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[견적제출공고] 연구지원실 [20260386] 스퍼터링 시스템(Sputtering System) 구입
구매팀
0
2026-10-15 17:52:50
053-580-6150
2. 규격서.hwp 미리보기 공고번호 제B202605464호 계명대학교 견적제출공고
1. 견적에 부치는 사항
가. 건명: [견적제출공고] 연구지원실 [20260386] 스퍼터링 시스템(Sputtering
System) 구입
나. 납품기한 및 내용: 붙임 규격서 참조
2. 업체선정방법 : 2단계 일반경쟁입찰
3. 참가자격
가. 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률(이하“동 법률”이라 한다) 시행령 제12조와
제76조에 의한 결격사유가 없는 업체
나. 공고일 기준 2년 이내 우리 대학교의 입찰, 계약 및 계약이행 등에 있어서 물의를
일으킨 업체는 참가할 수 없으며,
다. 공고일 현재 당좌거래정지, 청산, 합병, 매각 등 정리절차 중이거나 계획 중인
사업자와 부도, 화의, 워크아웃(워크아웃 대상 또는 진행 중 업체) 또는 법정관리(신청
중 포함)중인 사업자와 퇴출기업은 참가할 수 없음
4. 견적서 등록 및 제출서류
가. 제출기한: 2026. 10. 23.(금) 11:00까지, 성서캠퍼스 행소관 235호 구매팀
나. 제출방법: 계명대학교 구매팀으로 방문, 우편 또는 택배 등 제출
※ 반드시 제출마감시한 이전 구매팀 도착분에 한함
다. 제출서류
1) 입찰참가신청서(본교 소정양식, 홈페이지 구매 게시판 참조) 1부
2) 개인정보 수집
‧이용 동의서(본교 소정양식, 홈페이지 구매 게시판 참조) 1부
3) 입찰등록자 확인 및 서약서(본교 소정양식, 홈페이지 구매 게시판 참조) 1부
4) 청렴계약 이행각서(본교 소정양식, 홈페이지 구매 게시판 참조) 1부
5) 사업자등록증 사본(원본대조필), 법인등기부등본(해당 시) 각 1부
6) 인감증명서 및 사용인감계(필요 시) 각 1부
7) 국세 및 지방세 완납증명서 각 1부
8) 제안규격서(본교 소정양식, 홈페이지 구매 게시판 참조) 2부
9-1) 가격견적서(업체양식, VAT포함) 1부
9-2) 입찰이행보증증권(입찰금액의 5% 이상) 1부
※ 가격견적서(산출내역서)와 입찰이행보증증권은 별도의 편지봉투에 다른
제출서류와는 별도로 밀봉(날인)하여 송부 하되, 봉투 겉면에 업체명, 담당자명
및 연락처 등을 명시
5. 개찰 및 계약상대자 결정
가. 개찰: 2026. 10. 28.(수) 11:00, 성서캠퍼스 행소관 235호 구매팀
※ 제안업체의 가격개찰 참관권장
나. 계약상대자 결정: 1차 기술심사에 합격한 업체를 대상으로 2단계 가격개찰을 실시하여
예정가격(단일예가, 비공개) 이하 최저금액으로 견적서를 제출한 자를 계약상대자로
결정함
6. 입찰보증금 납부 및 귀속
가. 입찰금액의 5/100 이상에 해당하는 입찰보증금을 납부하여야 함. 다만, 관계법령에
따른 이행(입찰)보증보험증권이나 공제조합보증서, 금융기관이 발행한 지급보증서
등으로 갈음할 수 있음.(증권보증기간: 견적제출일 이전부터 개찰일 30일 이후일
것, 사업자등록번호 514-82-00577)
나. 낙찰자가 정당한 사유 없이 지정기일 내에 계약을 체결하지 않을 경우, 낙찰은
무효로하고 입찰보증금은 계명대학교에 귀속함
7. 기타사항
가. 규격서는 붙임 파일을 참고하시기 바라며, 현장설명이 별도로 계획되어 있지 않은
관계로 공고문, 규격서 등 제반사항을 숙지 후 참가하여야함(숙지하지 못하여 발생하는
책임은 제안서 제출자에게 있음)
나. 기술심사 과정에서 학교가 자료를 요청하거나 문의사항이 있을 경우 제안자는
적극적으로 협조하여야 하며, 심사과정 및 결과에 대해 공개 또는 이의 등을 제기할
수 없음
다. 계약상대자는 계약상대자결정 통지일로부터 5일 이내에 계약을 체결(계약서 작성은
생략할 수도 있음)해야 하며, 정당한 사유 없이 계약을 체결하지 않거나, 물품납품
지연 등 학교에 손해를 입힌 경우 배상은 물론, 향후 우리 대학교에서 실시하는
입찰이나 견적제출 등에 참여할 수 없음
라. 계약상대자는 계약체결 시 총계약금액의 10/100에 해당하는 계약이행보증금 및
인지세법에 따른 인지세를 납부하여야 함
마.
납품 ‧검수 완료일로부터 1년간 무상 하자보증하여야 함(하자보증금은
계약금액의 10%)
※ 규격서 참조
바. 지체상금율은 지체일수 매1일에 대하여 계약금액의 0.075%임
사. 본 견적제출공고, 계약 및 계약이행 등에 있어서 상호 이견이 발생할 경우 학교의
기준, 판단, 진행 및 유권해석에 따름
아. 등록 시 구비서류가 미비하거나 명확하지 못한 경우 접수하지 않을 수 있으며, 접수된
서류는 특별한 경우를 제외하고는 반환하지 않음
구매진행 사항은 구매팀(T.053-580-6150)으로, 물품의
규격, 설치 및 대금지급 등에 관한 사항은 연구지원실(T.053-580-6238)로
문의 하시기 바람
자. 위의 공고에 대한
붙임 규격서 1부. 끝.
2026. 10. 15.
계명대학교총장
(우42601 대구광역시 달서구 달구벌대로 1095 계명대학교 성서캠퍼스 구매팀)
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[입찰] 교직원 및 산학협력단 직원 복리후생 증진을 위한 격려품(슈톨렌) 구입
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===== 2. 규격서.hwp =====
규
격
서
Commodity Description 품목번호(Item No.) 품 명 및 규 격 서 Description 단위 Unit 수량 Q'ty 과 DEPT
품 명: 스퍼터링 시스템(Sputtering System)
A. Feature B. 제품 사양 및 특징
1. This System is an equipment for deposition
of various thin film by Sputtering.
2. Ultimate Vacuum Pressure: Less than 1 x 10-3 Torr
3. Deposition Uniformity: ±1% in Φ3"
▮Process System 1. Process Chamber set a) Material: SUS 304
b) Size: φ250mm×270mm(H), Inside
c) Type: Cylindrical, Upper door
d) Pumping Ports
-.Vacuum Port: DN100(Turbo pump 연결 가능) ea 1
-.Substrate Port ea 1 -.View Port(4") ea 1 -.Gauge Ports(NW25) ea 1
-.Vent port(N2 Gas Purge) ea 1
-.Sputter Gun Port ea 1 -.Shutter Port ea 1 -.RF 단말 포트 연결 가능 ea 1 -.Spare Port ea 1 2. Pumping System;
a) Rotary Vane Vacuum Pump ea 1
-.Pumping Speed: 200ℓ/min
-.Inlet Flange: NW25 -.Direct drive
b) Vacuum Pumping Valve ea 1
-.Size: NW25 -.Manual type c) Vent Valve ea 1
-.Manula typel, 1/4" Ball Valve
d) Vacuum Pumping line unit
-.Formed Bellows, Clamp d) Vacuum Gauge set 1
-.Pirani Gauge Sensor unit
-.Pressure Range: 760∼1.0x10-3torr
-.Display: Digital
3.Substrate & Rotation Manipulator unit
-.Wafer Size: 3" Wafer holding
-.Rotation Speed: 0~20rpm by A.C Speed control motor
4.Gas Supply unit unit
-.MFC: Ar100sccm, O2 10sccm ea 2
-.MFC Controller(2channel) ea 1
-.Gas Stop Valve ee 2
-.SCR Type Gas Fitting & Tube set 1
5.Magnetron Sputter Gun ea
-.2" Dia magnetron sputter gun
-.R.F Shield & Target holder
-.N Type power connector 6.Shutter unit unit 1 -.type: Pneumatic -.90° Rotation -.Pressure Controller ▮System Controller set a)Touch screen and PLC
b)Full Auto Process control by recipe
c)Vacuum, Power, Process Control
d)Safety Interlock
▮Frame & Utility Ass'y set
-.Iron frame be painted by ivory color
-.Air, Water, Gas line
-.Air, Water Pressure switch
-.Emergency switch
-.Main power: 220V, 20A, 1Phase
C. Remark
추천기종: 위 규격사항을 모두 충족하는 Sputter System 동종동급 모델
하자보증기간: 검수 완료일부터 1년
납품기한: 가능한 빠른 시일 내, 늦어도 2027. 2. 1.(월) 까지
납품장소: 계명대학교 성서캠퍼스 공학3호관 3302호
set 1 화학 공학과 (용도 및 사용 계획)
반도체 산화막 박막 필름 연구를 위한 스퍼터 증착 시스템 임차 연구 용도를 위한 플라즈마 스퍼터 박막 시스템.
===== 2. 규격서.pdf =====
규
격 서
Commodity Description
품목번호(Item N o.)
품 명 및 규 격 서
D escrip tio n
단위
U nit
수량
Q 'ty
과
D EPT
set 1 화학
품 명: 스퍼터링 시스템(Sputtering System)
A. Feature
B. 제품 사양 및 특징
1. This System is an equipment for deposition
of various thin film by Sputtering.
2. Ultimate Vacuum Pressure: Less than 1 x 10-3 Torr
3. Deposition Uniformity: ±1% in Φ3"
▮Process System
1. Process Chamber set
a) Material: SUS 304
b) Size: φ250mm×270mm(H), Inside
c) Type: Cylindrical, Upper door
d) Pumping Ports
-.Vacuum Port: DN100(Turbo pump 연결 가능) ea 1
-.Substrate Port ea 1
-.View Port(4") ea 1
-.Gauge Ports(NW25) ea 1
-.Vent port(N2 Gas Purge) ea 1
-.Sputter Gun Port ea 1
-.Shutter Port ea 1
-.RF 단말 포트 연결 가능 ea 1
-.Spare Port ea 1
2. Pumping System;
a) Rotary Vane Vacuum Pump ea 1
-.Pumping Speed: 200ℓ/min
-.Inlet Flange: NW25
-.Direct drive
b) Vacuum Pumping Valve ea 1
-.Size: NW25
-.Manual type
공학과
c) Vent Valve ea 1
-.Manula typel, 1/4" Ball Valve
d) Vacuum Pumping line unit
-.Formed Bellows, Clamp
d) Vacuum Gauge set 1
-.Pirani Gauge Sensor unit
-.Pressure Range: 760∼1.0x10-3torr
-.Display: Digital
3.Substrate & Rotation Manipulator unit
-.Wafer Size: 3" Wafer holding
-.Rotation Speed: 0~20rpm by A.C Speed control motor
4.Gas Supply unit unit
-.MFC: Ar100sccm, O2 10sccm ea 2
-.MFC Controller(2channel) ea 1
-.Gas Stop Valve ee 2
-.SCR Type Gas Fitting & Tube set 1
5.Magnetron Sputter Gun ea
-.2" Dia magnetron sputter gun
-.R.F Shield & Target holder
-.N Type power connector
6.Shutter unit unit 1
-.type: Pneumatic
-.90° Rotation
-.Pressure Controller
▮System Controller set
a)Touch screen and PLC
b)Full Auto Process control by recipe
c)Vacuum, Power, Process Control
d)Safety Interlock
▮Frame & Utility Ass'y set
-.Iron frame be painted by ivory color
-.Air, Water, Gas line
-.Air, Water Pressure switch
-.Emergency switch
-.Main power: 220V, 20A, 1Phase
C. Remark
1. 추천기종: 위 규격사항을 모두 충족하는 Sputter System 동종동급 모델
2. 하자보증기간: 검수 완료일부터 1년
3. 납품기한: 가능한 빠른 시일 내, 늦어도 2027. 2. 1.(월) 까지
4. 납품장소: 계명대학교 성서캠퍼스 공학3호관 3302호
(용도 및 사용 계획)
반도체 산화막 박막 필름 연구를 위한 스퍼터 증착 시스템 임차 연구 용도를 위한 플라즈마 스퍼터 박막 시
스템.