===== 1. 공고문(DGIST 제2026-192호).hwp =====
<공고번호 : DGIST 제2026-192호>
물품 구매 입찰 공고 1. 입찰에 부치는 사항
가. 공 고 명 : 3차원 공초점 레이저 현미경 구매
나. 물품명 및 세부사양 : 붙임 “상세규격서” 참고
다. 예산금액 : 금236,500,000원(부가가치세 포함)
라. 입찰방법 : 전자입찰, 총액입찰, 제한경쟁, 규격·가격 동시입찰, 예정가격이하 최저가 낙찰제
마. 납품기한 : 계약일로부터 ‘26. 12. 18. 이내
바. 사양설명 : 생략(게시된 “상세규격서” 열람으로 갈음)
사. 납품장소 : 우리 원 지정장소 아. 청렴계약 대상입니다. 2. 입찰참가자격 및 방법
가. 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」 제12조 및 동법 시행규칙 제14조에서 정한 자격을 갖추고 동법 시행령 제76조의 규정에 의한 입찰 참가 자격 제한을 받지 않은 업체로서 조달청
전자입찰 참가자격 등록 및 이용자 등록을 마친 업체이어야 합니다.
나. 전자입찰방식에 의하므로 전자입찰이용자 등록을 필한 업체만이 참여가 가능합니다.
다.「중소기업기본법」 제2조에 따른 중소기업자 또는 「소상공인 보호 및 지원에 관한 법률」 제2조에 따른 소상공인으로서 「중소기업 범위 및 확인에 관한 규정」에 따라 발급된 중소기업ㆍ소상공인 확인서를 소지한 업체이어야 합니다.
※ 입찰서 제출 마감일 전일까지 발급된 것으로 유효기간 내에 있어야 함
※ 「중소기업제품 구매촉진 및 판로지원에 관한 법률」 제33조제1항에 따라 중소기업으로 간주되는 특별법인으로 「중소기업제품 공공구매제도 운영요령」 제45조에 따라 ‘특별법인 중소기업 간주 확인서’를 중소기업 또는 소상공인으로 발급받은 경우 입찰참가 자격이 있으며 위의 입찰참가자격을 모두 갖추어야 함
라. 공동수급은 불허합니다. 3. 접수기간
가. 입찰 서류 접수기간 : 2026. 11. 5.(목) 10:00 ~ 2026. 11. 12.(목) 12:00
나. 전자 입찰 참여기간 : 2026. 11. 5.(목) 10:00 ~ 2026. 11. 12.(목) 12:00
다. 개찰일시 : 규격 심사 완료 후 개찰 라. 개찰장소 : 우리 원 계약담당관 PC 4. 입찰 서류 제출 가. 제출방법 : 우편 또는 전자메일 제출
※ 서류 제출 및 문의 : DGIST 총무구매팀 진민경, ☎ 053-785-1246, 전자메일 : [email protected]
(우)42988 대구광역시 달성군 현풍읍 테크노중앙대로 333 DGIST 대학본부(E1) 701호
※ 직접 방문에 의한 서류 제출은 받지 않습니다.
나. 제출기한
○ 우
편 : 제출 마감일 전일 18:00까지(우리 원 도착 기준)
○ 전자메일 : 제출 마감 일시까지(우리 원 메일 서버 도착 시간 기준)
다. 제출서류 1) 사업자등록증 사본 1부
2) 중소기업·소상공인확인서(또는 입찰참가자격 “다”를 증빙할 수 있는 자료) 1부
3) Bidding Specification(우리 원 양식) 1부
4) 퇴직자(재직자) 영입현황 확인서 및 수의계약 체결 제한 여부 확인서(우리 원 양식) 각 1부
5) 청렴계약 이행각서(우리 원 양식) 1부
6) 제품 카탈로그 1부(카탈로그가 있는 제품인 경우)
라. 우편 송부 시에는 제출기한까지 우리 원 총무구매팀에 접수된 것에 한하여 유효하며 운송 중 분실, 훼손 또는 지연에 대한 책임은 입찰참가자에게 있습니다.
마. 전자메일 전송 시에는 최종적으로 정상 제출여부를 반드시 확인하기 바라며, 미확인으로 발생하는 입찰 불이익에 대한 책임은 입찰참가자에게 있습니다.
바. 전자 메일로 송신 시 서류 일체를 한 개의 PDF 파일로 제출하여야 합니다.
사. 입찰시 제출되는 서류가 사본인 경우에는 ‘사실과 상위 없음’을 확인․날인하여 제출하시기 바랍니다.
※ 규격 심사는 참가자가 제출한 규격의 적합성 여부에 대해 우리 원 수요부서에서 실시하며, 필요한 경우 제출자의 발표, 의견진술, 기타 추가자료 등을 요청할 수 있습니다.
5. 전자 입찰서 제출 및 입찰 보증금
가. 본 입찰의 가격 투찰 및 입찰서 제출은 조달청 G2B전자입찰로 집행하며, 한번 제출한 입찰서는 취소하거나「 수정할 수 없습니다.
나. 본 입찰은 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」 제39조, 동법 시행규칙 제44조, 및 국가종합전자조달시스템 전자입찰특별유의서의 규정에 의합니다.
다. 전자입찰서가 제출마감시간까지 국가종합전자조달시스템(G2B)에 도착하지 아니하거나, 컴퓨터 인식불능으로 인한 입찰서는 무효처리합니다.
라. 입찰 보증금은 전자입찰서의 입찰보증금 지급각서로 갈음하며, 낙찰자가 소정의 기일까지 정당한 사유 없이 계약을 체결하지 않을시 에는 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제38조에 의거해 동 보증금을 낙찰자에게 청구합니다.
6. 낙찰자 결정 및 숙지사항
가. 규격 심사를 통과한 자에 한해 예정가격 이하로 최저가 투찰한 자가 낙찰되며, 동일가격으로 입찰한 자가 2인 이상일 경우에는 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제47조에 의해 낙찰자를 결정하며, 추첨을 할 경우 우리 원 별도 추첨에 의해 낙찰자를 결정합니다.
나. 낙찰자는 낙찰자로 결정된 날로부터 10일 이내에 계약을 체결하여야 하며, 정당한 사유 없이 지정된 기일 내에 계약을 체결하지 않을 경우 낙찰을 취소하며 입찰보증금은 우리 원에 귀속됩니다.
다. 낙찰자는 계약 체결 시 계약금액의 10%, 보증기간을 계약일로부터 계약종료일까지로 하는 계약보증서를 제출하여야 합니다.
라. 검수 완료 후 계약금액의 5%, 보증기간을 1년으로 하는 하자보증서를 제출하여야 합니다.
7. 입찰자 유의사항
가. 입찰에 참가하고자 하는 자는 입찰에 필요한 제반사항(공고문, 상세규격서, 물품구매입찰유의서, 물품구매 계약일반조건, 청렴계약이행 특수조건 및 청렴계약 이행각서, 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 등)을 사전 열람 및 숙지한 후 입찰에 응하시기 바라며, 입찰 관련사항 미 숙지로 인한 책임은 입찰자에게 있으며 입찰등록을 필한 자는 위 조건을 숙지하고 수락한 것으로 봅니다.
나. 사양설명은 별도로 실시하지 아니하며, 세부사양 및 설치장소 등은 입찰 공고문 및 규격서 등을 참조하거나 수요부서 담당자에게 문의하여 확인하는 것으로 갈음합니다.
8. 기타사항
가. 입찰 집행과 계약에 관한 문의는 총무구매팀 진민경(T.053-785-1246), 규격 및 사양, 설치장소 등에 관한 문의는 센서기술지원센터 김성복 기술원(T.053-785-8723)에게 문의하시기 바랍니다.
나. 본 공고는 우리 원 홈페이지(www.dgist.ac.kr) “입찰정보”에도 게재 되었으니 참고하시기 바랍니다.
위와 같이 공고합니다. 2026년 11월 4일 대구경북과학기술원(DGIST) 총 장
===== 1. 공고문(DGIST 제2026-192호).pdf =====
<공고번호 : DGIST 제2026-192호>
물품 구매 입찰 공고
1. 입찰에 부치는 사항
가. 공 고 명 : 3차원 공초점 레이저 현미경 구매
나. 물품명 및 세부사양 : 붙임 “상세규격서” 참고
다. 예산금액 : 금236,500,000원(부가가치세 포함)
라. 입찰방법 : 전자입찰, 총액입찰, 제한경쟁, 규격·가격 동시입찰, 예정가격이하 최저가 낙찰제
마. 납품기한 : 계약일로부터 ‘26. 12. 18. 이내
바. 사양설명 : 생략(게시된 “상세규격서” 열람으로 갈음)
사. 납품장소 : 우리 원 지정장소
아. 청렴계약 대상입니다.
2. 입찰참가자격 및 방법
가. 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」 제12조 및 동법 시행규칙 제14조에서 정한 자격을
갖추고 동법 시행령 제76조의 규정에 의한 입찰 참가 자격 제한을 받지 않은 업체로서 조달청
전자입찰 참가자격 등록 및 이용자 등록을 마친 업체이어야 합니다.
나. 전자입찰방식에 의하므로 전자입찰이용자 등록을 필한 업체만이 참여가 가능합니다.
다.「중소기업기본법」 제2조에 따른 중소기업자 또는 「소상공인 보호 및 지원에 관한 법률」 제2조에
따른 소상공인으로서 「중소기업 범위 및 확인에 관한 규정」에 따라 발급된 중소기업ㆍ소상공인
확인서를 소지한 업체이어야 합니다.
※ 입찰서 제출 마감일 전일까지 발급된 것으로 유효기간 내에 있어야 함
※ 「중소기업제품 구매촉진 및 판로지원에 관한 법률」 제33조제1항에 따라 중소기업으로 간주되는
특별법인으로 「중소기업제품 공공구매제도 운영요령」 제45조에 따라 ‘특별법인 중소기업 간주
확인서’를 중소기업 또는 소상공인으로 발급받은 경우 입찰참가 자격이 있으며 위의 입찰참가자격을
모두 갖추어야 함
라. 공동수급은 불허합니다.
3. 접수기간
가. 입찰 서류 접수기간 : 2026. 11. 5.(목) 10:00 ~ 2026. 11. 12.(목) 12:00
나. 전자 입찰 참여기간 : 2026. 11. 5.(목) 10:00 ~ 2026. 11. 12.(목) 12:00
다. 개찰일시 : 규격 심사 완료 후 개찰
라. 개찰장소 : 우리 원 계약담당관 PC
4. 입찰 서류 제출
가. 제출방법 : 우편 또는 전자메일 제출
※ 서류 제출 및 문의 : DGIST 총무구매팀 진민경, ☎ 053-785-1246, 전자메일 : [email protected]
(우)42988 대구광역시 달성군 현풍읍 테크노중앙대로 333 DGIST 대학본부(E1) 701호
※ 직접 방문에 의한 서류 제출은 받지 않습니다.
나. 제출기한
○ 우 편 : 제출 마감일 전일 18:00까지(우리 원 도착 기준)
○ 전자메일 : 제출 마감 일시까지(우리 원 메일 서버 도착 시간 기준)
다. 제출서류
1) 사업자등록증 사본 1부
2) 중소기업·소상공인확인서(또는 입찰참가자격 “다”를 증빙할 수 있는 자료) 1부
3) Bidding Specification(우리 원 양식) 1부
4) 퇴직자(재직자) 영입현황 확인서 및 수의계약 체결 제한 여부 확인서(우리 원 양식) 각 1부
5) 청렴계약 이행각서(우리 원 양식) 1부
6) 제품 카탈로그 1부(카탈로그가 있는 제품인 경우)
라. 우편 송부 시에는 제출기한까지 우리 원 총무구매팀에 접수된 것에 한하여 유효하며 운송 중 분실,
훼손 또는 지연에 대한 책임은 입찰참가자에게 있습니다.
마. 전자메일 전송 시에는 최종적으로 정상 제출여부를 반드시 확인하기 바라며, 미확인으로 발생하는
입찰 불이익에 대한 책임은 입찰참가자에게 있습니다.
바. 전자 메일로 송신 시 서류 일체를 한 개의 PDF 파일로 제출하여야 합니다.
사. 입찰시 제출되는 서류가 사본인 경우에는 ‘사실과 상위 없음’을 확인․날인하여 제출하시기 바랍니다.
※ 규격 심사는 참가자가 제출한 규격의 적합성 여부에 대해 우리 원 수요부서에서 실시하며, 필요한
경우 제출자의 발표, 의견진술, 기타 추가자료 등을 요청할 수 있습니다.
5. 전자 입찰서 제출 및 입찰 보증금
가. 본 입찰의 가격 투찰 및 입찰서 제출은 조달청 G2B전자입찰로 집행하며, 한번 제출한 입찰서는
취소하거나「 수정할 수 없습니다.
나. 본 입찰은 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」 제39조, 동법 시행규칙 제44조, 및
국가종합전자조달시스템 전자입찰특별유의서의 규정에 의합니다.
다. 전자입찰서가 제출마감시간까지 국가종합전자조달시스템(G2B)에 도착하지 아니하거나, 컴퓨터 인식
불능으로 인한 입찰서는 무효처리합니다.
라. 입찰 보증금은 전자입찰서의 입찰보증금 지급각서로 갈음하며, 낙찰자가 소정의 기일까지 정당한
사유 없이 계약을 체결하지 않을시 에는 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제38조에
의거해 동 보증금을 낙찰자에게 청구합니다.
6. 낙찰자 결정 및 숙지사항
가. 규격 심사를 통과한 자에 한해 예정가격 이하로 최저가 투찰한 자가 낙찰되며, 동일가격으로
입찰한 자가 2인 이상일 경우에는 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제47조에 의해
낙찰자를 결정하며, 추첨을 할 경우 우리 원 별도 추첨에 의해 낙찰자를 결정합니다.
나. 낙찰자는 낙찰자로 결정된 날로부터 10일 이내에 계약을 체결하여야 하며, 정당한 사유 없이 지정된
기일 내에 계약을 체결하지 않을 경우 낙찰을 취소하며 입찰보증금은 우리 원에 귀속됩니다.
다. 낙찰자는 계약 체결 시 계약금액의 10%, 보증기간을 계약일로부터 계약종료일까지로 하는 계약
보증서를 제출하여야 합니다.
라. 검수 완료 후 계약금액의 5%, 보증기간을 1년으로 하는 하자보증서를 제출하여야 합니다.
7. 입찰자 유의사항
가. 입찰에 참가하고자 하는 자는 입찰에 필요한 제반사항(공고문, 상세규격서, 물품구매입찰유의서, 물품
구매 계약일반조건, 청렴계약이행 특수조건 및 청렴계약 이행각서, 국가를 당사자로 하는 계약에
관한 법률 등)을 사전 열람 및 숙지한 후 입찰에 응하시기 바라며, 입찰 관련사항 미 숙지로 인한
책임은 입찰자에게 있으며 입찰등록을 필한 자는 위 조건을 숙지하고 수락한 것으로 봅니다.
나. 사양설명은 별도로 실시하지 아니하며, 세부사양 및 설치장소 등은 입찰 공고문 및 규격서 등을
참조하거나 수요부서 담당자에게 문의하여 확인하는 것으로 갈음합니다.
8. 기타사항
가. 입찰 집행과 계약에 관한 문의는 총무구매팀 진민경(T.053-785-1246), 규격 및 사양, 설치장소 등에
관한 문의는 센서기술지원센터 김성복 기술원(T.053-785-8723)에게 문의하시기 바랍니다.
나. 본 공고는 우리 원 홈페이지(www.dgist.ac.kr) “입찰정보”에도 게재 되었으니 참고하시기 바랍니다.
위와 같이 공고합니다.
2026년 11월 4일
대구경북과학기술원(DGIST) 총 장
===== 2. 상세규격서.hwp ===== 상 세 규 격 서 요구 번호 :
품
명
국 문 : 3차원 공초점 레이저 현미경 영 문 :
3D Confocal laser microscope
구
분
상 세 명 세 수 량 비 고 1. Feature 1. 기본 요구 사양
1) 원클릭 Operation을 통한 초점 변환, 밝기 변환, 3D 취득의 과정을 자동화가 가능해야함.
2) Laser System을 이용한 3D 스캐닝 기능 가능가능 해야함
3) 3D 표현과 3D 이미지 상에서의 측정이 가능해야함
4) 0.12um의 Line & Space 및 0.001um의 단차를 선명하게 분해 가능해야함.
5) 3 in 1 하이브리드 시스템 (LSM/WLI/FVM)을 활용하여 nm에서 mm까지, 평면에서 불규칙한 표면까지 샘플을 측정 가능해야함. : WLI(수직 방향), LSM(측면 방향), FVM(거시 구조에서 미세 구조까지)
6) 5X or 10X 간섭계 렌즈는 사용해야함.
7) Stage는 X, Y, Z축 Auto Stage이며, 화면 클릭으로 원하는 지점으로 이동이 가능해야함.
9) 300mm x 300mm Auto 측정이 해야함(Confocal/WLI)
10) 제진대를 사용해야함 2. Specification ① Main System
2. System configuration (시스템 주요 사양)
1. 주요 사양
1) 405nm 단파장 ~ 661nm 파장 레이저 광원 1set
2) 백색광 간섭계 1set 3) 전 자동 노즈 피스 1set
4) 300mm x 300mm 대형 전동 스테이지 1set
5) 간섭계용 틸트 스테이지 1set
6) 서브 마이크로 수준의 3D 관찰 및 측정
7) 컴퓨터로 현미경의 모든 기능을 조종 2. 세부사양 1) 스캐너 유닛(Scan Unit) ① 광원부(Light Source)
- 405nm 단파장 반도체 레이저 or 661nm 적색 파장
- Laser Safety Standard : Class2
- Opening Output : 1mW 이하
- 평면 분해능 : 0.12um
- 스캔 속도 : 1024 x 512 = 120Hz
- 컨포칼 촬영 해상도 : 일반 모드(1,024 x 1,024), 고해상도 모드(4,096 x 4,096) 이상
② 검출부(Detection System): 듀얼 컨포컬 광학 + 포터 멀티 플레이어
③ 총 배율 : 108x ~ 17,280x 이상
④ 광학 줌 : 1x ~ 8x 이상 ⑤ 컬러 관찰부 - 235만 화소 CMOS 이미지 센서 이상 - 백색 LED 광원 ⑥ 전자동 노즈피스 : 이동 거리 10mm
⑦ 87.5°의 가파른 경사면을 정확하게 검출 가능
⑧ Z 측정부 - 내장 레이저 스케일 분해능 : 0.8nm - 표시 분해능 : 0.5nm - 구동 분해능 : 10nm 가능
⑨ 시야수(Field of View)와 배율(Magnification)
For Image Memory 1024 x 1024 (Unit : um) 이상
- 시야수(F.O.V).: 2,560 x 2,560um ~ 16 x 16um 이상
- 배율(Monitor Mag.) : 108x ~17,280x 이상
2) 대물렌즈 (Objective Lens) : 5x, 10x, 20x, 50x, 100x
① 레이저 컨포칼(Laser Confocal), 레이저 컨포칼 DIC(Laser DIC),
컬러 명시야(BF), 컬러 미분간섭 DIC (DIC) 관찰
② 5X, 10X, 20X, 50X, 100X 대물렌즈(MPLAPONLEXT) : 레이저 스캔 현미경 전용으로 설계된 대물렌즈
③ 시야수(Field of View) : 2,560 um ~ 16 um
④ 5X or 10X 간섭계 대물렌즈(WLI) : 백색광 간섭계 현미경 전용으로 설계된 대물렌즈
3) 초점 유닛(Focusing Unit) ① Z축 이동 거리: 10mm ② 최대 샘플 높이 : 37mm 4) XY Stage ① 전동 스테이지 ② 이동 거리 : 300mm x 300mm
③ 구동 해상도(Driving Resolution) : 1um
④ 구동 위치 결정 정도(Position Reproducibility) : ±20um
⑤ 컨트롤 방식 : 소프트웨어 GUI or 조이스틱
⑥ 최대 샘플 하중 : 30kg 5) 간섭계 틸트 스테이지 ① 틸트 스테이지
② Tilt Adjustment Assistance : 샘플 기울기 조정 지원
: ϴX, ϴY 노브 사용 기울기 조정
6) LSM 정확도(Accuracy) 및 반복 정밀도(Repeatability) 보증
① 정확도(Accuracy) :
- 평면(Planar) : 측정치의 ±2% 이내
- 높이(Height) : 0.2+L/100 um 이내 (L=측정 길이)
7) WLI 정확도(Accuracy) 및 반복 정밀도(Repeatability) 보증
① 높이(Height) 정확도(Accuracy) :
- 측정치의 ±1% (일반 조건 기준)
- 0.15+L/100 um 이내 (L=측정 길이)
② 높이(Height) 반복 정밀도(Repeatability) :
- 반복성 : δn-1 = 0.3% - 표면 형상 반복성 : 0.08nm - RMS 반복성 : <0.008nm ③ 샘플 최대 높이 : 68mm 8) 장비 운용 PC - 운영체제포함 - 16GB DDR4 - 키보드 1개 - 마우스 1개 - 24 Inch Monitor 9) 어플리케이션 소프트웨어
① 표면 계측 기법 : 레이저 주사 현미경(LSM), 백색광 간섭계(WLI), 포커스 배리에이션 현미경(FVM)
② 이미지 해상도 : 4,096 x 4,096 ~ 1,024 x 1024 픽셀 or
그 이상
⑤ 화상 이어 붙이기 기능 ⑥ 데이터 취득 - 스냅샷 - 3D 데이터 - 긴 거리 라인 데이터
- 100mm 선 거칠기(Line Roughness) 데이터 자동 획득
⑦ 거칠기 파라메터(Roughness Parameter)
- 선 거칠기(Line Roughness) : JIS2001/JIS1994
- 면 거칠기(Plane Roughness) : ISO25178
- 거칠기 필터(Roughness filter): 가우시안 필터(Gaussian Filter) 및 스플라인 필터(Spline Filter)
- 컷 오프(Cut Off): s, c, f ⑧ 관찰 보조 기능 - 초고속 모드 - 동초점 보정 기능 - 대물렌즈 간 밝기 보정
- 대물렌즈 교환 시 자동 Z 회피 기능(회피량 1mm)
- 오토 게인(Auto Gain) ⑨ 실험 지원 통합 애플리케이션(ETA)
- 샘플의 측정, 분석, 보고서 작성 등 일련의 실험 과정을 단계별로 가이드하고 자동화하여 신뢰할 수 있는 데이터를 제공.
10) 측정
① 거리 측정(Distance Measurement)
② 단면 측정(Cross-sectional Measurement)
③ 라인 폭 측정(Line Width Measurement)
④ 3차원 거칠기(Three-dimensional Roughness)
⑤ 평면 거칠기(Two-dimensional Roughness)
⑥ 면적(Area), 표면(Surface) 및 부피(Volume)
⑦ 실시간 측정(Real Time Measurement) : 폭(Width), 높이(Height)
⑧ 기하학 측정(Geometrical Measurement)
11) 제진 테이블(Isolation System
12) Utility ① 220V 단상 1ea ② Option ③ 규격 심사
- 입찰에 참여한 업체는 입찰 시 아래 자료를 제출 해야함.
- 제조사에서 보유 혹은 납품된 유사 사양 장비에서 표준 시료를 가지고 측정한 아래 제품 사양서 및 상세 규격서에 맞는 성능 보증서 및 데이터 제출
1. LSM 정확도(Accuracy) 및 반복 정밀도(Repeatability) 보증
① 정확도(Accuracy) :
- 평면(Planar) : 측정치의 ±1.5%
- 높이(Height) : 0.2+L/100 um 이내 (L=측정 길이)
2. WLI 정확도(Accuracy) 및 반복 정밀도(Repeatability) 보증
① 높이(Height) 정확도(Accuracy) :
- 측정치의 ±1% (일반 조건 기준)
- 0.15+L/100 um 이내 (L=측정 길이)
② 높이(Height) 반복 정밀도(Repeatability) :
- 반복성 : δn-1 = 0.3% - 표면 형상 반복성 : 0.08nm - RMS 반복성 : <0.008nm ex) 표준 시료(OLYMPUS) 1. X,Y Direction 용 1) 표준 시료 Zig 이미지 2) 교정 조건 및 방법 3) 내용 요약
- 3,5,10,50um 피치 별 Calibration 진행
2. Z Direction 용 1) 표준 시료 Zig 이미지 2) 교정 방법 3) 내용 요약
- Z축의 정확도와 반복성을 교정하기 위한 것
- 기준(referecnce surface) 단차면(bump suface) 단차 측정
- 대형 스테이지의 경우(OLS4KC02) 시료로 1um pictch 진행
(Si위 invar 물질 시료) ex) 표준 시료(KEYENCE) 1) 표준 시료 Zig 이미지 및 교정 방법 2) 내용 요약
- Z축의 정확도와 반복성을 교정하기 위한 것
- 기준(referecnce surface) 단차면(bump suface) 단차 측정
- 대형 스테이지의 경우(OLS4KC02) 시료로 1um pictch 진행
(Si위 invar 물질 시료) ④ 설치조건 및 검수
1) 장비 제작자는 사용자의 확인 없이 최종 설계, 컨셉을 변경하여서는 아니됨.
2) 설계 컨셉의 변경이 필요할 경우, 수요자에게 승인 후 협의하여 변경, 지켜지지 않을 시 장비 납품을 거부할 수 있음
3) 장비 공급자는 우리원과 협의된 시간 및 지정된 장소(R6 205호, 소자클린룸)에 장비를 패키징하여, 운반, Fab in, 지정 위치 설치 및 정상 동작을 위한 모든 구성품을 설치해야 함
4) 운반 및 장비 반입 시 파손이 우려되는 부품은 내장하거나 반입 후 조립할 수 있어야 함
5) 검수: Performance Test를 원칙으로 함. 검수 후 대구경북과학기술원에서 제시한 장비규격 미달 시 Ship back 처리함 (대구경북과학기술원 Spec. in/out 판단에 대한 분쟁 발생시 대구경북과학기술원의 해석에 따름)
6) 1차 검수(HW): 장비 공급자는 장비의 정상적인 운영과 관련된 장비 설치보고서를 제출하고 Hardware 검수를 득하여야 함
7) 최종 검수(공정): 1차 검수 완료 후 즉시 Process test를 실시하여 최종 공정 결과를 획득하고 장비 공정 결과보고서를 제출하여 최종 검수를 완료하여야 함
제출 문서 수량 비고 1 장비 설치 보고서 1부 장비설치 완료 후 제출 2 공정 결과 보고서 1부
본 원에서 제공하는 시료에 대한 공정 후 분석 결과 제출
3
Operation / Maintenance manual
(무진지) 2부 장비 납품 시 제출 No Item Specification Metal
Oxide
(or metal oxide)
Polymer PR resist 1 단면 측정 20~30 nm±3% 20~30 nm±3% 1~3 um±3% 0.9~1.0 um±3% 500~600 nm±3% 2500~3000 nm±3% - 9~10 um±3% 2 라인폭 측정 - - - 2.6~5 um ±3%
※ 해당 결과치는 자사 보유 중인 분석 장비와 비교 분석(ex. SEM, Alpha step ...)
⑤ 장비 교육 - 명시된 모든 교육은 무상으로 진행
- 교육은 Set-up 완료 후 Warranty 기간 내에 DGIST에서 사용자 교육을 실시하여야 함
- 성능 향상을 위한 소프트웨어 업그레이드가 발생할 시 이에 대한 교육을 실시하여야 함
- Warranty 기간 내 사용자가 원활한 사용을 위해 추가 교육을 요청할 시에는 이에 대한 1회(1일 이상) 교육을 지원
- 장비 관리 (Maintenance) 교육 포함 (판매업체는 매뉴얼
(Maintenance 포함)을 제공해야 함)
⑥ 납품기한 보증기간 등
1) 납품 기한 : 계약 후 2026년 12월 18일 이내에 납품하며, 설치 완료 후 2주 이내에 검수 완료함을 원칙으로 함. 상황에 따라 연장될 수 있음.
2) 보증기간 : 장비의 무상보증 기간(Labor & Part)은 최종 검수 완료 승인일로부터 1년으로 한다. 단, Consumable Part 및 사용자 과실 및 고의에 의한 고장은 제외
3) 제작자는 무상보증 기간 내 정상 작동 상태에 치명적인 결함 및 반복적인 고장에 의해 장비 안정성이 낮아 사용 불가로 판단 될 때에는 장비 반환을 요구할 수 있음
2026년 10월 12일 작 성 자 소 속 : 센서기술지원센터 성 명 : 김성복 계정(과제)책임자 소 속 : 센서기술지원센터 성 명 : 이성훈
===== 3. BIDDING SPECIFICATION(양식).hwp =====
입찰 사양서(BIDDING SPECIFICATION)
제출업체명 :
(인감)
공고번호 : DGIST 제2026-192호 공 고 명 : 3차원 공초점 레이저 현미경 구매 □ 입찰 참가 물품 상세규격 ◦ 세부품목명 : ◦ 제 작 사 : ◦ 모델명 :
Specification Requirement for DGIST(공고규격)
Bidding Specification(제안규격)
업체 제안 규격이 금번 입찰시 구매하고자 하는 규격에 적합(동등이상)함을 확인합니다.
2026.
.
.
계정책임자(또는 구매요구자) : (서명)
===== 4. 퇴직자(재직자) 영입현황 확인서 및 수의계약 체결 제한 여부 확인서(양식).hwp =====
퇴직자(재직자) 영입현황 확인서
□ 공고번호 : DGIST 제2026-192호
□ 구매건명 : 3차원 공초점 레이저 현미경 구매
1. 대구경북과학기술원(DGIST) 재직자 또는 퇴직자(퇴직 후 2년이 경과하지 아니한 자)가 당사에 대표이사 또는 임직원으로 (□ 근무를 하고, □ 근무를 하지 않고) 있습니다.
※ 상기 박스(□)에 체크(√)하고, 근무를 하는 경우 아래 표 작성
(1) DGIST 재직자가 근무를 하고 있는 경우
구분 성 명 회사명: DGIST 직위 근무 부서 임원* 여부 직위 근무 부서 임원* 여부 1 2
(2) DGIST 퇴직자가 근무를 하고 있는 경우
구분 성 명 퇴직 당시 현 재 직위 근무 부서 퇴직일 직위 근무 부서 임원* 여부 1 2
*(임원의 범위) 대표이사, 이사, 감사 또는 상법 제401조의2제1항에 따라 이사와 동등한 권한이 있다고 볼 수 있는 자
2. 상기 입찰에 있어 위에 제출한 내용은 사실이며, 만약 사실과 다를 경우(축소, 누락 포함)에는 부정당업자로 입찰참가자격 제한조치 등의 불이익 처분을 받더라도 일체의 이의를 제기하지 아니할 것을 확약하고, 이에 확인서를 제출합니다.
2026년
월
일
회 사 명 :
대 표 자 :
(인)
대구경북과학기술원 총장 귀하 수의계약 체결 제한 여부 확인서
- 해당하는 [ ]에 √ 표시를 합니다.
(1쪽)
발주자 발주기관 DGIST 발주부서 총무구매팀 발주날짜 2026.11.4.
발주내용
3차원 공초점 레이저 현미경 구매
[ ] 공사 [ ] 용역 [✔] 물품 [ ] 기타
수의계약 사유
-
계약상대자 (확인인) 성명 소속 [ ] 개인 [ ] 법인 [ ] 단체 [ ] 기타 연락처 주소 수의계약 체결 제한 확인사항
발주기관의 소속 고위공직자, 배우자, 고위공직자의 직계존속·비속 또는 생계를 같이하는 배우자의 직계존속·비속에 해당하는가?
[ ] 예 [ ] 아니오 [ ] 해당없음 ②
계약 업무을 법령상·사실상 담당하는 임직원, 배우자, 임직원의 직계존속·비속 또는 생계를 같이하는 배우자의 직계존속·비속에 해당하는가?
[ ] 예 [ ] 아니오 [ ] 해당없음
발주기관(산하기관)의 감독기관 소속 고위공직자, 배우자, 고위공직자의 직계존속·비속 또는 생계를 같이하는 배우자의 직계존속·비속에 해당하는가?
[ ] 예 [ ] 아니오 [ ] 해당없음
발주기관(자회사)의 모회사 소속 고위공직자, 배우자, 고위공직자의 직계존속·비속 또는 생계를 같이하는 배우자의 직계존속·비속에 해당하는가?
[ ] 예 [ ] 아니오 [ ] 해당없음
상임위원회 위원의 국회의원, 배우자, 국회의원의 직계존속·비속 또는 생계를 같이하는 배우자의 직계존속·비속에 해당하는가?
[ ] 예 [ ] 아니오 [ ] 해당없음
공공기관을 감사 또는 조사하는 지방의회의 의원, 배우자, 의원의 직계존속·비속 또는 생계를 같이하는 배우자의 직계존속·비속에 해당하는가?
[ ] 예 [ ] 아니오 [ ] 해당없음
부터 까지 어느 하나에 해당하는 사람이 대표자인 법인
또는 단체에 해당하는가? [ ] 예 [ ] 아니오 [ ] 해당없음
부터 까지 어느 하나에 해당하는 사람과 특수한 관계의 사업자(임직원, 배우자, 임직원의 직계존속·비속, 생계를 같이하는 배우자의 직계존속·비속이 단독으로 또는 합산하여 발행주식 총수의 100분의 30 이상, 출자지분 총수의 100분의 30 이상, 자본금 총액의 100분의 50 이상을 소유하고 있는 법인 또는 단체)에 해당하는가?
[ ] 예 [ ] 아니오 [ ] 해당없음
「공직자의 이해충돌 방지법」제12조에 따른 수의계약 체결 제한에 대하여 위와 같이 확인합니다. 만약 위 사항이 사실과 다른 경우에는 어떠한 처벌이나 불이익도 감수할 것을 서약합니다.
2026년
월
일
계약상대자(확인인) (서명 또는 인)
===== 5. 청렴계약 이행각서(양식).hwp =====
청렴계약 이행각서
당사는「부패 없는 투명한 기업경영과 공정한 행정」이 사회발전과 국가 경쟁력에 중요한 관건이 됨을 깊이 인식하며, 국제적으로도 OECD뇌물방지 협약이 발효되었고 부패기업 및 국가에 대한 제재가 강화되는 추세에 맞추어 청렴계약 취지에 적극 호응하여 대구경북과학기술원(이하 “디지스트”라 한다)이 발주하는 모든 공사, 물품, 용역 등의 입찰에 참여함에 있어 당사 임직원과 대리인은
1. 입찰가격의 유지나 특정인의 낙찰을 위한 담합을 하거나 다른 업체와 협정, 결의, 합의하여 입찰의 자유경쟁을 부당하게 저해하는 일체의 불공정한 행위를 않겠습니다.
- 이를 위반하여 경쟁입찰에 있어서 특정인의 낙찰을 위하여 담합을 주도한 것이 사실로 드러날 경우 우리원에서 발주하는 입찰에 입찰참가자격제한 처분을 받은 날로부터 1년이상 2년이하 동안 참가하지 않겠으며,
- 경쟁입찰에 있어서 입찰자간에 서로 상의하여 미리 입찰가격을 협정하거나 특정인의 낙찰을 위하여 담합을 한 사실이 드러날 경우 우리원이 시행하는 입찰에 입찰참가자격 제한 처분을 받은 날로부터 6월이상 1년미만 동안 참여하지 않고,
- 위와 같이 담합 등 불공정행위를 한 사실이 드러날 경우 「독점규제 및 공정거래에 관한 법률」에 따라 공정거래위원회에 고발하여 과징금 등을 부과토록 하는데 일체의 이의를 제기하지 않겠습니다.
2. 입찰, 낙찰, 계약 체결 및 계약이행 과정에서 관계자에게 직․간접적으로 금품․향응 등(친인척 등에 대한 부정한 취업 제공 포함) 의 부당한 이익을 제공하지 않겠습니다.
- 이를 위반하여 입찰, 낙찰, 계약체결 및 계약이행과 관련하여 관계자에게 금품, 향응 등(친인척 등에 대한 부정한 취업 제공 포함)을 제공한 사실이 드러날 경우에는 디지스트 및 관련 건의 수요기관이 시행하는 입찰에 입찰참가자격제한 처분을 받은 날로부터 2년 동안 입찰에 참가하지
않겠으며, 또한 입찰참가자격 제한기간 만료 후 2년간은 디지스트에서 시행하는 입찰에는 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」 제37조에 의한 입찰보증금을 납부하겠습니다.
3. 입찰, 낙찰, 계약체결 및 계약이행과 관련하여 관계자에게 금품, 향응 등(친인척 등에 대한 부정한 취업 제공 포함)을 제공한 사실이 드러날 경우에는 계약체결 이전의 경우에는 낙찰자 결정 취소, 계약이행 전에는 계약취소, 계약이행 이후에는 당해 계약의 전부 또는 일부계약을 해제 또는 해지하여도 감수하겠으며, 민․형사상 이의를 제기하지 않겠습니다.
4. 회사 임․직원이 관계자에게 금품, 향응 등(친인척 등에 대한 부정한 취업 제공 포함)을 제공하거나 담합 등 불공정 행위를 하지 않도록 하는 회사윤리강령과 내부비리 제보자에 대해서도 일체의
불이익처분을 하지 않는 사규를 제정토록 노력하겠습니다.
위 청렴계약 서약은 상호신뢰를 바탕으로 한 약속으로서 반드시 지킬 것이며, 낙찰자로 결정될 시 본 서약내용을 그대로 계약특수조건으로 계약하여 이행하고, 입찰참가자격 제한, 계약해지 등 디지스트의 조치와 관련하여 당사는 디지스트를 상대로 손해배상을 청구하거나 당사를 배제하는 입찰에 관하여 민․형사상 어떠한 이의도 제기하지 않을 것을 서약합니다.
2026. . . 서 약 자 : ㈜OOO 대표 OOO (인) 대구경북과학기술원 총장 귀하
===== 6. 공익·부패 신고제도 안내.hwp =====
공익·부패 신고제도 안내
- 계약의 투명성·공정성 확보 및 건강한 계약문화 조성을 위해 계약 全과정에서 아래와 같은 불합리한 사례를 경험할 경우에는 DGIST 핫라인에 신고하시기 바랍니다.
·계약담당관의 업무 처리 기준 및 절차의 투명성 여부
·계약담당관의 업무권한 남용 여부
·계약담당관의 일부 사람 대상의 특혜 부여 여부
·계약담당관의 외부 업무관계자에게 부당한 요구 및 영향력 행사 여부
·계약담당관(가족 포함)에게 금품·향응·편의 제공 여부
- 신고방법
·핫라인(DGIST 감사실/전화 : 053-785-8112, E-Mail : [email protected])
- 부패신고자는 신분 및 신고내용에 대한 비밀 보장을 받을 수 있습니다.