반도체 회로를 새기는 극자외선(EUV)은 마스크에 작은 먼지만 붙어도 제품 불량으로 이어질 수 있다. 이를 막는 펠리클은 빛을 통과시키면서 공정에서 발생하는 열을 견뎌야 하는 초박막 보호막이다.
제주창조경제혁신센터 보육기업 어썸레이는 탄소나노튜브(CNT)를 활용해 얇고 가벼우면서 내열성을 갖춘 펠리클용 멤브레인을 개발하고 있다. 이 기술을 기반으로 75억원 규모의 시리즈B 브릿지 투자를 유치했다. 연구개발 기업에서 실제 고객에게 소재를 공급하는 기업으로 전환하기 위한 자금과 산업 파트너를 함께 확보한 라운드다.
이번 투자에는 S&S인베스트먼트와 원익투자파트너스·한화투자증권 공동운용 펀드, 리인베스트먼트, L&S벤처캐피탈, 케이넷투자파트너스, 유니온투자파트너스, 어센도벤처스 등이 참여했다.
EUV 포토마스크·펠리클 제조사와 반도체 소재·장비 기업, 재무적 투자자가 함께 참여해 제품 상용화와 공급망 진입 가능성을 검토했다. 어썸레이는 확보한 자금을 CNT 기반 EUV 펠리클 멤브레인의 양산 기술과 고객 공급 체계 구축에 활용할 예정이다.
어썸레이는 중소벤처기업부의 딥테크챌린지 펠리클 분야 기술개발사업에도 선정돼 총 36억원 규모의 연구개발 과제를 수행하고 있다. 기술보증기금 유니콘브릿지를 통해 지원금 6억원과 최대 200억원 규모의 기술보증 자격도 확보했다.
어썸레이 로고 (자료 제공: 어썸레이)
반도체 넘어 우주항공·방산으로…제주서 상장 준비
이번 투자에는 원익투자파트너스와 한화투자증권이 공동 운용하는 방산펀드가 참여했다. 반도체 공정용 멤브레인으로 개발한 CNT 소재를 우주항공과 방산 분야에 적용할 가능성도 투자 검토 대상에 포함됐다.
CNT는 가볍고 강도가 높으며 열과 전기적 특성을 조절할 수 있어 극한 환경에서 사용하는 섬유·멤브레인 소재로 활용할 수 있다. 어썸레이는 반도체를 핵심 시장으로 삼는 동시에 우주항공·방산 분야의 협력 과제를 발굴하고 있다.
회사는 올해 제주창조경제혁신센터가 운영한 ‘우주항공 오픈 그라운드’에 참여해 관련 기업·기관과 기술 적용 가능성을 검토했다. 이번 투자금을 바탕으로 CNT 섬유와 멤브레인의 산업별 성능 검증도 추진한다.
제주와의 사업 연계도 구체화하고 있다. 어썸레이는 지난 3월 제주특별자치도와 투자협약을 체결하고 제주첨단과학기술단지 내 ‘루트330’으로 본사를 이전했다.
제주특별자치도 상장지원 기업에도 선정됐다. 연구개발과 양산 기반을 갖추고 2028년 기술특례상장을 추진한다는 구상이다.
김세훈 어썸레이 대표는 “이번 투자는 연구개발 중심 기업에서 고객 공급이 가능한 첨단소재 기업으로 전환하는 이정표”라며 “CNT 기반 EUV 펠리클 멤브레인의 상용화를 앞당겨 글로벌 반도체 소재 시장에서 경쟁력을 확보하겠다”고 말했다.
어썸레이의 다음 과제는 실험실에서 확인한 CNT 멤브레인의 성능을 반도체 양산 공정에서 검증하고, 제주에서 구축할 생산·사업 기반을 실제 고객 공급으로 연결하는 일이다.
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