===== 1. 공고문(DGIST 제2026-144호).hwp =====
<공고번호 : DGIST 제2026-144호>
물품 구매 입찰 공고 1. 입찰에 부치는 사항 가. 공 고 명 : 산화막 식각 장비 구매
나. 물품명 및 세부사양 : 붙임 “상세규격서” 참고
다. 예산금액 : 금891,000,000원(부가가치세 포함)
라. 입찰방법 : 전자입찰, 총액입찰, 일반경쟁, 규격가격동시입찰, 예정가격 이하 최저가 낙찰제
마. 납품기한 : 계약일로부터 5개월 이내
바. 사양설명 : 생략(게시된 “상세규격서”, “과업지시서” 열람으로 갈음)
사. 납품장소 : 우리 원 지정장소 아. 청렴계약 대상입니다. 2. 입찰참가자격 및 방법
가. 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제12조 및 동법 시행규칙 제14조에서 정한 자격을 갖추고 동법 시행령 제76조의 규정에 의한 입찰 참가 자격 제한을 받지 않은 업체로서 조달청 전자입찰 참가자격 등록 및 이용자 등록을 마친 업체이어야 합니다.
나. 전자입찰방식에 의하므로 전자입찰이용자 등록을 필한 업체만이 참여가 가능합니다.
다. 입찰에 참여하고자 하는 업체는 아래 일정에 삼성 유휴설비가 보관된 창고에 방문하여 설비의 상태를 확인하여야 합니다.
※ 실사 일정 : 2026년 10월 6일(화), 장소 : 삼성전자 화성 장안 창고, 시간 : 미정(추후 안내)
※ 담당자 : DGIST 센서기술지원센터 정재윤 연구원 ☎ 010-3374-0985 전자메일 : [email protected]
라. 공동수급은 불허합니다. 3. 접수기간
가. 입찰 서류 접수기간 : 2026. 9. 30.(수) 10:00 ~ 2026. 10. 14.(수) 12:00
나. 전자 입찰 참여기간 : 2026. 9. 30.(수) 10:00 ~ 2026. 10. 14.(수) 12:00
다. 개찰일시 : 규격 심사 완료 후 개찰 라. 개찰장소 : 우리 원 계약담당관 PC 4. 입찰 서류 제출 가. 제출방법 : 우편 또는 직접 방문 제출
※ 서류 제출 및 문의 : DGIST 총무구매팀 진민경 ☎ 053-785-1246 전자메일 : [email protected]
(우) 42988 대구광역시 달성군 현풍읍 테크노중앙대로 333, DGIST 대학본부(E1) 701호
※ 공휴일(토·일요일)은 접수하지 않습니다.
※ 직접 방문하여 제출하는 경우, 사전에 전화로 방문 일정을 협의하여 주시기 바랍니다.
나. 제출기한
○ 우
편 : 제출 마감일 전일 18:00 까지(우리 원 도착 기준)
○ 전자메일 : 제출 마감 일시까지(우리 원 메일 서버 도착 시간 기준)
다. 제출서류 1) 사업자등록증 사본 1부
2) Bidding Specification(우리 원 양식) 1부
3) 제안서 6부(원본 1부, 사본 5부)
4) 제안서 내용을 수록한 기록매체(CD 또는 USB 등) 2매
5) 기술 평가자료(제안요청서 내 3페이지 ‘필수 제출자료’ 참조)
6) 신용평가등급서 1부
7) 퇴직자(재직자) 영입현황 확인서 및 수의계약 체결 제한 여부 확인서(우리 원 양식) 각 1부
8) 청렴계약 이행각서(우리 원 양식) 1부
9) 제품 카탈로그 1부(카탈로그가 있는 제품인 경우)
라. 우편 송부 시에는 제출기한까지 우리 원 총무구매팀에 접수된 것에 한하여 유효하며 운송 중 분실, 훼손 또는 지연에 대한 책임은 입찰참가자에게 있습니다.
마. 전자메일 전송 시에는 최종적으로 정상 제출여부를 반드시 확인하기 바라며, 미확인으로 발생하는 입찰 불이익에 대한 책임은 입찰참가자에게 있습니다.
바. 전자 메일로 송신 시 서류 일체를 한 개의 PDF 파일로 제출하여야 합니다.
사. 입찰시 제출되는 서류가 사본인 경우에는 ‘사실과 상위 없음’을 확인․날인하여 제출하시기 바랍니다.
※ 규격 심사는 참가자가 제출한 규격의 적합성 여부에 대해 우리 원 수요부서에서 실시하며, 필요한 경우 제출자의 발표, 의견진술, 기타 추가자료 등을 요청할 수 있습니다.
5. 전자 입찰서 제출 및 입찰 보증금
가. 본 입찰의 가격 투찰 및 입찰서 제출은 조달청 G2B전자입찰로 집행하며, 한번 제출한 입찰서는 취소하거나 수정할 수 없습니다.
나. 본 입찰은 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제39조, 동법 시행규칙 제44조, 및 국가종합전자조달시스템 전자입찰특별유의서의 규정에 의합니다.
다. 전자입찰서가 제출마감시간까지 국가종합전자조달시스템(G2B)에 도착하지 아니하거나, 컴퓨터 인식불능으로 인한 입찰서는 무효처리합니다.
라. 입찰 보증금은 전자입찰서의 입찰보증금 지급각서로 갈음하며, 낙찰자가 소정의 기일까지 정당한 사유 없이 계약을 체결하지 않을시 에는 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제38조에 의거해 동 보증금을 낙찰자에게 청구합니다.
6. 낙찰자 결정 및 숙지사항
가. 규격 심사를 통과한 자에 한해 예정가격 이하로 최저가 투찰한 자가 낙찰되며, 동일가격으로 입찰한 자가 2인 이상일 경우에는 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제47조에 의해 낙찰자를 결정하며, 추첨을 할 경우 국가종합전자조달시스템(G2B)의 자동추첨 방식을 통해 낙찰자를 결정합니다.
나. 낙찰자는 낙찰자로 결정된 날로부터 10일 이내에 계약을 체결하여야 하며, 정당한 사유 없이 지정된 기일 내에 계약을 체결하지 않을 경우 낙찰을 취소하며 입찰보증금은 우리 원에 귀속됩니다.
다. 낙찰자는 계약 체결 시 계약금액의 10%, 보증기간을 계약일로부터 계약종료일까지로 하는 계약보증서를 제출하여야 합니다.
라. 최종 검수 후 계약금액의 5%, 보증기간을 1년으로 하는 하자보증서를 제출하여야 합니다.
7. 입찰자 유의사항
가. 입찰에 참가하고자 하는 자는 입찰에 필요한 제반사항(공고문, 상세규격서, 물품구매입찰유의서, 물품구매 계약일반조건, 청렴계약이행 특수조건 및 청렴계약 이행 서약서, 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 등)을 사전 열람 및 숙지한 후 입찰에 응하시기 바라며, 입찰 관련사항 미 숙지로 인한 책임은 입찰자에게 있으며 입찰등록을 필한 자는 위 조건을 숙지하고 수락한 것으로 봅니다.
나. 사양설명은 별도로 실시하지 아니하며, 세부사양 및 설치장소 등은 입찰 공고문 및 규격서 등을 참조하거나 수요부서 담당자에게 문의하여 확인하는 것으로 갈음합니다.
8. 기타사항
가. 입찰 집행과 계약에 관한 문의는 총무구매팀 진민경(T.053-785-1246), 규격 및 사양, 설치장소 등에 관한 문의는 센서기술지원센터 정재윤 연구원(T.053-785-8726)에게 문의하시기 바랍니다.
나. 본 공고는 우리 원 홈페이지(www.dgist.ac.kr) “입찰정보”에도 게재 되었으니 참고하시기 바랍니다.
위와 같이 공고합니다. 2026년 9월 29일 대구경북과학기술원(DGIST) 총 장
===== 1. 공고문(DGIST 제2026-144호).pdf =====
공고번호 : DGIST 제2026-144호>
<
물품 구매 입찰 공고
입찰에 부치는 사항
가. 공 고 명 : 산화막 식각 장비 구매
나. 물품명 및 세부사양 : 붙임 “상세규격서” 참고
다. 예산금액 : 금891,000,000원(부가가치세 포함)
라. 입찰방법 : 전자입찰, 총액입찰, 일반경쟁, 규격가격동시입찰, 예정가격 이하 최저가 낙찰제
마. 납품기한 : 계약일로부터 5개월 이내
바. 사양설명 : 생략(게시된 “상세규격서”, “과업지시서” 열람으로 갈음)
사. 납품장소 : 우리 원 지정장소
아. 청렴계약 대상입니다.
2. 입찰참가자격 및 방법
가. 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제12조 및 동법 시행규칙 제14조에서 정한 자격을
갖추고 동법 시행령 제76조의 규정에 의한 입찰 참가 자격 제한을 받지 않은 업체로서 조달청 전
자입찰 참가자격 등록 및 이용자 등록을 마친 업체이어야 합니다.
나. 전자입찰방식에 의하므로 전자입찰이용자 등록을 필한 업체만이 참여가 가능합니다.
다. 입찰에 참여하고자 하는 업체는 아래 일정에 삼성 유휴설비가 보관된 창고에 방문하여 설비의 상
태를 확인하여야 합니다.
※ 실사 일정 : 2026년 10월 6일(화), 장소 : 삼성전자 화성 장안 창고, 시간 : 미정(추후 안내)
※ 담당자 : DGIST 센서기술지원센터 정재윤 연구원 ☎ 010-3374-0985 전자메일 : [email protected]
라. 공동수급은 불허합니다.
1.
접수기간
가. 입찰 서류 접수기간 : 2026. 9. 30.(수) 10:00 ~ 2026. 10. 14.(수) 12:00
나. 전자 입찰 참여기간 : 2026. 9. 30.(수) 10:00 ~ 2026. 10. 14.(수) 12:00
다. 개찰일시 : 규격 심사 완료 후 개찰
라. 개찰장소 : 우리 원 계약담당관 PC
4. 입찰 서류 제출
가. 제출방법 : 우편 또는 직접 방문 제출
※ 서류 제출 및 문의 : DGIST 총무구매팀 진민경 ☎ 053-785-1246 전자메일 : [email protected]
(우) 42988 대구광역시 달성군 현풍읍 테크노중앙대로 333, DGIST 대학본부(E1) 701호
※ 공휴일(토·일요일)은 접수하지 않습니다.
※ 직접 방문하여 제출하는 경우, 사전에 전화로 방문 일정을 협의하여 주시기 바랍니다.
나. 제출기한
○ 우 편 : 제출 마감일 전일 18:00 까지(우리 원 도착 기준)
○ 전자메일 : 제출 마감 일시까지(우리 원 메일 서버 도착 시간 기준)
다. 제출서류
3.
사업자등록증 사본 부
우리 원 양식) 1부
제안서 부 원본 부 사본 5부)
제안서 내용을 수록한 기록매체(CD 또는 USB 등) 2매
기술 평가자료 제안요청서 내 3페이지 ‘필수 제출자료’ 참조)
신용평가등급서 부
퇴직자 재직자 영입현황 확인서 및 수의계약 체결 제한 여부 확인서(우리 원 양식) 각 1부
청렴계약 이행각서 우리 원 양식) 1부
제품 카탈로그 부 카탈로그가 있는 제품인 경우)
라 우편 송부 시에는 제출기한까지 우리 원 총무구매팀에 접수된 것에 한하여 유효하며 운송 중 분
실 훼손 또는 지연에 대한 책임은 입찰참가자에게 있습니다.
마 전자메일 전송 시에는 최종적으로 정상 제출여부를 반드시 확인하기 바라며, 미확인으로 발생하는
입찰 불이익에 대한 책임은 입찰참가자에게 있습니다.
바. 전자 메일로 송신 시 서류 일체를 한 개의 PDF 파일로 제출하여야 합니다.
사. 입찰시 제출되는 서류가 사본인 경우에는 ‘사실과 상위 없음’을 확인․날인하여 제출하시기 바랍니다.
※ 규격 심사는 참가자가 제출한 규격의 적합성 여부에 대해 우리 원 수요부서에서 실시하며, 필요한
경우 제출자의 발표, 의견진술, 기타 추가자료 등을 요청할 수 있습니다.
1)
1
2) Bidding Specification(
3)
6 (
1 ,
4)
5)
(
6)
1
7)
(
)
8)
(
9)
1 (
.
,
.
전자 입찰서 제출 및 입찰 보증금
가. 본 입찰의 가격 투찰 및 입찰서 제출은 조달청 G2B전자입찰로 집행하며, 한번 제출한 입찰서는
취소하거나 수정할 수 없습니다.
나. 본 입찰은 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제39조, 동법 시행규칙 제44조, 및 국가
종합전자조달시스템 전자입찰특별유의서의 규정에 의합니다.
다. 전자입찰서가 제출마감시간까지 국가종합전자조달시스템(G2B)에 도착하지 아니하거나, 컴퓨터 인
식불능으로 인한 입찰서는 무효처리합니다.
라. 입찰 보증금은 전자입찰서의 입찰보증금 지급각서로 갈음하며, 낙찰자가 소정의 기일까지 정당한
사유 없이 계약을 체결하지 않을시 에는 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제38조에
의거해 동 보증금을 낙찰자에게 청구합니다.
6. 낙찰자 결정 및 숙지사항
가. 규격 심사를 통과한 자에 한해 예정가격 이하로 최저가 투찰한 자가 낙찰되며, 동일가격으로
입찰한 자가 2인 이상일 경우에는 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령 제47조에 의해
낙찰자를 결정하며, 추첨을 할 경우 국가종합전자조달시스템(G2B)의 자동추첨 방식을 통해 낙찰자
를 결정합니다.
나. 낙찰자는 낙찰자로 결정된 날로부터 10일 이내에 계약을 체결하여야 하며, 정당한 사유 없이 지정
된 기일 내에 계약을 체결하지 않을 경우 낙찰을 취소하며 입찰보증금은 우리 원에 귀속됩니다.
다. 낙찰자는 계약 체결 시 계약금액의 10%, 보증기간을 계약일로부터 계약종료일까지로 하는 계약보
증서를 제출하여야 합니다.
라. 최종 검수 후 계약금액의 5%, 보증기간을 1년으로 하는 하자보증서를 제출하여야 합니다.
5.
7.
입찰자 유의사항
가. 입찰에 참가하고자 하는 자는 입찰에 필요한 제반사항(공고문, 상세규격서, 물품구매입찰유의서, 물
품구매 계약일반조건, 청렴계약이행 특수조건 및 청렴계약 이행 서약서, 국가를 당사자로 하는 계
약에 관한 법률 등)을 사전 열람 및 숙지한 후 입찰에 응하시기 바라며, 입찰 관련사항 미 숙지로
인한 책임은 입찰자에게 있으며 입찰등록을 필한 자는 위 조건을 숙지하고 수락한 것으로 봅니다.
나. 사양설명은 별도로 실시하지 아니하며, 세부사양 및 설치장소 등은 입찰 공고문 및 규격서 등을
참조하거나 수요부서 담당자에게 문의하여 확인하는 것으로 갈음합니다.
8. 기타사항
가. 입찰 집행과 계약에 관한 문의는 총무구매팀 진민경(T.053-785-1246), 규격 및 사양, 설치장소 등에
관한 문의는 센서기술지원센터 정재윤 연구원(T.053-785-8726)에게 문의하시기 바랍니다.
나. 본 공고는 우리 원 홈페이지(www.dgist.ac.kr) “입찰정보”에도 게재 되었으니 참고하시기 바랍니다.
위와 같이 공고합니다.
년 9월 29일
2026 대구경북과학기술원(DGIST) 총 장
===== 2. 상세규격서.hwp =====
[별지 제3호 서식]<개정 2013.05.14.,2019.07.04.>
상 세 규 격 서 요구 번호 :
품
명
국 문 : 산화막 식각 장비 영 문 : Oxide Etcher
구
분
상 세 명 세 수 량 비 고 1. Feature
▣ 본 장비는 플라즈마 기반의 건식 식각 장비로써 산화막 및 질화막을 선택적으로 식각 하는 장비임.
▣ 본 장비는 샘플 Loading을 위한 Load-lock chamber와 공정이
진행되는 Process chamber가 개별 pumping unit으로 각각 구성
되어야하며, Load-lock chamber와 Process chamber 간
Wafer의 Loading/Unloading은 진공(Vacuum) 분위기에서
Transfer Robot을 이용하여 Auto로 진행되어야 함.
(샘플 이송 간 진공이 유지되어야 함)
▣ 시스템은 8인치 웨이퍼 기판 25매가 순차적으로 공정 진행이
가능해야 함.
▣ 양산 제품 생산 기준에 승인될 수 있는 안정성, 안전성 및 우수성을 가져야 함
▣ 산화막 식각 장비 (Oxide Etcher)
- 본 장비는 6인치 웨이퍼의 완전 자동화 공정이 진행 가능해야 함.
- 주요 Spec. (아래의 주요사양을 모두 충족하는 장비여야 함)
1) Platform Type : Etch Centura II
2) Wafer Specification 3) Chamber Type
4) System Safety Equipment
5) Etch Chamber A,B,C Configuration
6) Cooling Water Flow Sensor
7) Loadlock/Cassette configuration
8) Transfer Chamber Options
9) Gas Configuration 10) System Controller 11) System Monitor 12) Umbilicals 13) Sub Module Option 14) Document 15) 전기 공급 필수 사양 16) 기타사항 2. Specification ① Main System
▣ 산화막 식각 장비 (Oxide Etcher)
1) Platform Type : Etch Centura II
- Centura Body - EMAX Chamber - Orient Chamber - Loadlock Chamber 2) Wafer Specification - Wafer Size : 8 inch
- Wafer Shape : Notch type
3) Chamber Type
- Process Chamber A : Front-end SiO2/SiNx Etch Chamber
(EMAX STD)
- Process Chamber B : Back-end SiO2/SiNx Etch Chamber
(EMAX STD)
- Process Chamber C : Polymer Etch Chamber (EMAX STD)
- Process Chamber F : STD Orienter (OA)
- 외관 결함, 전원 케이블 결착 및 절연 상태에 이상이 없어야 함.
4) System Safety Equipment
- Signal Light Tower : 3 Color Signal Light Tower and Buzzer
- EMO Switch Type : Press To activate, Turn To Release EMO
- EMO Guard Ring
- Water and Smoke Detector : Alarm Type
- Smoke Detector at Controller
- EMO Test시 Front/Rear Mainframe, System Controller, Power
box, Pump 등 모든 EMO 스위치 작동 시 장비 안전 차단이 정상
동작 해야 함. 또한 Interlock, Signal Light, Buzzer, Smoke
Detector 및 감지기 Alarm 정상작동 확인이 필요함.
5) Etch Chamber A,B,C Configuration
- EMAX Process Kit : Si Notch Type Process Kit (New 교체)
- EMAX Turbo Pump : Alcatel 1600 (Overhaul 필요)
- EMAX Oxide ESC : DZ flat ceramic ESC (Overhaul & New 교체,
평탄도 검사 후 본원과 협의하여 판단)
- EMAX Oxide BIAS RF GEN : 1000W 정도의 EMAX 장비와 호환
가능한 Generator (Overhaul & New 교체)
- 출력 Set point 대비 ±5W이내 교정 만족해야 함.
- EMAX Oxide Throttle : Dual Butter Fly (Overhaul & New 교체)
- EMAX Oxide Gate Valve : Pendlum (Overhaul & New 교체)
- BIAS RF Matcher : AMAT 5000 / MXP+ / eMXP+ Etch Systems
(Overhaul & New 교체)
- ESC HV Module : HV MODULE ASSY, NEGATIVE, ESC
(Overhaul & New 교체)
- EMAX Slit Valve Oring : BSV Type (New 교체)
- EMAX Gas Injector : Quartz (New 교체)
- EMAX Dry Pump : IH600 (Missing으로 New 필요, 업체 보유 시
Overhaul 가능)
- EMAX Lid Hinge : Clamp
- EMAX Cathode Temp Sensor (Missing으로 New 필요)
- He Pressure Controller (Overhaul필요)
- High Voltage Module, Throttle Valve, Slit Valve 정상 작동 및
Sealing 상태 검증이 필요함.
6) Cooling Water Flow Sensor (Overhaul & New 교체 필요)
- Chamber Wall Flow Sensor
- Chamber Cathode Flow Sensor
- Chamber Turbo Pump Flow Sensor
- Chamber wall, Cathode, Turbo Pump, Cooling line의 누수가 없음을
검증해야 하며, 각 센서 위치별 Interlock 및 유량 감지 정상 작동을
검증해야 함.
7) Loadlock/Cassette configuration (Overhaul & New 교체 필요)
- Loadlock Type : NBLL with Auto Rotate
- Loadlock Platform : Narrow body
- Loadlock Cover Finish : Anti-Static Painted
- Wafer Mapping : Enhanced
- Integrated Cassette sensor including cassette detection & out of
position detection functions
- Loadlock Slit Valve Oring : Viton type (New 필요)
- Loadlock Dry Pump : IH80 (New 교체, 펌프 있을 시 Overhaul 가능)
- Home Position, Pick-up Offset, Bottom Slot Offset, Slot Spacing
정밀 Calibration 후 검증 필요함.
- NBLL Slit Valve Viton O-ring 교체 상태 및 Viton Sealing, Dry
Pump(IH80) Vacuum Pumping 기능 검증 필요함.
8) Transfer Chamber Options
- Transfer Ch Manual Lid Hoist
- Robot Type : Centura HP+ Robot (VHP+ -> HP+ Overhaul &
New 교체)
- Robot blade Option : Ceramic Blade (Overhaul & New 교체)
- Wafer on Blade Detector : Basic
- Loadlock Vent : Bottom Vent
- Slit Valve Oring : Viton Type (New 교체)
- Centura HP+ Robot Home 위치 정렬, Extension / Primary
Rotation / Aux Rotation 위치 정밀 Calibration 검증 필요함.
- Mapping 및 Blade Sensor 동작 시 이송 안정성 검증 필요함.
9) Gas Configuration
- Gas 종류 및 관련 부품, MFC 용량은 추후 협의 및 변경 가능함.
- 각 Process Gas MFC 유량 Set point 대비 ±10% 이내 오차 유지해야 함.
- Process A,B,C Chamber Gas configuration (Overhaul & New 교체)
(C4F8, O2, Ar, CHF3, CF4, CH2F2 etc.)
- Pallet 4/6ea - Corrosive Gas Line Qty - Inert Gas Line Qty
- Filter : Millipore (New 교체)
- Gas Panel Facilities Hook up : Bottom Feed Side or ETC, gas
box exhaust
- MFC : UNIT8161 / Brooks6256S (Overhaul & New 교체)
- Gas Panel Controller : VME II (Overhaul & New 교체)
- Transducer : Millipore (Overhaul & New 교체)
- Regulator : Millipore (Overhaul & New 교체)
- Valve : Veriflo (Overhaul & New 교체)
Gas 유량 Gas 유량 1 C4F8 100SCCM 5 CH2F2 100SCCM 2 O2 20SCCM 6 O2 200SCCM 3 Ar 1SLM 7 CF4 100SCCM 4 CHF3 100SCCM 10) System Controller
- Controller Type : Centura 2 type 66inch (Overhaul & New 교체)
- Controller Electrical Interface : Bottom feed
- Controller Exhaust : Top exhaust
11) System Monitor
- System Monitor : CRT Standalone (Missing으로 New 필요)
- Monitor Cursor : Blinking Cursor
- Monitor 출력, Blinking Cursor 제어 및 시스템 통신 정상 작동을
확인해야 함.
12) Umbilicals
- Umbilical 길이의 경우 추후 협의 가능
- Controller to Mainframe Umbilical : 75 feet
- Controller to AC Rack Umbilical : 75 feet
- AC To Mainframe Umbilical : 75 feet
- HX Control Cable Length : 75 feet
- Heat Exchanger Hose Length : 75 feet
- Pump Cable Length : 75 feet
- RF to MF Cable Length : 75 feet
- 75 feet Umbilical, Power Cable, Hose의 배선 결착, 절연 및 누수
상태 확인 검증 필요함.
13) Sub Module Option
- Chiller: Dual Channel Chiller or Refrigeration Chiller with
Galden HT 110 (Initial Filling 포함) (Missing으로 New 필요)
- 누수(No Leak) 확인, Galden HT 110 충진 및 온도 제어/Flow 안정성
검증 필요함.
14) 매뉴얼 및 제출 서류 (Documents)
- 인쇄본(무진지) 각 2부 및 전자파일 (PDF/USB) 1식을 제출하여야 함
- 운용 매뉴얼 (Operation Manual)
- 유지보수 매뉴얼 (Maintenance Manual)
- 문제해결 매뉴얼 (Trouble Shooting Manual)
15) 전기공급 필수 사양
- 입력 전원 사용 : 208V 3상 4선식(RSTG), 10kW, 225A
- 전압 및 접지 허용 규격
- 선간 전압 (R-S,S-T,T-R) : 208V ± 10V
- 상 전압 (R-N,S-N,T-N) : 120V ± 6V
- 접지 저항 (N-G) : < 10ohm
16) 기타사항
- 상세규격서에 명시되지 않은 사항은 공급자 측에서 제안하고 상호
협의에 의하여 결정함
- 상기 사양과 동등 또는 동등 사양 이상으로 구성하여야 함
- 입찰 및 납품 형태 1)) 공동 도급 불허 2)) 분할 납품 불허 1set 3set 1set 2set 3set 3ea 3ea 3ea 3ea 3ea 3ea 3ea 3ea 3ea 3ea 3ea 3ea 6ea 3ea 3ea 3ea 2set 2ea 2ea 1ea 1ea 1ea 1ea 3ea 18ea 21ea 21ea 1ea 3ea 21ea 3ea 1set 2ea 1set 3ea ② Option ③ 규격 심사
1) Layout 도면(하중 포함) 및 상세 유틸리티 사양 제출
- 입찰 참가 업체는 입찰 시 장비 Layout 도면 및 상세 유틸리티
사양서를 제출해야 함.
- 본원에서는 제출된 자료를 바탕으로 클린룸 내 설치 공간 적합성
및 Sub-Fab 유틸리티 용량 수용 가능 여부를 심사함.
2) 상기 장비는 반도체 제조공정에 적합해야 하며, 상기 사양에 준하는
8인치 기반 자동화 시스템 구성의 산화막 식각 장비를 반도체 기업
또는 R&D 기관에 최근 5년 이내 납품한 실적 증빙 문서를 제출하
여야 함
3) Hardware Check List는 리퍼비시 업체에서 제공해야 함
상세규격서에 기재되어 있는 검증 필요 항목을 데이터로 검증해야 함
4) 입찰에 참여하고자 하는 업체는 대상 장비의 정확한 리퍼비시 범위를 확인하기 위해 입찰공고에 명시된 일시에 장비 보관 장소를 방문하여 장비 상태를 확인하여야 함. (상세 내용은 제안요청서 『2.제안 자격 나.』 참조)
5) 장비 실사에 참여하지 않은 업체는 본 입찰에 참여할 수 없음.
6) 입찰이 완료된 후 계약된 업체는 삼성전자 창고에 보관된 설비를 직접 운반하여 Refurbish 진행하여야 함.
④ 설치조건 및 검수 1) 설계 및 컨셉 변경 금지
- 계약상대자는 본원의 사전 서면 승인 없이 최종 설계 및 사양/컨셉을
임의로 변경할 수 없음.
2) 승인 및 협의 절차
- 설계나 사양 변경이 필요한 경우 본원 담당자와 사전 협의 후 서면
승인을 득해야 하며, 미승인 변경 발생 시 장비 납품 및 수령을
거부할 수 있음. 3) 출하 전 점검
- 장비 출하/납품 전 본원 담당자가 제작사를 방문하여 실제 장비 구성,
하드웨어(HW) 동작 상태 및 사양 준수 여부를 확인해야 함.
4) 운반 및 설치
- 계약상대자는 본원과 협의된 일정에 지정 장소로 장비를 안전하게
패키징, 운반, Fab-in, 지정 위치 설치 및 정상 가동을 위한 모든
구성품을 조립·설치해야 함.
5) 서브펩(Sub-Fab) 유틸리티 구성
- PM/유지보수 공간을 포함하여 4,098mm x 3,200mm 이내에
설치 및 가동이 가능해야 함.
- Mainbody를 제외한 Controller, Power Rack, Chiller, Dry
Pump 등 부속 장비는 하부 서브펩(Sub-Fab)에 위치하도록 배치
및 제작하여야 함.
6) 반입 시 안전 조치
- 운반 및 클린룸 반입 시 파손 우려가 있는 정밀 부품은 개별 포장
/내장하거나 반입 후 조립할 수 있도록 조치해야 함.
- Set-up시 안전수칙 미준수 및 안전도구 미착용 등으로 발생하는
모든 안전사고는 공급자 측에서 조치와 책임을 다함.
7) 운반 및 도비 비용
- 장비 반입 빛 운반에 발생하는 모든 도비 비용은 공급사가 부담함.
8) 검수 원칙 및 기준
- 검수는 하드웨어 검수 및 공정 성능 검수(Performance Test)를
원칙으로 함. 검수 결과 본원 규격 미달 시 반송(Ship-back) 처리
하며, 이에 발생하는 비용은 계약상대자가 부담해야 함. (대구경북
과학기술원 Spec. in/out 판단에 대한 분쟁 발생 시 대구경북과학
기술원의 해석에 따름)
- 1차 검수 (Hardware Acceptance)
장비 설치 및 시운전 완료 후 계약상대자는 '장비 설치보고서'를
제출하고 하드웨어(HW) 검수를 완료하여야 함.
- 최종 검수 (Process Acceptance)
1차 검수 완료 후 즉시 Process Test를 실시하여 규정된 공정 성능을
확보하고 '공정 결과 보고서'를 제출하여 최종 승인을 득해야 함.
- 업체는 공정에 최적화된 공정 조건 (Recipe) 제공 및 공정 검증
(③-2) 규격 심사, ④ 설치조건 및 검수 참조)을 해야 함
제출 문서 수량 비고 1 장비 설치보고서 2부 장비설치 완료 후 제출 2 공정 결과보고서 2부 공정 테스트 완료 후 제출 8) 공정 성능 검수 기준
- 본원에서 제공하는 8인치 Wafer 시료에 대해 아래의 공정 목표 및
성능평가 기준을 동시에 만족해야 함.
※ 공정 성능 검수는 다음의 방안으로 시행 예정
No Item Specification Oxide Nitride 1 Structure Oixde on Si Nitride on Si 2 Etch rate ≥ 3000Å / min ≥ 3000Å / min 3 Profile angle > 85° > 85° 4 Selectivity (PR) ≥ 3 : 1 ≥ 3 : 1 5 Temperature Variation ≤ 10℃ 6 Base Pressure ≤ 1.0mTorr 7
Process chamber Leak Rate
≤ 1mT/min 8
Loadlock chamber Leak Rate
≤ 5mT/min 9 He leak rate ≤ 3.5sccm 10 Within Wafer Uniformity < 3% 11
Wafer to Wafer Uniformity
< 3% 12 Run to Run Uniformity < 3%
※ Uniformity (%) = (max-min) / (2 x mean) x 100
※ Within wafer는 다음의 기준으로 평가한다.
(Wafer Edge exclusion: 5mm)
그림 Within 측정 기준 9) 최종 승인 기준
- 장비의 최종 Set-up 및 검수 완료일은 본원의 최종 승인 서명일을
기준으로 함.
10) 엔지니어 자격 조건
- 장비의 설치, Operation 및 Accpeptance Test는 자격이 검증된
장비 제작사 또는 공급사의 전문 엔지니어에 의해 수행되어야 함.
⑤ 장비 교육 1) 사용자 및 유지보수 교육
- 본 규격서에 명시된 모든 교육은 무상으로 진행해야 함.
- 장비 Set-up 완료 후 무상보증 기간 내 본원(DGIST) 지정 장소에서
사용자 교육을 실시해야 함.
- 무상보증 기간 내 사용자의 원활한 장비 운용을 위해 추가 교육을
요청할 경우, 계약 대상자는 무상으로 최소 2회 이상의 추가 교육을
지원해야 함.
- 장비의 자가 유지보수가 가능하도록 관리자 교육을 포함하여 실시
해야 하며, 리퍼비시 공급 업체는 관련 기술 매뉴얼을 반드시 제공
해야 함.
⑥ 납품기한 보증기간 등 1) 납품기한
- 계약 체결일로부터 5개월 이내에 장비 납품 및 설치를 완료해야 함.
- 장비 설치 완료 후 2주 이내에 최종 검수를 완료함을 원칙으로 함.
(단, 본원과의 협의 및 불가피한 사정에 따라 연장될 수 있음)
- 상호 협의된 일정 내에 문제가 발생되어 Set-up이 지연될 시에는 지연 Penalty를 대구경북과학기술원에 지불함 (계약 조건에 따름)
2) 보증기간
- 장비의 무상보증 기간(Labor & Part)은 최종 검수 완료 승인일로
부터 1년으로 한다. 단, Consumable Part 사용자 과실 및 고의로
의한 고장은 제외함.
- 제작자는 무상보증 기간 내 정상 작동 상태에 치명적인 결함 및
반복적인 고장에 의해 장비 안정성이 낮아 사용 불가로 판단될
때에는 장비 반환을 요구할 수 있음
- 제작사는 장비의 문제가 발생할 시 사용자가 요청하는 시간내에
최대한 빠르게 대응 가능해야 함. 3) 성능보증
- 공급자는 상세규격서 등에 언급된 설계조건에 부합되도록 성능을 보증해야 함
- 장비의 최대성능 발휘에 필요한 다양한 부가장치를 포함하여야 함
- Vacuum pump는 향후 10년 이상 수리, 유지 관리에 문제가 없는 제품이어야 함
- 장비 및 유틸리티 구성품 모두 장기간 사용 및 유지 관리에 유리한 구성 및 재질로 구성되어야 함
2026년 09월 14일 작 성 자 소 속 : 센서기술지원센터 성 명 : 정재윤 계정(과제)책임자 소 속 : 센서기술지원센터 성 명 : 이성훈 ===== 3. 제안요청서.hwp ===== 제 안 요 청 서 2026. 09. 대구경북과학기술원 1. 제안 자격
가. 국가종합전자조달시스템 입찰참가자격등록규정에 의하여 반드시 입찰(개찰)일 전일까지 나라장터시스템에 입찰참가자격을 등록한 자
2. 제안 자격
가. 동 사업에 참가하는 업체는 아래 자격을 갖춘 자에 한한다.
1) 『국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령』제12조 규정에 의한
입찰 참가 자격요건을 갖춘 자
2) 부당업체로 입찰참가 자격 제한을 받고 있지 않은 업체
나. 장비 실사참여
1) 본 입찰은 본원이 실시하는 식각 장비 실사에 참여한 업체에 한하여 입찰에 참가할 수 있다.
2) 실사 일시 및 장소는 별도 공지에 따르며, 지정된 일시 외의 개별 실사는 인정하지 않는다.
3) 실사 참여 여부는 현장 참석자 명부로 확인하며, 실사에 참여한 업체는 [서식 5. 장비 실사 참여확인서]를 제안서에 첨부하여야 한다.
4) 실사에 참여하지 않았거나 참석 확인서를 제출하지 않은 업체의 제안서는 접수하지 않거나 평가 대상에서 제외한다.
3. 제안 조건
가. 기본규격서의 규격과 동등하거나 그 이상으로 제안하여야 한다.
나. 제안과 관련되어 제출된 자료 일체는 반환하지 않으며, 본 제안과 관련된 일체의 소요비용은 제안업체가 부담한다.
다. 제안서의 모든 기재사항은 객관적으로 입증할 수 있는 관계서류를 첨부해야 하며, 허위 작성한 사실이 판명되는 경우 평가대상에서 제외되며 계약 후에도 계약해지와 함께 인적․물적․기간적 손실에 대한 손해배상을 청구할 수 있다.
라. 제출된 제안서의 내용은 수정, 삭제 또는 대체할 수 없다.
마. 제안서에 제시된 내용은 계약서에 명시하지 않더라도 계약서와 동일한 효력을 가진다. 다만, 계약서에 명시된 경우에는 계약서의 내용이 우선한다.
바. 본 제안서의 결과에 의한 일체의 계약은 국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률
등 관련법규를 준수한다.
사. 제안업체는 동 사업과 관련하여 취급 또는 습득한 정보에 대하여 과업수행기간은 물론 그 이후라도 정보유출 등에 관한 보안사항을 준수하여야 하며, 보안사고에 대한 민․형사상의 모든 책임을 진다.
아. 제안업체는 실사를 통해 확인한 장비 상태를 반영하여 제안하여야 하며, 실사에 소요되는 비용은 제안업체가 부담한다.
4. 제안서 작성
가. 제안서는 규격서를 바탕으로 [붙임 1]의 제안서 작성지침을 참조하여 각 조건
에 대하여 명확하고 상세하게 작성하고, 기술적인 설명자료 등의 내용이 많을
경우에는 별첨 자료로 작성한다.
나. 제안서의 내용은 명확한 용어를 사용하여 표현하여야 하며, “～할 수도 있다”,
“～이 가능하다”, “～을 고려하고 있다”, “～에 동의한다” 등과 같은 모호한 표현은
제안서 평가 시 불가능한 것으로 간주한다.
다. 필요 시 입찰참가자에 대하여 추가제안이나 추가 자료를 요청할 수 있으며, 이에
따라 제출된 자료는 제안서와 동일한 효력을 갖는다.
라. 제출된 제안서의 내용은 계약체결 시 계약조건의 일부로 간주하며, 세부계획
수립 추진과정에서 추후 변경할 수 있다.
마. 제출된 제안서는 반환하지 않으며, 제안과 관련된 일체의 소요 비용은 입찰
참가자의 부담으로 한다.
바. 제출된 자료의 기재내용이 허위사실이 인정될 경우 평가대상에서 제외 최종 사
업자 선정 후에도 자격이 상실될 수 있다.
사. 제안자는 대구경북과학기술원으로부터 배부 받은 제안요청서 또는 각종자료 및
제안 과정에서 얻은 정보를 제안외의 목적으로 사용해서는 안된다.
5. 제안서 제출 가. 제출기한 : 입찰공고 참조 나. 제출장소 : 입찰공고 참조 다. 제안서 접수 및 마감 : 입찰공고 참조 라. 제출서류(붙임 1 참조)
1) 제안서 : 제안서 작성 지침에 의거하여 아래 필수 내용을 포함하여 작성
2) 제출부수 : 원본 1부, 사본 5부
3) 제안서 내용을 수록한 기록매체(CD 또는 USB 등) : 2매
마. 제출방법
1) 제출기한 내에 미제출시는 제안의사가 없는 것으로 처리하고, 제반 자료는
일체 반환하지 않는다. ※ 필수 제출자료 최근 3년 재무제표 4대보험 가입자명부 제안 장비 구성도 및 개략도
장비 리퍼비시 기술 특장점 및 성능 개선 자료
공정 지원 계획서 및 유사 장비 리퍼비시 실적 자료
장비설치계획서 부품 교체 및 오버홀 상세 리스트
[제조사 / Part No. / Serial No. / Calibration 성적서]를 제출
[신규 교체품 / 오버홀 재사용품 / 기존 재사용품]으로 명확히 구분
리퍼비시 후 연간 운용비용 산출자료
- 소모품, 진공부품류, 펌프유지보수, 각종 게이지류 등
- maker/model/주기/수량/단가 명시
리퍼비시 장비 예방정비(PM) 및 유지보수표
(주, 월, 분기, 연간 등으로 구분 작성)
장비 운영 및 트러블 슈팅 교육 훈련 계획서 6. 제안서 평가
가. 본 평가는 제안장비 규격 등의 기술적합도 평가와 제안자의 추후 A/S 등 유지보수 능력 등을 평가한다.
나. 제안자가 제출한 제안서의 평가는 기술능력평가와 가격평가로 구분하여 종합평가를 실시하되, 평가는 기술능력평가 100%의 비중으로 실시한다.
다. 제안서의 기술부문 평가는 기술제안서 평가항목을 기준으로 하여 [붙임 2]와
같은 평가항목과 비중을 가지고 평가한다.
라. 적격자는 아래의 조건을 만족하는 경우를 말한다.
- 총점 80점 이상 마. 제안서의 평가 심사위원 구성 및 방법 - 심사위원 : 5인 내외
- 심사방법 : 업체에서 제출한 제안서 및 설명회(필요시)를 통한 심사(평가기준에 의거 종합 평점 산정)
- 제안서는 공정하게 심사하고 제안업체는 결과에 대하여 일체의 이의나 반대를 제기하지 못한다.(서식 4. 서약서를 제안서 제출시 첨부 제출)
바. 기술평가 점수는 평가위원이 평가한 점수 중 최고점수 1개와 최저 점수 1개를 제외
하고, 나머지 평가점수를 산술평균한 점수(소수점 둘째 자리에서 반올림)를 100점 만점으로하여 제안업체의 점수로 한다.
사. 평가항목에 따른 증빙서류를 제출하지 못할 경우 해당항목은 영점처리한다.
아. 제출된 서류가 부정 또는 허위로 작성된 것으로 판명된 때에는 다음과 같이 처리한다.
- 계약체결 이전일 경우에는 낙찰 예정자에서 제외하거나 낙찰자 결정 통보를 취소한다.
- 계약체결 이후인 경우에는 당해 계약을 해제 또는 해지할 수 있다.
7. 기타 제출 서류 가. 계약 후 1주일 이내 - 시스템의 구성품 리스트 1부 - 시스템의 납품 일정 1부 - 기술지원 및 담당 엔지니어 현황표 1부
나. 검수 시 : 구매요구서류 상세규격서 상 [④ 설치조건 및 검수] 참고
- 장비 설치 완료 보고서 2부
- 장비 사용 매뉴얼 파일 1부, 사본(무진지) 2부.
- 공정결과 보고서 2부
: 구매요구서류 상세규격서 [④ 설치조건 및 검수] 항목의 결과 보고서 제출
※ 붙임 1 □ 제안서 작성지침 작 성 항 목 작 성 방 법 Ⅰ. 제안 개요
- 제안요청 내용을 명확하게 이해하고 본 제안의
목적, 범위, 전제조건 및 제안의 특징 및 장점을 요약
Ⅱ. 일반부문 1. 일반현황
- 제안사의 일반현황 및 주요 연혁, 주요사업 분야, 최근 3년간의
자본금 및 부문별 매출액을 명료하게 제시
- 제안사의 조직 및 사업 참여 인원 현황 2. 사업수행실적
- 최근 5년 이내 제안대상 시스템 및 유사분야의 납품 실적
(ex. 해당 모델 및 이에 준하는 장비에 한함)
- 납품 실적 증명이 되지 않는 실적은 인정하지 않음
Ⅲ. 기술부문 1. Hardware :상세규격서 충족도 및 적합성
- 자체/외주 공정 표준 작업 절차서(SOP) 제시
(ex. 챔버 세정 및 표면 재처리 공정 세부 절차서)
- 핵심 모듈 교체 계획 제시
(ex. ESC Chuck, RF Generator/Matcher, Vacuum Pump, MFC 등 세부 교체/재생/기존 재사용 구분이 명시된 부품 리스트 제시)
- 안전 및 보호 예방 기능 제시
(ex. High Voltage, Vaccum Loss, Gas leak 발생 시 Interlock 구현 방안)
2. 공정성능(결과) 충족도
- 품질 관리 및 품질 검증
(ex. 장비 해체, 세정, 조립, 출하 전 검사 단계별 품질 기준 제시 )
- 핵심 부품 성능 유지 및 캘리브레이션 방안
(ex. 리퍼비시 대상 장비의 주요 파츠(MFC, RF, 펌프 등) 교체 내역 및 성능 성적서(Calibration)
제공 계획)
- 납품 후 현장 인수 테스트 및 공정 최적화 지원 방안
(ex. 장비 설치 후 공정 요구 조건을 맞추기 위한 현장 튜닝 및 기술 지원 계획)
Ⅳ. 관리부문 1. 사후 유지 관리 - CS 대응 및 인력 운영
(ex. 상주/출동 가능 지역 및 평균 출동 소요시간)
- 유지보수를 위한 부품 수급의 용이성
(ex. 보유 재고 리스트 재고관리 대장 또는 창고 사진/실사 가능 여부)
- Warranty 기간 (ex. 최소 보증 기간 및 범위 명시) 2. 추진체계 - 납품 및 설치 일정표 등의 적합성
(입고 진단, 세정/오버홀, 출하 검사, 반입 셋업, SAT 검수까지의 상세 Gantt Chart 제시)
- 장비 운영 및 유지보수 교육
(장비 운용, 매일/매월 정기 예방정비(PM), 기본 트러블슈팅 교육 과정 및 교재 제공 계획)
Ⅴ. 기타 1. 기타 제안사항 ※ 붙임 2 ○ 제안서 평가항목 및 배점기준표 구 분 평가항목 배점한도 비 고 계 100 기술능력
평
가
객관적 평가 (정량평가) - 기술인력 보유상태 - 납품실적 - 경영상태 등 40 주관적 평가 (정성평가) - Hardware 사양 충족도 - 공정성능(결과) 충족도 - 사후 유지 관리 - 추진체계 60 1. 기술능력평가(100점) 1) 객관적 지표(40점) : 정량평가
1-1) 기술지원 및 수리인력 보유상태 : 15점
평가항목
등
급
배점 비고 참여인력의 적정성
1) 기술 및 수리인력(설계, 제어, 제조, 수리인력 – 경력 7년 4명 이상 또는 1년 24명 이상)
15
2) 기술 및 수리인력(설계, 제어, 제조, 수리인력 - 경력 7년 3명 이상 또는 1년 18명 이상)
13
3) 기술 및 수리인력(설계, 제어, 제조, 수리인력 - 경력 7년 2명 이상 또는 1년 12명 이상)
11
4) 기술 및 수리인력(설계, 제어, 제조, 수리인력 - 경력 7년 1명 이상 또는 1년 6명 이상)
7
※ 해당 분야 경력 증빙자료 제출 시에만 인정(서식 2)
※ 국민건강보험공단 사업장가입자 명부 첨부 (최근 6개월 이상 계속 가입자 한정)
1-2) 납품 실적 : 20점 심사항목 실적(건수) 평 점 최근 5년간 리퍼비시 실적 (해당 모델 및 이에 준하는 장비에 한함) 10건 이상 20 7건 이상~10건 미만 16 3건 이상~7건 미만 12 3건 미만 10
※ 수행 경험(실적)범위 : 제안업체가 책임 수행한 최근 수행 실적.
※ 동등수준 유사장비: 산화막 식각 장비 ※ 실적증명원 제출 시에만 인정(서식 3)
1-3) 경영상태(신용평가등급에 의한 경영상태 평가) : 5점
신용평가등급 회사채에 대한 신용평가등급 기업어음에 대한 신용평가등급 기업신용평가등급 평 점 AAA AA+, AA0, AA- A+ A0 A- BBB+ BBB0 A1 A2+ A20 A2- A3+ A30
회사채에 대한 신용평가등급 AAA에 준하는 등급
회사채에 대한 신용평가등급 AA+, AA0, AA-에 준하는 등급
회사채에 대한 신용평가등급 A+에 준하는 등급
회사채에 대한 신용평가등급 A0에 준하는 등급
회사채에 대한 신용평가등급 A-에 준하는 등급
회사채에 대한 신용평가등급 BBB+에 준하는 등급
회사채에 대한 신용평가등급 BBB0에 준하는 등급
5.0 BBB- BB+, BB0 BB- A3- B+ B0
회사채에 대한 신용평가등급 BBB-에 준하는 등급
회사채에 대한 신용평가등급 BB+, BB0에 준하는 등급
회사채에 대한 신용평가등급 BB-에 준하는 등급
4.5 B+, B0, B- B-
회사채에 대한 신용평가등급 B+, B0, B-에 준하는 등급
4 CCC+ 이하 C 이하
회사채에 대한 신용평가등급 CCC+에 준하는 등급
2
※ 신용평가등급서 미제출시 최저등급 평점 부여
※ 신용평가등급서는 반드시 입찰공고일 전일까지 받은 가장 최근의 신용평가등급이어야 함
2) 주관적 지표(60점) : 정성평가 평가 항목 평가요소 평가비율 평가기준 비고 주관적 지표 (80점)
Hardware :상세규격서 충족도 및 적합성
(20점)
- 챔버 오버홀 및 부품 교체 기술력 (ex. 세정 및 표면 재처리 작업 공정기술)
40% ∙매우우수 : 20점
∙우
수 : 17점
∙보
통 : 15점
∙미
흡 : 13점
∙아주미흡 : 11점
- 리퍼비시 전문성 및 개선 방안 (ex. 납품 기한, 장비 리퍼비시를 위한 특화 기술 개발)
30% - 안전 및 보호 예방 기능 (Interlock, 감지 및 예방) 30% 공정 성능(결과) 충족도 (20점) - 장비 성능 평가/검증 방안 및 계획 제시
(ex. 장비 해체 및 세정 후 조립 과정에서의 품질 관리 프로세스 및 자체 검증 기준 제시)
20% ∙매우우수 : 20점
∙우
수 : 17점
∙보
통 : 15점
∙미
흡 : 13점
∙아주미흡 : 11점
- 핵심 부품 성능 유지 및 캘리브레이션 방안
(ex. 리퍼비시 대상 장비의 주요 파츠(MFC, RF, 펌프 등) 교체 내역 및 성능 성적서(Calibration) 제공 계획)
40%
- 납품 후 현장 튜닝 및 공정 안정화 지원 방안
(ex. 장비 설치 후 공정 요구 조건을 맞추기 위한 현장 튜닝 및 기술 지원 계획)
40% 사후 유지 관리 (15점) - CS 대응 및 인력 운영 50% ∙매우우수 : 15점
∙우
수 : 13점
∙보
통 : 11점
∙미
흡 : 9점
∙아주미흡 : 7점
- 유지보수를 위한 부품 수급의 용이성 (유지보수용 spare part 보유 현황, 수급 용이한 부품 사용)
45% - Warranty 기간 5% 추진체계 (5점) - 납품 및 설치 일정표 등의 적합성 60% ∙매우우수 : 5점
∙우
수 : 4점
∙보
통 : 3점
∙미
흡 : 2점
∙아주미흡 : 1점 - 장비 운영 및 유지보수 교육 (교육 내용 및 범위) 20% - 기타 제안사항 20% ※ 붙임 3. 제안서식 - 서식 1. 업체 일반현황 및 주요 연혁
- 서식 2. 사업참여 인력의 자격 및 경력사항
- 서식 3. 사업 수행 실적 - 서식 4. 서약서 ( 서식 1 ) 제안 업체 일반현황 상 호 대표자성명 소재지 본사
전화 :
fax :
사업자등록번호 (개업년월일) 주소 : 공장
전화 :
fax :
공장등록 유무 주소 : 종업원수
총
명, 사무직 :
명, 생산직 :
명, 기술직 :
명
자본금 백만원 최근 3년간 연도별 매출액 (백만원)
업
태
1. 법인(
), 개인(
)
2. 공급자(
), 제조자(
)
3. 대기업(
), 중소기업(
)
(회사 소개) (서식 2) 사업 참여 인력의 자격 및 경력사항 성명 직위 최종 학위 최종 전공 최종 학위 년도 해당분야 경력 해당공종 등급 (※ 작성 요령) - 직위 : 현재 직위를 기재 함
- 최종 학위 : 학사, 석사, 박사로 구분하여 기재 함
- 최종 전공 : 최종 학위를 받을 때의 전공을 기재 함
- 해당 분야 경력 : 관련된 업체 및 엔지니어링업체의 경력을 합산하여 기록한다.
- 해당 공종 : 현 근 무 업체에서 담당하는 기술 분야
- 특급, 고급, 중급, 초급으로 구분 기재
․ 특급 : 기술사, 기사 10년 이상, 박사 3년, 석사 9년, 학사 12년, 전문대 15년 이상
․ 고급 : 기사 7년 이상, 박사, 석사 6년, 학사 9년, 전문대 12년 이상
․ 중급 : 기사 4년 이상, 석사 3년, 학사 6년, 전문대 9년 이상
․ 초급 : 기사, 석사, 학사, 전문대졸 이상 경력 등
( 서식 3 ) 사업 수행 실적 연도 사업분야 사업명 사업개요 실적의 종류 발주처 (사업주) 비고 계
건
만원
※ 유의사항
- 실적증명 또는 계약서 사본 등 첨부(일련번호 부여), 최근 5년 내의 실적을 기록함.
- 증명서류 없을 시 실적 불인정 ( 서식 4 ) 서 약 서 업 체 명 :
주
소 :
당사는 대구경북과학기술원 “
” 구매와 관련하여 그 제안요청서에 제시된 모든 사항을 충분히 검토, 숙지 인정한 후 본 제안서를 제출합니다.
또한 당사는 제안서 제출과 평가에 있어 귀 기관이 결정한 평가내용, 방법 및 평가결과를 수용하고 제안서 평가와 관련하여 추후 어떠한 이의도 제기하지 않을 것을 서약합니다.
20 .
.
.
주민등록번호 :
대표자 성명 :
(인)
대구경북과학기술원 총장 귀하 ( 서식 5 ) 장비 실사 참여확인서
(Equipment On-site Inspection Participation Certificate)
아래 업체는 당사가 실시한 장비 실사에 성실히 참여하였음을 확인합니다.
■ 실사 개요 실사명
산화막 식각 장비(Oxide Etcher) 구매 관련 장비 실사
실사목적
입찰 참가 업체가 대상 장비의 상태를 사전 확인하고,
이를 반영하여 제안서를 작성하도록 하기 위함
실사일시 2026. 10. 06.(화) [시간미정] 실사장소
화성장안창고, 경기도 화성시 장안면 어은리40-1, STLS 1층
대상장비
Applied Materials(AMAT) Centura II EMAX Oxide Etcher 1set (상세규격서 참조)
■ 참여 업체 정보 업체명 사업자등록번호 참여자성명/직책
위와 같이 장비 실사 참여 사실을 확인합니다.
2026년 10월 06일 발행기관: 대구경북과학기술원 담당부서: 센서기술지원센터 담당자: 정재윤 (인)
※ 본 확인서는 실사 참여 사실을 증빙하기 위한 용도로만 사용되며, 그 외 목적으로 사용을 제한합니다.
===== 5. BIDDING SPECIFICATION(양식).hwp =====
입찰 사양서(BIDDING SPECIFICATION)
제출업체명 :
(인감)
공고번호 : DGIST 제2026-144호 공 고 명 : 산화막 식각 장비 구매 □ 입찰 참가 물품 상세규격 ◦ 세부품목명 : ◦ 제 작 사 : ◦ 모델명 :
Specification Requirement for DGIST(공고규격)
Bidding Specification(제안규격)
업체 제안 규격이 금번 입찰시 구매하고자 하는 규격에 적합(동등이상)함을 확인합니다.
2026.
.
.
계정책임자(또는 구매요구자) : (서명)
===== 6. 퇴직자(재직자) 영입현황 확인서 및 수의계약 체결 제한 여부 확인서(양식).hwp =====
퇴직자(재직자) 영입현황 확인서
□ 공고번호 : DGIST 제2026-144호
□ 구매건명 : 산화막 식각 장비 구매
1. 대구경북과학기술원(DGIST) 재직자 또는 퇴직자(퇴직 후 2년이 경과하지 아니한 자)가 당사에 대표이사 또는 임직원으로 (□ 근무를 하고, □ 근무를 하지 않고) 있습니다.
※ 상기 박스(□)에 체크(√)하고, 근무를 하는 경우 아래 표 작성
(1) DGIST 재직자가 근무를 하고 있는 경우
구분 성 명 회사명: DGIST 직위 근무 부서 임원* 여부 직위 근무 부서 임원* 여부 1 2
(2) DGIST 퇴직자가 근무를 하고 있는 경우
구분 성 명 퇴직 당시 현 재 직위 근무 부서 퇴직일 직위 근무 부서 임원* 여부 1 2
*(임원의 범위) 대표이사, 이사, 감사 또는 상법 제401조의2제1항에 따라 이사와 동등한 권한이 있다고 볼 수 있는 자
2. 상기 입찰에 있어 위에 제출한 내용은 사실이며, 만약 사실과 다를 경우(축소, 누락 포함)에는 부정당업자로 입찰참가자격 제한조치 등의 불이익 처분을 받더라도 일체의 이의를 제기하지 아니할 것을 확약하고, 이에 확인서를 제출합니다.
2026년
월
일
회 사 명 :
대 표 자 :
(인)
대구경북과학기술원 총장 귀하 수의계약 체결 제한 여부 확인서
- 해당하는 [ ]에 √ 표시를 합니다.
(1쪽)
발주자 발주기관 DGIST 발주부서 총무구매팀 발주날짜 2026.9.29.
발주내용
산화막 식각 장비 구매
[ ] 공사 [ ] 용역 [✔] 물품 [ ] 기타
수의계약 사유
-
계약상대자 (확인인) 성명 소속 [ ] 개인 [ ] 법인 [ ] 단체 [ ] 기타 연락처 주소 수의계약 체결 제한 확인사항
발주기관의 소속 고위공직자, 배우자, 고위공직자의 직계존속·비속 또는 생계를 같이하는 배우자의 직계존속·비속에 해당하는가?
[ ] 예 [ ] 아니오 [ ] 해당없음 ②
계약 업무을 법령상·사실상 담당하는 임직원, 배우자, 임직원의 직계존속·비속 또는 생계를 같이하는 배우자의 직계존속·비속에 해당하는가?
[ ] 예 [ ] 아니오 [ ] 해당없음
발주기관(산하기관)의 감독기관 소속 고위공직자, 배우자, 고위공직자의 직계존속·비속 또는 생계를 같이하는 배우자의 직계존속·비속에 해당하는가?
[ ] 예 [ ] 아니오 [ ] 해당없음
발주기관(자회사)의 모회사 소속 고위공직자, 배우자, 고위공직자의 직계존속·비속 또는 생계를 같이하는 배우자의 직계존속·비속에 해당하는가?
[ ] 예 [ ] 아니오 [ ] 해당없음
상임위원회 위원의 국회의원, 배우자, 국회의원의 직계존속·비속 또는 생계를 같이하는 배우자의 직계존속·비속에 해당하는가?
[ ] 예 [ ] 아니오 [ ] 해당없음
공공기관을 감사 또는 조사하는 지방의회의 의원, 배우자, 의원의 직계존속·비속 또는 생계를 같이하는 배우자의 직계존속·비속에 해당하는가?
[ ] 예 [ ] 아니오 [ ] 해당없음
부터 까지 어느 하나에 해당하는 사람이 대표자인 법인
또는 단체에 해당하는가? [ ] 예 [ ] 아니오 [ ] 해당없음
부터 까지 어느 하나에 해당하는 사람과 특수한 관계의 사업자(임직원, 배우자, 임직원의 직계존속·비속, 생계를 같이하는 배우자의 직계존속·비속이 단독으로 또는 합산하여 발행주식 총수의 100분의 30 이상, 출자지분 총수의 100분의 30 이상, 자본금 총액의 100분의 50 이상을 소유하고 있는 법인 또는 단체)에 해당하는가?
[ ] 예 [ ] 아니오 [ ] 해당없음
「공직자의 이해충돌 방지법」제12조에 따른 수의계약 체결 제한에 대하여 위와 같이 확인합니다. 만약 위 사항이 사실과 다른 경우에는 어떠한 처벌이나 불이익도 감수할 것을 서약합니다.
2026년
월
일
계약상대자(확인인) (서명 또는 인)
===== 7. 청렴계약 이행각서(양식).hwp =====
청렴계약 이행각서
당사는「부패 없는 투명한 기업경영과 공정한 행정」이 사회발전과 국가 경쟁력에 중요한 관건이 됨을 깊이 인식하며, 국제적으로도 OECD뇌물방지 협약이 발효되었고 부패기업 및 국가에 대한 제재가 강화되는 추세에 맞추어 청렴계약 취지에 적극 호응하여 대구경북과학기술원(이하 “디지스트”라 한다)이 발주하는 모든 공사, 물품, 용역 등의 입찰에 참여함에 있어 당사 임직원과 대리인은
1. 입찰가격의 유지나 특정인의 낙찰을 위한 담합을 하거나 다른 업체와 협정, 결의, 합의하여 입찰의 자유경쟁을 부당하게 저해하는 일체의 불공정한 행위를 않겠습니다.
- 이를 위반하여 경쟁입찰에 있어서 특정인의 낙찰을 위하여 담합을 주도한 것이 사실로 드러날 경우 우리원에서 발주하는 입찰에 입찰참가자격제한 처분을 받은 날로부터 1년이상 2년이하 동안 참가하지 않겠으며,
- 경쟁입찰에 있어서 입찰자간에 서로 상의하여 미리 입찰가격을 협정하거나 특정인의 낙찰을 위하여 담합을 한 사실이 드러날 경우 우리원이 시행하는 입찰에 입찰참가자격 제한 처분을 받은 날로부터 6월이상 1년미만 동안 참여하지 않고,
- 위와 같이 담합 등 불공정행위를 한 사실이 드러날 경우 「독점규제 및 공정거래에 관한 법률」에 따라 공정거래위원회에 고발하여 과징금 등을 부과토록 하는데 일체의 이의를 제기하지 않겠습니다.
2. 입찰, 낙찰, 계약 체결 및 계약이행 과정에서 관계자에게 직․간접적으로 금품․향응 등(친인척 등에 대한 부정한 취업 제공 포함) 의 부당한 이익을 제공하지 않겠습니다.
- 이를 위반하여 입찰, 낙찰, 계약체결 및 계약이행과 관련하여 관계자에게 금품, 향응 등(친인척 등에 대한 부정한 취업 제공 포함)을 제공한 사실이 드러날 경우에는 디지스트 및 관련 건의 수요기관이 시행하는 입찰에 입찰참가자격제한 처분을 받은 날로부터 2년 동안 입찰에 참가하지
않겠으며, 또한 입찰참가자격 제한기간 만료 후 2년간은 디지스트에서 시행하는 입찰에는 「국가를 당사자로 하는 계약에 관한 법률 시행령」 제37조에 의한 입찰보증금을 납부하겠습니다.
3. 입찰, 낙찰, 계약체결 및 계약이행과 관련하여 관계자에게 금품, 향응 등(친인척 등에 대한 부정한 취업 제공 포함)을 제공한 사실이 드러날 경우에는 계약체결 이전의 경우에는 낙찰자 결정 취소, 계약이행 전에는 계약취소, 계약이행 이후에는 당해 계약의 전부 또는 일부계약을 해제 또는 해지하여도 감수하겠으며, 민․형사상 이의를 제기하지 않겠습니다.
4. 회사 임․직원이 관계자에게 금품, 향응 등(친인척 등에 대한 부정한 취업 제공 포함)을 제공하거나 담합 등 불공정 행위를 하지 않도록 하는 회사윤리강령과 내부비리 제보자에 대해서도 일체의
불이익처분을 하지 않는 사규를 제정토록 노력하겠습니다.
위 청렴계약 서약은 상호신뢰를 바탕으로 한 약속으로서 반드시 지킬 것이며, 낙찰자로 결정될 시 본 서약내용을 그대로 계약특수조건으로 계약하여 이행하고, 입찰참가자격 제한, 계약해지 등 디지스트의 조치와 관련하여 당사는 디지스트를 상대로 손해배상을 청구하거나 당사를 배제하는 입찰에 관하여 민․형사상 어떠한 이의도 제기하지 않을 것을 서약합니다.
2026. . . 서 약 자 : ㈜OOO 대표 OOO (인) 대구경북과학기술원 총장 귀하
===== 8. 공익·부패 신고제도 안내.hwp =====
공익·부패 신고제도 안내
- 계약의 투명성·공정성 확보 및 건강한 계약문화 조성을 위해 계약 全과정에서 아래와 같은 불합리한 사례를 경험할 경우에는 DGIST 핫라인에 신고하시기 바랍니다.
·계약담당관의 업무 처리 기준 및 절차의 투명성 여부
·계약담당관의 업무권한 남용 여부
·계약담당관의 일부 사람 대상의 특혜 부여 여부
·계약담당관의 외부 업무관계자에게 부당한 요구 및 영향력 행사 여부
·계약담당관(가족 포함)에게 금품·향응·편의 제공 여부
- 신고방법
·핫라인(DGIST 감사실/전화 : 053-785-8112, E-Mail : [email protected])
- 부패신고자는 신분 및 신고내용에 대한 비밀 보장을 받을 수 있습니다.