottle 1 Nozzle 3 EA, PR Pump 점도사양
100 ~ 5000 cP / 1 Nozzle N2 가압 노즐 5000 cP 이상 대응용)
- 고점도 Unit Drain : Drain Mixing 2 System
다. 4 Development System (Warpage 대응 Chuck)
- 2 Unit : Normal Developer (TMAH 2.38%), SH Nozzle
- 2 Unit : NTD Developer (Fog Nozzle)
라. Adhesion Unit 2 Set
마. CPL 8 Set
바. LHP 8 Set & 2mm Warpage 대응 Plate
사. HHP 8 Set
아. 400도 고온용 Hop Plate 2 Set
자. PHP 4 Set & 2mm Warpage 대응 Plate
차. Local Auto Chemical Supply (2 Developer, Thinner, HMDS)
카. Robot Arm (2mm Warpage 대응)
파. THC (New Unit), TCU (Temp. Control Unit)
4. 기술검사(TEST)
가. System이 Operating & Performance가 정상적으로 나오는지 여부
나. System이 본 사양서의 내용과 기타 협의 사항을 준수하고 있는지 여부
다. 성능에 대한 검증 Test
1) 공급자는 최종 검사 시 Test를 실시하여야 하며, 기술원은 검증 Test 결과
에 대하여 합격 여부를 판단한다.
2) Test 항목 : Reference Wafer PR Coating Uniformity
항목
Spec
1um 두께 PR
Wafer 내 9 Point
Thickness Range
Thickness Range ≤5%
2 Lot Wafer Thickness
3σ≤200Å
3σ
Wafer to Wafer Spec
≤200Å
(Mean) Range of Mean
Cup to Cup Spec
≤200Å
(Mean) Range of Mean
Remark
공급자가 제공하는
시료로 Test를 진행함
5. 장비 설치 및 검수
가. 공급자는 장비 공급과 셋업에 일정 준수를 하여야 한다.
나. 공급자는 최종 검사 시 규격 요구사항에 대한 기술검사를 실시하여, 그 결
과를 문서로 나노종합기술원 담당자에게 제출하여야 한다.
다. 나노종합기술원에 납품 후 설치된 사양(검증 결과 등)에 대한 성능 테스트
및 기술검사는 구매사양서 및 구매사양비교표 기준을 원칙으로 한다.
※ 공급자는 설치 및 검사에 필요한 모든 제반경비를 부담하여야 한다.
6. 제작기준
가. 본 장비는 2mm Warpage 대응을 할 수 있는 장비이어야 한다.
나. 모든 설비는“설비사전 안전인증제 기준”에 의거 설계, 제작 설치되어야 한다.
다. Set-up 시 안전수칙 미준수 및 안전도구 미착용 등으로 발생하는 모든 안
전사고는 공급자 측에서 조치와 책임을 다한다.
7. 기술검사 완료(SIGN OFF)
가. Set-up 완료 보고서는 당사의 최종 승인일을 기준으로 한다.
8. 하자보수보증기간(WARRANTY)
가. Warranty 기간 : 기술검사(Acceptance Test) 완료일부터 3년
나. Warranty 기간 중 발생한 고장 (단, 사용자의 과실 및 고의에 의한 고장은
제외)에 대해서는 공급자 측에서 Parts와 Labor를 무상으로 제공 및 수리하
여야 한다.
9. 동작조건
가. 구매사양서 및 구매사양비교표 기준으로 한다.
10. 교육
가. 교육은 Set-up 완료 후 Warranty 기간 내에 장비 교육을 실시하여야 하
며, 교육 및 기술지원을 다음과 같이 하여야 한다.
① On-Site Training
- 공급자는 납품설치 후 장비운영에 필요한 교육(프로그램)을 실시한다.
- Maintenance & Diagnostics 교육 2회(나노종합기술원 설치장소 또는 공급
자 제조공장)
- Operating 교육 2회(나노종합기술원 설치장소)
② 교육 상세 내용
- 시스템 운용(측정 및 분석 방법)
- 기본 유지보수 방법 / 예방정비 / 시스템 진단법
- 고급 기능 활용 방법
③ 장비 설치 및 보수에 필요한 부속품과 필요 특수공구 1 Set를 무상으로
제공하여야 한다.
④ 교육 방법 : 이론 교육 및 시연, 실무 연습
※ 교육 및 기술지원에 따른 모든 제반경비는 공급자가 부담하여야 한다.
11. 운송
가. 장비 운송 시 Packing은 운송 중에 문제가 없도록 견고히 하여야 한다.
나. 장비는 Particle 오염이 안 되도록 하여야 한다.
다. 장비 반입 시 파손이 우려되는 부품은 내장하거나 반입 후 조립할 수 있도
록 한다.
라. 장비의 Fab 내 안착까지 반입 등 모든 경비는 모두 공급자 측에서 부담으
로 한다.
12. 특기사항
가. 본 사양서에 명시되지 않은 사항은 공급자 측에서 제안하고 상호 협의에
의하여 결정한다.
나. 공급자가 소정기한까지 물품의 전부 또는 일부의 납품을 지연했을 경우에
는 지연일수 1일에 대하여 미납품 대금의 0.75/1000의 금액을 지체상금으로
기술원이 징수하며 이는 물품대금 지불 시 공제한다.
Ⅲ 계 약 일반 사항
1. 계약내용 및 이의의 해석
가. 계약상대자는 계약서 내용에 기술되는 물품 등 일체를 공급하여야 하며, 본
규격서에 기술되어 있지 않은 사항 또는 불명확하다고 생각되는 사항은 나
노종합기술원의 해석 및 의견을 확인하여야 한다.
2. 계약상대자의 책무
가. 계약상대자는 물품(장비)의 제작, 검사, 운반, 설치 및 시운전에 대한 전반
적인 책임이 있으며, 모든 부품은 정상동작 상태 하에서 파손 또는 변형이
없이 충분한 강도와 성능을 보장하여야 한다.
나. 계약상대자는 시험장비 제작 전 나노종합기술원으로부터 제작도면의 승인
을 득하여야 한다.
다. 물품(장비)를 납품함에 있어 계약 내용과 비교하여 필요한 부분의 누락 또
는 생략이 되었을 경우 계약상대자는 계약사항에 포함된 것으로 간주하고
납품하여야 한다.
라. 계약 후 납품된 물품(장비)의 하자 등 문제점 발생 시 이에 대한 책임은 계
약상대자에게 있다.
마 물품(장비)의 설계, 제작, 시험 및 납품, 유지보수와 관련하여 제3자의 지식
재산권 등의 권리 보호에 따른 문제점이 발생되지 않도록 하여야 하며 발생
시 이에 대한 책임은 계약상대자에게 있다.
3. 포장 및 운반
가. 포장은 운반 및 설치현장의 습도, 기후조건 등을 감안하여 장비 및 부품의
운반 또는 보관 중 손상이 발생하지 않도록 견고한 포장을 하여야 하며,
외부에서 보기 쉬운 곳에 색채 및 기호 등으로 각 기기의 번호, 명칭 등을
표시하여야 한다.
나. 장비의 운반 중 장비의 기능 및 성능에 영향을 미치는 손상이 발생했을 경
우에는 이에 대한 사후처리 및 원형복구는 계약상대자의 책임하에 이행하
여야 한다.
4. 설치
가. 설치작업 이전에 반드시 지정된 설치장소에 대한 기초상태 등 제반여건을
사전 확인한 후에 기계를 설치하여야 하며, 설치와 관련되는 모든 비용(장
비, 인원, 동력 등)은 계약상대자가 부담한다.
나. 계약 후 물품(장비)를 납품하여 설치 및 시운전시 계약상대자는 제품의 정
상적인 가동에 필요한 모든 기술적인 업무를 지원하여야 한다.
5. 안전대책 및 책임
가. 계약수행 과정에서 발생하는 계약수행 인력의 제반 안전사고 책임 및 행정
적, 기술적 비용과 문제처리는 계약상대자 부담한다.
나. 계약상대자는 계약수행 인력의 작업 중 안전사고 예방에 관한 규정을 제정․
시행하여야 한다.
다. 계약상대자는 납품 및 설치 과정의 안전관리 방안을 준비하여야 하며 이의
소홀로 발생한 문제는 계약상대자가 일체의 책임을 진다.
라. 계약상대자는 계약수행 인력에 대하여 근로기준법, 산업안전보건법, 산업재
해보상보험법, 직업안전법 등 제반 법률상 사용자로서의 책임과 의무를 이
행하여야 한다.
마. 계약수행 중 발생한 모든 안전사고에 대한 책임(민․형사상)은 계약상대자에게 있다.
6. 보안 유지
가. 계약상대자는 공고문, 규격서 등 공개된 문서 내용 외에 계약수행 과정 중 취득
한 각종 정보를 나노종합기술원의 승인 없이 소유 또는 외부 유출할 수 없다.
나. 보안 유지가 필요한 계약의 경우 비밀유지 대책, 보안각서 등 나노종합기술
원의 보안 요구사항에 응하여야 한다.
다. 계약상대자는 계약 수행 관련 자료를 납품 전까지 별도 보관함에 구분하여
보관토록 하고, 관리책임자 정․부를 지정하여 관리하여야 한다.
라. 계약상대자는 납품 및 설치 등을 위하여 나노종합기술원에 출입할 경우 작
업지정 장소 이외의 공간에 출입을 금지한다.
7. 교육훈련(기술지도)
가. 계약상대자는 필요시, 시험장비의 운용이 가능하도록 사용법 및 기타 필요
한 사항을 사용 담당자를 대상으로 납품 완료와 동시에 교육을 실시하여야
한다.
나. 교육 일정 등 세부적인 사항에 대하여는 나노종합기술원과 사전 협의하여
결정한다.
다. 장비 작동 매뉴얼은 납품 시 제출하여야 하며, 나노종합기술원의 검사담당
자의 확인을 받아야 한다.
8. 시운전
가. 계약상대자는 시운전에 필요한 모든 사항은 준비한 시운전 계획 및 승인된
시험 점검을 위해 감독관 입회하에 시운전을 시행하여야 하며, 시운전 불합
격 시는 즉각 결함 부분을 시정하여 재시행하여야 한다.
9. 보증
가. 납품되는 모든 장비에 대하여 하자보증기간은 계약의 성격에 따라 납품 또
는 검사검수 완료일 익일부터 1년으로 하며 동 기간 안에 설계, 제작, 설치
공사 및 재결함 등으로 고장 또는 파손되었을 경우 계약상대자는 나노종합
기술원에서 지정하는 기일 내에 무상으로 신속한 복구를 하여야 한다.
나. 하자보증기간 만료 후에도 계약상대자는 부품, 소모품, 기타 운용에 필요한
모든 부속장비 및 정비에 대한 나노종합기술원의 요구에 협의해야 한다.
10. 운용지원(AFTER SERVICE)
가. 계약상대자는 제작 공급한 장비에 대한 신속하고 완벽한 운용지원(After
Service)을 위하여 지원체제를 갖추어야 한다.
Ⅳ 제 안서 평 가 등
1. 평가개요
가. 본 평가기준은 ⌜국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률⌟ 등 공공기관의
입찰과 관련된 법령과 계약관련 규정 등에 의거하여 제반성능 및 기능, 제품
규격, 납품능력, 신뢰성, 안정성, 확장성, 유지보수성, 제출자료 충실성, 환경 요
구조건, 기술 적합성 등에 대한 제안서의 평가에 적용함
2. 제안서 평가기준, 적격자 및 낙찰자 선정 등
가. 제안서 평가표에 근거하여 평가를 실시함
나. 제안 내용에 대한 평가는 평가위원회를 구성하여 평가하고 제안서에 기재
되지 않은 사항에 대해서는 평가하지 않음
다. 기술(규격)제안서를 평가하여 평가위원별 평가점수를 합산하여 최고점수와
최저점수를 제외하고(최저 또는 최고점수가 2개 이상일 때에는 이중 하나
만 제외) 산출한 평균점수가 85점 이상인 자를 규격적격자로 결정
라. 규격적격자 중 가격개찰결과 예정가격 이하로서 최저가격을 제시한 자를
낙찰자로 결정
마. 최저가격 제출자가 2인 이상인 경우에는 규격입찰서 평가점수의 고득점자
를 낙찰자로 결정하고 규격입찰서 평가점수도 동일환 경우에는 추첨으로
결정
바. 규격적격자가 2인 이상인 경우로서 가격개찰 결과가 예정가격 이하로 입찰
한 자가 없을 때는 당해 규격적격자를 대상으로 다시 가격 입찰을 할 수
있음
3. 평가방법: 서면평가
가. 본 입찰은 서면평가로 진행하며, 수요부서에서 필요한 경우 대면평가로 변
경하여 실시할 수 있다.
나. 대면평가를 실시하는 경우 수요부서에서 평가회 시간 및 장소는 추후 개별
통보함
다. 제안서 발표를 실시하는 경우, 사업관리자(PM)가 직접 제안서를 발표함
라. 제안서 발표는 제출한 제안서를 기초로 발표해야 하며, 제안서 내용과 상이
할 시에는 평가위원의 동의를 얻어 감점 처리할 수 있음
마. 제안사항이 미흡하거나 객관적 증빙이 없는 경우 부적합으로 판정함
4. 제안서 효력
가. 제출기한 내에 미 제출시는 제안 의사가 없는 것으로 처리하고, 제안된 자
료는 일체 반환하지 아니함
나. 제출된 제안서의 내용은 나노종합기술원이 요청하지 않는 한 변경할 수 없
음
다. 제안서에 제시된 내용(추가제안, 추가자료 포함)은 계약서에 명시하지 않더
라도 계약서와 동일한 효력을 가짐. 다만, 계약서에 명시된 경우에는 계약
서의 내용이 우선함
라. 제안 내용에 대한 평가는 평가위원회를 구성하여 평가하고 제안서에 기재
되지 않은 사항에 대하여는 평가하지 않음
5. 유의사항
가. 제출된 제안서는 일체 반환하지 않으며, 본 제안과 관련된 일체의 소요비용
은 입찰참가자의 부담으로 함
나. 평가기준 적용일은 입찰공고일 현재를 기준으로 함
다. 제안내용에 대한 확인을 위하여 추가자료 요청 또는 현지실사를 할 수 있
으며, 입찰참가자는 이에 응하여야 함
라. 제안서의 내용을 객관적으로 입증할 수 있는 관련 자료는 제안서의 별첨으
로 제출하여야 함
마. 제안서 기재사항을 입증할 수 없거나 허위로 작성한 사실이 밝혀질 경우
평가 대상에서 제외하며, 계약 후에도 제안서의 내용이 허위로 작성한 사
실이 발견되거나 제안된 내용을 충족시키지 못할 경우 계약을 취소하고 이
에 대한 손해에 대해서는 입찰참가업체가 책임을 져야 함
바. 제안 업체는 가능한 한 제안요청서에서 제시한 정보들의 정확성에 대해 스
스로 확인할 것을 권고함. 나노종합기술원은 제안요청서나 기타 첨부 자료
상의 오류나 누락에 대해 책임을 지지 아니함
사. 사업자로 선정된 이후에 나노종합기술원과의 협의 없이 사양을 변경하여
납품하지 아니함
아. 과제 수행 완료 후 사업자의 사업 수행결과가 불량한 경우 향후 관련 사업
의 참여에 제한을 받을 수 있음
자. 담합 등의 방법으로 입찰의 공정성을 해한 제안업체는 평가대상에서 제외
되며, 계약 이후라도 계약파기, 인적․물적․기간적 손실에 대한 손해배상 등
이에 상응하는 책임을 부담함
차. 제안요청서, 제안서, 계약서 등에 명시된 내용의 해석에 있어 그 뜻이 모호
하여 의견을 달리할 경우 나노종합기술원과 협의하여 결정함
6. 비밀 및 보안 유지
가. 제안 참여업체는 제안서를 포함한 모든 문서를 낙찰자 결정시까지 대외비
로 취급하여야 하며, 제안 참여업체 관계자 이외의 제3자에게 공개할 수
없음
나. 본 규격평가기준서 및 제안서의 전체 또는 일부를 제안서 제출외의 다른
목적으로 사용할 수 없음
다. 입찰 과정 중 취득한 각종 정보와 계약 이행과정 중 취득한 정보를 누설할
수 없음
라. 위 사항을 위반하여 문제가 발생한 경우 해당 업체는 이에 따르는 전적인
책임을 지도록 함
Ⅴ 제 안서 평 가기 준
1. 평가기준
가. 평가항목은 평가기준(표)에 의함
나. 제안 내용에 대한 평가는 평가위원회를 구성하여 평가하고 제안서에 기재
되지 않은 사항에 대해서는 평가하지 않음
다. 기술(규격)제안서를 평가하여 평가위원별 평가점수를 합산하여 최고점수와
최저점수를 제외하고(최저 또는 최고점수가 2개 이상일 때에는 이중 하나
만 제외) 산출한 평균점수가 85점 이상인 자를 규격적격자로 결정
제안서(규격‧기술) 평가기준
▣ 입찰건명 : 300mm 패키징용 자동 감광제 도포 장비
▣ 업 체 명 :
평가항목
경영상태(10)
(정량평가 : 붙임1)
평가기준(세부항목) 배점 기업신용평가등급
- 기업신용평가등급 확인서 : 공공입찰용, 공고일 이전
발급, 유효기간 이내
◦ 300mm, 200mm 자동 감광제 도포 장비(Track
System) 납품 실적
- 공고일 기준 최근 3년(26.10월~23.10월), 대당
5억원 이상 실적만 인정
- 납품 실적 기준일 : 국내 세금계산서 발행일, 국외
수행실적(20)
수출·입신고필증 일자
(정량평가)
◦ 평가기준
- 15대 이상 : 20점
- 10대 이상 : 15점
- 5대 이상 : 10점
- 실적 없음 : 0점
◦ 장비 및 시스템 규격의 적합성(구매사양서 기준 달성률)
◦ 평가기준
- 100% 충족 시 : 30점
- 미충족 규격항목 2개 이내 : 25점
- 미총족 규격항목 2개 초과 : 0점
◦ Warpage 보정 적합성
- 12인치(두께 775um) 웨이퍼 또는 캐리어 기준으로,
Overmold 및 경화 후 샘플 사용
제품규격
- Edge 5포인트 이상 변위 측정 및 Chucking 후
적합성
Center 또는 Chuck의 바닥으로부터 각 포인트의
(45)
최대 변위차 300um 이내
- Foup Loader, Coater, Hot Plate, Developer 모듈 중
적어도 한 곳에서의 Warpage 보정 실증
◦ 평가기준
기술부문(55)
- 공인시험기관 시험성적서 : 15점
- 자체시험성적서 제출 : 10점 ~ 1점
(서면평가)
- 시험성적서 미제출 : 0점
◦ 국내외 표준 인증(Semi-S2, CE-Mark, S-Mark,
ISO-9001, ISO-14001)
◦ 평가기준
- 4개 이상 : 5점
- 4개 미만 ~ 3개 이상 : 4점
- 3개 미만 ~ 2개 이상 : 3점
기술능력
- 2개 미만 : 1점
(10)
◦ 지식재산권 보유현황(특허, 실용신안)
◦ 평가기준
- 20건 이상 : 5점
- 20건 미만 ~ 10건 이상 : 4점
- 10건 미만 ~ 5건 이상 : 3점
- 5건 미만 : 1점
10 20 30 15 5 5 평점
관리부문(15)
(서면평가)
◦ 기술지원 및 수리인력 수
◦ 평가기준
- 20인 이상 : 5점
- 20인 미만 ~ 10인 이상 : 4점
- 10인 미만 ~ 5인 이상 : 3점
- 5인 미만 : 1점
5
◦ 장비 보증(Warranty) 기간
◦ 평가기준
- 3년 이상 : 10점
- 2년 이상 ~ 3년 미만 : 7점
- 1년 이상 ~ 2년 미만 : 4점
- 1년 미만 : 0점
10 합 계 100 평가의견
※ 위원 평균점수(최고 및 최저점 각 1개 제외)가 85점 이상인 업체를 적격자로 선정
평 가 일 : 2026년
월 일
소속기관 :
직
급 : 성 명 : (인) [붙임1]
경영상태 평가기준
신용평가등급
평점 점수
AAA, AA+, AA0, AA-,
A+, A0, A-, BBB+, BBB0
배점의 100% 10 A3-, B+, B0 BBB-, BB+, BB0, BB- 배점의 90% 9 B+, B0, B- B- B+, B0, B- 배점의 80% 8 CCC+ 이하 C 이하 CCC+ 이하 배점의 70% 7 회사채 기업어음 기업신용평가등급
AAA, AA+, AA0, AAA+, A0, A-, BBB+, BBB0
A1, A2+, A20,
A2-, A3+, A30
BBB-, BB+, BB0, BB-
※ 등급별 평점이 소수점 이하의 숫자가 있는 경우 소수점 다섯째자리에서 반올림함
[주]
1. 「신용정보의 이용 및 보호에 관한 법률」제2조 제8의3에 해당하는 신용조회사 또는「자본시장과
금융투자업에 관한 법률」제335조의3에 따라 업무를 영위하는신용평가사가 입찰공고일 이전에 평가
하고 유효기간 내에 있는 회사채, 기업어음 및 기업신용평가등급을 국가종합전자조달시스템에 조회
된 신용평가등급으로 평가하되, 가장 최근의 신용평가등급으로 평가한다. 다만, 가장 최근의 신용평
가등급이 다수가 있으며 그 결과가 서로 다른 경우에는 가장 낮은 등급으로 평가한다.
2. 신용평가등급 확인서가 확인되지 않은 경우에는 최저등급으로 평가하며, 유효기간 시작일 또는 만료
일이 입찰공고일인 경우에도 유효한 것으로 평가한다. 다만, 입찰공고일 다음날 이후에 발생 또는
수정된 자료는 평가에서 제외한다.
3. 주 1에도 불구하고, 합병 또는 분할한 자가 입찰공고일 이전에 평가한 신용평가등급이 없는 경우에
는 입찰서 제출 마감일 전일까지 발급된 유효기간 내에 있는 가장 최근의 신용평가등급으로 평가한
다. 다만, 합병 후 새로운 신용평가등급이 없는 경우에는 입찰공고일 이전에 평가하고 유효기간 내
에 있는 신용평가등급으로서 합병 대상자 중 가장 낮은 신용평가등급을 받은 자의 신용평가등급으
로 평가한다.
4. 추정가격이 고시금액 미만인 입찰에서 입찰공고일을 기준으로 최근 7년 이내에 사업을 개시한 창업
기업에 대해서는 신용평가등급 점수상의 배점 한도를 부여한다. 이 경우 창업기업에 대한 확인은
「중소기업제품공공구매 종합정보망」에 등재된 자료로 확인하며, 창업기업확인서의 유효기간 내에
있어야 한다. 다만, 제안서 평가일 전일까지 발급된 자료도 심사에 포함하며, 이 경우 입찰공고일 이
전 창업을 확인 할 수 있는 자료(법인인 경우 법인등기부상 법인설립등기일, 개인사업자인 경우에는
사업자등록증명서 상 사업자등록일)를 제출하여야 한다.(이하 창업기업에 대한 확인방법은 같다)
5. 공동수급체의 경우 구성원별 해당 점수에 지분율을 곱한 후 그 점수들을 합산하여 최종 평가하고,
평가 결과 소수점 이하의 숫자가 있는 경우 소수점 다섯째자리에서 반올림 한다.
(예) (A사 점수×A사 지분율)+(B사 점수×B사 지분율)…
6. 중소기업협동조합이 입찰에 참여하는 경우 중소기업협동조합의 신용평가등급으로 평가한다.
Ⅵ 제 안서 작 성 등
1. 제안서 작성
가. 제안서는 기술평가 시 근거가 되는 자료이며, “제안서 목차”, “제안서
평가기준”을 참고하여 제안서 작성
나. 제안서는 제안서 목차 내용과 첨부양식을 포함하여 자유 작성
2. 제안서 목차
작성항목(목차)
작 성 방 법 비고 Ⅰ. 제안업체 일반 ㅇ 표지 포함 작성 [서식1] 1. 일반현황 ㅇ 제안사의 일반 현황 및 주요 연혁 [서식2] 2. 조직 및 인원 ㅇ 제안사의 조직 및 인원 현황을 제시 [서식3] 3. 경영상태
- 기업신용평가서 제시
- 공공기관입찰용, 유효기간 이내 평가서
Ⅱ. 기술부문
[서식4]
1. 제품규격적합성
- 장비 및 시스템 규격의 적합성
- 구매사양비교표 작성 제출
- 구매사양서 및 구매사양비교표 기준 충족 여부 등
2. 제품규격적합성
- Warpage 보정 적합성
- 공인시험기관의 시험성적서 제시
- 자체시험성적서 제시
3. 기술능력 ◦ 국내외 표준 인증 및 지식재산권 보유현황 자유양식
◦ 기술지원 및 수리인력 수
(해당장비 서비스 인력의 적정성)
자유양식
◦ 장비 하지보수보증(Warranty) 기간
- 장비 보증기간 적정성 제시
[서식5]
구매사양비교
표 작성 제출
Ⅲ. 관리부문 1. 관리부문 Ⅴ. 수행실적 등 1. 수행실적
- 300mm, 200mm Track System 시스템
계약(납품) 실적(공고일기준 최근 3년 내)
- 구매 계약 및 납품 등에 대한 실적증명원 제시
[서식6~7]
- 납품 실적 기준일 : 국내 세금계산서 발행일, 국외
수출·입신고필증 일자
3. 제안서 작성관련 서식 ※ 제안서 작성관련 서식
서식 1. 제안서 표지
서식 2. 제안업체 일반현황
서식 3. 기술지원인력현황
서식 4. 사양(규격) 비교표
서식 5. 장비유지보수계획
서식 6. 유사계약수행실적
서식 7. 실적증명서
[서식1] 『ᄋᄋᄋᄋ ᄋᄋᄋᄋ 장비』 제 안 서
상기 입찰에 대한 제안서를 제출하며, 제안서 및 제출 서류가 허위인 경우 평
가대상에서 제외 또는 계약을 해제하더라도 이의제기하지 않을 것을 확인합
니다.
2026. 00. 00. 상 호 : 주 소 : 대표자 : 나노종합기술원장 귀하 (직인) [서식2]
회사소개서(일반현황 및 연혁)
회
사 명 대 표 자
사 업 분 야
주
소
전 화 번 호
회사설립년도
근 무 인 원
년 월
00 명 (4대보험 사업장 명부 등록인원 기준)
주요연혁
※ 회사소개서 내용이 많은 경우 별지를 추가하여 작성가능합니다.
[서식 3]
기술지원 인력 현황
사업 책임 기술자
직책
성명
관리 부문책임자
직책
성명
납품 부문책임자
직책
성명
▣ 참여자 요약
연번
성명 직위 업무분야 업무경력
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
※ 입찰자 소속 직원 기준
※ 재직 증빙을 위해 대상인원에 대한 “4대 사회보험 가입자 확인서” 제출
비고 [서식 4]
사양(규격) 비교표
공고사양(규격)
입찰참가제품 상세규격
제조사명
공고명 :
300mm 패키지용 자동 감광제
도포 장비
세부품목명
모델명
입찰참가제품의 상세규격은 “구매사양서(비교표)”을 작성하여
제출합니다.
1. 입찰자는 본 양식 우측 상단에 있는 “입찰참가제품 상세규격” 내용을 기재해야합니다.
2. 입찰자는 본 양식 하단의 내용을 작성하고 입찰자 대표 직인을 날인해야 합니다.
3. 입찰자는 Requirement Spec. 양식 자료를 작성하여 본 양식의 붙임 자료로 제출해야
합니다.
202 년 월 일
상 호 명 :
(사업자등록번호 :
대 표 자 :
)
(인)
담 당 자 :
(휴대폰번호 :
(이메일주소 :
)
)
[서식 5]
장비 보증(Warranty) 기간 제공 계획
1. 장비 보증 기간
36개월 이상
36개월 미만 ~
24개월 이상
24개월 미만 ~
12개월 이상
※ 해당부문에 “정확한 기간(단위 : 개월)을 작성해 주세요”
2. 장비 유지보수 계획 (필요시 작성)
○
○
12개월 미만 [서식 6]
유사계약수행실적
연번
계약명 계약기간 계약금액 발주처 납품일
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
- 입찰공고일 기준 최근 5년 간 유사계약 수행 완료 실적을 연도순으로 기재(입찰 공고일
이전 계약 완료 실적에 한함)
- 실적증빙은 발주사 발급의 실적증명서 원본을 원칙으로 함(실적증명서 제출이 곤란한 경우
계약서 사본, 발주서(P/O) 사본 및 세금계산서 사본 등 제출)
- 실적증빙은 발주사 발급의 실적증명서 원본을 원칙으로 함
1. 공공기관 거래실적은 증빙자료 없이 실적증명서로 제출 가능
2. 민간거래실적은 계약서, 발주서(P/O) 및 세금계산서 등 증빙자료 첨부 필수. 실적증명서
상 금액과 세금계산서 또는 계약서 등 증빙자료의 금액 일치 여부 확인 필수
- 관련분야 여부는 발주처의 제출 서류를 기반으로 확인하며, 필요시 추가 서류를 요청할 수
있음
[서식 7]
실 적 증 명 서
업체명(상호)
대 표 자 영업소재지 전화번호
신청인
사업자등록번호
증명서용도
제 출 처
계약명
계약개요
계약내용
계약번호
계약일자 계약기간 금 액 실 적 비 고
위 사실을 증명함.
년
발급처
업 체 명 : (인) (전화번호 : 월
일
)
주 소 :
발 급 부 서 :
담 당 자 :
※ 조달청 나라장터 실적증명서로 대체 가능
※ 공공기관 거래실적은 증빙자료 없이 실적증명서로도 제출 가능하나, 민간거래실적은 세금계산서
또는 계약서 등 증빙자료 첨부 필수(실적증명서 상 금액과 세금계산서 또는 계약서 등 증빙자
료의 금액 일치 여부 확인 필수)
===== 3. 구매사양서_300mm 트랙.pdf =====
구 매 사 양 서
(COMMODITY DESCRIPTION)
품목번호
Item No.
관세분류번호
HSK No.
2321119401 -
품 명
Description
단위
Unit
300mm 패키징용 자동 감광제 도포장치 System
수량
Q'ty
1
Hardware Specification
1. System Configuration
1.1. Wafer Size & Type
1.1.1. 300 mm Notch & Flat Wafer @ SEMI Standard
1.1.2. Inline Process With Exposure Machine
1.1.3. Machine Type : Left to Right
1.1.4. Process Block : 2 EA (Dual Block System)
1.2. Wafer Loading Type of Load Port
1.2.1. 300mm 4 FOUP Type Wafer Loading
1.3. System Configuration(Advanced Package Process)
1.3.1. Warpage : ~ 2mm 보정(Transfer Arm, Bake Oven, Chuck 장착 및 추가 제공)
1.3.2. Warpage 기술협력 5년
1.3.3. Power Box : Power Distribution Unit
1.3.4. 4 Coater 4 Development Unit
1.3.5. 400도 HHP 2 Unit, HHP & LHP 16 EA, CPL 8 EA, ADH 2 EA, CWH 2EA
2. System Controller
2.1. System Control - PC-Based Control System(Program / Gem, Dual Hard
Automatic Backup System for Real Time)
2.2. Software : Fully Automated Software
2.2.1. SSD Mirroring
2.2.2. High Viscosity Pump Recipe Function
3. Hardware
3.1. 2 Low Viscosity Coater Unit (2-3, 2-4 Unit)
3.1.1. P/R Dispense 6 Nozzle (1 Coater 3 Nozzle)
3.1.2. RPM : Spin RPM Max ~ 5,000 rpm
3.1.3. Cup Material : Solvent Compatible (Aceton, Thinner, etc.)
3.1.4. TOP E.B.R: Motor Type (Programmable)
3.1.5. Back Rinse : Dual Type
3.1.6. Spin Chuck : 130Φ (Warpage 대응 Spin Chuck)
3.1.7. Pump : 3 EA/Unit, RRC
3.1.8. Temp. Control : Temp. Control (Circulator) with Motor Flange
3.1.9. Drain : Drain (Facility Direct)
3.2. 2 High Viscosity Coater Unit (2-1. 2-2 Unit)
3.2.1. P/R Dispense 4 Nozzle (1 Coater 2 Nozzle)
3.2.2. RPM : Spin RPM Max ~ 5,000 rpm
3.2.3. 3 High Viscosity M650 Pump (100~5000 cP), 1 N2 Press Nozzle (5000 cP ~)
3.2.4. Cup Material : Solvent Compatible (Aceton, Thinner, etc.)
3.2.5. TOP E.B.R: Motor Type (Programmable)
3.2.6. Back Rinse : Dual Type
3.2.7. Spin Chuck : 130Φ (Warpage 대응 Spin Chuck)
3.2.8. Pump : 3 EA/Unit, RRC
3.2.9. Temp. Control : Temp. Control (Circulator) with Motor Flange
3.2.10. Drain : 직하 Drain & Drain Mixing System (고점도 Coater용) / Nozzle Bath
& Drain Bath
3.3. 2 Normal Developer Unit (TMAH 2.38%)
3.3.1. 2 Process Module : 1/4”Stream, SH nozzle
3.3.2. RPM : Spin RPM Max ~ 5,000 rpm
3.3.3. Dispense Type : N2 Pressure Type
3.3.4. Top Rinse : 1/4”Stream Nozzle
3.3.5. Back Rinse Nozzle
3.3.6. Spin Chuck : 130Φ (Warpage 대응 Spin Chuck)
3.3.7. Temp. Control
3.3.8. Drain Method : Drain (Facility Direct)
3.3.9. Exhaust Type : Auto Damper Type
3.4. 2 NTD Developer Unit
3.4.1. 2 Process Module : 1/4”Stream, Fog Nozzle
3.4.2. RPM : Spin RPM Max ~ 5,000 rpm
3.4.3. Dispense Type : N2 Pressure Type
3.4.4. Top Rinse : 1/4”Stream Nozzle
3.4.5. Spin Chuck : 130Φ (Warpage 대응 Spin Chuck)
3.4.6. Temp. Control
3.4.7. Drain Method : Drain (Facility Direct)
3.4.8. Exhaust Type : Auto Damper Type
3.5. ADH
3.5.1. 2 Process Module
3.5.2. Quantity : 2 EA (Vapor Type)
3.5.3. Temp. Range : 50 ~ 180℃
3.5.4. Bake Temp. Accuracy : 50.0 ~ 120℃ R ≤0.4℃, 120.1 ~ 150℃ R ≤0.8℃,
150.1 ~ 180℃ R ≤1.2℃
3.5.4. Type : Proximity 0.1 Gap Spacer
3.5.5. Wafer Transfer Type : 3-Pin Up/Down Type
3.6 CPL
3.6.1. 8 Process Module
3.6.2. Temp. Range : 15 ~ 30℃
3.6.3. Cool Temp. Accuracy : 15 ~ 30℃ R ≤0.4℃
3.6.4. Type : Proximity 0.1 Gap Spacer
3.6.5. Wafer Transfer Type : 3-Pin Up/Down Type
3.7. LHP
3.7.1. 8 Process Module (Warpage 대응)
3.7.2. Temp. Range : 50 ~ 200℃
3.7.3. Bake Temp. Accuracy : 50.0 ~ 120℃ R ≤0.3℃, 120.1 ~ 150℃ R ≤0.7℃,
150.1 ~ 200℃ R ≤1.1℃
3.7.4. Type : Proximity 0.1 Gap Spacer
3.7.5. Wafer Transfer Type : 3-Pin Up/Down Type
3.8. HHP
3.8.1. 8 Process Module
3.8.2. Temp. Range : 50 ~ 350℃
3.8.3. Bake Temp. Accuracy : 50.0 ~ 120℃ R ≤1℃, 120.1 ~ 200℃ R ≤1.5℃, 200.1
~ 300℃ R ≤2℃, 300.1 ~ 350℃ R ≤℃
3.8.4. Type : Proximity 0.1 Gap Spacer
3.8.5. Wafer Transfer Type : 3-Pin Up/Down Type
3.8.6. Exhaust : High Exhaust Piping
3.9. 400도 Hot Plate
3.9.1. 2 Process Module
3.9.2. Temp. Range : 400℃
3.9.3. Bake Temp. Accuracy : 400℃ R ≤6℃
3.9.4. Type : Proximity 0.1 Gap Spacer
3.9.5. Wafer Transfer Type : 3-Pin Up/Down Type
3.10. PHP
3.10.1. 4 Process Module (Warpage 대응)
3.10.2. Temp. Range : 50 ~ 200℃
3.10.3. Bake Temp. Accuracy : 50.0 ~ 120℃ R ≤0.2℃, 120.1 ~ 150℃ R ≤0.3℃,
150.1 ~ 200℃ R ≤0.5℃
3.10.4. Type : Proximity 0.1 Gap Spacer
3.10.5. Wafer Transfer Type : 3-Pin Up/Down Type
3.11. Local Chemical supply : Thinner, 2 Dev supply, HMDS
3.12. Robot Arm : CS arm Mapping sensor
3.13. THC : Temperature and Humidity Controller (멜콘사 _ New unit)
3.14. TCU : Thermocon Temp control unit set +/- 0.1
Process Specification
4. PR Coating Thickness Uniformity
4.1. NNFC 제공 1um 두께 PR Thickness Wafer 내 9 Point, Set ≤5%
4.2. Wafer 간 @ 2 Lots 3σ≤200Å
4.3. Wafer to Wafer Spec (Mean) Range of Mean ≤200Å
4.4. Cup to Cup Spec (Mean) Range of Mean ≤200Å
5. Throughput
5.1. ≥50 wph @ 300mm,
Reliability & Standard Wafers
6. System Reliability & Performance
6.1. Operational Up-Time : ≥90%
6.2. MTBF (Mean Time Between Failure) : ≥200hr
6.3. MTTR (Mean Time To Repair) : ≤4hr
7. Standard Wafer Supply : 300mm Standard Wafer 25 EA : Supply