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[R26BK01777983] 스퍼터링 시스템 1SE

[물품] 발주기관: 한국원자력연구원 계약방법: 제한경쟁 추정가격: 1.3억원 입찰일시: 2026-10-19 18:00
#물품
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===== 입찰공고문_ 2026-7694-2.hwp =====

연구원 관리번호 : 2026-7694-2 전자(물품구매)입찰 재공고

※ 본 계약은 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」제5조의2에 따른 청렴계약제가 적용 되며, 입찰참가자는 본 공고의 첨부문서 ‘청렴계약 이행서약서 및 청렴계약 이행각서’에 관한 내용을 숙지하여 입찰에 참가하여야 하고 본 공고의 낙찰자는 계약체결 시 청렴계약 이행각서를 제출하여야 합니다. 동 내용을 위반한 경우 발주기관의 조치에 대하여 어떠한 이의도 제기할 수 없습니다.

1. 입찰에 부치는 사항 입 찰 건 명 스퍼터링 시스템 1SE 납 품 기 한 계약체결일로부터 112일 이내 입 찰 일 시

구
분

일
시

장
소

사전규격공개 - - 입찰서 접수 기간

2026.10.19.(월) 18:00 ~ 2026.10.27.(화) 10:00

조달청 나라장터 입찰참가자격 등록마감일시 2026.10.26.(월) 18:00 조달청 나라장터 개 찰 일 시 2026.10.27.(화) 11:00 담당관 PC

* 입찰참가자격 등록마감일이 주말·공휴일인 경우 등록이 불가능할 수 있으니 미리 등록해주시기 바랍니다.

2. 계약방법 : 제한경쟁(총액), 적격심사

적격심사 평가기준은 「조달청 물품구매적격심사 세부기준」 제4조 제1항 제2호 ([별표

2] 추정가격이 고시금액 미만인 물품 제조 또는 구매입찰)를 적용합니다.

3. 참가 자격 : 아래의 입찰참가자격을 모두 갖춘 자이어야 합니다.

가.「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」 제12조 및 「국가를 당사자로 하는

계약에 관한 법률 시행규칙」 제14조의 자격을 구비하여야 합니다.

나. 국가종합전자조달시스템(G2B)를 이용한 전자입찰로 진행하므로 전자입찰 이용자로 등록된

업체만 입찰에 참가 가능합니다.

다.「중소기업기본법」 제2조에 따른 중소기업자 또는「소상공인 보호 및 지원에 관한
법률」 제2조에 따른 소상공인으로서「중소기업 범위 및 확인에 관한 규정」에 따라
발급된 중기업·소기업·소상공인확인서(전자입찰서 제출마감일 전일까지 발급된 것으로 유효기간 내에 있어야 함)를 소지한 업체여야 합니다.

※ 중・소기업 확인서(중기업·소기업·소상공인)는 중소기업 공공구매 종합정보망 등에서 확

인하며, 확인되지 않을 경우 입찰 참가 자격이 없습니다.

라. 우리 기관에서 제시하는 규격, 사양, 조건 등에 따라 납품이 가능한 업체여야 하며, 공고일 전일부터 입찰 마감일까지 법인등기부상 본점 및 지점 소재지(개인사업자인 경우 사업자등록증 또는 관련 법령에 따른 허가, 인가, 면허, 등록, 신고 등의 서류에 기재된 사업장의 소재지)을 경상북도에 둔 업체여야 합니다.

마.「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」제27조의5 및 동법 시행령 제12조 제3항

에 해당하는 경우 또는 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」제27조에 해당하는 경우

에는 입찰에 참여할 수 없습니다. 4. 입찰참가 신청 및 입찰보증금

가. 본 입찰은 전자입찰로서 별도의 입찰참가신청을 하지 않아도 되나, 입찰보증금은 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」제37조에서 정한 금액(입찰금액의 100분의 2.5 이상)과 방법[동법 시행령 제37조 제2항 각호의 1에 해당하는 보증서]으로 납부하여야 하며,지급각서로는 제출이 불가합니다. 입찰참가자(업체)가 입찰서 접수 마감일시까지 입찰보증금을 납부하지 않을 경우 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행규칙」제44조에 따라 입찰무효 사유에 해당합니다.

※ 입찰보증서 미제출 시 개찰순위와 상관없이 부적격으로 분류됩니다. 나라장터를 통해 보증서 제출 내역이 확인되어야 하며, 확인불가 시 책임은 투찰 업체에게 있습니다.

나. 또한 낙찰자가 소정의 기일 내 계약을 체결하지 아니할 경우에는 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」제38조의 규정에 따라 입찰보증금이 국고로 귀속 됩니다.

5. 입찰서 제출

전자입찰서는 반드시 지정된 기간 내에 조달청 국가종합전자조달시스템(G2B)을 통하여 제출

6. 입찰의 무효

「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」제39조, 「국가를 당사자로 하는 계약에
관한 법률 시행규칙」제44조, 「물품구매(제조)입찰유의서」제12조에 의하여 입찰이 무효 될
수 있습니다.

7. 예정가격

예정가격은 기초금액 기준으로 ±2% 범위 내에서 작성된 복수예비가격 15개중에서 입찰서를 제출하는 자가 각각 2개씩 추첨한 예비가격 중 가장 많이 선택된 4개의 복수예비 가격을
산술평균한 금액으로 결정합니다. 따라서 입찰서 제출 시 2개의 예비가격을 추첨해야 합니다.

8. 낙찰자 결정 방법

가. 예정가격 이하로서 최저가격(낙찰하한율 적용한 제한적 최저가)으로 입찰한 자 순서대로 계약이행능력을 심사하여 종합평점이 85점 이상이면 낙찰자로 결정하며, 동일가격의 최저가 입찰자가 2인 이상인 경우에는 이행능력심사 결과 종합평점이 85점 이상인 자 중에서 최고점수인 자를 낙찰자로 결정합니다. 다만, 이외의 경우에는 추첨에 따라 낙찰자를 결정합니다.

나. 동일가격으로 입찰한 자가 2인 이상일 경우, 국가전자조달시스템 자동추첨방식에 의해 낙찰자가 결정됩니다.

다. 적격심사서류 제출 마감일시까지 적격심사신청서 또는 포기서를 제출하지 않은 경우 적격
심사를 포기한 것으로 간주합니다.

라. 적격심사 대상자는 국가종합전자조달(G2B)시스템을 통하여 통보하며, 계약이행능력심사에 소요되는 행정소요일수를 감안하여 필요한 경우 예정가격 이내 입찰자를 대상으로 동시에 계약이행능력심사 서류 제출을 요구할 수 있습니다.

※ 별도로 유·무선 또는 이메일로 통보하지 않으니 유의하시기 바랍니다.

9. 기타 및 유의사항

가. 입찰참가자는 공고문, 국가계약법령 및 (계약예규)물품구매(제조)입찰유의서, 입찰참가자격 등록 규정, 물품구매(제조)계약일반조건, 물품명세서 등 본 입찰에 관련한 제반사항을 완
전히 숙지하고 입찰에 응하여야 하며, 이를 숙지하지 못하여 발생한 문제의 책임은 입찰
참가자에게 있습니다.

나. 법령(국세징수법 등)에 따라 4대 사회보험료, 국세 및 지방세 미납 낙찰업체에게는 (세액 납부 완료시 까지) 일체의 대금지급이 불가능하오니 입찰 시 참고하시기 바랍니다.

다. 관련 법규에 따라 허위서류 등을 제출할 경우 계약을 해제·해지할 수 있으며, 입찰참가
자격 제한 등의 불이익을 받을 수 있습니다.

라. 물품명세서(규격서) 상의 제조사 및 모델명은 참고용입니다. 계약상대자가 공급하고자 하는
물품의 규격·품질 등이 참고용 모델보다 동등 이상인 경우 계약상대자는 특정된 조건(호환성
등)을 충족하는 입증자료(가격 및 시험 분석 증빙서류, 성능시험 성적서 등)를 반드시 제출해
야 하며, 입증자료에 대한 책임도 계약상대자에게 있습니다. 입증자료를 제출하지 못하거나, 제출했다하더라도 연구원 측 보완 요청에 기한 내 응하지 않을 경우 선순위 자격에서 배제됩니다.

※ 물품명세서 내용에 시방서 또는 구매규격서 참조 등의 표기가 있음에도 불구하고 본 공고문에 첨부되지 않은 경우에는 물품명세서의 담당자에게 요청하여 확인해야 하며, 납품 시 반드시 충족해야 합니다.

마. 인도조건에 따라, 본 공고의 물품은 연구원 지정장소에서 검수가 완료된 후 설치까지 완료 되어야 합니다.(설치 조건에 대한 물품에 한함.)

바. 본 입찰과 관련한 평가기준 등 기술적인 사항은 물품명세서 상에 기재된 구매요구자에게, 기타 계약관련 사항은 구매팀 (T.042-868-2419)으로 문의하여 주시기 바랍니다.

사. 낙찰예정자는 적격심사 완료 후 3일 이내에 납품이행계획서(발주서 포함) 및 산출내역서를 제출하여야 하며, 10일 이내에 계약을 체결하여야 합니다. 낙찰자가 계약을 체결하지 않을 때에는 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」 제9조 제3항 및 동 시행령 제38조의 규정에 의하여 입찰보증금이 국고로 귀속 됩니다.

아. 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」제76조 및 (계약예규)물품구매(제조)
계약일반조건 제26조에 따라 계약상대자의 귀책으로 납기가 지체되거나 정당한 이유 없이 계약을 이행하지 않을 경우, 계약을 해지하며 계약보증금을 회수하고 계약해지일로부터 3 개월동안 우리 연구원과의 계약상대자 결정에서 배제합니다.

위와 같이 공고함. 2026. 10 한 국 원 자 력 연 구 원 장

===== 입찰공고문_ 2026-7694-2.pdf =====
연구원 관리번호 : 2026-7694-2

전자(물품구매)입찰 재공고
※ 본 계약은 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」제5조의2에 따른 청렴계약제가 적용
되며, 입찰참가자는 본 공고의 첨부문서 ‘청렴계약 이행서약서 및 청렴계약 이행각서’에 관한 내용을
숙지하여 입찰에 참가하여야 하고 본 공고의 낙찰자는 계약체결 시 청렴계약 이행각서를 제출하여야
합니다. 동 내용을 위반한 경우 발주기관의 조치에 대하여 어떠한 이의도 제기할 수 없습니다.

1. 입찰에 부치는 사항
입 찰 건 명

스퍼터링 시스템 1SE 납 품 기 한

계약체결일로부터 112일 이내
구

입
찰

분 시 장 소 사전규격공개 - - 입찰서 접수 기간

2026.10.19.(월) 18:00 ~
2026.10.27.(화) 10:00

조달청 나라장터 입찰참가자격 등록마감일시 2026.10.26.(월) 18:00 조달청 나라장터 개찰일시 2026.10.27.(화) 11:00 담당관 PC

일
시

일

* 입찰참가자격 등록마감일이 주말·공휴일인 경우 등록이 불가능할 수 있으니 미리 등록해주시기 바랍니다.

2. 계약방법 : 제한경쟁(총액), 적격심사
적격심사 평가기준은 「조달청 물품구매적격심사 세부기준」 제4조 제1항 제2호 ([별표
2] 추정가격이 고시금액 미만인 물품 제조 또는 구매입찰)를 적용합니다.
3. 참가 자격 : 아래의 입찰참가자격을 모두 갖춘 자이어야 합니다.
가.「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」 제12조 및 「국가를 당사자로 하는
계약에 관한 법률 시행규칙」 제14조의 자격을 구비하여야 합니다.
나. 국가종합전자조달시스템(G2B)를 이용한 전자입찰로 진행하므로 전자입찰 이용자로 등록된
업체만 입찰에 참가 가능합니다.
다.「중소기업기본법」 제2조에 따른 중소기업자 또는「소상공인 보호 및 지원에 관한
법률」 제2조에 따른 소상공인으로서「중소기업 범위 및 확인에 관한 규정」에 따라
발급된 중기업·소기업·소상공인확인서(전자입찰서 제출마감일 전일까지 발급된 것으로 유
효기간 내에 있어야 함)를 소지한 업체여야 합니다.
※ 중・소기업 확인서(중기업·소기업·소상공인)는 중소기업 공공구매 종합정보망 등에서 확
인하며, 확인되지 않을 경우 입찰 참가 자격이 없습니다.
라. 우리 기관에서 제시하는 규격, 사양, 조건 등에 따라 납품이 가능한 업체여야 하며, 공고일
전일부터 입찰 마감일까지 법인등기부상 본점 및 지점 소재지(개인사업자인 경우 사업자등
록증 또는 관련 법령에 따른 허가, 인가, 면허, 등록, 신고 등의 서류에 기재된 사업장의 소
재지)을 경상북도에 둔 업체여야 합니다.
마.「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」제27조의5 및 동법 시행령 제12조 제3항
에 해당하는 경우 또는 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」제27조에 해당하는 경우

에는 입찰에 참여할 수 없습니다.

4. 입찰참가 신청 및 입찰보증금
가. 본 입찰은 전자입찰로서 별도의 입찰참가신청을 하지 않아도 되나, 입찰보증금은 「국가를
당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」제37조에서 정한 금액(입찰금액의 100분의 2.5
이상)과 방법[동법 시행령 제37조 제2항 각호의 1에 해당하는 보증서]으로 납부하여야 하며,
지급각서로는 제출이 불가합니다. 입찰참가자(업체)가 입찰서 접수 마감일시까지 입찰보증
금을 납부하지 않을 경우 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행규칙」제44조에
따라 입찰무효 사유에 해당합니다.
※ 입찰보증서 미제출 시 개찰순위와 상관없이 부적격으로 분류됩니다. 나라장터를 통해 보증서
제출 내역이 확인되어야 하며, 확인불가 시 책임은 투찰 업체에게 있습니다.
나. 또한 낙찰자가 소정의 기일 내 계약을 체결하지 아니할 경우에는 「국가를 당사자로 하는
계약에 관한 법률 시행령」제38조의 규정에 따라 입찰보증금이 국고로 귀속 됩니다.

5. 입찰서 제출
전자입찰서는 반드시 지정된 기간 내에 조달청 국가종합전자조달시스템(G2B)을 통하여 제출

6. 입찰의 무효
「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」제39조, 「국가를 당사자로 하는 계약에
관한 법률 시행규칙」제44조, 「물품구매(제조)입찰유의서」제12조에 의하여 입찰이 무효 될
수 있습니다.

7. 예정가격
예정가격은 기초금액 기준으로 ±2% 범위 내에서 작성된 복수예비가격 15개중에서 입찰서를
제출하는 자가 각각 2개씩 추첨한 예비가격 중 가장 많이 선택된 4개의 복수예비 가격을
산술평균한 금액으로 결정합니다. 따라서 입찰서 제출 시 2개의 예비가격을 추첨해야 합니다.

8. 낙찰자 결정 방법
가. 예정가격 이하로서 최저가격(낙찰하한율 적용한 제한적 최저가)으로 입찰한 자 순서대로
계약이행능력을 심사하여 종합평점이 85점 이상이면 낙찰자로 결정하며, 동일가격의 최저가
입찰자가 2인 이상인 경우에는 이행능력심사 결과 종합평점이 85점 이상인 자 중에서 최고
점수인 자를 낙찰자로 결정합니다. 다만, 이외의 경우에는 추첨에 따라 낙찰자를 결정합니다.
나. 동일가격으로 입찰한 자가 2인 이상일 경우, 국가전자조달시스템 자동추첨방식에 의해 낙찰
자가 결정됩니다.
다. 적격심사서류 제출 마감일시까지 적격심사신청서 또는 포기서를 제출하지 않은 경우 적격
심사를 포기한 것으로 간주합니다.
라. 적격심사 대상자는 국가종합전자조달(G2B)시스템을 통하여 통보하며, 계약이행능력심사에
소요되는 행정소요일수를 감안하여 필요한 경우 예정가격 이내 입찰자를 대상으로 동시에
계약이행능력심사 서류 제출을 요구할 수 있습니다.
※ 별도로 유·무선 또는 이메일로 통보하지 않으니 유의하시기 바랍니다.

9. 기타 및 유의사항
가. 입찰참가자는 공고문, 국가계약법령 및 (계약예규)물품구매(제조)입찰유의서, 입찰참가자격
등록 규정, 물품구매(제조)계약일반조건, 물품명세서 등 본 입찰에 관련한 제반사항을 완
전히 숙지하고 입찰에 응하여야 하며, 이를 숙지하지 못하여 발생한 문제의 책임은 입찰
참가자에게 있습니다.
나. 법령(국세징수법 등)에 따라 4대 사회보험료, 국세 및 지방세 미납 낙찰업체에게는 (세액
납부 완료시 까지) 일체의 대금지급이 불가능하오니 입찰 시 참고하시기 바랍니다.
다. 관련 법규에 따라 허위서류 등을 제출할 경우 계약을 해제·해지할 수 있으며, 입찰참가
자격 제한 등의 불이익을 받을 수 있습니다.
라. 물품명세서(규격서) 상의 제조사 및 모델명은 참고용입니다. 계약상대자가 공급하고자 하는
물품의 규격·품질 등이 참고용 모델보다 동등 이상인 경우 계약상대자는 특정된 조건(호환성
등)을 충족하는 입증자료(가격 및 시험 분석 증빙서류, 성능시험 성적서 등)를 반드시 제출해
야 하며, 입증자료에 대한 책임도 계약상대자에게 있습니다. 입증자료를 제출하지 못하거나,
제출했다하더라도 연구원 측 보완 요청에 기한 내 응하지 않을 경우 선순위 자격에서 배제됩니다.
※ 물품명세서 내용에 시방서 또는 구매규격서 참조 등의 표기가 있음에도 불구하고 본 공
고문에 첨부되지 않은 경우에는 물품명세서의 담당자에게 요청하여 확인해야 하며, 납품
시 반드시 충족해야 합니다.
마. 인도조건에 따라, 본 공고의 물품은 연구원 지정장소에서 검수가 완료된 후 설치까지 완료
되어야 합니다.(설치 조건에 대한 물품에 한함.)
바. 본 입찰과 관련한 평가기준 등 기술적인 사항은 물품명세서 상에 기재된 구매요구자에게, 기타 계약
관련 사항은 구매팀 (T.042-868-2419)으로 문의하여 주시기 바랍니다.
사. 낙찰예정자는 적격심사 완료 후 3일 이내에 납품이행계획서(발주서 포함) 및 산출내역서를
제출하여야 하며, 10일 이내에 계약을 체결하여야 합니다. 낙찰자가 계약을 체결하지 않을
때에는 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률」 제9조 제3항 및 동 시행령 제38조의 규
정에 의하여 입찰보증금이 국고로 귀속 됩니다.
아. 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」제76조 및 (계약예규)물품구매(제조)
계약일반조건 제26조에 따라 계약상대자의 귀책으로 납기가 지체되거나 정당한 이유 없이
계약을 이행하지 않을 경우, 계약을 해지하며 계약보증금을 회수하고 계약해지일로부터 3
개월동안 우리 연구원과의 계약상대자 결정에서 배제합니다.

위와 같이 공고함.
2026. 10

한 국 원 자 력 연 구 원 장

===== 물품명세서.pdf =====
[물품명세서]
출력일자 : 2026/10/01
PAGE : 1
순번

품명및규격 단위 수량 부 서 명 담당자 전 화 박준규 054-750-5308

스퍼터링 시스템
1. Main Chamber Module
2. Substrate Module
3. Cahode Module
4. Puming Module
5. Loadlock Chamber Module
1

6. Gas Delivery Module SE 1 입자빔이용연구부

7. System Control Module
8. System Frame & Control Rack
9. Chiller 1HP
10. Utility
11. Syatem Design,Composition Test Cost
12. etc expense & setup

2026-5834

===== RF_Sputter_구매사양서.hwp =====

- - 구 매 사 양 서 (RF Sputtering System) 1. 일반사항

가. 품
명 : RF Sputtering System (Load-lock 포함)

나. 수
량 : 1식

다. 용
도 : 박막 증착 연구용

라. 납품기한 : 계약일로부터 16주 이내 (설치 및 시운전 포함)

2. 장비 개요

본 장비는 RF 마그네트론 스퍼터링 방식의 박막 증착 장비로서 Main Chamber, 기판부, RF Cathode(2 Gun), 배기계, Loadlock 챔버, 가스 공급계, 제어부 및 부대설비로 구성되며, 공급자는 아래 세부 규격에 따라 장비를 설계·제작·설치하여야 한다.

3. 세부 규격 4. 성능 요건 구 분 항 목 규 격 수 량 Main Chamber 챔버

Φ450mm × 500H(mm), SUS304, 수냉 구조

1식 도어

Vertical Cylinder 구동 Front Door Type

1EA 포트 구성

CF 10" 기판 포트, CF 8" 배기 포트, Cathode 포트 3개, CF 2.75" 예비 포트 5개

1식 View Window 8", Shutter 포함 1EA 부속

오염방지 Shield Plate, 챔버 내부 조명

1식 Substrate Module 기판 히터 2" 기판, 최대 800℃ 1EA Z축 이송

Z-Motion Manipulator, Stroke 4", CF 3.375"

1EA 기판 회전

UHV Rotary Motion Feedthrough, CF 2.75", 수냉형

1EA 기판 셔터 Pneumatic Shutter 1EA Cathode Module RF 전원

600W, 13.56MHz, Auto Matching Network 포함

2Set Sputter Gun

2" Magnetron Sputter Gun, Gun Shutter 포함

2EA Off-Axis 스테이지

Gun Moving Stage, Stroke 160mm, 모터 구동 및 제어부 포함

1EA Pumping Module 고진공 펌프

Turbo Molecular Pump, 700 L/s

1EA 저진공 펌프 Dry Pump, 1,000 L/min 1EA 진공 게이지

Cold Cathode Gauge(Display 포함), Convectron Gauge

1식 공정압력 게이지

Capacitance Manometer(Baratron), 1 Torr F.S.

1EA 게이트 밸브 ISO160, Pneumatic 구동 1EA 압력 제어

Throttle Valve NW50 및 Controller

1Set 밸브/배관

Angle Valve NW25, Vent Valve, Vacuum Hose & Clamp

1식 Loadlock Module Load-lock 챔버 SUS304, OD150 × 200H(mm) 1EA 게이트 밸브 CF 6", Pneumatic 구동 1EA 시료 이송

Magnetic Transfer Rod, Travel 500mm

1EA 배기부

Rotary Pump 200 L/min, Low Vacuum Gauge

1식 Gas Delivery Module MFC Ar 100 sccm, O₂ 100 sccm 2EA MFC Readout 2채널 1EA 가스 라인

Gas Valve(1/4" Lok), Regulator, Line & Fitting 일체

1식 System Control 제어부

PLC 제어, Manual Control Panel, Valve 및 Heater 온도 제어

1식 안전 인터락

진공·냉각수·공압·도어 Safety Interlock

1식 Frame 및 부대설비 Frame/Rack

SS41 Ivory 도장, 1000W × 700D × 800H(mm), 19" Rack

1식 Chiller 1HP 1EA Utility

Air/Water 센서, Solenoid Valve, Manifold

1식

가. 도달 진공도 : Main Chamber 1.0 × 10⁻⁷ Torr 이하

나. 기판 온도 : 상온 ~ 800℃, 설정 온도 대비 ±10℃ 이내

다. 박막 균일도 : 2" 기판 기준 두께 균일도 3% 이내

라. 공정 압력 : Throttle Valve 및 Baratron Gauge에 의한 자동 제어

마. RF 전원 : 600W 출력 시 자동 정합, 반사 전력 10% 이하

바. Loadlock을 통하여 Main Chamber 진공 파기 없이 시료 교환이 가능할 것

5. 납품 및 설치

가. 공급자는 장비의 운송, 반입, 설치, 배관·배선 연결 및 시운전을 수행한다.

나. 전원·냉각수·압축공기·공정가스 등 1차 유틸리티는 구매자가 제공하며, 연결점 이후 작업은 공급자가 수행한다.

다. 공급자는 납품 전 장비 배치도 및 소요 유틸리티 사양을 제출하여 구매자와 협의한다.

6. 검수

가. 설치 완료 후 구매자 입회 하에 본 규격서의 세부 규격 및 성능 요건 충족 여부를 확인한다.

나. 규격 미달 시 공급자는 무상으로 조치한 후 재검수를 받는다.

7. 하자보증 및 기술지원

가. 하자보증기간은 검수 완료일로부터 1년으로 한다. (소모품 제외)

나. 보증기간 내 제조상 결함에 대하여 무상 수리하며, 장애 발생 시 신속히 대응한다.

다. 장비 운용 및 유지보수에 관한 사용자 교육을 1회 이상 실시한다.

8. 제출 서류 가. 장비 배치도 및 전기·배관 도면 나. 사용자 매뉴얼 다. 검수 시험성적서 9. 기타

가. 본 규격서에 명시되지 않은 사항이라도 장비의 정상 운용에 필요한 부품 및 작업은 공급자 부담으로 한다.

나. 주요 구성품은 구매자와 협의하여 동등 사양의 제품으로 대체할 수 있다.

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